JP2017015522A - 電子部品モジュール - Google Patents
電子部品モジュール Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017015522A JP2017015522A JP2015131540A JP2015131540A JP2017015522A JP 2017015522 A JP2017015522 A JP 2017015522A JP 2015131540 A JP2015131540 A JP 2015131540A JP 2015131540 A JP2015131540 A JP 2015131540A JP 2017015522 A JP2017015522 A JP 2017015522A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chip
- package
- lower glass
- electronic component
- component module
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
Description
図1は、実施形態における電子部品モジュール10を例示する斜視図である。また、図2は、実施形態における電子部品モジュール10を例示する断面図である。なお、図1には、パッケージ200の上蓋が外された電子部品モジュール10が示されている。
図3は、実施形態におけるチップ100を例示する図である。図3(A)は、チップ100の上面図である。図3(B)は、図3(A)のA−A断面図である。なお、図3(A)では、チップ100の上ガラス110の図示が省略されている。
図7に示されるように、柱体140の下ガラス130とは反対側端部に、柱体140の軸方向に直交する方向に荷重Fpを加えた場合、柱体140の荷重負荷方向の変位量Vは、下式(1)で求めることができる。
Fp:荷重
Lp:柱体の長さ
Eg:縦弾性係数
Iz:断面二次モーメント
断面二次モーメントIzは、下式(2)で表される。
式(1)及び式(2)から、柱体140の変形量がVとなるときの荷重Fpは、下式(3)で表される。
p:柱体の間隔
αg:下ガラス(硼珪酸ガラス)の熱膨張係数
αc:パッケージ(アルミナ)の熱膨張係数
ΔT:温度変化
δg:柱体の下ガラス側端部の変位
式(3)及び式(4)から、中央からn番目の柱体140に加えられる荷重Fnは、下式(5)で表される。
Eg:ガラスの縦弾性係数
Lg:ガラスの中心から端部までの長さ
Ag:ガラスの断面積
式(7)及び式(8)から、下式(9)が得られる。
d=0.02mm :柱体の直径
Lp=0.07mm :柱体の長さ
p=0.125 :柱体の間隔
N=34 :荷重負荷方向において中央から端部までの柱体の数
αg=3.25×10−6/℃ :下ガラス(硼珪酸ガラス)の熱膨張係数
αc=7.10×10−6/℃ :パッケージ(アルミナ)の熱膨張係数
ΔT=50℃ :温度変化
tg=0.4mm :下ガラスの厚さ
wg=9mm :下ガラスの幅
Lg=4.5mm :下ガラスの中央から端部までの長さ
Ag=3.6mm2 :下ガラスの断面積
式(9)に上記した各数値を代入すると、実施例における下ガラス130の変形量である伸びδgは70.6nmとなる。
次に、チップ100の下ガラス130がパッケージ200に直接接合された比較例に係る電子部品モジュールにおいて、温度変動時の下ガラス130の変形量を求める。
αg=3.25×10−6/℃ :下ガラス(硼珪酸ガラス)の熱膨張係数
αc=7.10×10−6/℃ :パッケージ(アルミナ)の熱膨張係数
ΔT=50℃ :温度変化
ここで、下ガラス130を単位長さ縮めるのに必要な力fgは、以下の通りである。
Eg=63kN/mm2 :下ガラス(硼珪酸ガラス)の縦弾性係数
Ag=3.6mm2 :下ガラスの断面積
また、パッケージ200を単位長さ縮めるのに必要な力fcは、以下の通りである。
Ec=360kN/mm2 :パッケージ(アルミナ)の縦弾性係数
Ac=8.5mm2 :パッケージの断面積
上記したfgとfcとの比に応じてパッケージ200も変形するので、実際に下ガラス130の伸びδ0gは、以下の式(11)で表される。
100 チップ
102 電極
140 柱体
200 パッケージ
300 基板
Claims (6)
- チップと、
前記チップを収容するパッケージと、
前記チップ及び前記パッケージの一方と一体形成され、他方に接合される複数の柱体と、を有する
ことを特徴とする電子部品モジュール。 - チップと、
前記チップが実装される基板と、
前記チップ及び前記基板の一方と一体形成され、他方に接合される複数の柱体と、を有する
ことを特徴とする電子部品モジュール。 - 前記複数の柱体は、エッチングにより形成されている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の電子部品モジュール。 - 前記複数の柱体は、前記チップの中央側の柱体よりも外側の柱体の方が細い
ことを特徴とする請求項1から3の何れか一項に記載の電子部品モジュール。 - 前記複数の柱体は、少なくとも一つ以上の周囲又は内部に電極が形成されている
ことを特徴とする請求項1から4の何れか一項に記載の電子部品モジュール。 - 前記チップは、加速度センサである
ことを特徴とする請求項1から5の何れか一項に記載の電子部品モジュール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015131540A JP6520481B2 (ja) | 2015-06-30 | 2015-06-30 | 電子部品モジュール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015131540A JP6520481B2 (ja) | 2015-06-30 | 2015-06-30 | 電子部品モジュール |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017015522A true JP2017015522A (ja) | 2017-01-19 |
JP6520481B2 JP6520481B2 (ja) | 2019-05-29 |
Family
ID=57827854
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015131540A Expired - Fee Related JP6520481B2 (ja) | 2015-06-30 | 2015-06-30 | 電子部品モジュール |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6520481B2 (ja) |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11330617A (ja) * | 1998-05-15 | 1999-11-30 | Nec Corp | 光半導体素子の実装構造 |
JP2000058967A (ja) * | 1998-07-31 | 2000-02-25 | Sanyo Electric Co Ltd | 光半導体装置および光半導体セット |
JP2002237556A (ja) * | 2001-02-09 | 2002-08-23 | Mitsubishi Electric Corp | パワー半導体装置 |
JP3661528B2 (ja) * | 1999-11-08 | 2005-06-15 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2005285886A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Citizen Electronics Co Ltd | 光半導体パッケージ及びその製造方法 |
JP2007529105A (ja) * | 2003-07-16 | 2007-10-18 | 松下電器産業株式会社 | 半導体発光装置とその製造方法、照明装置および表示装置 |
JP2008258547A (ja) * | 2007-04-09 | 2008-10-23 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
US7491636B2 (en) * | 2005-07-19 | 2009-02-17 | Micron Technology, Inc. | Methods for forming flexible column die interconnects and resulting structures |
JP2009164493A (ja) * | 2008-01-09 | 2009-07-23 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 配線基板及びその製造方法並びに電子部品装置及びその製造方法 |
JP5098902B2 (ja) * | 2008-09-02 | 2012-12-12 | 富士通株式会社 | 電子部品 |
JP5114323B2 (ja) * | 2008-07-04 | 2013-01-09 | 株式会社豊田自動織機 | 半導体装置 |
JP2015220238A (ja) * | 2014-05-14 | 2015-12-07 | 日産自動車株式会社 | パワー半導体モジュール及びその製造方法 |
-
2015
- 2015-06-30 JP JP2015131540A patent/JP6520481B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11330617A (ja) * | 1998-05-15 | 1999-11-30 | Nec Corp | 光半導体素子の実装構造 |
JP2000058967A (ja) * | 1998-07-31 | 2000-02-25 | Sanyo Electric Co Ltd | 光半導体装置および光半導体セット |
JP3661528B2 (ja) * | 1999-11-08 | 2005-06-15 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2002237556A (ja) * | 2001-02-09 | 2002-08-23 | Mitsubishi Electric Corp | パワー半導体装置 |
JP2007529105A (ja) * | 2003-07-16 | 2007-10-18 | 松下電器産業株式会社 | 半導体発光装置とその製造方法、照明装置および表示装置 |
JP2005285886A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Citizen Electronics Co Ltd | 光半導体パッケージ及びその製造方法 |
US7964971B2 (en) * | 2005-07-19 | 2011-06-21 | Micron Technology, Inc. | Flexible column die interconnects and structures including same |
US7491636B2 (en) * | 2005-07-19 | 2009-02-17 | Micron Technology, Inc. | Methods for forming flexible column die interconnects and resulting structures |
JP2008258547A (ja) * | 2007-04-09 | 2008-10-23 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2009164493A (ja) * | 2008-01-09 | 2009-07-23 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 配線基板及びその製造方法並びに電子部品装置及びその製造方法 |
JP5114323B2 (ja) * | 2008-07-04 | 2013-01-09 | 株式会社豊田自動織機 | 半導体装置 |
JP5098902B2 (ja) * | 2008-09-02 | 2012-12-12 | 富士通株式会社 | 電子部品 |
JP2015220238A (ja) * | 2014-05-14 | 2015-12-07 | 日産自動車株式会社 | パワー半導体モジュール及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6520481B2 (ja) | 2019-05-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10274512B2 (en) | Microelectromechanical sensor device with reduced stress sensitivity | |
US6360605B1 (en) | Micromechanical device | |
US20150301075A1 (en) | Inertial Sensor | |
JP5990933B2 (ja) | 圧力センサパッケージの製造方法 | |
CN1964040A (zh) | 传感器块 | |
KR20170102802A (ko) | 압력 센서 칩 및 압력 센서 | |
US7540193B2 (en) | Triaxial acceleration sensor module and method of manufacturing the same | |
JP6520481B2 (ja) | 電子部品モジュール | |
JP2006078249A (ja) | 容量型半導体センサ | |
JP2008275325A (ja) | センサ装置 | |
US10302670B2 (en) | Acceleration sensor | |
JP4428210B2 (ja) | 物理量センサの実装構造 | |
JP5475946B2 (ja) | センサモジュール | |
CN213924036U (zh) | 新型mems芯片结构和电子设备 | |
JP2009175087A (ja) | 加速度センサ装置 | |
JP2008122304A (ja) | 静電容量式加速度センサ | |
CN103363967A (zh) | 振动装置 | |
KR20120100940A (ko) | 커플링 장치, 커플링 장치를 구비한 어셈블리, 및 커플링 장치를 구비한 어셈블리의 제조 방법 | |
JP5206054B2 (ja) | 容量式物理量センサ | |
JP3145979B2 (ja) | 力・加速度・磁気の検出装置 | |
JP5247605B2 (ja) | 圧力検出装置用基体および圧力検出装置 | |
US20160091526A1 (en) | Sensor | |
JP7123881B2 (ja) | センサ | |
JP2006125887A (ja) | 加速度センサ | |
JP4466344B2 (ja) | 加速度センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180416 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181127 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190117 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190205 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190305 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190402 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190415 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6520481 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |