JP2021032819A - センサ - Google Patents

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Abstract

【課題】感度を向上できるセンサを提供する。
【解決手段】一実施形態によれば、センサは、基体、第１、第２構造体を含む。第１構造体は、第１固定部、第１導電部、及び、複数の第１電極を含む。第１固定部は、基体に固定される。第１導電部は、第１固定部に保持される。第１導電部は、第１方向において基体から離れる。複数の第１電極は、第１導電部に保持される。複数の第１電極の１つから複数の第１電極の別の１つへの方向は、第１方向と交差する第２方向に沿う。第２構造体は、第２導電部、及び、複数の第２電極を含む。第２導電部は、基体に固定される。複数の第２電極は、第２導電部に保持される。複数の第２電極の１つは、複数の第１電極の１つと複数の第１電極の別の１つとの間にある。複数の第１電極の１つの第１方向に沿う第１電極長さは、第１導電部の第１方向に沿う第１導電部長さよりも短い。
【選択図】図１

Description

本発明の実施形態は、センサに関する。
例えば、ＭＥＭＳ構造を利用したセンサがある。センサにおいて、感度の向上が望まれる。相対的な感度を向上することで、例えば、出力電圧のＳＮＲを高くすることができる。
特開２０１６−１９７０６０号公報
実施形態は、感度を向上できるセンサを提供する。
実施形態によれば、センサは、基体、第１構造体及び第２構造体を含む。前記第１構造体は、第１固定部、第１導電部、及び、複数の第１電極を含む。前記第１固定部は、前記基体に固定される。前記第１導電部は、前記第１固定部に保持される。前記第１導電部は、第１方向において前記基体から離れる。前記複数の第１電極は、前記第１導電部に保持される。前記複数の第１電極と前記基体との間の距離は可変である。前記複数の第１電極の１つから前記複数の第１電極の別の１つへの方向は、前記第１方向と交差する第２方向に沿う。前記第２構造体は、第２導電部、及び、複数の第２電極を含む。前記第２導電部は、前記基体に固定される。前記複数の第２電極は、前記第２導電部に保持される。前記複数の第２電極の１つは、前記複数の第１電極の前記１つと前記複数の第１電極の前記別の１つとの間にある。前記複数の第１電極の前記１つの前記第１方向に沿う第１電極長さは、前記第１導電部の前記第１方向に沿う第１導電部長さよりも短い。
図１（ａ）〜図１（ｃ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。 図２は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。 図３（ａ）〜図３（ｃ）は、第２実施形態に係るセンサを例示する模式図である。 図４（ａ）及び図４（ｂ）は、第２実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
（第１実施形態）
図１（ａ）〜図１（ｃ）、及び、図２は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図１（ａ）は、図１（ｂ）及び図１（ｃ）の矢印ＡＡからみた平面図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ１−Ａ２線断面図である。図１（ｃ）は、図１（ａ）のＢ１−Ｂ２線断面図である。図２は、図１（ａ）のＣ１−Ｃ２線断面図である。
図１（ａ）に示すように、実施形態に係るセンサ１１０は、基体５０、第１構造体１１及び第２構造体１２を含む。第１構造体１１は、第１固定部１１ｆ、第１導電部１１ｃ、及び、複数の第１電極１１ｅを含む。図２に示すように、この例では、センサ１１０は、第１絶縁部５１及び第２絶縁部５２さらに含む。
図２に示すように、第１固定部１１ｆは、基体５０に固定される。この例では、第１絶縁部５１は、基体５０と第１固定部１１ｆとの間に設けられる。第１固定部１１ｆは、第１絶縁部５１を介して、基体５０に固定される。
図１（ａ）に示すように、第１導電部１１ｃは、第１固定部１１ｆに保持される。例えば、第１導電部１１ｃは、第１固定部１１ｆと接続される。この例では、第１構造体１１は、第１接続部１１ｎをさらに含む。第１接続部１１ｎにより、第１固定部１１ｆと第１導電部１１ｃとが互いに接続される。第１接続部１１ｎは、例えば、ばねである。
図１（ｂ）に示すように、第１導電部１１ｃは、第１方向において基体５０から離れる。図１（ｂ）に示すように、第１導電部１１ｃと基体５０との間にギャップｇｃ１が設けられる。例えば、第１導電部１１ｃは、変形可能である。
第１方向をＺ軸方向とする。Ｚ軸方向に対して垂直な１つの方向をＸ軸方向とする。Ｚ軸方向及びＸ軸方向に対して垂直な方向をＹ軸方向とする。基体５０は、例えば、Ｘ−Ｙ平面に対して実質的に平行である。
図１（ａ）に示すように、複数の第１電極１１ｅは、第１導電部１１ｃに保持される。例えば、複数の第１電極１１ｅは、第１導電部１１ｃと接続される。図１（ｂ）に示すように、複数の第１電極１１ｅと基体５０との間にギャップｇｅ１が設けられる。複数の第１電極１１ｅと基体５０との間の距離ｄｅ１（図１（ｂ）参照）は、可変である。図１（ａ）に示すように、複数の第１電極１１ｅの１つから複数の第１電極１１ｅの別の１つへの方向は、第２方向に沿う。第２方向は、第１方向（Ｚ軸方向）と交差する。この例では、第２方向は、Ｙ軸方向である。
図１（ａ）に示すように、第２構造体１２は、第２導電部１２ｃ、及び、複数の第２電極１２ｅを含む。図１（ｃ）に示すように、第２導電部１２ｃは、基体５０に固定される。例えば、第２絶縁部５２が、基体５０と第２導電部１２ｃとの間に設けられる。第２導電部１２ｃは、第２絶縁部５２を介して、基体５０に固定される。図１（ａ）に示すように、複数の第２電極１２ｅは、第２導電部１２ｃに保持される。例えば、複数の第２電極１２ｅは、第２導電部１２ｃと接続される。複数の第２電極１２ｅの１つは、複数の第１電極１１ｅの１つと、複数の第１電極１１ｅの別の１つとの間にある。例えば、複数の第１電極１１ｅの１つは、複数の第２電極１２ｅの１つと、複数の第２電極１２ｅの別の１つとの間にある。
図１（ａ）に示すように、第１電極１１ｅと第２電極１２ｅとは、Ｙ軸方向に沿って交互に並ぶ。例えば、複数の第１電極１１ｅ及び複数の第２電極１２ｅは、櫛歯電極を形成する。
複数の第１電極１１ｅ及び複数の第２電極１２ｅにより、キャパシタンスが形成される。キャパシタンスの静電容量は、複数の第１電極１１ｅと複数の第２電極１２ｅとが対向する面積に依存する。
例えば、センサ１１０に外力などの加速度が加わる。加速度により、第１構造体１１の一部が変形し、複数の第１電極１１ｅと基体５０との間の距離ｄｅ１が変化する。一方、複数の第２電極１２ｅと基体５０との間の距離ｄｅ２は実質的に変化しない。このため、加速度などの外力がセンサ１１０に加わったときの静電容量は、加速度などの外力がセンサ１１０に加わらないときの静電容量から変化する。静電容量の変化を検出することで、センサ１１０に加わる外力などを検出できる。センサ１１０は、例えば、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）型のセンサである。
例えば、複数の第１電極１１ｅと、複数の第２電極１２ｅと、の間の静電容量は、複数の第１電極１１ｅと基体５０との間の距離ｄｅ１の変化に応じて変化する。センサ１１０において、例えば、Ｚ軸方向に沿う加速度が検出される。
加速度などの外力がセンサ１１０に加わらないときのセンサ１１０の静電容量（初期容量Ｃ０）は、複数の第１電極１１ｅと複数の第２電極１２ｅとが対向する面積に依存する。加速度などの外力がセンサ１１０に加わると、複数の第１電極１１ｅと複数の第２電極１２ｅとが対向する面積が変化する。このときの静電容量について、面積の変化後の容量感度をＣ１とする。一般的に、センサの容量感度Ｃ１は、Ｃ−Ｖ変換回路により電圧変換されて、出力電圧として検出される。出力電圧のＳＮＲ（Ｓｉｇｎａｌ−ｔｏ−Ｎｏｉｓｅ Ｒａｔｉｏ）を高くするには、容量感度Ｃ１の初期容量Ｃ０に対する比を高くすればよい。センサ１１０において、検出の容量感度Ｃ１は、初期容量Ｃ０に依存せず、外力による変位分に依存する。そのため、初期容量Ｃ０を小さくすれば、容量感度Ｃ１の初期容量Ｃ０に対する比を高くすることが可能となり、ＳＮＲを高くすることが可能となる。結果として、高い感度が得られる。
実施形態においては、図１（ｂ）に示すように、例えば、複数の第１電極１１ｅの高さ方向の長さを短くする。図１（ｃ）に示すように、例えば、複数の第２電極１２ｅの高さ方向の長さを短くする。これにより、初期容量Ｃ０を小さくすることができる。一方、容量感度Ｃ１は変化しない。これにより、高い感度が得られる。
例えば、図１（ｂ）に示すように、複数の第１電極１１ｅの１つの第１方向（Ｚ軸方向）に沿う長さを第１電極長さＬｅ１とする。第１導電部１１ｃの第１方向に沿う長さを第１導電部長さＬｃ１とする。実施形態においては、第１電極長さＬｅ１は、第１導電部長さＬｃ１よりも短い。これにより、第１電極長さＬｅ１が第１導電部長さＬｃ１と同じ場合に比べて、複数の第１電極１１ｅと複数の第２電極１２ｅとが対向する面積を小さくできる。
例えば、図１（ｃ）に示すように、複数の第２電極１２ｅの１つの第１方向（Ｚ軸方向）に沿う長さを第２電極長さＬｅ２とする。第２導電部１２ｃの第１方向に沿う長さを第２導電部長さＬｃ２とする。実施形態においては、第２電極長さＬｅ２は、第２導電部長さＬｃ２よりも短い。これにより、第２電極長さＬｅ２が第２導電部長さＬｃ２と同じ場合に比べて、複数の第１電極１１ｅと複数の第２電極１２ｅとが対向する面積を小さくできる。
実施形態においては、初期容量Ｃ０を小さくすることができる。一方、容量感度Ｃ１は変化しない。これにより、感度を向上できるセンサを提供できる。
このように、実施形態においては、第１電極長さＬｅ１は、第１導電部長さＬｃ１よりも短い。または、第２電極長さＬｅ２は、第２導電部長さＬｃ２よりも短い。このような構造を形成する場合、例えば、製造プロセスが複雑になる。このため、一般に、第１電極長さＬｅ１は、第１導電部長さＬｃ１と同じであり。第２電極長さＬｅ２は、第２導電部長さＬｃ２と同じである。
実施形態においては、製造プロセスの複雑化などを考慮しても、電極長さを導電部長さよりも短くする。これにより、初期容量Ｃ０を小さくし、高い感度を得る。
実施形態において、例えば、第１電極長さＬｅ１は、第２導電部長さＬｃ１よりも短い。例えば、第２電極長さＬｅ２は、第１導電部長さＬｃ１よりも短い。
例えば、第１電極長さＬｅ１は、第２電極長さＬｅ２と実質的に同じでも良い。第１電極長さＬｅ１は、第２電極長さＬｅ２の０．９倍以上１．１倍以下でも良い。これらの長さが実質的に同じ場合、製造プロセスは簡単になる。
例えば、第１導電部長さＬｃ１は、第２導電部長さＬｃ２と実質的に同じでも良い。第１導電部長さＬｃ１は、第２導電部長さＬｃ２の０．９倍以上１．１倍以下でも良い。これらの長さが実質的に同じ場合、製造プロセスは簡単になる。
実施形態において、第１電極長さＬｅ１は、第１導電部長さＬｃ１の１／１０以上９／１０以下である。第１電極長さＬｅ１が、第１導電部長さＬｃ１の１／１０以上であることにより、例えば、初期容量Ｃ０のばらつきの影響などを抑制し易い。第１電極長さＬｅ１が、第１導電部長さＬｃ１の９／１０以下であることにより、例えば、感度を向上しやすい。例えば、初期容量Ｃ０を安定して小さくでき、高い感度を安定して得やすい。
実施形態において、第２電極長さＬｅ２は、第２導電部長さＬｃ２の１／１０以上９／１０以下である。第２電極長さＬｅ２が、第２導電部長さＬｃ２の１／１０以上であることにより、例えば、初期容量Ｃ０のばらつきの影響などを抑制し易い。第２電極長さＬｅ２が、第２導電部長さＬｃ２の９／１０以下であることにより、例えば、感度を向上しやすい。例えば、初期容量Ｃ０を安定して小さくでき、高い感度を安定して得やすい。
既に説明したように、図１（ａ）に示すように、第１構造体１１は、第１接続部１１ｎを含む。第１接続部１１ｎは、第１固定部１１ｆと第１導電部１１ｃとを接続する。図１（ｂ）及び図１（ｃ）に示すように、第１接続部１１ｎは、第１方向（Ｚ軸方向）において、基体５０から離れる。図１（ｂ）に示すように、第１接続部１１ｎと基体５０との間にギャップｇｎ１が設けられる。例えば、第１接続部１１ｎは、変形可能である。図１（ａ）に示すように、第１接続部１１ｎ及び第１導電部１１ｃは、第２方向（例えば、Ｙ軸方向）に沿って延びる。第１接続部１１ｎの１つの端部１１ｎｅは、第１固定部１１ｆに固定される。第１接続部１１ｎの別の端部１１ｎｆは、第１導電部１１ｃの１つの端部１１ｃｅと接続される。センサ１１０において、第１接続部１１ｎは、トーション型のばねである。
図１（ａ）に示すように、センサ１１０は、第３構造体１３をさらに含んでも良い。第３構造体１３は、第３導電部１３ｃ、及び、複数の第３電極１３ｅを含む。図１（ｂ）及び図１（ｃ）に示すように、第３導電部１３ｃは、基体５０に固定される。この例では、第３絶縁部５３が設けられている。第３絶縁部５３は、基体５０と第３導電部１３ｃとの間にある。第３導電部１３ｃは、第３絶縁部５３を介して、基体５０に固定される。図１（ａ）に示すように、複数の第３電極１３ｅは、第３導電部１３ｃに保持される。例えば、複数の第３電極１３ｅは、第３導電部１３ｃと接続される。
図１（ａ）に示すように、第１構造体１１は、第４導電部１４ｃ、及び、複数の第４電極１４ｅを含む。第４導電部１４ｃは、第１固定部１１ｆに保持される。第４導電部１４ｃは、第１固定部１１ｆと接続される。図１（ｂ）に示すように、第４導電部１４ｃは、第１方向（Ｚ軸方向）において、基体５０から離れる。例えば、第４導電部１４ｃと基体５０との間にギャップｇｃ４が形成される。例えば、第４導電部１４ｃは、変形可能である。
複数の第４電極１４ｅは、第４導電部１４ｃに保持される。例えば、複数の第４電極１４ｅは、第４導電部１４ｃと接続される。複数の第４電極１４ｅと基体５０との間の距離ｄｅ４（図１（ｂ）参照）は可変である。図１（ａ）に示すように、複数の第４電極１４ｅの１つから複数の第４電極１４ｅの別の１つへの方向は、第２方向（Ｙ軸方向）に沿う。複数の第４電極１４ｅと基体５０との間にギャップｇｅ４が形成される。
図１（ａ）に示すように、複数の第３電極１３ｅの１つは、複数の第４電極１４ｅの１つと複数の第４電極１４ｅの別の１つとの間にある。例えば、複数の第４電極１４ｅの１つは、複数の第３電極１３ｅの１つと複数の第３電極１３ｅの別の１つとの間にある。複数の第３電極１３ｅと複数の第４電極１４ｅとは、例えば、櫛歯電極を形成する。複数の第３電極１３ｅ及び複数の第４電極１４ｅによりキャパシタンスが形成される。このキャパシタンスの静電容量は、複数の第３電極１３ｅと複数の第４電極１４ｅとが対向する面積に依存する。
例えば、センサ１１０に外力などの加速度が加わると、距離ｄｅ４が変化する。例えば、距離ｄｅ１が長くなるときに、距離ｄｅ４が短くなる。例えば、距離ｄｅ１が短くなるときに、距離ｄｅ４が長くなる。
図１（ｃ）に示すように、複数の第３電極１３ｅの１つの第１方向（Ｚ軸方向）に沿う長さを第３電極長さＬｅ３とする。第３導電部１３ｃの第１方向に沿う長さを第３導電部長さＬｃ３とする。実施形態において、例えば、第３電極長さＬｅ３は、第３導電部長さＬｃ３よりも短い。これにより、複数の第３電極１３ｅ及び複数の第４電極１４ｅにより形成される静電容量（初期容量）を小さくできる。これにより、高い感度が得られる。
例えば、図１（ｂ）に示すように、複数の第４電極１４ｅの１つの第１方向（Ｚ軸方向）に沿う長さを第４電極長さＬｅ４とする。第４導電部１４ｃの第１方向に沿う長さを第４導電部長さＬｃ４とする。実施形態において、第４電極長さＬｅ４は、第４導電部長さＬｃ４よりも短い。これにより、複数の第３電極１３ｅ及び複数の第４電極１４ｅにより形成される静電容量（初期容量）を小さくできる。これにより、高い感度が得られる。
図１（ａ）に示すように、例えば、第３方向をＸ軸方向とする。第３方向は、第１方向及び第２方向を含む平面と交差する。第３方向において、第１導電部１１ｃは、第２導電部１２ｃと第３導電部１３ｃとの間にある。第３方向において、第４導電部１４ｃは、第１導電部１１ｃと第３導電部１３ｃとの間にある。
図１（ａ）に示すように、第３方向（例えば、Ｘ軸方向であり、第１方向及び第２方向を含む平面と交差する方向）に沿う、第１導電部１１ｃの長さを第１導電部幅Ｌｘ１とする。第３方向に沿う第４導電部１４ｃの長さを第４導電部幅Ｌｘ４とする。第１導電部幅Ｌｘ１は、第４導電部幅Ｌｘ４とは異なる。この例では、第１導電部幅Ｌｘ１は、第４導電部幅Ｌｘ４よりも狭い。実施形態において、第１導電部幅Ｌｘ１は、第４導電部幅Ｌｘ４よりも広くても良い。第１導電部１１ｃと第４導電部１４ｃとを非対称にすることで、外力が加わったときに、これらの導電部が効率良く変位する。これにより、静電容量の変化が大きくできる。高い感度が得やすくなる。
図１（ａ）に示すように、例えば、第１接続部１１ｎ、第１導電部１１ｃ及び第４導電部１４ｃは、第２方向（例えば、Ｙ軸方向）に沿って延びる。第１接続部１１ｎの１つの端部１１ｎｅは、第１固定部１１ｆに固定される。第１接続部１１ｎの別の端部１１ｎｆは、第１導電部１１ｃの１つの端部１１ｃｅ及び第４導電部１４ｃの１つの端部１４ｃｅと接続される。センサ１１０は、例えば、トーション型のＭＥＭＳセンサである。
図２に示すように、センサ１１０は、第１電極パッド１１Ｅ、第２電極パッド１２Ｅ、及び、第３電極パッド１３Ｅを含んでも良い。第１電極パッド１１Ｅは、例えば、第１導電部１１ｃと電気的に接続される。この例では、第１電極パッド１１Ｅは、第１固定部１１ｆを介して、第１導電部１１ｃと電気的に接続される。第２電極パッド１２Ｅは、例えば、第２導電部１２ｃと電気的に接続される。第３電極パッド１３Ｅは、例えば、第３導電部１３ｃと電気的に接続される。
例えば、第１電極パッド１１Ｅと第２電極パッド１２Ｅとの間の電気的特性（例えば電圧など）を検出することで、複数の第１電極１１ｅと複数の第２電極１２ｅとの間の静電容量の変化を知ることができる。例えば、第１電極パッド１１Ｅと第３電極パッド１３Ｅとの間の電気的特性（例えば電圧など）を検出することで、複数の第４電極１４ｅと複数の第３電極１３ｅとの間の静電容量の変化を知ることができる。
（第２実施形態）
図３（ａ）〜図３（ｃ）、図４（ａ）及び図４（ｂ）は、第２実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図３（ａ）は、図３（ｂ）及び図３（ｃ）の矢印ＡＡからみた平面図である。図３（ｂ）は、図３（ａ）のＤ１−Ｄ２線断面図である。図３（ｃ）は、図３（ａ）のＥ１−Ｅ２線断面図である。図４（ａ）は、図３（ａ）のＦ１−Ｆ２線断面図である。図４（ｂ）は、図３（ａ）のＧ１−Ｇ２線断面図である。
図３（ａ）に示すように、センサ１２０も、基体５０、第１構造体１１及び第２構造体１２を含む。
第１構造体１１は、第１固定部１１ｆ、第１導電部１１ｃ、及び、複数の第１電極１１ｅを含む。図４（ａ）に示すように、第１固定部１１ｆは、基体５０に固定される。この例では、第１固定部１１ｆは、第１絶縁部５１を介して、基体５０に固定される。図３（ａ）に示すように、第１導電部１１ｃは、第１固定部１１ｆに保持される。図３（ｂ）に示すように、第１導電部１１ｃは、第１方向（例えば、Ｚ軸方向）において、基体５０から離れる。第１導電部１１ｃと基体５０との間にギャップｇｃ１が形成される。図３（ａ）に示すように、複数の第１電極１１ｅは、第１導電部１１ｃに保持される。例えば、第１導電部１１ｃは、第１固定部１１ｆと接続される。図３（ｂ）に示すように、複数の第１電極１１ｅと基体５０との間にギャップｇｅ１が形成される。複数の第１電極１１ｅと基体５０との間の距離ｄｅ１は可変である。図３（ａ）に示すように、複数の第１電極１１ｅの１つから複数の第１電極１１ｅの別の１つへの方向は、第２方向に沿う。第２方向は、第１方向と交差する。第２方向は、例えば、Ｙ軸方向である。
図３（ａ）に示すように、第２構造体１２は、第２導電部１２ｃ、及び、複数の第２電極１２ｅを含む。図３（ｃ）に示すように、第２導電部１２ｃは、基体５０に固定される。この例では、第２導電部１２ｃは、第２絶縁部５２を介して、基体５０に固定される。図３（ａ）に示すように、複数の第２電極１２ｅは、第２導電部１２ｃに保持される。例えば、複数の第２電極１２ｅは、第２導電部１２ｃと接続される。複数の第２電極１２ｅの１つは、複数の第１電極１１ｅの１つと複数の第１電極１１ｅの前記別の１つとの間にある。
この例においても、図３（ａ）に示すように、複数の第１電極１１ｅの１つの第１方向（Ｚ軸方向）に沿う第１電極長さＬｅ１は、第１導電部１１ｃの第１方向に沿う第１導電部長さＬｃ１よりも短い。これにより、初期容量Ｃ０を小さくすることができる。これにより、高い感度が得られる。
例えば、図３（ｃ）に示すように、複数の第２電極１２ｅの１つの第１方向に沿う第２電極長さＬｅ２は、第２導電部１２ｃの第１方向に沿う第２導電部長さＬｃ２よりも短い。これにより、初期容量Ｃ０を小さくすることができる。これにより、高い感度が得られる。
センサ１２０は、例えば、ビームばね型である。図３（ａ）に示すように、第１構造体１１は、第１接続部１１ｎを含む。第１接続部１１ｎは、第１固定部１１ｆと第１導電部１１ｃとを接続する。この例では、第１構造体１１は、第２固定部１１ｇ及び第２接続部１１ｏをさらに含む。図４（ｂ）に示すように、第２固定部１１ｇは、基体５０に固定される。第２固定部１１ｇと基体５０との間にギャップｇｏ１が設けられる。図３（ａ）に示すように、第２接続部１１ｏは、第２固定部１１ｇと第１導電部１１ｃとを接続する。第１接続部１１ｎ及び第２接続部１１ｏは、例えば、ビームばねである。
図４（ａ）に示すように、第１接続部１１ｎは、第１方向（Ｚ軸方向）において基体５０から離れる。図３（ａ）に示すように、第１導電部１１ｃは、第２方向（例えばＹ軸方向）に沿って延びる。第１接続部１１ｎの１つの端部１１ｎｅは、第１固定部１１ｆに固定される。第１接続部１１ｎの別の端部１１ｎｆは、第１導電部１１ｃの１つの端部１１ｃｅと接続される。
同様に、図４（ｂ）に示すように、第２接続部１１ｏは、第１方向（Ｚ軸方向）において基体５０から離れる。第２接続部１１ｏの１つの端部は、第１固定部１１ｆに固定される。第２接続部１１ｏの別の端部は、第１導電部１１ｃの別の端部と接続される。
図３（ａ）に示すように、センサ１２０は、第３構造体１３を含んでも良い。第３構造体１３は、第３導電部１３ｃ、及び、複数の第３電極１３ｅを含む。図３（ｃ）に示すように、第３導電部１３ｃは、基体５０に固定される。この例では、第３導電部１３ｃは、第３絶縁部５３を介して、基体５０に固定される。図３（ａ）に示すように、複数の第３電極１３ｅは、第３導電部１３ｃに保持される。例えば、複数の第３電極１３ｅは、第３導電部１３ｃと接続される。
図３（ａ）に示すように、第１構造体１１は、複数の第４電極１４ｅを含む。複数の第４電極１４ｅは、第１導電部１１ｃに保持される。例えば、複数の第４電極１４ｅは、第１導電部１１ｃと接続される。図３（ｂ）に示すように、複数の第４電極１４ｅと基体５０との間の間にギャップｇｅ４が設けられる。複数の第４電極１４ｅと基体５０との間の距離ｄｅ４は可変である。図３（ａ）に示すように、複数の第４電極１４ｅの１つから複数の第４電極１４ｅの別の１つへの方向は、第２方向（例えばＹ軸方向）に沿う。
第１方向及び第２方向を含む平面と交差する第３方向（例えば、Ｘ軸方向）において、第１導電部１１ｃは、第２導電部１２ｃと第３導電部１３ｃとの間にある。第３方向（例えば、Ｘ軸方向）において、第１導電部１１ｃは、複数の第１電極１１ｅと、複数の第４電極１４ｅと、の間にある。図３（ａ）に示すように、複数の第３電極１３ｅの１つは、複数の第４電極１４ｅの１つと複数の第４電極１４ｅの別の１つとの間にある。複数の第４電極１４ｅの１つは、複数の第３電極１３ｅの１つと複数の第３電極１３ｅの別の１つとの間にある。複数の第３電極１３ｅ及び複数の第４電極１４ｅにより、櫛歯電極が形成される。
図３（ｃ）に示すように、複数の第３電極１３ｅの１つの第１方向（Ｚ軸方向）に沿う第３電極長さＬｅ３は、第３導電部１３ｃの第１方向に沿う第３導電部長さＬｃ３よりも短い。これにより、初期容量Ｃ０を小さくすることができる。これにより、高い感度が得られる。
図３（ｂ）に示すように、複数の第４電極１４ｅの１つの第１方向に沿う第４電極長さＬｅ４は、第１導電部長さＬｃ１よりも短い。これにより、初期容量Ｃ０を小さくすることができる。これにより、高い感度が得られる。
例えば、第１電極長さＬｅ１は、第１導電部長さＬｃ１の１／１０以上９／１０以下である。例えば、第２電極長さＬｅ２は、第２導電部長さＬｃ２の１／１０以上９／１０以下である。
図３（ａ）に示すように、センサ１２０は、第１固定構造体２１をさらに含んでも良い。第１固定構造体２１は、第１固定導電部２１ｃ、及び、複数の第１固定電極２１ｅを含む。図３（ｂ）に示すように、第１固定導電部２１ｃは、基体５０に固定される。図３（ａ）に示すように、複数の第１固定電極２１ｅは、第１固定導電部２１ｃに保持される。例えば、複数の第１固定電極２１ｅは、第１固定導電部２１ｃと接続される。
図３（ａ）に示すように、第２構造体１２は、複数の第５電極１２ｅを含む。複数の第５電極１５ｅは、第２導電部１２ｃに保持される。例えば、複数の第５電極１５ｅは、第２導電部１２ｃと接続される。複数の第５電極１５ｅの１つから複数の第５電極１５ｅの別の１つへの方向は、第２方向（例えば、Ｙ軸方向）に沿う。
第１方向及び第２方向を含む平面と交差する第３方向（例えば、Ｘ軸方向）において、第２導電部１２ｃは、第１固定導電部２１ｃと第１導電部１１ｃとの間にある。第３方向において、第２導電部１２ｃは、複数の第５電極１５ｅと、複数の第２電極１２ｅと、の間にある。複数の第１固定電極２１ｅの１つは、複数の第５電極１５ｅの１つと複数の第５電極１５ｅの別の１つとの間にある。複数の第５電極１５ｅの１つは、複数の第１固定電極２１ｅの１つと複数の第１固定電極２１ｅの別の１つとの間にある。複数の第１固定電極２１ｅ及び複数の第５電極１５ｅにより櫛歯電極が形成される。
例えば、複数の第１固定電極２１ｅと基体５０との間の距離ｄｅｘ１（図３（ｂ）参照）は、実質的に固定される。例えば、複数の第５電極１５ｅと基体５０との間の距離ｄｅ５（図３（ｃ）参照）は、実質的に固定される。複数の第１固定電極２１ｅ及び複数の第５電極１５ｅにより形成されるキャパシタンスの静電容量は、外力が加わった場合にも実質的に変化しない。
複数の第１固定電極２１ｅと複数の第５電極１５ｅとの間の静電容量は、例えば、参照値として使用されても良い。例えば、複数の第１固定電極２１ｅと複数の第５電極１５ｅとの間の静電容量と、複数の第１電極１１ｅと複数の第２電極１２ｅとの間の静電容量と、の差を用いた検出が行われる。これにより、より高精度の検出を行うことができる。
第２固定構造体２２は、第１固定構造体２１と同様の構成を有することができる。第２固定構造体２２に設けられる複数の電極と、第３構造体１３に設けられる複数の電極と、により、櫛歯電極が形成される。例えば、この櫛歯電極の静電容量と、複数の第４電極１４ｅと複数の第３電極１３ｅとの間の静電容量と、の差を用いた検出が行われる。これにより、より高精度の検出を行うことができる。
例えば、センサ１２０は、第１電極パッド１１Ｅ、第２電極パッド１２Ｅ、第３電極パッド１３Ｅ、電極パッド１１Ｆ、電極パッド２１Ｅ及び電極パッド２２Ｅを含んでも良い。第１電極パッド１１Ｅは、例えば、第１導電部１１ｃと電気的に接続される。この例では、第１電極パッド１１Ｅ及び電極パッド１１Ｆは、第１導電部１１ｃと電気的に接続される。第２電極パッド１２Ｅは、例えば、第２導電部１２ｃと電気的に接続される。第３電極パッド１３Ｅは、例えば、第３導電部１３ｃと電気的に接続される。電極パッド２１Ｅは、複数の第１固定電極２１ｅと電気的に接続される。電極パッド２２Ｅは、第２固定構造体２２に含まれる複数の電極と電気的に接続される。これらの電極パッドの間の電気的特性を検出することで、外力などを検出できる。
上記の実施形態において、例えば、基体５０はシリコンを含む。複数の電極（複数の第１電極１１ｅ、複数の第２電極１２ｅ、複数の第３電極１３ｅ、複数の第４電極１４ｅ、複数の第５電極１５ｅ、及び、複数の第１固定電極２１ｅなど）は、例えば、シリコン及び第１元素を含む。第１元素は、例えば、ゲルマニウム、リン、ヒ素、アンチモン、ホウ素、ガリウム及びインジウムよりなる群から選択された少なくとも１つを含む。第１元素は、例えば、不純物である。
実施形態は、以下の構成（例えば、技術案）を含んでも良い。
（構成１）
基体と、
第１構造体であって、前記第１構造体は、第１固定部、第１導電部、及び、複数の第１電極を含み、前記第１固定部は、前記基体に固定され、前記第１導電部は、前記第１固定部に保持され、前記第１導電部は、第１方向において前記基体から離れ、前記複数の第１電極は、前記第１導電部に保持され、前記複数の第１電極と前記基体との間の距離は可変であり、前記複数の第１電極の１つから前記複数の第１電極の別の１つへの方向は、前記第１方向と交差する第２方向に沿う、前記第１構造体と、
第２構造体であって、前記第２構造体は、第２導電部、及び、複数の第２電極を含み、前記第２導電部は、前記基体に固定され、前記複数の第２電極は、前記第２導電部に保持され、前記複数の第２電極の１つは、前記複数の第１電極の前記１つと前記複数の第１電極の前記別の１つとの間にある、前記第２構造体と、
を備え、
前記複数の第１電極の前記１つの前記第１方向に沿う第１電極長さは、前記第１導電部の前記第１方向に沿う第１導電部長さよりも短い、センサ。
（構成２）
前記複数の第２電極の前記１つの前記第１方向に沿う第２電極長さは、前記第２導電部の前記第１方向に沿う第２導電部長さよりも短い、構成１記載のセンサ。
（構成３）
前記第１電極長さは、前記第２導電部長さよりも短く、
前記第２電極長さは、前記第１導電部長さよりも短い、構成２記載のセンサ。
（構成４）
前記第１電極長さは、前記第１導電部長さの１／１０以上９／１０以下である、構成１〜３のいずれか１つに記載のセンサ。
（構成５）
基体と、
第１構造体であって、前記第１構造体は、第１固定部、第１導電部、及び、複数の第１電極を含み、前記第１固定部は、前記基体に固定され、前記第１導電部は、前記第１固定部に保持され、前記第１導電部は、第１方向において前記基体から離れ、前記複数の第１電極は、前記第１導電部に保持され、前記複数の第１電極と前記基体との間の距離は可変であり、前記複数の第１電極の１つから前記複数の第１電極の別の１つへの方向は、前記第１方向と交差する第２方向に沿う、前記第１構造体と、
第２構造体であって、前記第２構造体は、第２導電部、及び、複数の第２電極を含み、前記第２導電部は、前記基体に固定され、前記複数の第２電極は、前記第２導電部に保持され、前記複数の第２電極の１つは、前記複数の第１電極の前記１つと前記複数の第１電極の前記別の１つとの間にある、前記第２構造体と、
を備え、
前記複数の第２電極の前記１つの前記第１方向に沿う第２電極長さは、前記第２導電部の前記第１方向に沿う前記第２導電部長さよりも短い、センサ。
（構成６）
前記第２電極長さは、前記第２導電部長さの１／１０以上９／１０以下である、構成２〜４のいずれか１つに記載のセンサ。
（構成７）
前記第１構造体は、前記第１固定部と前記第１導電部とを接続する第１接続部をさらに含み、
前記第１接続部は、前記第１方向において前記基体から離れ、
前記第１接続部及び前記第１導電部は、前記第２方向に沿って延び、
前記第１接続部の１つの端部は、前記第１固定部に固定され、
前記第１接続部の別の端部は、前記第１導電部の１つの端部と接続された、構成１〜６のいずれか１つに記載のセンサ。
（構成８）
第３構造体をさらに備え、前記第３構造体は、第３導電部、及び、複数の第３電極を含み、前記第３導電部は、前記基体に固定され、前記複数の第３電極は、前記第３導電部に保持され、
前記第１構造体は、第４導電部、及び、複数の第４電極を含み、前記第４導電部は、前記第１固定部に保持され、前記第４導電部は、前記第１方向において前記基体から離れ、前記複数の第４電極は、前記第４導電部に保持され、前記複数の第４電極と前記基体との間の距離は可変であり、前記複数の第４電極の１つから前記複数の第４電極の別の１つへの方向は、前記第２方向に沿い、
前記複数の第３電極の１つは、前記複数の第４電極の前記１つと前記複数の第４電極の前記別の１つとの間にあり、
前記複数の第３電極の前記１つの前記第１方向に沿う第３電極長さは、前記第３導電部の前記第１方向に沿う第３導電部長さよりも短い、構成１〜６のいずれか１つに記載のセンサ。
（構成９）
前記複数の第４電極の前記１つの前記第１方向に沿う第４電極長さは、前記第４導電部の前記第１方向に沿う第４導電部長さよりも短い、構成８記載のセンサ。
（構成１０）
前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向において、前記第１導電部は、前記第２導電部と前記第３導電部との間にあり、
前記第３方向において、前記第４導電部は、前記第１導電部と前記第３導電部との間にある、構成８または９に記載のセンサ。
（構成１１）
前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向に沿う前記第１導電部の第１導電部幅は、前記第３方向に沿う前記第４導電部の第４導電部幅とは異なる、構成８または９に記載のセンサ。
（構成１２）
前記第１構造体は、前記第１固定部と前記第１導電部とを接続する第１接続部をさらに含み、
前記第１接続部は、前記第１方向において前記基体から離れ、
前記第１接続部、前記第１導電部及び前記第４導電部は、前記第２方向に沿って延び、
前記第１接続部の１つの端部は、前記第１固定部に固定され、
前記第１接続部の別の端部は、前記第１導電部の１つの端部及び前記第４導電部の１つの端部と接続された、構成８〜１１のいずれか１つに記載のセンサ。
（構成１３）
前記第１構造体は、前記第１固定部と前記第１導電部とを接続する第１接続部をさらに含み、
前記第１接続部は、前記第１方向において前記基体から離れ、
前記第１導電部は、前記第２方向に沿って延び、
前記第１接続部の１つの端部は、前記第１固定部に固定され、
前記第１接続部の別の端部は、前記第１導電部の１つの端部と接続された、構成１〜６のいずれか１つに記載のセンサ。
（構成１４）
第３構造体をさらに備え、前記第３構造体は、第３導電部、及び、複数の第３電極を含み、前記第３導電部は、前記基体に固定され、前記複数の第３電極は、前記第３導電部に保持され、
前記第１構造体は、複数の第４電極を含み、前記複数の第４電極は、前記第１導電部に保持され、前記複数の第４電極と前記基体との間の距離は可変であり、前記複数の第４電極の１つから前記複数の第４電極の別の１つへの方向は、前記第２方向に沿い、
前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向において、前記第１導電部は、前記第２導電部と前記第３導電部との間にあり、
前記第３方向において、前記第１導電部は、前記複数の第１電極と、前記複数の第４電極と、の間にあり、
前記複数の第３電極の１つは、前記複数の第４電極の前記１つと前記複数の第４電極の前記別の１つとの間にあり、
前記複数の第３電極の前記１つの前記第１方向に沿う第３電極長さは、前記第３導電部の前記第１方向に沿う第３導電部長さよりも短い、構成１〜６のいずれか１つに記載のセンサ。
（構成１５）
前記複数の第４電極の前記１つの前記第１方向に沿う第４電極長さは、前記第１導電部長さよりも短い、構成１４記載のセンサ。
（構成１６）
第１固定構造体をさらに備え、
前記第１固定構造体は、第１固定導電部、及び、複数の第１固定電極を含み、前記第１固定導電部は、前記基体に固定され、前記複数の第１固定電極は、前記第１固定導電部に保持され、
前記第２構造体は、複数の第５電極を含み、前記複数の第５電極は、前記第２導電部に保持され、前記複数の第５電極の１つから前記複数の第５電極の別の１つへの方向は、前記第２方向に沿い、
前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向において、前記第２導電部は、前記第１固定導電部と前記第１導電部との間にあり、
前記第３方向において、前記第２導電部は、前記複数の第５電極と、前記複数の第２電極と、の間にあり、
前記複数の第１固定電極の１つは、前記複数の第５電極の前記１つと前記複数の第５電極の前記別の１つとの間にある、構成８〜１５のいずれか１つに記載のセンサ。
（構成１７）
前記複数の第１固定電極と前記基体との間の距離は、実質的に固定され、
前記複数の第５電極と前記基体との間の距離は、実質的に固定された、構成１６記載のセンサ。
（構成１８）
第１絶縁部及び第２絶縁部をさらに備え、
前記第１絶縁部は、前記基体と前記第１固定部との間に設けられ、
前記第２絶縁部は、前記基体と前記第２導電部との間に設けられた、構成１〜１７のいずれか１つに記載のセンサ。
（構成１９）
前記基体はシリコンを含み、
前記複数の第１電極及び前記複数の第２電極は、シリコン及び第１元素を含み、
前記第１元素は、ゲルマニウム、リン、ヒ素、アンチモン、ホウ素、ガリウム及びインジウムよりなる群から選択された少なくとも１つを含む、構成１〜１８のいずれか１つに記載のセンサ。
（構成２０）
前記複数の第１電極と、前記複数の第２電極と、の間の静電容量は、前記複数の第１電極と前記基体との間の前記距離の変化に応じて変化する、構成１〜１９のいずれか１つに記載のセンサ。
実施形態によれば、感度を向上できるセンサが提供できる。
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、センサに含まれる基体、構造体、導電部及び電極などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。
また、各具体例のいずれか２つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
その他、本発明の実施の形態として上述したセンサを基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全てのセンサも、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
１１〜１３…第１〜第３構造体、 １１Ｅ〜１３Ｅ…第１〜第３電極パッド、 １１ｃ〜１４ｃ…第１〜第４導電部、 １１ｃｅ…端部、 １１ｅ〜１５ｅ…第１〜第５電極、 １１ｆ、１１ｇ…第１、第２固定部、 １１ｆ、１１ｇ…第１、第２固定部、 １１ｎ、１１ｏ…第１、第２接続部、 １１ｎｅ、１１ｎｆ…端部、 １４ｃｅ…端部、 ２１、２２…第１、第２固定構造体、 ２１Ｅ、２２Ｅ…電極パッド、 ２１ｃ…第１固定導電部、 ２１ｅ…第１固定電極、 ５０…基体、 ５１〜５３…第１〜第３絶縁部、 １１０、１２０…センサ、 ＡＡ…矢印、 Ｌｃ１〜Ｌｃ４…第１〜第４導電部長さ、 Ｌｅ１〜Ｌｅ４…第１〜第４電極長さ、 Ｌｘ１…第１導電部幅、 Ｌｘ４…第４導電部幅、 ｄｅ１、ｄｅ２、ｄｅ４、ｄｅ５、ｄｅｘ１…距離、 ｇｃ１、ｇｃ４、ｇｅ１、ｇｅ４、ｇｎ１、ｇｏ１…ギャップ

Claims (7)

  1. 基体と、
    第１構造体であって、前記第１構造体は、第１固定部、第１導電部、及び、複数の第１電極を含み、前記第１固定部は、前記基体に固定され、前記第１導電部は、前記第１固定部に保持され、前記第１導電部は、第１方向において前記基体から離れ、前記複数の第１電極は、前記第１導電部に保持され、前記複数の第１電極と前記基体との間の距離は可変であり、前記複数の第１電極の１つから前記複数の第１電極の別の１つへの方向は、前記第１方向と交差する第２方向に沿う、前記第１構造体と、
    第２構造体であって、前記第２構造体は、第２導電部、及び、複数の第２電極を含み、前記第２導電部は、前記基体に固定され、前記複数の第２電極は、前記第２導電部に保持され、前記複数の第２電極の１つは、前記複数の第１電極の前記１つと前記複数の第１電極の前記別の１つとの間にある、前記第２構造体と、
    を備え、
    前記複数の第１電極の前記１つの前記第１方向に沿う第１電極長さは、前記第１導電部の前記第１方向に沿う第１導電部長さよりも短い、センサ。
  2. 基体と、
    第１構造体であって、前記第１構造体は、第１固定部、第１導電部、及び、複数の第１電極を含み、前記第１固定部は、前記基体に固定され、前記第１導電部は、前記第１固定部に保持され、前記第１導電部は、第１方向において前記基体から離れ、前記複数の第１電極は、前記第１導電部に保持され、前記複数の第１電極と前記基体との間の距離は可変であり、前記複数の第１電極の１つから前記複数の第１電極の別の１つへの方向は、前記第１方向と交差する第２方向に沿う、前記第１構造体と、
    第２構造体であって、前記第２構造体は、第２導電部、及び、複数の第２電極を含み、前記第２導電部は、前記基体に固定され、前記複数の第２電極は、前記第２導電部に保持され、前記複数の第２電極の１つは、前記複数の第１電極の前記１つと前記複数の第１電極の前記別の１つとの間にある、前記第２構造体と、
    を備え、
    前記複数の第２電極の前記１つの前記第１方向に沿う第２電極長さは、前記第２導電部の前記第１方向に沿う前記第２導電部長さよりも短い、センサ。
  3. 前記第１構造体は、前記第１固定部と前記第１導電部とを接続する第１接続部をさらに含み、
    前記第１接続部は、前記第１方向において前記基体から離れ、
    前記第１接続部及び前記第１導電部は、前記第２方向に沿って延び、
    前記第１接続部の１つの端部は、前記第１固定部に固定され、
    前記第１接続部の別の端部は、前記第１導電部の１つの端部と接続された、請求項１または２に記載のセンサ。
  4. 第３構造体をさらに備え、前記第３構造体は、第３導電部、及び、複数の第３電極を含み、前記第３導電部は、前記基体に固定され、前記複数の第３電極は、前記第３導電部に保持され、
    前記第１構造体は、第４導電部、及び、複数の第４電極を含み、前記第４導電部は、前記第１固定部に保持され、前記第４導電部は、前記第１方向において前記基体から離れ、前記複数の第４電極は、前記第４導電部に保持され、前記複数の第４電極と前記基体との間の距離は可変であり、前記複数の第４電極の１つから前記複数の第４電極の別の１つへの方向は、前記第２方向に沿い、
    前記複数の第３電極の１つは、前記複数の第４電極の前記１つと前記複数の第４電極の前記別の１つとの間にあり、
    前記複数の第３電極の前記１つの前記第１方向に沿う第３電極長さは、前記第３導電部の前記第１方向に沿う第３導電部長さよりも短い、請求項１〜３のいずれか１つに記載のセンサ。
  5. 前記第１構造体は、前記第１固定部と前記第１導電部とを接続する第１接続部をさらに含み、
    前記第１接続部は、前記第１方向において前記基体から離れ、
    前記第１導電部は、前記第２方向に沿って延び、
    前記第１接続部の１つの端部は、前記第１固定部に固定され、
    前記第１接続部の別の端部は、前記第１導電部の１つの端部と接続された、請求項１または２に記載のセンサ。
  6. 第３構造体をさらに備え、前記第３構造体は、第３導電部、及び、複数の第３電極を含み、前記第３導電部は、前記基体に固定され、前記複数の第３電極は、前記第３導電部に保持され、
    前記第１構造体は、複数の第４電極を含み、前記複数の第４電極は、前記第１導電部に保持され、前記複数の第４電極と前記基体との間の距離は可変であり、前記複数の第４電極の１つから前記複数の第４電極の別の１つへの方向は、前記第２方向に沿い、
    前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向において、前記第１導電部は、前記第２導電部と前記第３導電部との間にあり、
    前記第３方向において、前記第１導電部は、前記複数の第１電極と、前記複数の第４電極と、の間にあり、
    前記複数の第３電極の１つは、前記複数の第４電極の前記１つと前記複数の第４電極の前記別の１つとの間にあり、
    前記複数の第３電極の前記１つの前記第１方向に沿う第３電極長さは、前記第３導電部の前記第１方向に沿う第３導電部長さよりも短い、請求項１または２に記載のセンサ。
  7. 第１固定構造体をさらに備え、
    前記第１固定構造体は、第１固定導電部、及び、複数の第１固定電極を含み、前記第１固定導電部は、前記基体に固定され、前記複数の第１固定電極は、前記第１固定導電部に保持され、
    前記第２構造体は、複数の第５電極を含み、前記複数の第５電極は、前記第２導電部に保持され、前記複数の第５電極の１つから前記複数の第５電極の別の１つへの方向は、前記第２方向に沿い、
    前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向において、前記第２導電部は、前記第１固定導電部と前記第１導電部との間にあり、
    前記第３方向において、前記第２導電部は、前記複数の第５電極と、前記複数の第２電極と、の間にあり、
    前記複数の第１固定電極の１つは、前記複数の第５電極の前記１つと前記複数の第５電極の前記別の１つとの間にある、請求項４〜６のいずれか１つに記載のセンサ。
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