JP2020188212A - 発光装置及び発光装置の製造方法 - Google Patents
発光装置及び発光装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020188212A JP2020188212A JP2019093101A JP2019093101A JP2020188212A JP 2020188212 A JP2020188212 A JP 2020188212A JP 2019093101 A JP2019093101 A JP 2019093101A JP 2019093101 A JP2019093101 A JP 2019093101A JP 2020188212 A JP2020188212 A JP 2020188212A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light emitting
- protective film
- light
- layer
- semiconductor layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 27
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 110
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 75
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 75
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 61
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 123
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 117
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 18
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 8
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000007736 thin film deposition technique Methods 0.000 claims description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 abstract description 30
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 17
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 12
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 2
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 229910005887 NiSn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K11/00—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials
- C09K11/08—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials containing inorganic luminescent materials
- C09K11/77—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials containing inorganic luminescent materials containing rare earth metals
- C09K11/7706—Aluminates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/005—Processes
- H01L33/0093—Wafer bonding; Removal of the growth substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/20—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular shape, e.g. curved or truncated substrate
- H01L33/22—Roughened surfaces, e.g. at the interface between epitaxial layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/44—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the coatings, e.g. passivation layer or anti-reflective coating
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/50—Wavelength conversion elements
- H01L33/501—Wavelength conversion elements characterised by the materials, e.g. binder
- H01L33/502—Wavelength conversion materials
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/52—Encapsulations
- H01L33/56—Materials, e.g. epoxy or silicone resin
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2933/00—Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2933/0008—Processes
- H01L2933/0033—Processes relating to semiconductor body packages
- H01L2933/0041—Processes relating to semiconductor body packages relating to wavelength conversion elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2933/00—Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2933/0008—Processes
- H01L2933/0033—Processes relating to semiconductor body packages
- H01L2933/005—Processes relating to semiconductor body packages relating to encapsulations
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
- Led Devices (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
Description
第1半導体層と、第2半導体層と、前記第1半導体層と前記第2半導体層の間に設けられた発光層とを備えた半導体構造を有し、前記第1半導体層の上面から第1の光を出射する発光素子と、
前記第1半導体層の上面に設けられた保護膜と、
前記保護膜上に前記保護膜に接するように設けられた透光性樹脂層と、
前記保護膜と前記透光性樹脂層とを介して前記第1半導体層の上面に対向するように設けられた波長変換層と、
を備え、
前記第1半導体層の上面は、複数の第1凸部と平坦部とを有し、
前記保護膜の上面は、前記第1凸部の上方に位置する複数の第2凸部を有し、
断面視において、
前記平坦部は前記第2凸部間に位置し、
前記平坦部の上方であって、前記保護膜と前記透光性樹脂層との間に空隙を含む
ことを特徴とする。
第1半導体層と、第2半導体層と、前記第1半導体層と前記第2半導体層の間に設けられた発光層とを備えた半導体構造を有し、前記第1半導体層の上面から第1の光を出射する発光素子を準備する工程と、
前記半導体構造の上面を、エッチングにより複数の第1凸部と平坦部とを有する凹凸形状とする工程と、
前記半導体構造の上面に接する保護膜を蒸着法により形成する工程と、
前記保護膜上に、前記保護膜に接するように透光性樹脂層を形成する工程と、
前記保護膜と前記透光性樹脂層とを介して前記第1半導体層の上面に対向するように波長変換層を形成する工程と、
を備える。
そこで、本発明者らは、発光素子と波長変換層の間に複数の界面を含む発光装置において、光の取り出し効率の低下を抑制すべく鋭意検討した。
(a)保護膜の表面に、発光面の凹凸形状を反映した凹凸形状が形成されるように保護膜を形成することにより、発光素子の光の波長変換層への入射を減少させることなく、波長変換層からの戻り光の発光素子への入射が抑えられていた。ここで、発光面の凹凸形状を反映した凹凸形状が形成されるとは、発光面の凸部上の位置の一部又は全部に凸部が形成され、発光面の凹部上の位置の一部又は全部に凹部が形成されていることをいう。
そこで、保護膜と透光性樹脂層の界面近傍を観察したところ、発光素子の発光面が複数の凸部(第1凸部)と平坦部とを有する凹凸形状になっており、保護膜の上面には第1凸部の上方に位置する複数の第2凸部が形成され、発光面の平坦部上に位置する第2凸部間に空隙が形成されていた。
以上の発光素子の発光面及び保護膜の上面の凹凸形状、空隙の形成位置、界面における反射特性に基づき考察すると、発光素子の光の波長変換層への入射を減少させることなく、波長変換層からの戻り光の発光素子への入射が抑えられた理由は以下の作用によるものであると考えられる。発光素子からの光は、主として、第1凸部及びその上方に位置する第2凸部を介して波長変換層に入射されることから、発光面の平坦部上の第2凸部間に空隙があっても波長変換層に入射される光に対する空隙の影響を少なくできる。一方で、波長変換層から下方に向かう光(戻り光)は、第2凸部の表面で反射されかつ空隙と透光性樹脂層との界面でも反射されて発光素子への入射が抑えられたものと考えられる。
すなわち、第2凸部間の凹部に空隙がない場合には、その凹部の部分で戻り光が発光素子に入射してしまうが、凹部に空隙があることにより、空隙と透光性樹脂層との界面で戻り光が反射されると考えられる。
以上の知見に基づき、本開示にかかる発光装置では、発光素子の発光面を、複数の凸部(第1凸部)と平坦部とを有する凹凸形状とし、保護膜の上面が第1凸部の上方に位置する複数の第2凸部を有する形状とする。そして、保護膜上に透光性樹脂層を形成し、発光面の平坦部上の第2凸部間に空隙が形成されるようにすることにより、発光装置の光取り出し効率を向上させたものである。
本開示に係る発光装置は、上記の知見に基づき完成されたものであり、保護膜と透光性樹脂層との間における、保護膜表面の凹形状の部分に形成される空隙、及び、光の取出し面に設けられた凸部からの光の量と平坦部からの光の量との違いを利用している。
以下、実施形態の発光装置について詳細に説明する。
また、図2には、発光素子2、保護膜53、透光性樹脂層70及び波長変換層90の他に多くの構成要素を含んでいるが、以下の説明では、まず、光取り出し効率に関係する発光素子2、保護膜53、透光性樹脂層70及び波長変換層90の具体的構成について説明する。
以上のように構成された実施形態の発光装置1において、発光素子2からの光は、主として、第1凸部18c及びその上方に位置する第2凸部53bを介して波長変換層90に入射されることから、発光面の平坦部18d上の第2凸部53b間に空隙80があっても波長変換層90に入射される光に対する空隙80の影響を少なくできる。その一方で、波長変換層90から下方に向けて出射される光(戻り光)は、第2凸部53bの表面及び空隙80により反射されて波長変換層90の上面から出射される。すなわち、発光面の凹部に空隙80がない場合には、第2凸部53bの表面では反射されるものの凹部では反射が抑制されて発光素子2に入射されて取り出し効率を低下させることになる。これに対して、本実施形態のように、発光面の凹部に空隙80を形成すると、透光性樹脂層70と空隙80との界面により戻り光を反射させこととができ、発光素子2への入射が抑えられ、光取り出し効率の低下が抑制される。
したがって、発光素子2からの光を効率よく波長変換層90に入射させ、かつ波長変換層90により反射され発光素子2に入射する光を抑制し、発光装置の光の取り出し効率を高くすることができる。
また、発光素子2から出射された光の一部は波長変換層90の表面で反射されて戻り光となるが、その戻り光も空隙80により反射され、波長変換層90に入射される。したがって、実施形態の発光装置では、発光素子2が出射する光をより効率よく波長変換層90に入射させることができる。
以下、発光装置1の製造方法について説明する。
次に、図4A〜4Iから図8を参照して、実施形態に係る発光装置1の製造方法を説明する。
本実施形態に係る発光装置1の製造方法は、
(1)発光素子準備工程と、
(2)エッチング工程と、
(3)保護膜形成工程と、
(4)透光性樹脂層形成工程と、
(5)波長変換層形成工程と、を含む。
発光素子準備工程では、第1半導体層181と、第2半導体層183と、第1半導体層181と第2半導体層183の間に設けられた発光層182とを備えた半導体構造18を有し、第1半導体層181の上面から第1の光を出射する発光素子を準備する。
以下、図4A〜4H及び図5を参照しながら、発光素子準備工程について詳細に説明する。
次に、図4Cに示すように、半導体構造18の表面18aに第2コンタクト電極43を形成する。その後、図4Dに示すように、第2コンタクト電極43の側面及び上面の一部を覆い、上方に開口部を有する第1保護膜51を形成する。さらに、その第1保護膜51の開口部にて第2コンタクト電極43と導通する第1配線41及び第1配線41と導通する第2配線42を、第1凹部18Dの上方を除いた領域に形成する。続いて、第2配線42、第1保護膜51、及び第1凹部18Dの側面を覆う第2保護膜52を形成した後、第1コンタクト電極33を第2保護膜52を覆うように形成しつつ、第1凹部18Dの底面に露出した第1半導体層181に接続するように形成する。第2保護膜52は、第1コンタクト電極33と、第2コンタクト電極43、第1配線41、および第2配線42との間を絶縁するように形成する。また、第2保護膜52は、第1コンタクト電極33と、発光層182および第2半導体層183との間を絶縁するように形成する。以上のようにして、成長基板19上に、発光素子2の主要な構成要素を形成する。
尚、準備した第1部材10の表面10a(第1金属層11の表面)には、第1凹部18Dの上方に第2凹部10Dが形成される。上述したように、第1凹部18Dは、第2半導体層183及び発光層182が除去され、第1凹部18D底面に第1半導体層181が露出した部分である。第2凹部10Dは、第1凹部18Dに対応した領域に設けられ、第1凹部18Dに沿った断面形状を有する。
接合後に、図4Iに示すように、第1部材10の成長基板19を半導体構造18から除去する。
エッチング工程では、図6に示すように、半導体構造18の上面をエッチングする。
このエッチング工程では、例えば、エッチング液としてTMAHを用いたウェットエッチング処理を行うことにより、図3に示す、第1半導体層181の上面に複数の第1凸部18cと複数の平坦部18dを有する凹凸形状の光取出し面18bを形成することができる。また、このエッチング工程では、光取出し面18bが、算術平均粗さが2.0μm以上になるように粗面化することが好ましく、これにより、後述する保護膜53を形成した際に保護膜53の上面に空隙80の形成に適した凹部53cを形成することができる。
保護膜形成工程では、図7に示すように、半導体構造18の上面に接する保護膜53を、例えば蒸着法により形成する、
保護膜53は、例えば、蒸着法によって、例えば、厚さが800nm以上1200nm以下の範囲の厚さに形成する。このような厚さに保護膜53を形成すると、図3で示したように、保護膜の上面53aにおいて、光取出し面の第1凸部18cの上方に相当する位置に第2凸部53bが形成され、第2凸部53bの間に凹部53cが形成されやすくなる。保護膜53は、例えば、絶縁性を備え、発光素子2の屈折率より小さい屈折率を有する材料、例えば、SiO2を含む材料から形成される。尚、保護膜53は、上述した工程で半導体構造18の一部から露出させた第1保護膜51の上面にも形成するようにしてもよい。
尚、実施形態では、図7に示すように、保護膜53を形成した後、保護膜53及び第1保護膜51の一部を除去して、第2コンタクト電極43に接続された第1配線41を露出させてその露出させた第1配線41上に第2パッド電極44を形成する。
透光性樹脂層形成工程では、図8に示すように、保護膜53上に、保護膜53に接するように透光性樹脂層70を形成する。
透光性樹脂層形成工程では、例えば、保護膜53上に透光性樹脂を塗布して硬化させることにより透光性樹脂層70を形成する。透光性樹脂層形成工程では、保護膜53上に塗布する透光性樹脂の粘度を適宜調整することにより、保護膜の上面53aに形成された凹部53cに空隙80が形成されるようにできる。このようにして、保護膜53と透光性樹脂層70との間であって、第1半導体層181の上面に設けられた平坦部18dの上方に相当する位置に空隙80が形成することができる。透光性樹脂層70は、例えば、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等の樹脂により形成され、透光性樹脂層70は、例えば、発光素子2の屈折率より小さい屈折率を有し、例えば、保護膜53の屈折率と略等しい屈折率を有する。
波長変換層形成工程では、保護膜53と透光性樹脂層70とを介して第1半導体層181の上面に対向するように波長変換層90を形成する。
波長変換層形成工程では、透光性樹脂層70の上面に対向するように波長変換層90を載置して接合する。波長変換層90は、透光性樹脂層70の上面に接していてもよいし、透光性樹脂層70の上面から離れて配置されていてもよい。波長変換層90は、例えば、透光性樹脂層70の上面に接合層により接合するようにしてもよいし、透光性樹脂層70を硬化させる前に透光性樹脂層70の上面に接触させ、接触後に透光性樹脂層70を硬化させることにより接合するようにしてもよい。波長変換層90は、例えば、YAG等の発光素子2から出射された第1の光により励起され、第1の光(例えば、青色光)とは異なる波長の第2の光(例えば、黄色光)を出射する蛍光体を含む。
2 発光素子
18 半導体構造
18b 光取出し面
18c 第1凸部
18d 平坦部
33 第1コンタクト電極
34 裏面電極
41 第1配線
42 第2配線
43 第2コンタクト電極
44 第2パッド電極
53 保護膜
53a 保護膜の上面
53b 第2凸部
53c 凹部
70 透光性樹脂層
70a 透光性樹脂層の上面
80 空隙
90 波長変換層
90a 波長変換層の上面、発光装置の発光面
181 第1半導体層
182 発光層
183 第2半導体層
Claims (8)
- 第1半導体層と、第2半導体層と、前記第1半導体層と前記第2半導体層の間に設けられた発光層とを備えた半導体構造を有し、前記第1半導体層の上面から第1の光を出射する発光素子と、
前記第1半導体層の上面に設けられた保護膜と、
前記保護膜上に前記保護膜に接するように設けられた透光性樹脂層と、
前記保護膜と前記透光性樹脂層とを介して前記第1半導体層の上面に対向するように設けられた波長変換層と、
を備え、
前記第1半導体層の上面は、複数の第1凸部と平坦部とを有し、
前記保護膜の上面は、前記第1凸部の上方に位置する複数の第2凸部を有し、
断面視において、
前記平坦部は前記第2凸部間に位置し、
前記平坦部の上方であって、前記保護膜と前記透光性樹脂層との間に空隙を含む発光装置。 - 前記保護膜の厚さが800nm〜1200nmの範囲であり、
前記第1半導体層の上面の算術平均粗さが2.0μm以上である請求項1記載の発光装置。 - 前記保護膜及び前記透光性樹脂層の屈折率は、前記半導体構造の屈折率よりも小さく、
前記保護膜の屈折率と前記透光性樹脂層の屈折率はほぼ等しい請求項1または2に記載の発光装置。 - 前記第1の光は青色光であり、前記波長変換層は青色光により励起され前記第1の光とは波長が異なる第2の光を発するYAG蛍光体を含む請求項1〜3のいずれか1項に記載の発光装置。
- 第1半導体層と、第2半導体層と、前記第1半導体層と前記第2半導体層の間に設けられた発光層とを備えた半導体構造を有し、前記第1半導体層の上面から第1の光を出射する発光素子を準備する工程と、
前記半導体構造の上面を、エッチングにより複数の第1凸部と平坦部とを有する凹凸形状とする工程と、
前記半導体構造の上面に接する保護膜を蒸着法により形成する工程と、
前記保護膜上に、前記保護膜に接するように透光性樹脂層を形成する工程と、
前記保護膜と前記透光性樹脂層とを介して前記第1半導体層の上面に対向するように波長変換層を形成する工程と、
を備える発光装置の製造方法。 - 前記保護膜を800nm〜1200nmの範囲の厚さに形成し、
前記第1半導体層の上面を、算術平均粗さが2.0μm以上となるようにエッチングする請求項5記載の発光装置の製造方法。 - 前記保護膜及び前記透光性樹脂層の屈折率は、前記半導体構造の屈折率よりも小さく、
前記保護膜の屈折率と前記透光性樹脂層の屈折率はほぼ等しい請求項5または6に記載の発光装置の製造方法。 - 前記第1の光は青色光であり、前記波長変換層は青色光により励起され前記第1の光とは波長が異なる第2の光を発するYAG蛍光体を含む請求項5〜7のいずれか1項に記載の発光装置の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019093101A JP7071648B2 (ja) | 2019-05-16 | 2019-05-16 | 発光装置及び発光装置の製造方法 |
US15/930,716 US11482643B2 (en) | 2019-05-16 | 2020-05-13 | Light-emitting device and method for manufacturing light-emitting device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019093101A JP7071648B2 (ja) | 2019-05-16 | 2019-05-16 | 発光装置及び発光装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020188212A true JP2020188212A (ja) | 2020-11-19 |
JP7071648B2 JP7071648B2 (ja) | 2022-05-19 |
Family
ID=73222478
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019093101A Active JP7071648B2 (ja) | 2019-05-16 | 2019-05-16 | 発光装置及び発光装置の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11482643B2 (ja) |
JP (1) | JP7071648B2 (ja) |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005093728A (ja) * | 2003-09-17 | 2005-04-07 | Toyoda Gosei Co Ltd | 発光装置 |
JP2014216493A (ja) * | 2013-04-25 | 2014-11-17 | スタンレー電気株式会社 | 半導体発光素子及び半導体発光装置 |
JP2015111659A (ja) * | 2013-10-28 | 2015-06-18 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置及びその製造方法 |
JP2016062923A (ja) * | 2014-09-12 | 2016-04-25 | 株式会社東芝 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
US20160351756A1 (en) * | 2015-06-01 | 2016-12-01 | Nichia Corporation | Light emitting device |
JP2016207924A (ja) * | 2015-04-27 | 2016-12-08 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置及びその製造方法 |
JP2016207754A (ja) * | 2015-04-17 | 2016-12-08 | 国立研究開発法人情報通信研究機構 | 深紫外光を放射する半導体発光素子を備える発光モジュール |
US20160372636A1 (en) * | 2015-06-17 | 2016-12-22 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor light-emitting device |
JP2018082027A (ja) * | 2016-11-16 | 2018-05-24 | 豊田合成株式会社 | 発光装置及びその製造方法 |
US20180175261A1 (en) * | 2016-12-16 | 2018-06-21 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor light emitting device |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1603170B1 (en) | 2003-03-10 | 2018-08-01 | Toyoda Gosei Co., Ltd. | Method for manufacturing a solid-state optical element device |
JP4029843B2 (ja) | 2004-01-19 | 2008-01-09 | 豊田合成株式会社 | 発光装置 |
JP2006100787A (ja) | 2004-08-31 | 2006-04-13 | Toyoda Gosei Co Ltd | 発光装置および発光素子 |
JP2010541295A (ja) * | 2007-10-08 | 2010-12-24 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 半導体波長コンバータが接合された発光ダイオード |
JP4961413B2 (ja) | 2007-11-20 | 2012-06-27 | 株式会社ナノテコ | 白色led装置およびその製造方法 |
KR101081135B1 (ko) | 2010-03-15 | 2011-11-07 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광 소자, 발광 소자 제조방법 및 발광 소자 패키지 |
JP2013197339A (ja) | 2012-03-21 | 2013-09-30 | Stanley Electric Co Ltd | 半導体発光素子 |
JP6130155B2 (ja) | 2013-02-01 | 2017-05-17 | スタンレー電気株式会社 | 半導体発光素子 |
JP6162478B2 (ja) | 2013-05-16 | 2017-07-12 | スタンレー電気株式会社 | 半導体発光装置 |
JP6082653B2 (ja) | 2013-05-16 | 2017-02-15 | スタンレー電気株式会社 | 半導体発光装置 |
JP2015173142A (ja) | 2014-03-11 | 2015-10-01 | 株式会社東芝 | 半導体発光装置 |
KR20160071780A (ko) * | 2014-12-12 | 2016-06-22 | 삼성전자주식회사 | 반도체 발광 소자의 제조 방법 |
-
2019
- 2019-05-16 JP JP2019093101A patent/JP7071648B2/ja active Active
-
2020
- 2020-05-13 US US15/930,716 patent/US11482643B2/en active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005093728A (ja) * | 2003-09-17 | 2005-04-07 | Toyoda Gosei Co Ltd | 発光装置 |
JP2014216493A (ja) * | 2013-04-25 | 2014-11-17 | スタンレー電気株式会社 | 半導体発光素子及び半導体発光装置 |
JP2015111659A (ja) * | 2013-10-28 | 2015-06-18 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置及びその製造方法 |
JP2016062923A (ja) * | 2014-09-12 | 2016-04-25 | 株式会社東芝 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
JP2016207754A (ja) * | 2015-04-17 | 2016-12-08 | 国立研究開発法人情報通信研究機構 | 深紫外光を放射する半導体発光素子を備える発光モジュール |
JP2016207924A (ja) * | 2015-04-27 | 2016-12-08 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置及びその製造方法 |
US20160351756A1 (en) * | 2015-06-01 | 2016-12-01 | Nichia Corporation | Light emitting device |
US20160372636A1 (en) * | 2015-06-17 | 2016-12-22 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor light-emitting device |
JP2018082027A (ja) * | 2016-11-16 | 2018-05-24 | 豊田合成株式会社 | 発光装置及びその製造方法 |
US20180175261A1 (en) * | 2016-12-16 | 2018-06-21 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor light emitting device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11482643B2 (en) | 2022-10-25 |
JP7071648B2 (ja) | 2022-05-19 |
US20200365763A1 (en) | 2020-11-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI550910B (zh) | Semiconductor light emitting device | |
JP6176171B2 (ja) | 発光装置の製造方法 | |
KR102222861B1 (ko) | 고반사성 플립칩 led 다이 | |
JP4777757B2 (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
KR101055590B1 (ko) | 반도체 발광 소자 및 반도체 발광 소자의 제조 방법 | |
JP6176101B2 (ja) | 樹脂パッケージ及び発光装置 | |
JP2016115729A (ja) | 発光装置の製造法 | |
JP6131664B2 (ja) | 発光装置の製造方法および発光装置 | |
JP6024432B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
TWI545799B (zh) | Semiconductor light emitting device | |
CN104576857B (zh) | 一种高反射层倒装led芯片结构及其制作方法 | |
JP2012248795A (ja) | 半導体発光素子およびその製造方法 | |
KR101461154B1 (ko) | 반도체 소자 구조물을 제조하는 방법 | |
JP2012015437A (ja) | 半導体発光装置 | |
CN104037296A (zh) | 发光元件及其制作方法 | |
CN104900770A (zh) | Led芯片及其制作方法、显示装置 | |
JP6911061B2 (ja) | 性能の改善されたコンポーネント及びコンポーネントを製造するための方法 | |
TW201637241A (zh) | 半導體發光元件、發光裝置及半導體發光元件之製造方法 | |
TWI548117B (zh) | Semiconductor light emitting device and manufacturing method thereof | |
JP7071648B2 (ja) | 発光装置及び発光装置の製造方法 | |
JP6361308B2 (ja) | 発光装置 | |
KR101450216B1 (ko) | 반도체 소자 구조물을 제조하는 방법 | |
KR102412985B1 (ko) | 변환기 제한을 포함하는 led 패키지 | |
JP2011066453A (ja) | 半導体発光素子及び半導体発光装置 | |
KR101779084B1 (ko) | 반도체 발광소자 구조물 및 반도체 발광소자 구조물을 제조하는 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200827 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210831 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210907 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20211029 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211209 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220405 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220418 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7071648 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |