JP2021013132A - 振動素子、振動子、電子機器、及び移動体 - Google Patents
振動素子、振動子、電子機器、及び移動体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021013132A JP2021013132A JP2019127465A JP2019127465A JP2021013132A JP 2021013132 A JP2021013132 A JP 2021013132A JP 2019127465 A JP2019127465 A JP 2019127465A JP 2019127465 A JP2019127465 A JP 2019127465A JP 2021013132 A JP2021013132 A JP 2021013132A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- weight portion
- vibrating
- vibrating element
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 19
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 17
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 17
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 11
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 8
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 8
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 7
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 5
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- XQUPVDVFXZDTLT-UHFFFAOYSA-N 1-[4-[[4-(2,5-dioxopyrrol-1-yl)phenyl]methyl]phenyl]pyrrole-2,5-dione Chemical compound O=C1C=CC(=O)N1C(C=C1)=CC=C1CC1=CC=C(N2C(C=CC2=O)=O)C=C1 XQUPVDVFXZDTLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 description 1
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001020 Au alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000599 Cr alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N Glucose Natural products OC[C@H]1OC(O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]1O WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N 0.000 description 1
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 1
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 1
- 239000000788 chromium alloy Substances 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011231 conductive filler Substances 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000010006 flight Effects 0.000 description 1
- 239000008103 glucose Substances 0.000 description 1
- 239000003353 gold alloy Substances 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003192 poly(bis maleimide) Polymers 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N selanylidenegallium;selenium Chemical compound [Se].[Se]=[Ga].[Se]=[Ga] VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/19—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator consisting of quartz
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/10—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of mechanical energy
- B06B1/12—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of mechanical energy operating with systems involving reciprocating masses
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02007—Details of bulk acoustic wave devices
- H03H9/02157—Dimensional parameters, e.g. ratio between two dimension parameters, length, width or thickness
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/0504—Holders; Supports for bulk acoustic wave devices
- H03H9/0509—Holders; Supports for bulk acoustic wave devices consisting of adhesive elements
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1014—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device
- H03H9/1021—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device the BAW device being of the cantilever type
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
【課題】Ｑ値の高い振動素子を提供すること。【解決手段】振動素子１００は、基部１３０と、基部１３０から第１方向に延出し第２方向に並ぶ第１振動腕１１０及び第２振動腕１２０と、を備える振動素子１００であって、第１振動腕１１０は、基部１３０から延出する第１腕部１１１と、第１腕部１１１の先端に接続されている第１錘部１１２とを有し、第２振動腕１２０は、基部１３０から延出する第２腕部１２１と、第２腕部１２１の先端に接続されている第２錘部１２２とを有し、第１腕部１１１の幅の中心を通る第１仮想中心線に対して、第１錘部１１２の第２振動腕１２０側の質量をＭ１、第１錘部１１２の第２振動腕１２０と逆側の質量をＭ２とし、第２腕部１２１の幅の中心を通る第２仮想中心線に対して、第２錘部１２２の第１振動腕１１０側の質量をＭ１、第２錘部１２２の第１振動腕１１０と逆側の質量をＭ２としたとき、０．９５２＜Ｍ２／Ｍ１＜１．０００を満たすことを特徴とする。【選択図】図１
Description
本発明は、振動素子、振動子、電子機器、及び移動体に関する。
特許文献１には、棒状の２本の足部と、２本の足部の一方の端部を結合する基部と、２本の足部の他方の端部のそれぞれに結合された錘部とからなり、同一の厚みで一体に構成された振動子において、２個の錘部の重心間距離が２本の足部の重心間距離よりも短い振動子が開示されている。
特許文献１に記載の振動素子によれば、２個の錘部としての第１、第２錘部の重心間距離を、２本の足部としての第１、第２振動腕の重心間距離よりも小さくすることにより、Ｑ値が高く振動漏れの少ない振動素子が実現できるとある。しかしながら、重心間距離やＱ値については、具体的な数値の開示も示唆もされていないため、この構成によりＱ値の高い振動素子を実現することが困難であった。
振動素子は、基部と、前記基部から第１方向に延出し前記第１方向と交差する第２方向に並ぶ第１振動腕及び第２振動腕と、を備える振動素子であって、前記第１振動腕は、前記基部から延出する第１腕部と、前記第１腕部の先端に接続されている第１錘部とを有し、前記第２振動腕は、前記基部から延出する第２腕部と、前記第２腕部の先端に接続されている第２錘部とを有し、前記第２方向における前記第１腕部の幅の中心を通る第１仮想中心線に対して、前記第１錘部の前記第２振動腕側の質量をＭ１、前記第１錘部の前記第２振動腕と逆側の質量をＭ２とし、前記第２方向における前記第２腕部の幅の中心を通る第２仮想中心線に対して、前記第２錘部の前記第１振動腕側の質量をＭ１、前記第２錘部の前記第１振動腕と逆側の質量をＭ２としたとき、０．９５２＜Ｍ２／Ｍ１＜１．０００を満たすことを特徴とする。
上記の振動素子は、前記第１錘部は、前記第１腕部より前記第２方向の幅が広く、前記第２錘部は、前記第２腕部より前記第２方向の幅が広く、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面において、前記第１仮想中心線に対して、前記第１錘部の前記第２振動腕側の面積をＳ１、前記第１錘部の前記第２振動腕と逆側の面積をＳ２とし、前記第２仮想中心線に対して、前記第２錘部の前記第１振動腕側の面積をＳ１、前記第２錘部の前記第１振動腕と逆側の面積をＳ２としたとき、０．９５２＜Ｓ２／Ｓ１＜１．０００を満たすことが好ましい。
上記の振動素子は、０．９５７＜Ｍ２／Ｍ１＜０．９９１を満たすことが好ましい。
上記の振動素子は、０．９５７＜Ｓ２／Ｓ１＜０．９９１を満たすことが好ましい。
上記の振動素子は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面視において、前記第１錘部及び前記第２錘部は矩形状をなし、前記第１錘部における、前記第１腕部の前記先端から離れた側かつ前記第２錘部から離れた側の角部が面取りされ、前記第２錘部における、前記第２腕部の前記先端から離れた側かつ前記第１錘部から離れた側の角部が面取りされていることが好ましい。
上記の振動素子において、前記第１錘部及び前記第２錘部の少なくとも一方の表面には、金属部材を含むことが好ましい。
振動子は、上記の振動素子と、前記振動素子を収納するパッケージと、を備えることを特徴とする。
電子機器は、上記の振動素子を備えることを特徴とする。
移動体は、上記の振動素子を備えることを特徴とする。
１．実施形態１
図１は、実施形態１に係る振動子の構成を示す平面図である。図２は、図１におけるＡ−Ａ線での断面図である。図３は、振動素子の第１錘部及び第２錘部を拡大して示す平面図である。図４は、錘部の質量比とＱ値との関係を説明するグラフである。なお、以下の図では、必要に応じて、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸を図示しており、各矢印の先端側を「プラス側」、基端側を「マイナス側」とする。また、Ｚ軸に沿う両方向は上下方向でありプラス側を「下」、マイナス側を「上」ともいう。また、第１方向は、Ｙ軸に対応し、第２方向は、Ｘ軸に対応する。
図１は、実施形態１に係る振動子の構成を示す平面図である。図２は、図１におけるＡ−Ａ線での断面図である。図３は、振動素子の第１錘部及び第２錘部を拡大して示す平面図である。図４は、錘部の質量比とＱ値との関係を説明するグラフである。なお、以下の図では、必要に応じて、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸を図示しており、各矢印の先端側を「プラス側」、基端側を「マイナス側」とする。また、Ｚ軸に沿う両方向は上下方向でありプラス側を「下」、マイナス側を「上」ともいう。また、第１方向は、Ｙ軸に対応し、第２方向は、Ｘ軸に対応する。
図１及び図２に示すように、振動子１は、振動素子１００と、振動素子１００を収納するパッケージ１０と、を有している。
１−１．パッケージ
パッケージ１０は、上面に開放する凹部２１を有する箱状のベース２０と、凹部２１の開口を塞ぐようにベース２０に接合されている板状のリッド３０とを有している。Ｘ軸及びＹ軸を含む平面視にて、ベース２０の凹部２１、すなわちベース２０の内壁は、ベース２０の強度を向上させるために、角丸長方形状を成している。このようなパッケージ１０は、凹部２１がリッド３０にて塞がれることにより形成された収納空間を有しており、この収納空間に振動素子１００が気密的に収納されている。また、凹部２１には、段差部２２が設けられており、振動素子１００は、例えば、エポキシ系、シリコン系、ビスマレイミド系、アクリル系の樹脂に導電性フィラーを混合した導電性接着剤４０を介して段差部２２に固定されている。
パッケージ１０は、上面に開放する凹部２１を有する箱状のベース２０と、凹部２１の開口を塞ぐようにベース２０に接合されている板状のリッド３０とを有している。Ｘ軸及びＹ軸を含む平面視にて、ベース２０の凹部２１、すなわちベース２０の内壁は、ベース２０の強度を向上させるために、角丸長方形状を成している。このようなパッケージ１０は、凹部２１がリッド３０にて塞がれることにより形成された収納空間を有しており、この収納空間に振動素子１００が気密的に収納されている。また、凹部２１には、段差部２２が設けられており、振動素子１００は、例えば、エポキシ系、シリコン系、ビスマレイミド系、アクリル系の樹脂に導電性フィラーを混合した導電性接着剤４０を介して段差部２２に固定されている。
なお、収納空間内は、減圧状態又は真空状態となっていてもよいし、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスが封入されていてもよい。これにより、振動素子１００の振動特性が向上する。
ベース２０の構成材料としては、特に限定されないが、酸化アルミニウム等の各種セラミックスを用いることができる。また、リッド３０の構成材料としては、特に限定されないが、ベース２０の構成材料と線膨張係数が近似する部材であると良い。例えば、ベース２０の構成材料を前述のようなセラミックスとした場合には、コバール等の合金とするのが好ましい。なお、ベース２０とリッド３０の接合は、特に限定されず、例えば、接着剤を介して接合してもよいし、シーム溶接や加熱溶接のように金属を溶融させること等により接合してもよい。
また、ベース２０の段差部２２には、接続端子２３，２４が形成されている。振動素子１００は、導電性接着剤４０を介して接続端子２３，２４と電気的に接続されている。接続端子２３，２４は、ベース２０を貫通する貫通電極などを介してベース２０の底面に形成された外部端子に電気的に接続されている。
接続端子２３，２４、貫通電極及び外部端子の構成としては、それぞれ、導電性を有していれば、特に限定されないが、例えば、クロム（Ｃｒ）、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）などのメタライズ層に、ニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）などの各被膜を積層した金属被膜で構成することができる。
１−２．振動素子
振動素子１００は、Ｚカット水晶板と、Ｚカット水晶板上に形成された電極とで構成されている。これにより、振動素子１００は、優れた振動特性を発揮することができる。Ｚカット水晶板とは、水晶の光学軸であるＺ軸を厚さ方向とする水晶基板である。なお、水晶のＺ軸は、振動素子１００の厚さ方向と一致しているのが好ましいが、厚さ方向に対して若干傾いていてもよい。若干とは、１５°未満程度を意味する。
振動素子１００は、Ｚカット水晶板と、Ｚカット水晶板上に形成された電極とで構成されている。これにより、振動素子１００は、優れた振動特性を発揮することができる。Ｚカット水晶板とは、水晶の光学軸であるＺ軸を厚さ方向とする水晶基板である。なお、水晶のＺ軸は、振動素子１００の厚さ方向と一致しているのが好ましいが、厚さ方向に対して若干傾いていてもよい。若干とは、１５°未満程度を意味する。
振動素子１００は、基部１３０と、基部１３０からＹ軸のマイナス側に延出し、Ｘ軸に沿って並ぶ第１振動腕１１０及び第２振動腕１２０と、を有している。基部１３０は、Ｘ軸及びＹ軸に平行な平面であるＸＹ平面に広がり、Ｚ軸を厚さ方向とする板状をなしている。基部１３０は、Ｘ軸及びＹ軸を含む平面視で、基部１３０のＹ軸に沿う方向の途中の部分がくびれた形状をなしている。すなわち、基部１３０は、第１、第２振動腕１１０，１２０が延出している第１基部１３１と、第１基部１３１に対して第１、第２振動腕１１０，１２０とは反対側に設けられた第２基部１３３と、第１基部１３１と第２基部１３３とを連結する連結部１３２と、を含んでいる。第２基部１３３のＹ軸に沿うプラス側の両角部は、ベース２０の内壁に倣って面取りされている。第２基部１３３は、前述した導電性接着剤４０を介してパッケージ１０の接続端子２３，２４に固定されている。連結部１３２は、第１基部１３１よりもＸ軸に沿う幅方向の幅が小さい。これにより、基部１３０のＹ軸に沿った長さを小さくしつつ、振動漏れを小さくすることができる。
第１振動腕１１０は、基部１３０から延出する第１腕部１１１と、第１腕部１１１の先端に接続されている第１錘部１１２と、を有している。第２振動腕１２０は、基部１３０から延出する第２腕部１２１と、第２腕部１２１の先端に接続されている第２錘部１２２と、を有している。第１、第２振動腕１１０，１２０は、Ｙ軸に沿って互いに平行に構成されている。第１、第２錘部１１２，１２２のＸ軸に沿う幅は、第１、第２腕部１１１，１２１のＸ軸に沿う幅よりも広い。これにより、振動素子１００における振動周波数の低周波数化を図ったり、第１、第２振動腕１１０，１２０のＹ軸に沿う方向の小型化を図ったりすることができる。
第１振動腕１１０は、ＸＹ平面で構成された一対の主面に対して開放しているとともにＹ軸に沿って延在している１対の有底の溝１１７を有している。第１振動腕１１０は、１対の溝１１７が形成されている部分において略Ｈ型の横断面形状をなしている。第２振動腕１２０は、ＸＹ平面で構成された一対の主面に対して開放しているとともにＹ軸に沿って延在している１対の有底の溝１２７を有している。第２振動腕１２０は、１対の溝１２７が形成されている部分において略Ｈ型の横断面形状をなしている。このような溝１１７，１２７を形成することにより、熱弾性損失を低減することができる。
図示は省略するが、第１振動腕１１０の１対の溝１１７の内面には、１対の第１駆動用電極が形成され、第１振動腕１１０の幅方向における１対の側面には、１対の第２駆動用電極が形成されている。第２振動腕１２０の１対の溝１２７の内面には、１対の第２駆動用電極が形成され、第２振動腕１２０の幅方向における１対の側面には、１対の第１駆動用電極が形成されている。このように形成された第１駆動用電極と第２駆動用電極との間に交番電圧を印加すると、第１、第２振動腕１１０，１２０が互いに接近と離間を繰り返すようにＸＹ平面に沿う面内の両方向に所定の周波数で振動する。
第１、第２駆動用電極の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、ニッケル（Ｎｉ）、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、チタン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等の金属材料、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）等の導電材料、又はこれらの導電材料が積層された構成により形成することができる。
１−３．錘部の構成
次に、第１、第２錘部１１２，１２２の構成について説明する。
次に、第１、第２錘部１１２，１２２の構成について説明する。
図１及び図３に示すように、第１振動腕１１０の第１錘部１１２は、Ｙ軸に長い矩形状をなし、第１錘部１１２のＸ軸に沿う幅は、第１腕部１１１のＸ軸に沿う幅よりも広い。平面視において、第１錘部１１２は、第２錘部１２２から離れる側、かつ第１錘部における第１腕部の先端から離れる側の角部が面取りされている。本実施形態では、第１錘部１１２には、Ｘ軸に沿うマイナス側及びＹ軸に沿うマイナス側とで形成される角部に、第１の面取部１１３、第２の面取部１１４が形成されている。なお、第１錘部１１２は、さらに、Ｘ軸に沿うマイナス側及びＹ軸に沿うプラス側とで形成される角部に面取りのある構成であってもよい。
第２振動腕１２０の第２錘部１２２は、Ｙ軸に長い矩形状をなし、第２錘部１２２のＸ軸に沿う幅は、第２腕部１２１のＸ軸に沿う幅よりも広い。平面視において、第２錘部１２２は、第１錘部１１２から離れる側、かつ第２錘部における第２腕部の先端から離れる側の角部が面取りされている。本実施形態では、第２錘部１２２には、Ｘ軸に沿うプラス側及びＹ軸に沿うマイナス側とで形成される角部に、第１の面取部１２３、第２の面取部１２４が形成されている。なお、第２錘部１２２は、さらに、Ｘ軸に沿うプラス側及びＹ軸に沿うプラス側とで形成される角部に面取りのある構成であってもよい。
第１の面取部１１３，１２３は、Ｘ軸とでなす内角が略３０°になるように形成され、第２の面取部１１４，１２４は、Ｘ軸とでなす内角が略６０°になるように形成されている。第１の面取部１１３，１２３及び第２の面取部１１４，１２４は、水晶の結晶面に沿っているので、角部を好適に面取りすることができる。第１の面取部１１３，１２３及び第２の面取部１１４，１２４によって、第１錘部１１２及び第２錘部１２２をベース２０の内壁に倣って面取りすることができる。振動素子１００の四隅は、ベース２０の内壁の形状に沿うように面取りされているので、面取りのされていない振動素子よりも小型なパッケージに実装することができる。本実施形態では、１つの角部を２つの面取部で形成する構成を示したが、１つの面取部や３つ以上の面取部で面取りした構成や、曲線状に面取りした構成であってもよい。
第１錘部１１２は、Ｘ軸及びＹ軸を含む平面視において、第１の領域１１５と第２の領域１１６とで構成されている。第１の領域１１５は、Ｘ軸に沿う方向における第１腕部１１１の幅の中心を通る第１仮想中心線ＣＬ１に対して、第１錘部１１２の第２振動腕１２０側の領域である。第２の領域１１６は、第１仮想中心線ＣＬ１に対して、第１錘部１１２の第２振動腕１２０と逆側の領域である。
第２錘部１２２は、Ｘ軸及びＹ軸を含む平面視において、第１の領域１２５と第２の領域１２６とで構成されている。第１の領域１２５は、Ｘ軸に沿う方向における第２腕部１２１の幅の中心を通る第２仮想中心線ＣＬ２に対して、第２錘部１２２の第１振動腕１１０側の領域である。第２の領域１２６は、第２仮想中心線ＣＬ２に対して、第２錘部１２２の第１振動腕１１０と逆側の領域である。
第１の領域１１５，１２５の質量を第１の質量Ｍ１とし、第２の領域１１６，１２６の質量を第２の質量Ｍ２としたとき、第１錘部１１２の第１の領域１１５と第２の領域１１６との質量比Ｍ２／Ｍ１、及び第２錘部１２２の第１の領域１２５と第２の領域１２６との質量比Ｍ２／Ｍ１は、０．９５２＜Ｍ２／Ｍ１＜１．０００を満たすように構成されている。
図４は、質量比Ｍ２／Ｍ１と振動素子１００の振動漏れのみを考慮したＱ値（以下、単にＱ値という）との関係を示している。図４の縦軸は振動素子１００のＱ値を表し、横軸は質量比Ｍ２／Ｍ１を表している。なお、図４のＱ値は、質量比Ｍ２／Ｍ１＝１の時のＱ値で規格化した値である。図４に示すように、質量比Ｍ２／Ｍ１が０．９５２を超え、１．０００未満である振動素子１００は、質量比Ｍ２／Ｍ１が１．０００の振動素子、すなわち第１錘部１１２の重心と第１仮想中心線ＣＬ１とが一致し、かつ、第２錘部１２２の重心と第２仮想中心線ＣＬ２とが一致している振動素子よりも高いＱ値を得ることができる。
さらには、第１錘部１１２の第１の領域１１５と第２の領域１１６との質量比Ｍ２／Ｍ１、及び第２錘部１２２の第１の領域１２５と第２の領域１２６との質量比Ｍ２／Ｍ１は、０．９５７＜Ｍ２／Ｍ１＜０．９９１を満たすように構成されていることが好ましい。図４に示すように、質量比Ｍ２／Ｍ１が０．９５７を超え、０．９９１未満である振動素子１００は、質量比Ｍ２／Ｍ１が１．０００の振動素子よりも１０％以上高いＱ値を得ることができる。
ここで、振動素子１００をＸ軸及びＹ軸を含む平面で平面視したときの一対の主面のうちの少なくとも一方の主面において、第１の領域１１５，１２５の面積を第１の面積Ｓ１とし、第２の領域１１６，１２６の面積を第２の面積Ｓ２とする。本実施形態の振動素子１００は、Ｚ軸に沿う厚さが略均一な水晶基板で形成されているので、第１錘部１１２及び第２錘部１２２の質量比Ｍ２／Ｍ１は、面積比Ｓ２／Ｓ１と実効的に同一であると言える。
したがって、第１錘部１１２及び第２錘部１２２の単位面積当たりの質量が同じ場合、第１錘部１１２の第１の領域１１５と第２の領域１１６との面積比Ｓ２／Ｓ１、及び第２錘部１２２の第１の領域１２５と第２の領域１２６との面積比Ｓ２／Ｓ１は、０．９５２＜Ｓ２／Ｓ１＜１．０００を満たすように構成されていると言え、上述と同様の効果を奏することができる。
また、第１錘部１１２の第１の領域１１５と第２の領域１１６との面積比Ｓ２／Ｓ１、及び第２錘部１２２の第１の領域１２５と第２の領域１２６との面積比Ｓ２／Ｓ１は、０．９５７＜Ｓ２／Ｓ１＜０．９９１を満たすように構成されていることが好ましいと言え、上述と同様の効果を奏することができる。
本実施形態によれば、以下の効果を得ることができる。
振動素子１００は、第１錘部１１２を構成する第１の領域１１５と第２の領域１１６との質量比Ｍ２／Ｍ１、及び第２錘部１２２を構成する第１の領域１２５と第２の領域１２６との質量比Ｍ２／Ｍ１が０．９５２＜Ｍ２／Ｍ１＜１．０００を満たすように構成されている。発明者は、質量比Ｍ２／Ｍ１が０．９５２＜Ｍ２／Ｍ１＜１．０００の振動素子１００は、質量比Ｍ２／Ｍ１が等しい振動素子よりもＱ値が向上することを見出した。したがって、Ｑ値の高い振動素子１００を提供することができる。
振動素子１００は、第１錘部１１２を構成する第１の領域１１５と第２の領域１１６との質量比Ｍ２／Ｍ１、及び第２錘部１２２を構成する第１の領域１２５と第２の領域１２６との質量比Ｍ２／Ｍ１が０．９５２＜Ｍ２／Ｍ１＜１．０００を満たすように構成されている。発明者は、質量比Ｍ２／Ｍ１が０．９５２＜Ｍ２／Ｍ１＜１．０００の振動素子１００は、質量比Ｍ２／Ｍ１が等しい振動素子よりもＱ値が向上することを見出した。したがって、Ｑ値の高い振動素子１００を提供することができる。
振動素子１００の第１錘部１１２を構成する第１の領域１１５と第２の領域１１６と、及び第２錘部１２２を構成する第１の領域１２５と第２の領域１２６とは、厚さが略均一な水晶基板で形成されている。振動素子１００は、第１の領域１１５と第２の領域１１６との面積比Ｓ２／Ｓ１、及び第１の領域１２５と第２の領域１２６との面積比Ｓ２／Ｓ１が０．９５２＜Ｓ２／Ｓ１＜１．０００を満たすように構成されている。発明者は、面積比Ｓ２／Ｓ１が０．９５２＜Ｓ２／Ｓ１＜１．０００の振動素子１００は、面積比Ｓ２／Ｓ１が等しい振動素子よりもＱ値が向上することを見出した。したがって、Ｑ値の高い振動素子１００を提供することができる。
振動素子１００は、第１錘部１１２を構成する第１の領域１１５と第２の領域１１６との質量比Ｍ２／Ｍ１、及び第２錘部１２２を構成する第１の領域１２５と第２の領域１２６との質量比Ｍ２／Ｍ１が０．９５７＜Ｍ２／Ｍ１＜０．９９１を満たすように構成されている。発明者は、質量比Ｍ２／Ｍ１が０．９５７＜Ｍ２／Ｍ１＜０．９９１の振動素子１００は、質量比Ｍ２／Ｍ１が等しい振動素子よりもＱ値が１０％以上向上することを見出した。したがって、さらにＱ値の高い振動素子１００を提供することができる。
振動素子１００の第１錘部１１２を構成する第１の領域１１５と第２の領域１１６と、及び第２錘部１２２を構成する第１の領域１２５と第２の領域１２６とは、厚さが略均一な水晶基板で形成されている。振動素子１００は、第１の領域１１５と第２の領域１１６との面積比Ｓ２／Ｓ１、及び第１の領域１２５と第２の領域１２６との面積比Ｓ２／Ｓ１が０．９５７＜Ｓ２／Ｓ１＜０．９９１を満たすように構成されている。発明者は、面積比Ｓ２／Ｓ１が０．９５７＜Ｓ２／Ｓ１＜０．９９１の振動素子１００は、面積比Ｓ２／Ｓ１が等しい振動素子よりもＱ値が１０％以上向上することを見出した。したがって、さらにＱ値の高い振動素子１００を提供することができる。
振動素子１００は、第１錘部１１２における、前記第１腕部１１１の先端から離れた側かつ第２錘部１２２から離れた側の角部、及び第２錘部１２２における、第２腕部１２１の先端から離れた側かつ第１錘部１１２から離れた側の角部が面取りされることにより、質量比Ｍ２／Ｍ１が０．９５２＜Ｍ２／Ｍ１＜１．０００を満たすように構成されているので、Ｑ値の高い振動素子１００を提供することができる。また、第１錘部１１２及び第２錘部１２２をこのように面取りすることで、振動素子１００とパッケージ１０との間の間隔を十分に確保することもできるため、振動素子１００とパッケージ１０とが接触することで振動素子１００が破損してしまう可能性を低減することもできる。
振動子１は、第１錘部１１２における、前記第１腕部１１１の先端から離れた側かつ第２錘部１２２から離れた側の角部、及び第２錘部１２２における、第２腕部１２１の先端から離れた側かつ第１錘部１１２から離れた側の角部が面取りされることにより、面積比Ｓ２／Ｓ１が０．９５２＜Ｓ２／Ｓ１＜１．０００を満たすように構成された振動素子１００を備えているので、Ｑ値の高い振動子１を提供することができる。
実施形態１の変形例を以下に述べる。
以下の変形例は、上記実施形態１における第１錘部１１２及び第２錘部１２２の構成が異なっていること以外、実施形態１で説明した振動素子１００と同じである。なお、第２錘部は、第１錘部とＹ軸に関して線対称の構成であるので、その説明を省略する。また、以下の説明で使用する図では、実施形態１と同一の構成部位については、同一の番号を附し、重複する説明は省略する。
以下の変形例は、上記実施形態１における第１錘部１１２及び第２錘部１２２の構成が異なっていること以外、実施形態１で説明した振動素子１００と同じである。なお、第２錘部は、第１錘部とＹ軸に関して線対称の構成であるので、その説明を省略する。また、以下の説明で使用する図では、実施形態１と同一の構成部位については、同一の番号を附し、重複する説明は省略する。
２．変形例１
図５は、変形例１に係る振動素子の第１錘部を拡大して示す平面図である。
振動素子２００は、基部１３０と、基部１３０からＹ軸のマイナス側に延出し、Ｘ軸に沿って並ぶ第１振動腕２１０及び図示しない第２振動腕と、を有している。第１振動腕２１０は、基部１３０から延出する第１腕部１１１と、第１腕部１１１の先端に接続されている第１錘部２１２と、を有している。第１錘部２１２は、Ｙ軸に沿って長い矩形状をなしている。第１錘部２１２のＺ軸に沿う厚さは、略均一である。第１錘部２１２のＸ軸に沿う幅は、第１腕部１１１のＸ軸に沿う幅よりも広い。
図５は、変形例１に係る振動素子の第１錘部を拡大して示す平面図である。
振動素子２００は、基部１３０と、基部１３０からＹ軸のマイナス側に延出し、Ｘ軸に沿って並ぶ第１振動腕２１０及び図示しない第２振動腕と、を有している。第１振動腕２１０は、基部１３０から延出する第１腕部１１１と、第１腕部１１１の先端に接続されている第１錘部２１２と、を有している。第１錘部２１２は、Ｙ軸に沿って長い矩形状をなしている。第１錘部２１２のＺ軸に沿う厚さは、略均一である。第１錘部２１２のＸ軸に沿う幅は、第１腕部１１１のＸ軸に沿う幅よりも広い。
第１錘部２１２は、Ｘ軸及びＹ軸を含む平面視において、第１の領域２１５と第２の領域２１６とで構成されている。第１の領域２１５は、Ｘ軸に沿う方向における第１腕部１１１の幅の第１仮想中心線ＣＬ１に対して、第１錘部２１２の第２振動腕側の領域である。第２の領域２１６は、第１仮想中心線ＣＬ１に対して、第１錘部２１２の第２振動腕と逆側の領域である。第１の領域２１５のＸ軸に沿う幅Ｗ１は、第２の領域２１６のＸ軸に沿う幅Ｗ２よりも広い。
第１の領域２１５の質量は第１の質量Ｍ１であり、第２の領域２１６の質量は第２の質量Ｍ２である。また、第１の領域２１５の面積は第１の面積Ｓ１であり、第２の領域２１６の面積は第２の面積Ｓ２である。このように、第１錘部２１２は、第１の領域２１５の幅Ｗ１と第２の領域２１６の幅Ｗ２とを異ならせることにより、質量比Ｍ２／Ｍ１が０．９５２＜Ｍ２／Ｍ１＜１．０００を満たすように構成されている。また、第１錘部２１２の面積比Ｓ２／Ｓ１が０．９５２＜Ｓ２／Ｓ１＜１．０００を満たすように構成されている。これにより、実施形態１と同様にＱ値の高い振動素子２００を得ることができる。
３．変形例２
図６は、変形例２に係る振動素子の第１錘部を拡大して示す平面図である。図７は、図６におけるＢ−Ｂ線での断面図である。
振動素子３００は、基部１３０と、基部１３０からＹ軸のマイナス側に延出し、Ｘ軸に沿って並ぶ第１振動腕３１０及び図示しない第２振動腕と、を有している。第１振動腕３１０は、基部１３０から延出する第１腕部１１１と、第１腕部１１１の先端に接続されている第１錘部３１２と、を有している。第１錘部３１２は、Ｙ軸に沿って長い矩形状をなしている。第１錘部３１２のＸ軸に沿う幅は、第１腕部１１１のＸ軸に沿う幅よりも広く、第１錘部３１２は、Ｘ軸及びＹ軸を含む平面視において、Ｘ軸に沿う方向における第１腕部１１１の幅の中心を通る第１仮想中心線ＣＬ１に関して線対称に構成されている。
図６は、変形例２に係る振動素子の第１錘部を拡大して示す平面図である。図７は、図６におけるＢ−Ｂ線での断面図である。
振動素子３００は、基部１３０と、基部１３０からＹ軸のマイナス側に延出し、Ｘ軸に沿って並ぶ第１振動腕３１０及び図示しない第２振動腕と、を有している。第１振動腕３１０は、基部１３０から延出する第１腕部１１１と、第１腕部１１１の先端に接続されている第１錘部３１２と、を有している。第１錘部３１２は、Ｙ軸に沿って長い矩形状をなしている。第１錘部３１２のＸ軸に沿う幅は、第１腕部１１１のＸ軸に沿う幅よりも広く、第１錘部３１２は、Ｘ軸及びＹ軸を含む平面視において、Ｘ軸に沿う方向における第１腕部１１１の幅の中心を通る第１仮想中心線ＣＬ１に関して線対称に構成されている。
第１錘部３１２は、平面視において、第１の領域３１５と第２の領域３１６とで構成されている。第１の領域３１５は、第１仮想中心線ＣＬ１に対して、第１錘部３１２の第２振動腕側の領域である。第２の領域３１６は、第１仮想中心線ＣＬ１に対して、第１錘部３１２の第２振動腕と逆側の領域である。
第１錘部３１２の表面には、金属部材３１８が含まれている。詳しくは、第１の領域３１５及び第２の領域３１６は、Ｚ軸に沿う厚さが略均一な水晶基板で形成されている。本変形例では、第１錘部３１２は、第１の領域３１５の上面に金属部材３１８を形成することで、質量比Ｍ２／Ｍ１が０．９５２＜Ｍ２／Ｍ１＜１．０００を満たすように構成されている。これにより、実施形態１と同様にＱ値の高い振動素子３００を得ることができる。
金属部材３１８としては、上述した第１、第２駆動用電極の金属材料などを用いることができる。なお、本変形例では、第１の領域３１５に金属部材３１８が形成された構成を例示したが、第１の領域３１５及び第２の領域３１６に金属部材３１８が形成され、第１の領域３１５の金属部材３１８の質量が、第２の領域３１６の金属部材３１８の質量よりも大きい構成であってもよい。また、第１の領域３１５及び第２の領域３１６に金属部材３１８が形成され、第１の領域３１５の金属部材３１８のＺ軸に沿う平均厚さが、第２の領域３１６の金属部材３１８のＺ軸に沿う平均厚さよりも厚い構成であってもよい。
４．変形例３
図８は、変形例３に係る振動素子の第１錘部を拡大して示す平面図である。図９は、図８におけるＣ−Ｃ線での断面図である。
振動素子４００は、基部１３０と、基部１３０からＹ軸のマイナス側に延出し、Ｘ軸に沿って並ぶ第１振動腕４１０及び図示しない第２振動腕と、を有している。第１振動腕４１０は、基部１３０から延出する第１腕部１１１と、第１腕部１１１の先端に接続されている第１錘部４１２と、を有している。第１錘部４１２は、Ｙ軸に沿って長い矩形状をなしている。第１錘部４１２のＸ軸に沿う幅は、第１腕部１１１のＸ軸に沿う幅よりも広く、第１錘部４１２は、Ｘ軸及びＹ軸を含む平面視において、Ｘ軸に沿う方向における第１腕部１１１の幅の中心を通る第１仮想中心線ＣＬ１に関して線対称に構成されている。
図８は、変形例３に係る振動素子の第１錘部を拡大して示す平面図である。図９は、図８におけるＣ−Ｃ線での断面図である。
振動素子４００は、基部１３０と、基部１３０からＹ軸のマイナス側に延出し、Ｘ軸に沿って並ぶ第１振動腕４１０及び図示しない第２振動腕と、を有している。第１振動腕４１０は、基部１３０から延出する第１腕部１１１と、第１腕部１１１の先端に接続されている第１錘部４１２と、を有している。第１錘部４１２は、Ｙ軸に沿って長い矩形状をなしている。第１錘部４１２のＸ軸に沿う幅は、第１腕部１１１のＸ軸に沿う幅よりも広く、第１錘部４１２は、Ｘ軸及びＹ軸を含む平面視において、Ｘ軸に沿う方向における第１腕部１１１の幅の中心を通る第１仮想中心線ＣＬ１に関して線対称に構成されている。
第１錘部４１２は、平面視において、第１の領域４１５と第２の領域４１６とで構成されている。第１の領域４１５は、第１仮想中心線ＣＬ１に対して、第１錘部４１２の第２振動腕側の領域である。第２の領域４１６は、第１仮想中心線ＣＬ１に対して、第１錘部４１２の第２振動腕と逆側の領域である。
第１錘部４１２は、第２の領域４１６のＺ軸に沿う厚さＴ２を、第１の領域４１５のＺ軸に沿う厚さＴ１よりも薄くすることにより、質量比Ｍ２／Ｍ１が０．９５２＜Ｍ２／Ｍ１＜１．０００を満たすように構成されている。このような構成の第１錘部４１２は、フォトリソグラフィ技術を用いたウエットエッチングやドライエッチングによって形成することができる。これにより、実施形態１と同様にＱ値の高い振動素子４００を得ることができる。また、第１の領域４１５及び第２の領域４１６のＺ軸に沿う厚さは、それぞれの領域内で均一である必要はなく、第２の領域４１６の平均厚さを、第１の領域４１５のＺ軸に沿う平均厚さよりも薄くする構成であってもよい。
なお、実施形態１及び変形例１〜３で示した錘部の構成のうち、第１錘部に適用する構成と、第２錘部に適用する構成とが異なっていてもよい。また、第１錘部及び第２錘部は、実施形態１及び変形例１〜３で示した錘部の構成を適宜組み合わせた構成により、０．９５２＜Ｍ２／Ｍ１＜１．０００となる質量比Ｍ２／Ｍ１を実現させてもよい。
５．実施形態２
図１０は、実施形態２に係る振動素子の構成を示す平面図である。実施形態１と同一の構成部位については、同一の番号を附し、重複する説明は省略する。
図１０は、実施形態２に係る振動素子の構成を示す平面図である。実施形態１と同一の構成部位については、同一の番号を附し、重複する説明は省略する。
振動素子５００は、Ｚカット水晶板と、Ｚカット水晶板上に形成された電極とで構成されている。振動素子５００は、基部５３０と、基部５３０からＹ軸のマイナス側に延出し、Ｘ軸に沿って並ぶ第１振動腕１１０及び第２振動腕１２０と、固定部５４０とを有している。基部５３０は、Ｘ軸及びＹ軸に平行な平面であるＸＹ平面に広がり、Ｚ軸を厚さ方向とする板状をなしている。固定部５４０は、基部５３０から第１振動腕１１０と第２振動腕１２０との間に延出している。固定部５４０は、２つの導電性接着剤４０を介して図示しないパッケージの接続端子に固定されている。
Ｘ軸及びＹ軸を含む平面視において、振動素子５００は、第１錘部１１２における、前記第１腕部１１１の先端から離れた側かつ第２錘部１２２から離れた側の角部、及び第２錘部１２２における、第２腕部１２１の先端から離れた側かつ第１錘部１１２から離れた側の角部が面取りされることにより、質量比Ｍ２／Ｍ１が０．９５２＜Ｍ２／Ｍ１＜１．０００を満たすように構成されているので、Ｑ値の高い振動素子５００を得ることができる。
また、振動素子５００は、平面視において、基部５３０のＹ軸に沿うプラス側の両角部も面取りされている。すなわち、振動素子５００の四隅は、ベースの内壁の形状に沿うように面取りされているので、面取りのされていない振動素子よりも小型なパッケージに実装することができる。また、振動素子５００とパッケージ１０との間隔を十分に確保することもできるため、振動素子５００とパッケージ１０とが接触することで振動素子５００が破損してしまう可能性を低減することもできる。
また、振動素子５００は、平面視において、基部５３０のＹ軸に沿うプラス側の両角部も面取りされている。すなわち、振動素子５００の四隅は、ベースの内壁の形状に沿うように面取りされているので、面取りのされていない振動素子よりも小型なパッケージに実装することができる。また、振動素子５００とパッケージ１０との間隔を十分に確保することもできるため、振動素子５００とパッケージ１０とが接触することで振動素子５００が破損してしまう可能性を低減することもできる。
６．実施形態３
図１１は、実施形態３に係る振動素子の構成を示す平面図である。実施形態１と同一の構成部位については、同一の番号を附し、重複する説明は省略する。
図１１は、実施形態３に係る振動素子の構成を示す平面図である。実施形態１と同一の構成部位については、同一の番号を附し、重複する説明は省略する。
振動素子６００は、Ｚカット水晶板と、Ｚカット水晶板上に形成された電極とで構成されている。振動素子６００は、基部１３０と、基部１３０からＹ軸のマイナス側に延出し、Ｘ軸に並ぶ第１振動腕１１０及び第２振動腕１２０と、第１保持腕６４０と、第２保持腕６５０とを有している。第１保持腕６４０は、第２基部１３３のＸ軸に沿うマイナス側からＸ軸に沿うマイナス側に延出し、さらに第１腕部１１１に沿ってＹ軸に沿うマイナス側に延出している。第２保持腕６５０は、第２基部１３３のＸ軸に沿うプラス側からＸ軸に沿うプラス側に延出し、さらに第２腕部１２１に沿ってＹ軸に沿うマイナス側に延出している。第１保持腕６４０及び第２保持腕６５０は、導電性接着剤４０を介して図示しないパッケージの接続端子に固定されている。
Ｘ軸及びＹ軸を含む平面視において、振動素子６００は、第１錘部１１２における、前記第１腕部１１１の先端から離れた側かつ第２錘部１２２から離れた側の角部、及び第２錘部１２２における、第２腕部１２１の先端から離れた側かつ第１錘部１１２から離れた側の角部が面取りされることにより、質量比Ｍ２／Ｍ１が０．９５２＜Ｍ２／Ｍ１＜１．０００を満たすように構成されているので、Ｑ値の高い振動素子６００を得ることができる。
また、振動素子６００は、平面視において、第１保持腕６４０のＸ軸に沿うマイナス側及びＹ軸に沿うプラス側とで形成される角部と、第２保持腕６５０のＸ軸に沿うプラス側及びＹ軸に沿うプラス側とで形成される角部とが面取りされている。すなわち、振動素子６００の四隅は、ベースの内壁の形状に沿うように面取りされているので、面取りのされていない振動素子よりも小型なパッケージに実装することができる。また、振動素子６００とパッケージ１０との間隔を十分に確保することもできるため、振動素子６００とパッケージ１０とが接触することで振動素子６００が破損してしまう可能性を低減することもできる。
また、振動素子６００は、平面視において、第１保持腕６４０のＸ軸に沿うマイナス側及びＹ軸に沿うプラス側とで形成される角部と、第２保持腕６５０のＸ軸に沿うプラス側及びＹ軸に沿うプラス側とで形成される角部とが面取りされている。すなわち、振動素子６００の四隅は、ベースの内壁の形状に沿うように面取りされているので、面取りのされていない振動素子よりも小型なパッケージに実装することができる。また、振動素子６００とパッケージ１０との間隔を十分に確保することもできるため、振動素子６００とパッケージ１０とが接触することで振動素子６００が破損してしまう可能性を低減することもできる。
７．実施形態４
図１２は、実施形態４に係る振動素子の構成を示す平面図である。実施形態１と同一の構成部位については、同一の番号を附し、重複する説明は省略する。
図１２は、実施形態４に係る振動素子の構成を示す平面図である。実施形態１と同一の構成部位については、同一の番号を附し、重複する説明は省略する。
振動素子７００は、Ｚカット水晶板と、Ｚカット水晶板上に形成された電極とで構成されている。振動素子７００は、基部１３０と、基部１３０からＹ軸のマイナス側に延出し、Ｘ軸に沿って並ぶ第１振動腕１１０及び第２振動腕１２０と、保持枠７４０とを有している。保持枠７４０は、第２基部１３３のＸ軸に沿うプラス及びマイナス側から延出し、第１基部１３１、第１振動腕１１０、第２振動腕１２０を枠状に囲っている。保持枠７４０の上下面に図示しない金属層を形成し、この金属層と、図示しない例えば振動素子７００と同一材料からなるリッド及びベースと、を陽極接合することによってパッケージ化し、第１基部１３１、第１振動腕１１０、第２振動腕１２０をパッケージ内に収納する。
Ｘ軸及びＹ軸を含む平面視において、振動素子７００は、第１錘部１１２における、前記第１腕部１１１の先端から離れた側かつ第２錘部１２２から離れた側の角部、及び第２錘部１２２における、第２腕部１２１の先端から離れた側かつ第１錘部１１２から離れた側の角部が面取りされることにより、質量比Ｍ２／Ｍ１が０．９５２＜Ｍ２／Ｍ１＜１．０００を満たすように構成されているので、Ｑ値の高い振動素子７００を得ることができる。
なお、上述の実施形態及び変形例では、第１振動腕１１０，２１０，３１０，４１０及び第２振動腕１２０が基部１３０，５３０からＹ軸に沿ったマイナス方向に延出している構成を例示しているが、それに限らず、第１振動腕１１０，２１０，３１０，４１０及び第２振動腕１２０が基部１３０，５３０からＹ軸に沿ったプラス方向に延出している構成でも、上述の実施形態及び変形例と同じ効果を奏することは明らかである。
同様に、上述の実施形態及び変形例では、振動素子１００，２００，３００，４００，５００，６００がＺ軸と交差する面のうちプラス側の面側で導電性接着剤４０を介して接続端子２３，２４と電気的に接続されている構成を例示しているが、それに限らず、Ｚ軸と交差する面のうちマイナス側の面側で導電性接着剤４０を介して接続端子２３，２４と電気的に接続されている構成でも、上述の実施形態及び変形例と同じ効果を奏することは明らかである。
８．実施形態５
図１３は、実施形態５に係るパーソナルコンピューターの一例を示す斜視図である。電子機器としてのパーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１１０を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、フィルター、共振器、基準クロック等として機能する振動素子１００が内蔵されている。パーソナルコンピューター１１００は、上述の振動素子の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
図１３は、実施形態５に係るパーソナルコンピューターの一例を示す斜視図である。電子機器としてのパーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１１０を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、フィルター、共振器、基準クロック等として機能する振動素子１００が内蔵されている。パーソナルコンピューター１１００は、上述の振動素子の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
９．実施形態６
図１４は、実施形態６に係るスマートフォンの一例を示す斜視図である。図１４に示す電子機器としてのスマートフォン１２００は、表示部１２０８を有している。表示部１２０８は、液晶パネルとタッチパネルとで構成され、各種の操作を受付けたり、画像などを表示したりする。このようなスマートフォン１２００には、フィルター、共振器、基準クロック等として機能する振動素子１００が内蔵されている。スマートフォン１２００は、上述の振動素子の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
図１４は、実施形態６に係るスマートフォンの一例を示す斜視図である。図１４に示す電子機器としてのスマートフォン１２００は、表示部１２０８を有している。表示部１２０８は、液晶パネルとタッチパネルとで構成され、各種の操作を受付けたり、画像などを表示したりする。このようなスマートフォン１２００には、フィルター、共振器、基準クロック等として機能する振動素子１００が内蔵されている。スマートフォン１２００は、上述の振動素子の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
１０．実施形態７
図１５は、実施形態７に係るディジタルスチルカメラの一例を示す斜視図である。電子機器としてのディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号を生成する。
図１５は、実施形態７に係るディジタルスチルカメラの一例を示す斜視図である。電子機器としてのディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号を生成する。
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース１３０２の背面には、表示部１３１０が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側には、光学レンズやＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
撮影者が表示部１３１０に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。メモリー１３０８に格納された撮像信号は、所定の操作により、表示部１３１０に出力されたり、無線や有線で接続された外部装置に出力されたりする構成になっている。このようなディジタルスチルカメラ１３００には、フィルター、共振器、基準クロック等として機能する振動素子１００が内蔵されている。ディジタルスチルカメラ１３００は、上述の振動素子の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
なお、本発明の振動素子を備える電子機器は、実施形態５〜７で説明したパーソナルコンピューター、スマートフォン、ディジタルスチルカメラの他にも、例えば、インクジェットプリンター、タブレット型コンピューター、テレビ、ディジタルビデオカメラ、ブルーレイレコーダー、カーナビゲーション装置、電子手帳、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器、魚群探知機、各種測定機器、計器類、フライトシミュレーター等に適用することができる。また、医療機器としては、電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡などを例示することができる。計器類としては、車両、航空機、船舶などの計器などを例示することができる。
１１．実施形態８
図１６は、実施形態８に係る自動車の一例を示す斜視図である。移動体としての自動車１５００は、車体１５０１と、４つの車輪１５０２とを有しており、車体１５０１に設けられた図示しないエンジンやモーターによって車輪１５０２を回転させるように構成されている。
図１６は、実施形態８に係る自動車の一例を示す斜視図である。移動体としての自動車１５００は、車体１５０１と、４つの車輪１５０２とを有しており、車体１５０１に設けられた図示しないエンジンやモーターによって車輪１５０２を回転させるように構成されている。
このような自動車１５００には、フィルター、共振器、基準クロック等として機能する振動素子１００が内蔵されている。自動車１５００は、上述の振動素子の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
なお、本発明の振動素子を備える移動体は、自動車に限定されず、例えば、オートバイ、鉄道等の他の車両、航空機、船舶、宇宙船等にも適用可能である。
また、振動素子としては、フィルター、共振器、基準クロックに限定されず、例えば、ジャイロセンサーのようなセンサーにも適用することができる。
以下に、実施形態から導き出される内容を記載する。
振動素子は、基部と、前記基部から第１方向に延出し前記第１方向と交差する第２方向に並ぶ第１振動腕及び第２振動腕と、を備える振動素子であって、前記第１振動腕は、前記基部から延出する第１腕部と、前記第１腕部の先端に接続されている第１錘部とを有し、前記第２振動腕は、前記基部から延出する第２腕部と、前記第２腕部の先端に接続されている第２錘部とを有し、前記第２方向における前記第１腕部の幅の中心を通る第１仮想中心線に対して、前記第１錘部の前記第２振動腕側の質量をＭ１、前記第１錘部の前記第２振動腕と逆側の質量をＭ２とし、前記第２方向における前記第２腕部の幅の中心を通る第２仮想中心線に対して、前記第２錘部の前記第１振動腕側の質量をＭ１、前記第２錘部の前記第１振動腕と逆側の質量をＭ２としたとき、０．９５２＜Ｍ２／Ｍ１＜１．０００を満たすことを特徴とする。
この構成によれば、振動素子の第１錘部及び第２錘部における質量比Ｍ２／Ｍ１は０．９５２＜Ｍ２／Ｍ１＜１．０００である。発明者らは、第１、第２錘部の質量比Ｍ２／Ｍ１を０．９５２＜Ｍ２／Ｍ１＜１．０００とすることで、質量比Ｍ２／Ｍ１＝１の振動素子に比べＱ値が向上することを見出した。これにより、Ｑ値の高い振動素子を提供することができる。
上記の振動素子は、前記第１錘部は、前記第１腕部より前記第２方向の幅が広く、前記第２錘部は、前記第２腕部より前記第２方向の幅が広く、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面において、前記第１仮想中心線に対して、前記第１錘部の前記第２振動腕側の面積をＳ１、前記第１錘部の前記第２振動腕と逆側の面積をＳ２とし、前記第２仮想中心線に対して、前記第２錘部の前記第１振動腕側の面積をＳ１、前記第２錘部の前記第１振動腕と逆側の面積をＳ２としたとき、０．９５２＜Ｓ２／Ｓ１＜１．０００を満たすことが好ましい。
この構成によれば、振動素子の第１錘部及び第２錘部における面積比Ｓ２／Ｓ１は０．９５２＜Ｓ２／Ｓ１＜１．０００である。発明者らは、第１、第２錘部の面積比Ｓ２／Ｓ１を０．９５２＜Ｓ２／Ｓ１＜１．０００とすることで、面積比Ｓ２／Ｓ１＝１の振動素子に比べＱ値が向上することを見出した。これにより、Ｑ値の高い振動素子を提供することができる。
上記の振動素子は、０．９５７＜Ｍ２／Ｍ１＜０．９９１を満たすことが好ましい。
この構成によれば、振動素子の第１、第２錘部の質量比Ｍ２／Ｍ１を０．９５７＜Ｍ２／Ｍ１＜０．９９１とすることで、さらにＱ値を向上させた振動素子を実現することができる。
上記の振動素子は、０．９５７＜Ｓ２／Ｓ１＜０．９９１を満たすことが好ましい。
この構成によれば、振動素子の第１、第２錘部の面積比Ｓ２／Ｓ１を０．９５７＜Ｓ２／Ｓ１＜０．９９１とすることで、さらにＱ値を向上させた振動素子を実現することができる。
上記の振動素子は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面視において、前記第１錘部及び前記第２錘部は矩形状をなし、前記第１錘部における、前記第１腕部の前記先端から離れた側かつ前記第２錘部から離れた側の角部が面取りされ、前記第２錘部における、前記第２腕部の前記先端から離れた側かつ前記第１錘部から離れた側の角部が面取りされていることが好ましい。
この構成によれば、第１錘部及び第２錘部の質量比Ｍ２／Ｍ１が０．９５２＜Ｍ２／Ｍ１＜１．０００である振動素子や、第１錘部及び第２錘部の面積比Ｓ２／Ｓ１が０．９５２＜Ｓ２／Ｓ１＜１．０００である振動素子を、好適に実現することができる。
上記の振動素子において、前記第１錘部及び前記第２錘部の少なくとも一方の表面には、金属部材を含むことが好ましい。
この構成によれば、金属部材によって、第１錘部及び第２錘部の質量比Ｍ２／Ｍ１を調整することができる。
振動子は、上記の振動素子と、前記振動素子を収納するパッケージと、を備えることを特徴とする。
この構成によれば、振動子は、質量比Ｍ２／Ｍ１が０．９５２＜Ｍ２／Ｍ１＜１．０００、又は０．９５７＜Ｍ２／Ｍ１＜０．９９１を満たすか、面積比Ｓ２／Ｓ１が０．９５２＜Ｓ２／Ｓ１＜１．０００、又は０．９５７＜Ｓ２／Ｓ１＜０．９９１を満たすように構成された振動素子を備えている。したがって、Ｑ値の高い振動子を提供することができる。
電子機器は、上記の振動素子を備えることを特徴とする。
この構成によれば、電子機器は、上記の振動素子の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
移動体は、上記の振動素子を備えることを特徴とする。
この構成によれば、移動体は、上記の振動素子の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
１…振動子、１０…パッケージ、１００，２００，３００，４００，５００，６００，７００…振動素子、１１０，２１０，３１０，４１０…第１振動腕、１１１…第１腕部、１１２，２１２，３１２，４１２…第１錘部、１１３，１２３…第１の面取部、１１４，１２４…第２の面取部、１１５，２１５，３１５，４１５，１２５…第１の領域、１１６，２１６，３１６，４１６，１２６…第２の領域、１２０…第２振動腕、１２１…第２腕部、１２２…第２錘部、１３０，５３０…基部、３１８…金属部材、１１００…電子機器としてのパーソナルコンピューター、１２００…電子機器としてのスマートフォン、１３００…電子機器としてのディジタルスチルカメラ、１５００…移動体としての自動車。
Claims (9)
- 基部と、前記基部から第１方向に延出し前記第１方向と交差する第２方向に並ぶ第１振動腕及び第２振動腕と、を備える振動素子であって、
前記第１振動腕は、前記基部から延出する第１腕部と、前記第１腕部の先端に接続されている第１錘部とを有し、
前記第２振動腕は、前記基部から延出する第２腕部と、前記第２腕部の先端に接続されている第２錘部とを有し、
前記第２方向における前記第１腕部の幅の中心を通る第１仮想中心線に対して、前記第１錘部の前記第２振動腕側の質量をＭ１、前記第１錘部の前記第２振動腕と逆側の質量をＭ２とし、
前記第２方向における前記第２腕部の幅の中心を通る第２仮想中心線に対して、前記第２錘部の前記第１振動腕側の質量をＭ１、前記第２錘部の前記第１振動腕と逆側の質量をＭ２としたとき、
０．９５２＜Ｍ２／Ｍ１＜１．０００を満たすこと、
を特徴とする振動素子。 - 前記第１錘部は、前記第１腕部より前記第２方向の幅が広く、
前記第２錘部は、前記第２腕部より前記第２方向の幅が広く、
前記第１方向及び前記第２方向を含む平面視において、
前記第１仮想中心線に対して、前記第１錘部の前記第２振動腕側の面積をＳ１、前記第１錘部の前記第２振動腕と逆側の面積をＳ２とし、
前記第２仮想中心線に対して、前記第２錘部の前記第１振動腕側の面積をＳ１、前記第２錘部の前記第１振動腕と逆側の面積をＳ２としたとき、
０．９５２＜Ｓ２／Ｓ１＜１．０００を満たすこと、
を特徴とする請求項１に記載の振動素子。 - ０．９５７＜Ｍ２／Ｍ１＜０．９９１を満たすこと、
を特徴とする請求項１に記載の振動素子。 - ０．９５７＜Ｓ２／Ｓ１＜０．９９１を満たすこと、
を特徴とする請求項２に記載の振動素子。 - 前記第１方向及び前記第２方向を含む平面視において、
前記第１錘部及び前記第２錘部は矩形状をなし、
前記第１錘部における、前記第１腕部の前記先端から離れた側かつ前記第２錘部から離れた側の角部が面取りされ、
前記第２錘部における、前記第２腕部の前記先端から離れた側かつ前記第１錘部から離れた側の角部が面取りされていること、
を特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の振動素子。 - 前記第１錘部及び前記第２錘部の少なくとも一方の表面には、金属部材を含むこと、
を特徴とする請求項１又は請求項３に記載の振動素子。 - 請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の振動素子と、
前記振動素子を収納するパッケージと、を備えること、
を特徴とする振動子。 - 請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の振動素子を備えることを特徴とする電子機器。
- 請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の振動素子を備えることを特徴とする移動体。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2019127465A JP2021013132A (ja) | 2019-07-09 | 2019-07-09 | 振動素子、振動子、電子機器、及び移動体 |
| CN202010644246.8A CN112207014B (zh) | 2019-07-09 | 2020-07-07 | 振动元件、振子、电子设备以及移动体 |
| US16/923,181 US11611329B2 (en) | 2019-07-09 | 2020-07-08 | Vibrating element, vibrator, electronic device, and vehicle |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2019127465A JP2021013132A (ja) | 2019-07-09 | 2019-07-09 | 振動素子、振動子、電子機器、及び移動体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2021013132A true JP2021013132A (ja) | 2021-02-04 |
Family
ID=74059382
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2019127465A Withdrawn JP2021013132A (ja) | 2019-07-09 | 2019-07-09 | 振動素子、振動子、電子機器、及び移動体 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US11611329B2 (ja) |
| JP (1) | JP2021013132A (ja) |
| CN (1) | CN112207014B (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015149591A (ja) * | 2014-02-06 | 2015-08-20 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器、センサー、および移動体 |
| WO2018180861A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2018-10-04 | 株式会社大真空 | 音叉型圧電振動片および当該音叉型圧電振動片を用いた音叉型圧電振動子 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002141770A (ja) | 2000-11-01 | 2002-05-17 | Citizen Watch Co Ltd | 小型振動子 |
| JP4211578B2 (ja) | 2003-11-13 | 2009-01-21 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片とその製造方法、ならびに圧電デバイスおよび圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 |
| US8304968B2 (en) * | 2010-03-17 | 2012-11-06 | Seiko Epson Corporation | Vibrator element, vibrator, oscillator, and electronic apparatus |
| JP5796280B2 (ja) * | 2010-07-21 | 2015-10-21 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子及び発振器 |
| JP5819151B2 (ja) * | 2011-09-28 | 2015-11-18 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計 |
| JP6277606B2 (ja) | 2013-06-18 | 2018-02-14 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
| JP2015097362A (ja) * | 2013-11-16 | 2015-05-21 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
| JP2015097368A (ja) * | 2013-11-16 | 2015-05-21 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子、発振器、電子機器および移動体 |
| JP6287208B2 (ja) * | 2013-12-27 | 2018-03-07 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子、発振器、電子機器、物理量センサーおよび移動体 |
| JP6375622B2 (ja) | 2013-12-27 | 2018-08-22 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、電子機器、センサーおよび移動体 |
| JP6716283B2 (ja) | 2016-02-23 | 2020-07-01 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、及び圧電振動子 |
-
2019
- 2019-07-09 JP JP2019127465A patent/JP2021013132A/ja not_active Withdrawn
-
2020
- 2020-07-07 CN CN202010644246.8A patent/CN112207014B/zh active Active
- 2020-07-08 US US16/923,181 patent/US11611329B2/en active Active
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015149591A (ja) * | 2014-02-06 | 2015-08-20 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器、センサー、および移動体 |
| WO2018180861A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2018-10-04 | 株式会社大真空 | 音叉型圧電振動片および当該音叉型圧電振動片を用いた音叉型圧電振動子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20210013869A1 (en) | 2021-01-14 |
| CN112207014A (zh) | 2021-01-12 |
| CN112207014B (zh) | 2022-07-19 |
| US11611329B2 (en) | 2023-03-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6051885B2 (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
| JP5838689B2 (ja) | センサー素子、センサー素子の製造方法、センサーデバイスおよび電子機器 | |
| JP7027841B2 (ja) | 振動デバイス、電子機器および移動体 | |
| JP6107330B2 (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
| JP5838695B2 (ja) | センサー素子、センサー素子の製造方法、センサーデバイスおよび電子機器 | |
| TWI604693B (zh) | 振動元件、振動器、振盪器、電子機器及移動體 | |
| JP2014209719A (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
| JP6179104B2 (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
| JP6318550B2 (ja) | 振動片、角速度センサー、電子機器および移動体 | |
| JP2016149599A (ja) | 振動子、発振器、リアルタイムクロック、電子機器、および移動体 | |
| JP7013855B2 (ja) | 振動デバイス、電子機器および移動体 | |
| CN112207014B (zh) | 振动元件、振子、电子设备以及移动体 | |
| JP6179131B2 (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
| JP6083110B2 (ja) | 振動素子、振動デバイス、ジャイロセンサーおよび電子機器 | |
| JP2016140025A (ja) | 振動片、振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 | |
| JP2015023422A (ja) | 振動片、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
| JP6498379B2 (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
| JP2015097361A (ja) | 振動片、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
| JP2016149595A (ja) | 振動子、発振器、リアルタイムクロック、電子機器、および移動体 | |
| JP2016178500A (ja) | 振動片、振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 | |
| JP2016149604A (ja) | 振動子、発振器、リアルタイムクロック、電子機器、および移動体 | |
| JP6763190B2 (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
| JP6492536B2 (ja) | センサー素子、物理量センサー、電子機器および移動体 | |
| JP2014175673A (ja) | 振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
| JP6737376B2 (ja) | 振動片、振動子、発振器、リアルタイムクロック、電子機器、および移動体 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD07 | Notification of extinguishment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7427 Effective date: 20200811 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20210915 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20211102 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220602 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230526 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230606 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230801 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231031 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20231227 |