JP2020533779A - 強誘電体メモリ集積回路及びその操作方法並びに製造方法 - Google Patents
強誘電体メモリ集積回路及びその操作方法並びに製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020533779A JP2020533779A JP2019504796A JP2019504796A JP2020533779A JP 2020533779 A JP2020533779 A JP 2020533779A JP 2019504796 A JP2019504796 A JP 2019504796A JP 2019504796 A JP2019504796 A JP 2019504796A JP 2020533779 A JP2020533779 A JP 2020533779A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- ferroelectric
- ferroelectric memory
- single crystal
- storage unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000015654 memory Effects 0.000 title claims abstract description 363
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 95
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 53
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 175
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 168
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 89
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 89
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 89
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 77
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 85
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 31
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 30
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 23
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 claims description 9
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical class CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 7
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 4
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 3
- VLJQDHDVZJXNQL-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-n-(oxomethylidene)benzenesulfonamide Chemical compound CC1=CC=C(S(=O)(=O)N=C=O)C=C1 VLJQDHDVZJXNQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910005883 NiSi Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910004121 SrRuO Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910008599 TiW Inorganic materials 0.000 claims description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910021340 platinum monosilicide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract description 37
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 12
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 11
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 8
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 8
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 8
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 6
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N hafnium(iv) oxide Chemical compound O=[Hf]=O CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- 238000004549 pulsed laser deposition Methods 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002367 SrTiO Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000008034 disappearance Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012774 insulation material Substances 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002362 mulch Substances 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/22—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using ferroelectric elements
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/22—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using ferroelectric elements
- G11C11/221—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using ferroelectric elements using ferroelectric capacitors
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/22—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using ferroelectric elements
- G11C11/225—Auxiliary circuits
- G11C11/2259—Cell access
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/22—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using ferroelectric elements
- G11C11/225—Auxiliary circuits
- G11C11/2273—Reading or sensing circuits or methods
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/22—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using ferroelectric elements
- G11C11/225—Auxiliary circuits
- G11C11/2275—Writing or programming circuits or methods
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B53/00—Ferroelectric RAM [FeRAM] devices comprising ferroelectric memory capacitors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B53/00—Ferroelectric RAM [FeRAM] devices comprising ferroelectric memory capacitors
- H10B53/30—Ferroelectric RAM [FeRAM] devices comprising ferroelectric memory capacitors characterised by the memory core region
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B63/00—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices
- H10B63/30—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices comprising selection components having three or more electrodes, e.g. transistors
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0021—Auxiliary circuits
- G11C13/004—Reading or sensing circuits or methods
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0021—Auxiliary circuits
- G11C13/0069—Writing or programming circuits or methods
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C2213/00—Indexing scheme relating to G11C13/00 for features not covered by this group
- G11C2213/70—Resistive array aspects
- G11C2213/77—Array wherein the memory element being directly connected to the bit lines and word lines without any access device being used
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C2213/00—Indexing scheme relating to G11C13/00 for features not covered by this group
- G11C2213/70—Resistive array aspects
- G11C2213/79—Array wherein the access device being a transistor
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C2213/00—Indexing scheme relating to G11C13/00 for features not covered by this group
- G11C2213/70—Resistive array aspects
- G11C2213/82—Array having, for accessing a cell, a word line, a bit line and a plate or source line receiving different potentials
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/011—Manufacture or treatment of multistable switching devices
- H10N70/021—Formation of switching materials, e.g. deposition of layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/20—Multistable switching devices, e.g. memristors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/821—Device geometry
- H10N70/823—Device geometry adapted for essentially horizontal current flow, e.g. bridge type devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/821—Device geometry
- H10N70/826—Device geometry adapted for essentially vertical current flow, e.g. sandwich or pillar type devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/881—Switching materials
- H10N70/883—Oxides or nitrides
- H10N70/8836—Complex metal oxides, e.g. perovskites, spinels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
- Non-Volatile Memory (AREA)
Abstract
Description
強誘電体単結晶層において形成されたメモリセルアレーを有する強誘電体メモリアレー、及び、
シリコンベース読み書き回路を含み、
前記メモリセルアレーにおける各記憶ユニットには、対応的に第1電極と第2電極が設置され、前記強誘電体単結晶層のドメインの分極方向は、前記強誘電体単結晶層の法線方向と略平行とならず、前記第1電極と第2電極の間に電気信号を施す時に、前記第1電極と第2電極の間にほぼ位置して前記記憶ユニットを形成するための強誘電体単結晶層のドメインを逆転させることができることにより、前記第1電極と第2電極をつなぐドメイン壁導電チャネルを形成でき、
前記強誘電体メモリアレーの各強誘電体メモリセルは、主にメモリセルアレーにおける一つの記憶ユニットによって形成されるか、又は主にメモリセルアレーにおける一つの記憶ユニットと、該記憶ユニットに電気接続されて前記シリコンベース読み書き回路のシリコンベース基板上に形成された一つのトランジスタによって形成される。
前記メモリセルアレーにおける各記憶ユニットには、対応的に第1電極と第2電極が設置され、前記強誘電体単結晶層のドメインの分極方向は前記強誘電体単結晶層の法線方向と略平行とならず、前記第1電極と第2電極の間に電気信号を施す時に、前記第1電極と第2電極との間にほぼ位置して前記記憶ユニットを形成するための強誘電体単結晶層のドメインを逆転させることができることにより、前記第1電極と第2電極をつなぐドメイン壁導電チャネルを形成でき、
前記強誘電体メモリアレーの各強誘電体メモリセルは、主にメモリセルアレーにおける一つの記憶ユニットによって形成される。
前記第1電極と第2電極の間に第1方向の書き込み信号を施し、少なくとも一部の前記記憶ユニットのドメインを逆転させることにより、前記ドメイン壁導電チャネルを形成するという記憶情報「1」書き込みステップ、及び、
前記第1電極と第2電極の間に前記第1方向の読み出し信号を施し、前記読み出し信号の電圧が前記記憶ユニットの抗電圧より小さいという記憶情報読み出しステップを含む。
強誘電体単結晶層として用いる強誘電体単結晶基板を提供するステップ、
前記強誘電体単結晶基板上に前記メモリセルアレーをパターン形成するステップ、
前記強誘電体単結晶基板の上に前記第1電極と第2電極、及び前記第1電極/第2電極に接続するプレート線をパターン形成するステップ、
前記強誘電体単結晶基板の上に絶縁層を成長させるステップ、
SOIプロセス又はエピタキシャル成長方法によって前記絶縁層の上方にシリコンベース薄膜層を形成するステップ、及び
前記シリコンベース薄膜層上に前記シリコンベース読み書き回路及びビット線を形成するステップを含む。
単結晶シリコン基板を提供するステップ、
前記単結晶シリコン基板上に前記シリコンベース読み書き回路及びビット線を形成するステップ、
前記シリコンベース読み書き回路及びビット線の上に絶縁層を成長させるステップ、
SOIプロセス又はエピタキシャル成長方法によって前記絶縁層の上方において強誘電体単結晶層として用いる強誘電体単結晶薄膜層を形成するステップ、
前記強誘電体単結晶薄膜層上に前記メモリセルアレーをパターン形成するステップ、及び、
前記強誘電体単結晶薄膜層の上に前記第1電極と第2電極、及び前記第1電極/第2電極に接続するプレート線をパターン形成するステップを含む。
単結晶シリコン基板を提供するステップ、
前記単結晶シリコン基板上に前記シリコンベース読み書き回路及びビット線を形成するステップ、
前記シリコンベース読み書き回路及びビット線の上に絶縁層を成長させるステップ、
前記絶縁層において第1電極を形成するステップ、
SOIプロセス又はエピタキシャル成長方法によって前記絶縁層の上方に強誘電体単結晶層として用いる強誘電体単結晶薄膜層を形成するステップ、及び、
前記強誘電体単結晶薄膜層の上に、前記第1電極とほぼ上下揃う前記第2電極及び前記第2電極に接続するプレート線をパターン形成するステップを含む。
以下の説明及び図面により、本発明の上記特徴及び操作はより明確になる。
さらに、ステップS202では、シリコン単結晶チップに例えば標準CMOSプロセスを利用してビット線及びシリコンベース読み書き回路を形成する。シリコンベース読み書き回路としては、読み出し電流増幅回路、基準電流出力回路、出力電流コンパレータ及びアドレッシング回路などが挙げられるが、この限りではない。
Claims (36)
- 強誘電体単結晶層において形成されたメモリセルアレーを有する強誘電体メモリアレー、及び、
シリコンベース読み書き回路を含み、
前記メモリセルアレーにおける各記憶ユニットには、対応的に第1電極と第2電極が設置され、前記強誘電体単結晶層のドメインの分極方向は、前記強誘電体単結晶層の法線方向と略平行とならず、前記第1電極と第2電極の間に電気信号を施す時に、前記第1電極と第2電極の間にほぼ位置して前記記憶ユニットを形成するための強誘電体単結晶層のドメインを逆転させることができることにより、前記第1電極と第2電極をつなぐドメイン壁導電チャネルを形成でき、
前記強誘電体メモリアレーの各強誘電体メモリセルは、主にメモリセルアレーにおける一つの記憶ユニットによって形成されるか、又は主にメモリセルアレーにおける一つの記憶ユニットと、該記憶ユニットに電気接続されて前記シリコンベース読み書き回路のシリコンベース基板上に形成された一つのトランジスタによって形成される強誘電体メモリ集積回路。 - 前記強誘電体メモリ集積回路は、面内読み書き強誘電体メモリ回路であり、前記第1電極と第2電極は、ほぼ前記記憶ユニットの左右両側に配置され、前記記憶ユニットのドメインの分極方向は、前記第1電極と第2電極との接続線方向において成分を有する請求項1に記載の強誘電体メモリ集積回路。
- 前記強誘電体メモリ集積回路は、面外読み書き強誘電体メモリ回路であり、前記第1電極と第2電極は、ほぼ前記記憶ユニットの上下両側に配置され、前記記憶ユニットのドメインの分極方向は、前記第1電極と第2電極との接続線方向において成分を有する請求項1に記載の強誘電体メモリ集積回路。
- 前記強誘電体メモリ集積回路は、前記シリコンベース読み書き回路と前記強誘電体単結晶層の間に位置する絶縁質層をさらに含み、前記絶縁層の中にコンタクトホールが形成される請求項1に記載の強誘電体メモリ集積回路。
- 前記強誘電体単結晶層は、強誘電体単結晶基板又は強誘電体単結晶薄膜層である請求項1に記載の強誘電体メモリ集積回路。
- 各強誘電体メモリセルが主にメモリセルアレーにおける前記一つの記憶ユニットによって形成される場合、前記強誘電体単結晶層は強誘電体単結晶基板であり、前記シリコンベース読み書き回路は、前記強誘電体単結晶基板の上方に形成され、前記強誘電体メモリ集積回路はさらに、
前記強誘電体メモリアレーの対応する行の強誘電体メモリセルの記憶ユニットの第1電極/第2電極に電気接続されるプレート線、及び、
前記強誘電体メモリアレーの対応する列の強誘電体メモリセルの記憶ユニットの第2電極/第1電極に電気接続されるビット線を含む請求項2に記載の強誘電体メモリ集積回路。 - 各強誘電体メモリセルが主に前記一つの記憶ユニット及び前記一つのトランジスタによって形成される場合、前記強誘電体単結晶層は、強誘電体単結晶基板であり、前記シリコンベース読み書き回路は、前記強誘電体単結晶基板の上方に形成され、前記強誘電体メモリ集積回路はさらに、
前記強誘電体メモリアレーの対応する列の強誘電体メモリセルの記憶ユニットの第1電極/第2電極に電気接続されるプレート線、
前記強誘電体メモリアレーの対応する行の強誘電体メモリセルのトランジスタのゲートに電気接続されるワード線、
前記強誘電体メモリアレーの対応する列の強誘電体メモリセルのトランジスタのソース/ドレインに電気接続されるビット線を含む請求項2に記載の強誘電体メモリ集積回路。 - 前記プレート線は、前記強誘電体単結晶基板の上にパターン形成され、前記ビット線は、前記シリコンベース読み書き回路の上方にパターン形成され、前記ビット線は、コンタクトホールを介して対応する列の強誘電体メモリセルの記憶ユニットの第2電極/第1電極に電気接続される請求項6に記載の強誘電体メモリ集積回路。
- 前記プレート線は、前記強誘電体単結晶基板の上にパターン形成され、前記ビット線は、前記シリコンベース読み書き回路の上方にパターン形成され、前記トランジスタのドレイン/ソースは、コンタクトホールを介して対応する列の強誘電体メモリセルの記憶ユニットの第2電極/第1電極に電気接続される請求項7に記載の強誘電体メモリ集積回路。
- 前記シリコンベース読み書き回路に用いられるシリコンベース薄膜層は、SOIプロセスによって前記強誘電体単結晶基板の上方に形成される請求項6又は7に記載の強誘電体メモリ集積回路。
- 各強誘電体メモリセルが主にメモリセルアレーにおける前記一つの記憶ユニットによって形成される場合、前記強誘電体単結晶層は強誘電体単結晶薄膜層であり、前記シリコンベース読み書き回路を形成するためのシリコンベース基板は単結晶シリコン基板であり、前記強誘電体単結晶基板は前記単結晶シリコン基板の上方に形成され、前記強誘電体メモリ集積回路はさらに、
前記強誘電体メモリアレーの対応する行の強誘電体メモリセルの記憶ユニットの第1電極/第2電極に電気接続されるプレート線、及び、
前記強誘電体メモリアレーの対応する列の強誘電体メモリセルの記憶ユニットの第2電極/第1電極に電気接続されるビット線を含む請求項2又は3に記載の強誘電体メモリ集積回路。 - 各強誘電体メモリセルが主に前記一つの記憶ユニット及び前記一つのトランジスタによって形成される場合、前記強誘電体単結晶層は強誘電体単結晶薄膜層であり、前記シリコンベース読み書き回路を形成するためのシリコンベース基板は単結晶シリコン基板であり、前記強誘電体単結晶基板は、前記単結晶シリコン基板の上方に形成され、前記強誘電体メモリ集積回路はさらに、
前記強誘電体メモリアレーの対応する列の強誘電体メモリセルの記憶ユニットの第1電極/第2電極に電気接続されるプレート線、
前記強誘電体メモリアレーの対応する行の強誘電体メモリセルのトランジスタのゲートに電気接続されるワード線、及び、
前記強誘電体メモリアレーの対応する列の強誘電体メモリセルのトランジスタのソース/ドレインに電気接続されるビット線を含む請求項2又は3に記載の強誘電体メモリ集積回路。 - 前記プレート線は、前記強誘電体単結晶薄膜層の上にパターン形成され、前記ビット線は、前記単結晶シリコン基板の上にパターン形成され、前記ビット線は、コンタクトホールを介して対応する列の強誘電体メモリセルの記憶ユニットの第2電極/第1電極に電気接続される請求項11に記載の強誘電体メモリ集積回路。
- 前記プレート線は、前記強誘電体単結晶薄膜層の上にパターン形成され、前記ビット線は、前記単結晶シリコン基板の上にパターン形成され、前記トランジスタのドレイン/ソースは、コンタクトホールを介して対応する列の強誘電体メモリセルの記憶ユニットの第2電極/第1電極に電気接続される請求項12に記載の強誘電体メモリ集積回路。
- 前記強誘電体単結晶薄膜層は、SOI結合方式又は薄膜成長方式によって前記シリコンベース読み書き回路の上方において形成される請求項11又は12に記載の強誘電体メモリ集積回路。
- 前記シリコンベース読み書き回路には、読み出された電流信号を増幅するための増幅回路が設置されている請求項11又は12に記載の強誘電体メモリ集積回路。
- 前記強誘電体単結晶層として使用される強誘電体材料は、タンタル酸リチウム塩LiTaO3、ニオブ酸リチウム塩LiNbO3、マルチフェロイックBiFeO3のうちの1種又は複数から選ばれるか、又はMgO、Mn2O5又はFe2O3をドープしたタンタル酸リチウム塩LiTaO3、ニオブ酸リチウム塩LiNbO3、マルチフェロイックBiFeO3のうちの1種又は複数から選ばれる請求項1又は2に記載の強誘電体メモリ集積回路。
- MgO、Mn2O5又はFe2O3をドープしたタンタル酸リチウム塩LiTaO3であり、ニオブ酸リチウム塩LiNbO3のドープ量は0.1〜10mol%である請求項17に記載の強誘電体メモリ集積回路。
- 前記記憶ユニットは、前記強誘電体単結晶層上にパターン形成された比較的に突き出しているプログラミングバンプである請求項2に記載の強誘電体メモリ集積回路。
- 前記第1電極及び第2電極の材料は、TiN、Pt、PtSi、NiSi、TiW、Ta、Ti、W、Mo、Al、Cu、Cr、SrRuO3、RuO2のうちの1種又は複数から選ばれる請求項1に記載の強誘電体メモリ集積回路。
- 前記強誘電体単結晶層のドメインの分極方向と、前記第1電極と第2電極との接続線方向とは夾角をなし、かつ前記ドメインに該接続線方向において成分を具備させる請求項1に記載の強誘電体メモリ集積回路。
- 前記強誘電体メモリアレーは、強誘電体単結晶層上に形成されたメモリセルアレーを含み、
前記メモリセルアレーにおける各記憶ユニットには、対応的に第1電極と第2電極が設置され、前記強誘電体単結晶層のドメインの分極方向は前記強誘電体単結晶層の法線方向と略平行とならず、前記第1電極と第2電極の間に電気信号を施す時に、前記第1電極及び第2電極との間にほぼ位置して前記記憶ユニットを形成するための強誘電体単結晶層のドメインを逆転させることができることにより、前記第1電極と第2電極をつなぐドメイン壁導電チャネルを形成でき、
前記強誘電体メモリアレーの各強誘電体メモリセルは、主にメモリセルアレーにおける一つの記憶ユニットによって形成される強誘電体メモリアレー。 - 前記記憶ユニットが前記ドメイン壁導電チャネルを既に形成した論理状態としてプログラミングされた場合、前記記憶ユニットは片方向導通特性を有する請求項1に記載の強誘電体メモリアレー。
- 前記第1電極と第2電極の間に第1方向の書き込み信号を施し、少なくとも一部の前記記憶ユニットのドメインを逆転させることにより、前記ドメイン壁導電チャネルを形成するという記憶情報「1」書き込みステップ、及び、
前記第1電極と第2電極の間に前記第1方向の読み出し信号を施し、前記読み出し信号の電圧が前記記憶ユニットの抗電圧より小さいという記憶情報読み出しステップを含む請求項1に記載の強誘電体メモリ集積回路の操作方法。 - 前記第1電極と第2電極の間に前記第1方向に反対する第2方向の書き込み信号を施し、前記記憶ユニットの中で既に逆転したドメインを初期分極方向に逆転させることにより、前記ドメイン壁導電チャネルを消すという記憶情報「0」書き込みステップをさらに含む請求項24に記載の操作方法。
- 各強誘電体メモリセルが主にメモリセルアレーにおける前記一つの記憶ユニットによって形成される場合、前記操作方法は、
操作しようとする強誘電体メモリセルに対応する行のプレート線及び操作しようとする強誘電体メモリセルに対応する列のビット線を選択するステップをさらに含み、
前記書き込み信号は選択されたプレート線又はビット線に施される請求項24に記載の操作方法。 - 各強誘電体メモリセルが主にメモリセルアレーにおける前記一つの記憶ユニットと前記一つのトランジスタによって形成される場合、前記操作方法は、
操作しようとする強誘電体メモリセルに対応する行のプレート線及びビット線を選択し、かつ操作しようとする強誘電体メモリセルに対応する列のワード線を選択するステップをさらに含み、
前記書き込み信号又は読み出し信号は選択されたプレート線及びビット線に施され、選択されたワード線には前記強誘電体メモリセルのトランジスタを導通させるスイッチ制御信号が施される請求項24に記載の操作方法。 - 強誘電体単結晶層として用いる強誘電体単結晶基板を提供するステップ、
前記強誘電体単結晶基板上に前記メモリセルアレーをパターン形成するステップ、
前記強誘電体単結晶基板の上に前記第1電極と第2電極、及び前記第1電極/第2電極に接続するプレート線をパターン形成するステップ、
前記強誘電体単結晶基板の上に絶縁層を成長させるステップ、
SOIプロセス又はエピタキシャル成長方法によって前記絶縁層の上方にシリコンベース薄膜層を形成するステップ、及び
前記シリコンベース薄膜層上に前記シリコンベース読み書き回路及びビット線を形成するステップを含む請求項1に記載の強誘電体メモリ集積回路の製造方法。 - 前記シリコンベース読み書き回路及びビット線を形成する前に、前記絶縁層においてコンタクトホール及び/又はプレート線ピンホールを形成するステップをさらに含む請求項28に記載の製造方法。
- 各強誘電体メモリセルが主に前記一つの記憶ユニットと前記一つのトランジスタによって形成される場合、前記方法は、
前記シリコンベース読み書き回路及びビット線を形成する前に、前記シリコンベース薄膜層上に前記トランジスタのアレーを形成するステップ、及び、
前記トランジスタのアレーの上に前記トランジスタのゲートに接続するワード線をパターン形成するステップをさらに含む請求項28に記載の製造方法。 - 前記方法は、前記シリコンベース読み書き回路及びビット線を形成する前に、前記シリコンベース薄膜層に対して研磨するステップをさらに含む請求項28に記載の製造方法。
- 単結晶シリコン基板を提供するステップ、
前記単結晶シリコン基板上に前記シリコンベース読み書き回路及びビット線を形成するステップ、
前記シリコンベース読み書き回路及びビット線の上に絶縁層を成長させるステップ、
SOIプロセス又はエピタキシャル成長方法によって前記絶縁層の上方において強誘電体単結晶層として用いる強誘電体単結晶薄膜層を形成するステップ、
前記強誘電体単結晶薄膜層上に前記メモリセルアレーをパターン形成するステップ、及び、
前記強誘電体単結晶薄膜層の上に前記第1電極と第2電極、及び前記第1電極/第2電極に接続するプレート線をパターン形成するステップを含む請求項1に記載の強誘電体メモリ集積回路の製造方法。 - 前記第1電極、第2電極及びプレート線をパターン形成する前に、前記絶縁層においてコンタクトホールを形成するステップをさらに含む請求項32に記載の製造方法。
- 各強誘電体メモリセルが主に前記一つの記憶ユニットと前記一つのトランジスタによって形成される場合、前記方法は、前記シリコンベース読み書き回路及びビット線を形成する前に、前記単結晶シリコン基板上に前記トランジスタのアレーを形成するステップをさらに含み、
かつ、前記シリコンベース読み書き回路及びビット線を形成すると同時に、さらに前記トランジスタのゲートに接続するワード線をパターン形成する請求項32に記載の製造方法。 - 単結晶シリコン基板を提供するステップ、
前記単結晶シリコン基板上に前記シリコンベース読み書き回路及びビット線を形成するステップ、
前記シリコンベース読み書き回路及びビット線の上に絶縁層を成長させるステップ、
前記絶縁層において第1電極を形成するステップ、
SOIプロセス又はエピタキシャル成長方法によって前記絶縁層の上方に強誘電体単結晶層として用いる強誘電体単結晶薄膜層を形成するステップ、及び、
前記強誘電体単結晶薄膜層の上に、前記第1電極とほぼ上下揃う前記第2電極及び前記第2電極に接続するプレート線をパターン形成するステップを含む請求項1に記載の強誘電体メモリ集積回路の製造方法。 - 各強誘電体メモリセルが主に前記一つの記憶ユニットと前記一つのトランジスタによって形成される場合、前記方法は、前記シリコンベース読み書き回路及びビット線を形成する前に、前記単結晶シリコン基板において前記トランジスタのアレーを形成するステップをさらに含み、
かつ、前記シリコンベース読み書き回路及びビット線を形成すると同時に、さらに前記トランジスタのゲートに接続するワード線をパターン形成する請求項35に記載の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710793719.9A CN107481751B (zh) | 2017-09-06 | 2017-09-06 | 一种铁电存储集成电路 |
CN201710793719.9 | 2017-09-06 | ||
PCT/CN2018/077485 WO2019047489A1 (zh) | 2017-09-06 | 2018-02-28 | 铁电存储集成电路及其操作方法和制备方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020533779A true JP2020533779A (ja) | 2020-11-19 |
JP2020533779A5 JP2020533779A5 (ja) | 2021-01-07 |
JP7079769B2 JP7079769B2 (ja) | 2022-06-02 |
Family
ID=60583540
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019504796A Active JP7079769B2 (ja) | 2017-09-06 | 2018-02-28 | 強誘電体メモリ集積回路及びその操作方法並びに製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11145664B2 (ja) |
JP (1) | JP7079769B2 (ja) |
CN (2) | CN107481751B (ja) |
WO (1) | WO2019047489A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107481751B (zh) * | 2017-09-06 | 2020-01-10 | 复旦大学 | 一种铁电存储集成电路 |
CN108417574B (zh) * | 2018-03-12 | 2020-05-12 | 复旦大学 | 基于soi的铁电存储器的制造方法 |
CN109378313B (zh) * | 2018-09-23 | 2020-10-30 | 复旦大学 | 一种低功耗三维非易失性存储器及其制备方法 |
US11646374B2 (en) * | 2018-12-26 | 2023-05-09 | Intel Corporation | Ferroelectric transistors to store multiple states of resistances for memory cells |
CN112310214B (zh) | 2019-07-31 | 2021-09-24 | 复旦大学 | 一种非易失性铁电存储器及其制备方法 |
CN114342075A (zh) * | 2019-09-26 | 2022-04-12 | 华为技术有限公司 | 一种存储器、存储器阵列以及存储器的数据读写方法 |
US11398568B2 (en) * | 2020-06-17 | 2022-07-26 | Globalfoundries Dresden Module One Limited Liability Company & Co. Kg | Ferroelectric based transistors |
CN116472581A (zh) * | 2020-11-20 | 2023-07-21 | 华为技术有限公司 | 一种铁电存储器及电子设备 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002324892A (ja) * | 2001-04-25 | 2002-11-08 | Hitachi Ltd | 強誘電体メモリ |
JP2004165351A (ja) * | 2002-11-12 | 2004-06-10 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2004193258A (ja) * | 2002-12-10 | 2004-07-08 | Fujitsu Ltd | 容量素子、半導体装置およびその製造方法 |
WO2004107466A1 (ja) * | 2003-05-08 | 2004-12-09 | Matsushita Electric Industrial Co. Ltd. | 電気スイッチおよびそれを用いた記憶素子 |
JP2005209722A (ja) * | 2004-01-20 | 2005-08-04 | Seiko Epson Corp | 強誘電体膜、強誘電体メモリ、及び圧電素子 |
WO2007046176A1 (ja) * | 2005-10-19 | 2007-04-26 | Yamaju Ceramics Co., Ltd. | 強誘電体単結晶、それを用いた弾性表面波フィルタ及びその製造方法 |
JP2010171166A (ja) * | 2009-01-22 | 2010-08-05 | Sony Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
CN105655342A (zh) * | 2016-02-23 | 2016-06-08 | 复旦大学 | 非易失性铁电存储器及其制备方法和读/写操作方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100289975B1 (ko) * | 1996-07-09 | 2001-06-01 | 니시무로 타이죠 | 반도체장치의제조방법및반도체장치 |
JP4015968B2 (ja) * | 2003-06-09 | 2007-11-28 | 株式会社東芝 | 強誘電体メモリ |
JP2009212448A (ja) * | 2008-03-06 | 2009-09-17 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置およびその製造方法 |
CN104637948B (zh) * | 2015-01-24 | 2017-11-17 | 复旦大学 | 非破坏性读出铁电存储器及其制备方法和读/写操作方法 |
CN104637949B (zh) * | 2015-01-24 | 2017-11-17 | 复旦大学 | 非破坏性读出铁电存储器及其制备方法和操作方法 |
CN105256376B (zh) * | 2015-11-18 | 2017-12-22 | 中国科学技术大学 | 一种控制铁电单晶电致形变取向的方法 |
JP6674478B2 (ja) * | 2016-04-12 | 2020-04-01 | ▲復▼旦大学Fundan University | 大電流読出強誘電体単結晶薄膜メモリ及びその製造方法と操作方法 |
CN107123648B (zh) * | 2017-04-12 | 2020-09-01 | 复旦大学 | 一种面内读/写操作铁电忆阻器及其制备方法 |
CN107481751B (zh) | 2017-09-06 | 2020-01-10 | 复旦大学 | 一种铁电存储集成电路 |
-
2017
- 2017-09-06 CN CN201710793719.9A patent/CN107481751B/zh active Active
-
2018
- 2018-02-28 JP JP2019504796A patent/JP7079769B2/ja active Active
- 2018-02-28 WO PCT/CN2018/077485 patent/WO2019047489A1/zh active Application Filing
- 2018-02-28 CN CN201880003413.1A patent/CN109791785B/zh active Active
- 2018-02-28 US US16/322,032 patent/US11145664B2/en active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002324892A (ja) * | 2001-04-25 | 2002-11-08 | Hitachi Ltd | 強誘電体メモリ |
JP2004165351A (ja) * | 2002-11-12 | 2004-06-10 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2004193258A (ja) * | 2002-12-10 | 2004-07-08 | Fujitsu Ltd | 容量素子、半導体装置およびその製造方法 |
WO2004107466A1 (ja) * | 2003-05-08 | 2004-12-09 | Matsushita Electric Industrial Co. Ltd. | 電気スイッチおよびそれを用いた記憶素子 |
JP2005209722A (ja) * | 2004-01-20 | 2005-08-04 | Seiko Epson Corp | 強誘電体膜、強誘電体メモリ、及び圧電素子 |
WO2007046176A1 (ja) * | 2005-10-19 | 2007-04-26 | Yamaju Ceramics Co., Ltd. | 強誘電体単結晶、それを用いた弾性表面波フィルタ及びその製造方法 |
JP2010171166A (ja) * | 2009-01-22 | 2010-08-05 | Sony Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
CN105655342A (zh) * | 2016-02-23 | 2016-06-08 | 复旦大学 | 非易失性铁电存储器及其制备方法和读/写操作方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN109791785A (zh) | 2019-05-21 |
CN107481751A (zh) | 2017-12-15 |
CN109791785B (zh) | 2023-03-24 |
US11145664B2 (en) | 2021-10-12 |
US20200243549A1 (en) | 2020-07-30 |
CN107481751B (zh) | 2020-01-10 |
JP7079769B2 (ja) | 2022-06-02 |
WO2019047489A1 (zh) | 2019-03-14 |
US20210202509A9 (en) | 2021-07-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7079769B2 (ja) | 強誘電体メモリ集積回路及びその操作方法並びに製造方法 | |
US10971204B2 (en) | Three-dimensional non-volatile ferroelectric memory | |
RU2184400C2 (ru) | Сегнетоэлектрическое устройство обработки данных | |
JP5190275B2 (ja) | 半導体メモリセル及びそれを用いた半導体メモリアレイ | |
US7982252B2 (en) | Dual-gate non-volatile ferroelectric memory | |
JP4868513B2 (ja) | 抵抗変化型不揮発性メモリ素子及び不揮発性半導体記憶装置 | |
JP4662990B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置及びその書き込み方法 | |
CN107230676B (zh) | 高读出电流的非挥发铁电存储器及其操作方法 | |
KR101773731B1 (ko) | 멀티-비트 강유전체 메모리 디바이스 및 멀티-비트 강유전체 메모리 디바이스를 형성하는 방법 | |
TW200426827A (en) | Memory cell, memory device and manufacturing method of memory cell | |
CN1551240A (zh) | 非易失性半导体存储装置 | |
JP2004185755A (ja) | 不揮発性半導体記憶装置 | |
JP2012503878A (ja) | グラフェンメモリセルおよびその製造方法 | |
CN107123648A (zh) | 一种面内读/写操作铁电忆阻器及其制备方法 | |
US20160358639A1 (en) | Non-destructive readout ferroelectric memory as well as method of preparing the same and method of operating the same | |
WO2002052651A1 (fr) | Dispositif de mémoire ferroélectrique | |
CN108417574A (zh) | 基于soi的铁电存储器的制造方法 | |
JP5081069B2 (ja) | 半導体記憶装置 | |
WO2020222883A1 (en) | One selector one resistor mram crosspoint memory array fabrication methods | |
JP2002026279A (ja) | 半導体記憶装置及びその製造方法 | |
CN101026177B (zh) | 非易失性存储器件及其操作方法 | |
JP2010153591A (ja) | 不揮発性可変抵抗素子とその駆動方法 | |
CN101777572A (zh) | 一种半导体存储器结构及其控制方法 | |
CN112466874B (zh) | 一种密排结构的面内读写铁电存储器阵列及其制备方法 | |
CN102185108A (zh) | 一种半导体存储器结构及其控制方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201102 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201102 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211013 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211019 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211224 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220517 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220523 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7079769 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |