JP7134931B2 - センサ - Google Patents
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Description
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1、図2(a)~図2(c)、図3(a)~図3(c)、及び、図4は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図1は、図2(a)~図2(c)の矢印AAからみた平面図である。図2(a)~図2(c)は、それぞれ、図1のA1-A2線、B1-B2線、及び、C1-C2線における断面図である。図3(a)~図3(c)は、それぞれ、図1のD1-D2線、E1-E2線、及び、F1-F2線における断面図である。図4は、図1のG1-G2線における断面図である。
図2(a)に示すように、第1可動構造体11は、第1可動導電部11cを含む。例えば、第1可動導電部11cは、第1方向(Z軸方向)において基体50から離れる。第1可動導電部11cと基体50との間に、間隙gc11が設けられる。図1に示すように、複数の第1可動電極11eは、第1可動導電部11cに保持される。例えば、複数の第1可動電極11eは、第1可動導電部11cに接続される。図2(a)に示すように、第1可動導電部11cの第1方向(Z軸方向)に沿う長さを第1可動導電部長さLc11とする。例えば、第1可動電極長さLe11は、第1可動導電部長さLc11よりも短い。このように、第1可動構造体11の櫛歯電極となる部分の厚さが選択的に薄くても良い。
図1に示すように、第1固定構造体21は、第1固定導電部21cを含んでも良い。第1固定導電部21cは、複数の第1固定電極21eを保持する。複数の第1固定電極21eは、第1固定導電部21cに接続される。図2(b)に示すように、基体50と第1固定導電部21cとの間に第1固定絶縁部61が設けられても良い。第1固定導電部21cは、第1固定絶縁部61を介して、基体50に固定される。
図3(a)に示すように、例えば、第2可動構造体12は、第2可動導電部12cを含む。例えば、第2可動導電部12cは、第1方向(Z軸方向)において基体50から離れる。第2可動導電部12cと基体50との間に、間隙gc12が設けられる。図1に示すように、複数の第2可動電極12eは、第2可動導電部12cに保持される。複数の第2可動電極12eは、第2可動導電部12cに接続される。図3(a)に示すように、第2可動導電部12cの第1方向(Z軸方向)に沿う長さを第2可動導電部長さLc12とする。第2可動電極長さLe12は、第2可動導電部長さLc12と実質的に同じでも良い。
図1に示すように、第2固定構造体22は、第2固定導電部22cを含んでも良い。第2固定導電部22cは、複数の第2固定電極22eを保持する。複数の第2固定電極22eは、第2固定導電部22cに接続される。図3(b)に示すように、基体50と第2固定導電部22cとの間に第2固定絶縁部62が設けられても良い。第2固定導電部22cは、第2固定絶縁部62を介して、基体50に固定される。
図5(a)~図5(f)は、第1実施形態に係るセンサにおける動作を例示する模式図である。
図5(a)~図5(c)は、複数の第1可動電極11eの1つ、及び、複数の第1固定電極21eの1つを例示している。図5(d)~図5(f)は、複数の第2可動電極12eの1つ、及び、複数の第2固定電極22eの1つを例示している。図5(a)及び図5(d)は、加速度が加わらない状態(加速度AC=0)に対応する。図5(b)及び図5(e)は、1つの向きの第1加速度g1が加わった状態に対応する。図5(c)及び図5(f)は、別の向きの第2加速度g2が加わった状態に対応する。第2加速度g2は、第1加速度g1の向きと逆の向きの成分を有する。
図6に示すように、センサ110は、検出部70を含んでも良い。検出部70は、差動回路70Dを含む。例えば、検出部70は、第1回路71及び第2回路72を含む。
図7及び図8に示すように、実施形態に係るセンサ111及び112においても、第1可動構造体11、第1固定構造体21、第2可動構造体12及び第2固定構造体22などが設けられる。例えば、これらの構造体のX-Y平面内における配置は任意である。これらの構造体には、センサ110における構造体に関して説明した構成が適用できる。センサ111及び112においても、例えば、加速度の向きに関する情報を得ることができる。例えば、高い検出能力を有するセンサを提供できる。
図9(a)~図9(c)、図10(a)及び図10(b)は、第2実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図9(a)は、図9(b)及び図9(c)の矢印AAからみた平面図である。図9(b)は、図9(a)のH1-H2線断面図である。図9(c)は、図9(a)のI1-I2線断面図である。図10(a)は、図9(a)のJ1-J2線断面図である。図10(b)は、図9(a)のK1-K2線断面図である。
図11(a)は、加速度が加わらない状態(加速度AC=0)に対応する。図11(b)は、1つの向きの第1加速度g1が加わった状態に対応する。図11(c)は、別の向きの第2加速度g2が加わった状態に対応する。第2加速度g2は、第1加速度g1の向きと逆の向きの成分を有する。
(構成1)
基体と、
複数の第1可動電極を含む第1可動構造体であって、前記基体から前記複数の第1可動電極への方向は、第1方向に沿う、前記複数の第1可動電極と前記基体との間の距離は可変であり、前記複数の第1可動電極の1つから前記複数の第1可動電極の別の1つへの方向は、前記第1方向と交差する第2方向に沿う、前記第1可動構造体と、
複数の第1固定電極を含む第1固定構造体であって、前記複数の第1固定電極の1つは、前記複数の第1可動電極の前記1つと前記複数の第1可動電極の前記別の1つとの間にある、前記第1固定構造体と、
を備え、
前記複数の第1可動電極の前記1つの前記第1方向に沿う第1可動電極長さは、前記複数の第1固定電極の前記1つの前記第1方向に沿う第1固定電極長さよりも短い、センサ。
前記複数の第1固定電極の前記1つは、第1部分領域及び第2部分領域を含み、
前記第1部分領域は、前記複数の第1可動電極の前記1つと前記第2方向で重なり、
前記第2部分領域は、前記複数の第1可動電極の前記1つと前記第2方向で重ならず、
前記基体と前記第1部分領域との間の前記第1方向に沿う第1距離は、前記基体と前記第2部分領域との間の前記第1方向に沿う第2距離とは異なる、構成1記載のセンサ。
前記第1可動電極長さは、前記第1固定電極長さの1/10以上99/100以下である、構成1または2に記載のセンサ。
前記第1可動構造体は、第1可動導電部をさらに含み、
前記第1可動導電部は、第1方向において前記基体から離れ、
前記複数の第1可動電極は、前記第1可動導電部に保持され、
前記第1可動電極長さは、前記第1可動導電部の前記第1方向に沿う第1可動導電部長さよりも短い、構成1~3のいずれか1つに記載のセンサ。
前記第1可動構造体は、第1固定部をさらに含み、
前記第1固定部は、前記基体に固定され、
前記第1可動導電部は、前記第1固定部に保持された、構成4記載のセンサ。
前記第1可動構造体は、前記第1固定部と前記第1可動導電部とを接続する第1可動接続部をさらに含み、
前記第1可動接続部は、前記第1方向において前記基体から離れ、
前記第1可動接続部及び前記第1可動導電部は、前記第2方向に沿って延び、
前記第1可動接続部の1つの端部は、前記第1固定部に固定され、
前記第1可動接続部の別の端部は、前記第1可動導電部と接続された、構成5記載のセンサ。
前記第1可動構造体は、第1可動構造部をさらに含み、
前記第1可動接続部の前記別の端部は、前記第1可動構造部とさらに接続され、
前記第1方向及び前記第2方向を含む平面と交差する第3方向に沿う前記第1可動導電部の長さは、前記第3方向に沿う前記第1可動構造部の長さとは異なる、構成6記載のセンサ。
前記第3方向に沿う前記第1可動導電部の前記長さは、前記第3方向に沿う前記第1可動構造部の前記長さよりも長い、構成7記載のセンサ。
第2可動構造体及び第2固定構造体をさらに備え、
前記第2可動構造体は、複数の第2可動電極を含み、前記複数の第2可動電極と前記基体との間の距離は可変であり、前記複数の第2可動電極の1つから前記複数の第2可動電極の別の1つへの方向は、前記第2方向に沿い、
前記第2固定構造体は、複数の第2固定電極を含み、前記複数の第2固定電極の1つは、前記複数の第2可動電極の前記1つと前記複数の第2可動電極の前記別の1つとの間にあり、
前記複数の第2固定電極の前記1つの前記第1方向に沿う第2固定電極長さは、前記複数の第2可動電極の前記1つの前記第1方向に沿う第2可動電極長さよりも短い、構成1~8のいずれか1つに記載のセンサ。
前記複数の第2可動電極の前記1つは、第3部分領域及び第4部分領域を含み、
前記第3部分領域は、前記複数の第2固定電極の前記1つと前記第2方向で重なり、
前記第4部分領域は、前記複数の第2固定電極の前記1つと前記第2方向で重ならず、
前記基体と前記第3部分領域との間の前記第1方向に沿う第3距離は、前記基体と前記第4部分領域との間の前記第1方向に沿う第4距離とは異なる、構成9記載のセンサ。
前記第2固定電極長さは、前記第2可動電極長さの1/10以上99/100以下である、構成9記載のセンサ。
第1加速度が加わったときの前記複数の第1可動電極と前記複数の第1固定電極との間の第1静電容量は、前記第1加速度が加わらないときの前記複数の第1可動電極と前記複数の第1固定電極との間の第2静電容量よりも小さく、
前記第1加速度の向きと逆の向きの成分を有する第2加速度が加わったときの前記複数の第2可動電極と前記複数の第2固定電極との間の第3静電容量は、前記第2加速度が加わらないときの前記複数の第2可動電極と前記複数の第2固定電極との間の第4静電容量よりも小さく、
前記第2加速度が加わったときの前記複数の第1可動電極と前記複数の第1固定電極との間の第5静電容量と、前記第2加速度が加わらないときの前記複数の第1可動電極と前記複数の第1固定電極との間の第6静電容量と、の差の絶対値は、前記第1静電容量と前記第2静電容量との差の絶対値よりも小さく、
前記第1加速度が加わったときの前記複数の第2可動電極と前記複数の第2固定電極との間の第7静電容量と、前記第1加速度が加わらないときの前記複数の第2可動電極と前記複数の第2固定電極との間の第8静電容量と、の差の絶対値は、前記第3静電容量と前記第4静電容量との差の絶対値よりも小さい、構成9~11のいずれか1つに記載のセンサ。
複数の第2固定電極を含む第2固定構造体をさらに備え、
前記第1可動構造体は、第1固定部、第1可動導電部、及び、複数の第2可動電極を含み、
前記第1固定部は、前記基体に固定され、
前記第1可動導電部は、前記第1固定部に保持され、
前記複数の第1可動電極及び前記複数の第2可動電極は、前記第1可動導電部に保持され、
前記複数の第2可動電極と前記基体との間の距離は可変であり、
前記複数の第2可動電極の1つから前記複数の第2可動電極の別の1つへの方向は、前記第2方向に沿い、
前記第1方向及び前記第2方向を含む平面と交差する第3方向において、前記複数の第1固定電極と、前記複数の第2固定電極との間に前記第1可動導電部があり、
前記第3方向において、前記複数の第1可動電極の少なくとも一部と、前記複数の第2可動電極の少なくとも一部と、の間に前記第1可動導電部があり、
前記複数の第2固定電極の1つは、前記複数の第2可動電極の前記1つと前記複数の第2可動電極の前記別の1つとの間にあり、
前記複数の第2固定電極の前記1つの前記第1方向に沿う第2固定電極長さは、前記複数の第2可動電極の前記1つの前記第1方向に沿う第2可動電極長さよりも短い、構成1~3のいずれか1つに記載のセンサ。
前記複数の第2可動電極の前記1つは、第3部分領域及び第4部分領域を含み、
前記第3部分領域は、前記複数の第2固定電極の前記1つと前記第2方向で重なり、
前記第4部分領域は、前記複数の第2固定電極の前記1つと前記第2方向で重ならず、
前記基体と前記第3部分領域との間の前記第1方向に沿う第3距離は、前記基体と前記第4部分領域との間の前記第1方向に沿う第4距離とは異なる、構成13記載のセンサ。
第1加速度が加わったときの前記複数の第1可動電極と前記複数の第1固定電極との間の第1静電容量は、前記第1加速度が加わらないときの前記複数の第1可動電極と前記複数の第1固定電極との間の第2静電容量よりも小さく、
前記第1加速度の向きと逆の向きの成分を有する第2加速度が加わったときの前記複数の第2可動電極と前記複数の第2固定電極との間の第3静電容量は、前記第2加速度が加わらないときの前記複数の第2可動電極と前記複数の第2固定電極との間の第4静電容量よりも小さく、
前記第2加速度が加わったときの前記複数の第1可動電極と前記複数の第1固定電極との間の第5静電容量と、前記第2加速度が加わらないときの前記複数の第1可動電極と前記複数の第1固定電極との間の第6静電容量と、の差の絶対値は、前記第1静電容量と前記第2静電容量との差の絶対値よりも小さく、
前記第1加速度が加わったときの前記複数の第2可動電極と前記複数の第2固定電極との間の第7静電容量と、前記第1加速度が加わらないときの前記複数の第2可動電極と前記複数の第2固定電極との間の第8静電容量と、の差の絶対値は、前記第3静電容量と前記第4静電容量との差の絶対値よりも小さい、構成14記載のセンサ。
前記第1可動構造体は、第1固定部及び第1可動接続部をさらに含み、
前記第1固定部は、前記基体に固定され、
第1可動接続部は、前記第1固定部と前記第1可動導電部とを接続し、
前記第1可動接続部は、前記第1方向において前記基体から離れた、構成14または15に記載のセンサ。
基体と、
複数の第1可動電極を含む第1可動構造体であって、前記基体から前記複数の第1可動電極への方向は、第1方向に沿う、前記複数の第1可動電極と前記基体との間の距離は可変であり、前記複数の第1可動電極の1つから前記複数の第1可動電極の別の1つへの方向は、前記第1方向と交差する第2方向に沿う、前記第1可動構造体と、
複数の第1固定電極を含む第1固定構造体であって、前記複数の第1固定電極の1つは、前記複数の第1可動電極の前記1つと前記複数の第1可動電極の前記別の1つとの間にある、前記第1固定構造体と、
複数の第2可動電極を含む第2可動構造体であって、前記複数の第2可動電極と前記基体との間の距離は可変であり、前記複数の第2可動電極の1つから前記複数の第2可動電極の別の1つへの方向は、前記第2方向に沿う、前記第2可動構造体と、
複数の第2固定電極を含む第2固定構造体であって、前記複数の第2固定電極の1つは、前記複数の第2可動電極の前記1つと前記複数の第2可動電極の前記別の1つとの間にある、前記第2固定構造体と、
を備え、
第1加速度が加わったときの前記複数の第1可動電極と前記複数の第1固定電極との間の第1静電容量は、前記第1加速度が加わらないときの前記複数の第1可動電極と前記複数の第1固定電極との間の第2静電容量よりも小さく、
前記第1加速度の向きと逆の向きの成分を有する第2加速度が加わったときの前記複数の第2可動電極と前記複数の第2固定電極との間の第3静電容量は、前記第2加速度が加わらないときの前記複数の第2可動電極と前記複数の第2固定電極との間の第4静電容量よりも小さく、
前記第2加速度が加わったときの前記複数の第1可動電極と前記複数の第1固定電極との間の第5静電容量と、前記第2加速度が加わらないときの前記複数の第1可動電極と前記複数の第1固定電極との間の第6静電容量と、の差の絶対値は、前記第1静電容量と前記第2静電容量との差の絶対値よりも小さく、
前記第1加速度が加わったときの前記複数の第2可動電極と前記複数の第2固定電極との間の第7静電容量と、前記第1加速度が加わらないときの前記複数の第2可動電極と前記複数の第2固定電極との間の第8静電容量と、の差の絶対値は、前記第3静電容量と前記第4静電容量との差の絶対値よりも小さい、センサ。
第1絶縁部をさらに備え、
前記第1絶縁部は、前記基体と前記第1固定部との間に設けられた、構成5~8のいずれか1つに記載のセンサ。
前記基体はシリコンを含み、
前記複数の第1可動電極及び前記複数の第1固定電極は、シリコン及び第1元素を含み、
前記第1元素は、ゲルマニウム、リン、ヒ素、アンチモン、ホウ素、ガリウム及びインジウムよりなる群から選択された少なくとも1つを含む、構成1~18のいずれか1つに記載のセンサ。
前記複数の第1可動電極と前記複数の第1固定電極との間の静電容量は、前記複数の第1可動電極と前記基体との間の前記距離の変化に応じて変化する、構成1~12のいずれか1つに記載のセンサ。
Claims (8)
- 基体と、
複数の第1可動電極を含む第1可動構造体であって、前記基体から前記複数の第1可動電極への方向は、第1方向に沿い、前記複数の第1可動電極と前記基体との間の距離は可変であり、前記複数の第1可動電極の1つから前記複数の第1可動電極の別の1つへの方向は、前記第1方向と交差する第2方向に沿う、前記第1可動構造体と、
複数の第1固定電極を含む第1固定構造体であって、前記複数の第1固定電極の1つは、前記複数の第1可動電極の前記1つと前記複数の第1可動電極の前記別の1つとの間にある、前記第1固定構造体と、
第2可動構造体及び第2固定構造体と、
差動回路と、
を備え、
前記複数の第1可動電極の前記1つの前記第1方向に沿う第1可動電極長さは、前記複数の第1固定電極の前記1つの前記第1方向に沿う第1固定電極長さよりも短く、
前記第2可動構造体は、複数の第2可動電極を含み、前記複数の第2可動電極と前記基体との間の距離は可変であり、前記複数の第2可動電極の1つから前記複数の第2可動電極の別の1つへの方向は、前記第2方向に沿い、
前記第2固定構造体は、複数の第2固定電極を含み、前記複数の第2固定電極の1つは、前記複数の第2可動電極の前記1つと前記複数の第2可動電極の前記別の1つとの間にあり、
前記複数の第2固定電極の前記1つの前記第1方向に沿う第2固定電極長さは、前記複数の第2可動電極の前記1つの前記第1方向に沿う第2可動電極長さよりも短く、
前記差動回路は、前記複数の第1可動電極と前記複数の第1固定電極の間の信号と、前記複数の第2可動電極と前記複数の第2固定電極との間の信号と、の差に応じた信号を出力可能である、センサ。 - 前記複数の第1固定電極の前記1つは、第1部分領域及び第2部分領域を含み、
前記第1部分領域は、前記複数の第1可動電極の前記1つと前記第2方向で重なり、
前記第2部分領域は、前記複数の第1可動電極の前記1つと前記第2方向で重ならず、
前記基体と前記第1部分領域との間の前記第1方向に沿う第1距離は、前記基体と前記第2部分領域との間の前記第1方向に沿う第2距離とは異なる、請求項1記載のセンサ。 - 前記第1可動電極長さは、前記第1固定電極長さの1/10以上99/100以下である、請求項1または2に記載のセンサ。
- 前記複数の第2可動電極の前記1つは、第3部分領域及び第4部分領域を含み、
前記第3部分領域は、前記複数の第2固定電極の前記1つと前記第2方向で重なり、
前記第4部分領域は、前記複数の第2固定電極の前記1つと前記第2方向で重ならず、
前記基体と前記第3部分領域との間の前記第1方向に沿う第3距離は、前記基体と前記第4部分領域との間の前記第1方向に沿う第4距離とは異なる、請求項3記載のセンサ。 - 前記第2固定電極長さは、前記第2可動電極長さの1/10以上99/100以下である、請求項4記載のセンサ。
- 基体と、
複数の第1可動電極を含む第1可動構造体であって、前記基体から前記複数の第1可動電極への方向は、第1方向に沿い、前記複数の第1可動電極と前記基体との間の距離は可変であり、前記複数の第1可動電極の1つから前記複数の第1可動電極の別の1つへの方向は、前記第1方向と交差する第2方向に沿う、前記第1可動構造体と、
複数の第1固定電極を含む第1固定構造体であって、前記複数の第1固定電極の1つは、前記複数の第1可動電極の前記1つと前記複数の第1可動電極の前記別の1つとの間にある、前記第1固定構造体と、
複数の第2固定電極を含む第2固定構造体と、
差動回路と、
を備え、
前記複数の第1可動電極の前記1つの前記第1方向に沿う第1可動電極長さは、前記複数の第1固定電極の前記1つの前記第1方向に沿う第1固定電極長さよりも短く、
前記第1可動構造体は、第1固定部、第1可動導電部、及び、複数の第2可動電極を含み、
前記第1固定部は、前記基体に固定され、
前記第1可動導電部は、前記第1固定部に保持され、
前記複数の第1可動電極及び前記複数の第2可動電極は、前記第1可動導電部に保持され、
前記複数の第2可動電極と前記基体との間の距離は可変であり、
前記複数の第2可動電極の1つから前記複数の第2可動電極の別の1つへの方向は、前記第2方向に沿い、
前記第1方向及び前記第2方向を含む平面と交差する第3方向において、前記複数の第1固定電極と、前記複数の第2固定電極との間に前記第1可動導電部があり、
前記第3方向において、前記複数の第1可動電極の少なくとも一部と、前記複数の第2可動電極の少なくとも一部と、の間に前記第1可動導電部があり、
前記複数の第2固定電極の1つは、前記複数の第2可動電極の前記1つと前記複数の第2可動電極の前記別の1つとの間にあり、
前記複数の第2固定電極の前記1つの前記第1方向に沿う第2固定電極長さは、前記複数の第2可動電極の前記1つの前記第1方向に沿う第2可動電極長さよりも短く、
前記差動回路は、前記複数の第1可動電極と前記複数の第1固定電極の間の信号と、前記複数の第2可動電極と前記複数の第2固定電極との間の信号と、の差に応じた信号を出力可能である、センサ。 - 前記複数の第2可動電極の前記1つは、第3部分領域及び第4部分領域を含み、
前記第3部分領域は、前記複数の第2固定電極の前記1つと前記第2方向で重なり、
前記第4部分領域は、前記複数の第2固定電極の前記1つと前記第2方向で重ならず、
前記基体と前記第3部分領域との間の前記第1方向に沿う第3距離は、前記基体と前記第4部分領域との間の前記第1方向に沿う第4距離とは異なる、請求項6記載のセンサ。 - 基体と、
複数の第1可動電極を含む第1可動構造体であって、前記基体から前記複数の第1可動電極への方向は、第1方向に沿い、前記複数の第1可動電極と前記基体との間の距離は可変であり、前記複数の第1可動電極の1つから前記複数の第1可動電極の別の1つへの方向は、前記第1方向と交差する第2方向に沿う、前記第1可動構造体と、
複数の第1固定電極を含む第1固定構造体であって、前記複数の第1固定電極の1つは、前記複数の第1可動電極の前記1つと前記複数の第1可動電極の前記別の1つとの間にある、前記第1固定構造体と、
複数の第2可動電極を含む第2可動構造体であって、前記複数の第2可動電極と前記基体との間の距離は可変であり、前記複数の第2可動電極の1つから前記複数の第2可動電極の別の1つへの方向は、前記第2方向に沿う、前記第2可動構造体と、
複数の第2固定電極を含む第2固定構造体であって、前記複数の第2固定電極の1つは、前記複数の第2可動電極の前記1つと前記複数の第2可動電極の前記別の1つとの間にある、前記第2固定構造体と、
差動回路と、
を備え、
第1加速度が加わったときの前記複数の第1可動電極と前記複数の第1固定電極との間の第1静電容量は、前記第1加速度が加わらないときの前記複数の第1可動電極と前記複数の第1固定電極との間の第2静電容量よりも小さく、
前記第1加速度の向きと逆の向きの成分を有する第2加速度が加わったときの前記複数の第2可動電極と前記複数の第2固定電極との間の第3静電容量は、前記第2加速度が加わらないときの前記複数の第2可動電極と前記複数の第2固定電極との間の第4静電容量よりも小さく、
前記第2加速度が加わったときの前記複数の第1可動電極と前記複数の第1固定電極との間の第5静電容量と、前記第2加速度が加わらないときの前記複数の第1可動電極と前記複数の第1固定電極との間の第6静電容量と、の差の絶対値は、前記第1静電容量と前記第2静電容量との差の絶対値よりも小さく、
前記第1加速度が加わったときの前記複数の第2可動電極と前記複数の第2固定電極との間の第7静電容量と、前記第1加速度が加わらないときの前記複数の第2可動電極と前記複数の第2固定電極との間の第8静電容量と、の差の絶対値は、前記第3静電容量と前記第4静電容量との差の絶対値よりも小さく、
前記差動回路は、前記複数の第1可動電極と前記複数の第1固定電極の間の信号と、前記複数の第2可動電極と前記複数の第2固定電極との間の信号と、の差に応じた信号を出力可能である、センサ。
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