JP2012015437A - 半導体発光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】LED素子13とツェナーダイオード17を回路基板12の上面にフリップ実装し薄型で小型のLED装置10を作成したところ、期待していたほど明るくならなかったのでLED装置10の発光効率改善を目指す。
【解決手段】ツェナーダイオード17は回路基板12と接続する面とは反対側の面に反射層37を備える。この反射層37は、金属膜や反射性微粒子とバインダーとを混練した白色インクであることが好ましい。またLED素子13及びツェナーダイオード17の電極が電解メッキ法で形成した金バンプであり、金錫共晶で回路基板12と接合することが好ましい。
【選択図】図8
【解決手段】ツェナーダイオード17は回路基板12と接続する面とは反対側の面に反射層37を備える。この反射層37は、金属膜や反射性微粒子とバインダーとを混練した白色インクであることが好ましい。またLED素子13及びツェナーダイオード17の電極が電解メッキ法で形成した金バンプであり、金錫共晶で回路基板12と接合することが好ましい。
【選択図】図8
Description
本発明は、回路基板上に半導体発光素子と保護素子とをフリップチップ実装し、その上部に蛍光層を備える半導体発光装置に関する。
半導体発光装置(以後とくに断らない限りLED装置と呼ぶ)では、半導体発光素子(以後とくに断らない限りLED素子と呼ぶ)が静電気やサージによる高電圧で破壊することがあるため、保護素子としてツェナーダイオードが使われてきた。例えば特許文献1の図6には絶縁基板60に形成された第1及び第2の端子電極61,62上にそれぞれLEDチップ(半導体発光素子)63及びツェナーダイオードチップ(保護素子)65が実装され、LEDチップ63とツェナーダイオードチップ65が逆方向になるよう接続されている様子が示されている。
ちなみに特許文献1は、図6に示した従来技術が絶縁基板上にLEDチップとツェナーダイオードチップを実装しているため基板面積が大きくなってしまい超小型で且つ静電対策を施した表面実装型LED(LED装置)が得られないという課題に対し、絶縁基板の上面にLEDチップ(LED素子)を実装し、下面にツェナーダイオードチップを実装して解決を図った。特に図3には、実装効率や放熱特性が向上するフェースダウンボンディング(フリップチップ方式)で絶縁基板10上面にLEDチップ3を実装し、絶縁基板10の下面に形成した凹部にツェナーダイオードチップ5をワイヤーボンディング実装した様子が示されている。
特許文献1のLED装置は、回路基板(絶縁基板に相当)の上下の面にそれぞれLED素子と保護素子(以下とくに断らない限りツェナーダイオードと呼ぶ)を備えているため厚くなってしまう。また回路基板の上面はLED素子をフリップチップ実装しているといっても、下面はワイヤーボンディングしているため生産性が高いとは言えない。そこで本願発明者は実装効率の良さに着眼し、LED素子とともにツェナーダイオードも回路基板の上面にフリップ実装し薄型で小型のLED装置を作成した。
ところが本願発明者が作成したLED装置は、明るさ(全光束)が期待値に対して90%程度にしかならなかった。そこで本発明は、この課題に鑑みてなされたものであり、LED装置の発光効率改善を目的とする。
上記課題を解決するため本発明の半導体発光装置は、回路基板上に半導体発光素子とともに保護素子もフリップチップ実装され、蛍光体層が前記回路基板及び前記半導体及び保護素子を覆う半導体発光装置において、
前記保護素子は前記回路基板と接続する面とは反対側の面に反射層を備えることを特徴とする。
前記保護素子は前記回路基板と接続する面とは反対側の面に反射層を備えることを特徴とする。
前記反射層が金属膜であっても良い。
前記反射層は反射性微粒子とバインダーとを混練した白色インクであっても良い。
前記半導体発光素子と前記保護素子がそれぞれ電解メッキ法で形成した金バンプを備え、
前記半導体発光素子及び前記保護素子が前記回路基板の電極と金錫共晶で接合するのが好ましい。
前記半導体発光素子及び前記保護素子が前記回路基板の電極と金錫共晶で接合するのが好ましい。
前記回路基板が凹部を備え、該凹部に前記保護素子が実装されることが好ましい。
本発明の半導体発光装置は、半導体発光素子から出射し保護素子に向かう光線、及び半導体発光素子の出射光を吸収した蛍光体が発する光線のうち保護素子に向かう光線を保護素子の反射層で反射し半導体発光装置の出射方向に向けるので発光効率が改善する。
以下、添付図1〜19を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお図面の説明において、同一または相当要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。また説明のため部材の縮尺は適宜変更している。
(第1実施形態)
(第1実施形態)
添付図1〜13を参照して本発明の第1実施形態を詳細に説明する。図1は本実施形態のLED装置(半導体発光装置)の外観を説明するために描いたLED装置10の斜視図である。このLED装置10は、回路基板12の上に蛍光体を含有した樹脂層11(蛍光体層)が積層している。樹脂層11は蛍光体を含有するシリコーン樹脂からなる。
図2により図1のLED装置10に実装されたLED素子13(半導体発光素子)とツェナーダイオード17(保護素子)の実装状況を概説する。図2は図1のLED装置10から樹脂層11を剥がしとったLED装置20の斜視図である。図2に示すように回路基
板12の板材16上には−電極14と+電極15が形成されている。さらにその上にはLED素子13とツェナーダイオード17がフリップチップ実装されている。このLED素子13のn側バンプ(カソード電極、図示せず)とp側バンプ(アノード電極、図示せず)はそれぞれ−電極14と+電極15に接続している。同様にツェナーダイオード17の二つの電極(バンプ,図示せず)はそれぞれ−電極14と+電極15に接続している。
板12の板材16上には−電極14と+電極15が形成されている。さらにその上にはLED素子13とツェナーダイオード17がフリップチップ実装されている。このLED素子13のn側バンプ(カソード電極、図示せず)とp側バンプ(アノード電極、図示せず)はそれぞれ−電極14と+電極15に接続している。同様にツェナーダイオード17の二つの電極(バンプ,図示せず)はそれぞれ−電極14と+電極15に接続している。
図3によりLED装置20の回路を説明する。図3はLED装置20の回路図である。LED素子13のアノード及びカソードはそれぞれ+電極15及び−電極14と接続する。ツェナーダイオード17は、LED素子13の順方向(図の左から右)を向くツェナーダイオード素子17eと逆方向を向くツェナーダイオード素子17fがカソード同士を接続するようにして向かい合ったものであり、ツェナーダイオード素子17e及びツェナーダイオード素子17fのアノードはそれぞれ+電極15及び−電極14と接続する。なおツェナーダイオード17は、現在生産されているウェハーをフリップチップ実装に流用したため2素子構造となっている。しかしフリップチップ実装専用のウェハーを起こせば逆方向のツェナーダイオード素子17fだけで済むようになり、このときツェナーダイオード素子17fのカソードは+電極15に接続する。
図3において、−電極14に+方向の大きなサージが入ると、サージ電流は、まずツェナーダイオード素子17f、次にツェナーダイオード素子17eを経由して+電極15に抜ける。+電極15に−方向の大きなサージが入る場合も同様である。このようにしてLED素子13はサージ(静電気も含む)から守られる。
図4によりLED素子13の電極面を説明する。図4はLED素子13を電極面側から眺めた平面図である。n型半導体層21は、上層にあるp型半導体層22から一部分が露出している。n側バンプ23はn型半導体層21に接続し、p側バンプ24はp型半導体層22に接続している。なおn側バンプ23はp側バンプ24より平面積が小さく、n側バンプ23およびp側バンプ24は電解メッキ法で形成した金バンプである。
図5によりLED素子13の断面を説明する。図5は図4のB−B線に沿ったLED素子13の断面図である。なおn側バンプ23とp側バンプ24が同時に図示できるように図4ではB−B線を曲げている。図5に示すようにサファイア基板25の下にn型半導体層21があり、さらにn型半導体層21の下面にはp型半導体層22がある。またn型半導体層21及びp型半導体層22の下面にはそれぞれn側バンプ23及びp側バンプ24が付着している。サファイア基板25は厚さが50〜300μm、n型半導体層21は厚さが5μm程度であり、p型半導体層22は総厚が1μm程度で厚みが100〜200nmのp型GaN層を含む。発光層(図示せず)は、n型半導体層21とp型半導体層22の境界部にあり、平面的な形状は概ねp型半導体層22に等しい。n及びp側バンプ23,24は厚さが10〜30μmである。
図6によりツェナーダイオード17の電極面を説明する。図6はツェナーダイオード17を電極面側から眺めた平面図である。保護膜36上には図2で示した−電極14に接続するバンプ33と、同じく+電極15に接続するバンプ34とがある。ツェナーダイオード17は2個のツェナーダイオード素子17e,17fが向かい合ったものなので、バンプ33,34は特性上の違いを持たないがダイオードの一種であることを示すため便宜上大きさを変えた。
図7によりツェナーダイオード17の断面を説明する。図7は図6のC−C線に沿ったツェナーダイオード17の断面図である。n型のSi基板31の上部には厚さが100nmのAlからなる反射層37があり、Si基板31の下部に二つのp型半導体領域32a,32bがある。Si基板31及びp型半導体領域32a,32bの下面を覆う保護膜3
6は、p型半導体領域32a,32bに開口部があり、それぞれの開口部はアルミ電極35a,35bで覆われている。このアルミ電極35a,35bにはそれぞれバンプ34,33が接続している。
6は、p型半導体領域32a,32bに開口部があり、それぞれの開口部はアルミ電極35a,35bで覆われている。このアルミ電極35a,35bにはそれぞれバンプ34,33が接続している。
図8によりLED装置10の積層構造を説明する。図8は、図2のA−A線に沿うようにして描いた図1のLED装置10の断面図である。なおLED素子13のn及びp側バンプ23,24とツェナーダイオード17のバンプ33と回路基板12のスルーホール14a,15aを同時に図示できるように図2ではA−A線を屈曲させた。またLED素子13の断面は図5と同じで、ツェナーダイオード17の断面は図7より簡略化している。
蛍光体を含有した樹脂層11が回路基板12とLED素子13、ツェナーダイオード17を覆っている。回路基板12は板材16と−及び+電極14,15、スルーホール14a,15a、出力電極14b,15bからなっている。板材16の上面に形成された−電極14及び+電極15は、マザー基板(図示せず)の電極と接続するため板材16の下面に形成された出力電極14b,15bとそれぞれスルーホール14a,15aで接続している。LED素子13のp側バンプ24とツェナーダイオード17のバンプ34(図示せず)は+電極15と接続し、n側バンプ23とバンプ33は−電極14と接続する。なおツェナーダイオード17とLED素子13は一括して接合できるように同じ高さとしている。
樹脂層11は厚さが400μm程度でシリコーンからなる。板材16は厚さが300μmでアルミナからなる。−及び+電極14,15並びに出力電極14b,15bは厚さが10〜20μm程度でニッケルと金を積層した銅箔である。スルーホール14a,15aは直径が200μmで銅ペーストが充填されている。
図9により回路基板12からツェナーダイオード17のp型半導体領域32bに至る積層構造を詳細に説明する。図9は図8のDで囲んだ領域の拡大図である。回路基板12の板材16上には、−電極14、金錫共晶層33c、金バンプ部33b、UBM(アンダーバンプメタル)層33a、アルミ電極35b、p型半導体領域32bが積層している。バンプ33は、金錫共晶層33c、金バンプ部33b、UBM層33aの積層物である。金錫共晶層33cは厚さが2〜3μmでバンプ33と−電極14を接合する。金錫共晶接合は融点を300℃〜420℃に設定できるため、250℃前後のリフロー温度でLED装置10をマザー基板に実装するときに、共晶接合部が固体のまま維持されることから有利な接合法である。金バンプ部33bは厚さが10〜30μmである。UBM層33aは、ウェハー状態で金バンプ部33bを電解メッキ法で形成するときの共通電極(メッキ電極ともいう)がバンプ33(及びバンプ34)同士を分離する際に残ったものであり、厚さが0.3μmで、TiWとAuの2層構造になっている。またアルミ電極35bは厚さが1μm程度である。
以上、本実施形態におけるLED装置10の構造について説明してきた。ひき続き図10で本実施形態のLED装置10における発光を説明する。図10は、LED装置10の発光の説明図であり、図8の断面図に蛍光体と代表的な光線を書き込んだものである。なお部材の番号は図示していない。
光線L1はLED素子13のn型半導体層21とp型半導体層22の境界面にある発光層からサファイア基板25と樹脂層11を通りLED装置10の外部に直接的に出射する光を示している。光線L2aは樹脂層11中で蛍光体11aに吸収される光を示している。光線L2bは蛍光体11aの発光がLED装置10の外部に出射する様子を示している。光線L3aは樹脂層11中で蛍光体11bに吸収される光を示している。光線L3bは蛍光体11bの発光がツェナーダイオード17に向かい、ツェナーダイオード17の反射
層37で反射してLED装置10の外部に出射する様子を示している。この他にサファイア基板25の側面や底面から出射する光線、回路基板12の表面で反射される光線もあるが割愛している。
層37で反射してLED装置10の外部に出射する様子を示している。この他にサファイア基板25の側面や底面から出射する光線、回路基板12の表面で反射される光線もあるが割愛している。
図11と図12により本実施形態のLED装置10の製造方法を説明する。図11は本実施形態のツェナーダイオード17を製造する方法の説明図である。(a)はウェハー31aを準備する工程を示している。n型Siからなるウェハー31aの下面には複数のp型半導体領域32a,32b(図示せず)が形成されており、さらに下面全体が保護膜36(図示せず)で覆われている。なお保護膜36は各p型半導体領域32a,32bに対応して開口を備え、保護膜36の開口部にはアルミ電極35a,35b(図示せず)が設けられている。(b)はウェハー31aの裏面を研磨する工程を示している。(c)は電解メッキ法でバンプ33を形成する工程を示している。電解メッキ法は、まずウェハー31aの下面全体にスパッタ法で共通電極を形成してから、バンプ領域が開口したレジスト膜を形成する。その後ウェハー31aを電解液に浸し、通電して金バンプ部を成長させ、レジスト膜をつけたまま金バンプ部33bの下面に電解メッキ法またはスパッタ法で金錫共晶層33c(図示せず)を形成する。最後にレジストを除去し、バンプ33とバンプ34(図示せず)をエッチングマスクとして共通電極を除去する。(d)は蒸着法又はスパッタ法でウェハー31aの上面にアルミニウムを100nm堆積させ反射層37aを形成する工程を示している。(e)は反射層37aにダイシング用シート38を貼り付ける工程を示している。(f)はダイシング機によりウェハー31aをツェナーダイオード17に個片化する工程を示している。(g)はピックアップできるようにダイシング用シート38を拡張する工程を示している。
図12は本実施形態のLED装置10を製造する工程の説明図である。(a)は粘着シート41の下面に接着した多数のLED素子13とツェナーダイオード17を、集合基板42の電極と位置合わせする工程を示している。LED素子13もツェナーダイオード17と同様にウェハーを準備し、裏面研磨、バンプ形成、個片化を経て作成する。集合基板42には切断分離すると回路基板12になる回路基板領域が多数配列しており、各回路基板領域には−電極14や+電極15、スルーホール14a,15a(図示せず)、出力電極14b,15b(図示せず)が形成されている。粘着シート41の下面ではLED素子13及びツェナーダイオード17が予め回路基板領域のピッチに合わせて配列している。(b)はLED素子13及びツェナーダイオード17を集合基板42の電極に接合する工程を示している。位置あわせが完了したら集合基板42を加熱台44上に載せ、ヘッド43で粘着シート41の上からヘッド43で加圧する。その後、接合部が300℃を数秒維持できるように加熱台44の温度を上昇させる。加熱が終わり集合基板42が冷却したら加圧を止め集合基板42を取り出す。(c)は粘着シート41を剥がす工程を示している。粘着シート41は加熱により粘着力を失うようにしてあるので集合基板42から簡単に粘着シート41を剥がすことができる。(d)は集合基板42上に樹脂層11dを形成する工程を示している。LED素子13及びツェナーダイオード17が接合された集合基板42を金型に装填し、集合基板42を樹脂で覆ってから金型とともに樹脂を加熱し硬化させる。(e)はダイシング機により集合基板42を切断し、LED装置10に個片化する工程を示している。
図13により、図12(a)の状態にある集合基板42について説明する。図13は集合基板42の一部分を拡大した平面図である。集合基板42には点線で示した切断線45があり、切断線45により囲まれた領域が回路基板領域である。図12(e)の個片化する工程では切断線45を使って個々の回路基板領域を分割する。各回路基板領域には−電極14と+電極15が形成されている。同様に各領域には出力電極14b,15b(図示せず)とスルーホール14a,15a(図示せず)も形成されている。参考のためひとつの回路基板領域にLED素子13(図示せず)とツェナーダイオード17(図示せず)が
実装される領域13a,17a(点線で囲んだ白抜きの図形)を示した。
実装される領域13a,17a(点線で囲んだ白抜きの図形)を示した。
反射層37の反射部材はアルミニウムに限らず、銀などの他の金属(なお銀は硫化防止のため表面をSiO2で被覆しておくと良い)、屈折率の異なる薄膜を多数積層した誘電体多層膜、酸化チタンなどの反射性微粒子と有機物ないし無機物のバインダーとを混練した白色インク(セラミックインクとも呼ばれる)であっても良い。特に白色インクは塗布により反射層37を形成できるので、金属膜や誘電体多層膜にくらべ生産設備が簡単になる。また白色インクはアルミナからなる板材16の拡散的な反射と反射特性が似ているため、金属や誘電体多層膜など鏡面反射を起こす反射部材を使う場合よりもツェナーダイオード17実装部の放射強度ムラが目だない。白色インクは金属や誘電体多層膜比べて厚くする必要があるが、その厚さは30μm程度あれば良い。
電解メッキ法は厚みの制御が容易であり、底面が概ね平面となる。例えば、LED素子用のウェハーとツェナーダイオード用のウェハーの厚みが異なっても、バンプの高さ調節でLED素子13とツェナーダイオード17の高さを揃えられるから、図12(b)のようにLED素子13とツェナーダイオード17を一括して接合できるようになる。バンプ33,34のコアとなる部材は金に限らず半田や銅、アルミニウムなど他の金属材料であっても良い。金バンプであれば前述のように金錫共晶による接合が適用できるのでリフロー時の安定性が保証される。
本実施形態では図8に示されるようにLED素子13とツェナーダイオード17が隣接している。これまでのツェナーダイオードは、裏面の反射率が低く実装領域を暗くしていた(放射強度ムラもある)ためLED素子からできるだけ遠く離れた位置に配置されることが多かった。この配置関係は静電気によるLED素子の破壊に対し弱くなる要因となっていた。いっぽう本実施形態は、ツェナーダイオード17の裏面の反射率を向上させ暗い部分を生じにくくしたことでLED素子13とツェナーダイオード17を近接させることが可能となり、静電耐圧が向上するという副次的な効果も現れた。
(第2実施形態)
(第2実施形態)
添付図14,15を参照しながら、本発明の第2実施形態について詳細に説明する。LED装置の外観及び回路基板12は第1実施形態と等しい。なお説明のなかでサフィックスをつけて第2実施形態であることを明示している部分がある。
図14により本実施形態のLED装置10b(サフィックス変更)の断面を説明する。図14も図2のA−A線に沿うようにして描いたLED装置10bの断面図である。第1実施形態に対しツェナーダイオード17b(サフィックス変更)の断面形状と回路基板12上に白色インク層51を配置したこととだけが異なるので、これらの相違点について説明する。ツェナーダイオード17bのSi基板31b(サフィックス変更)は上側のコーナーが傾斜しており、反射層37b(サフィックス変更)も傾斜部を有する。この傾斜部はSi基板31bの上面の4辺とも形成されている。この傾斜部は図11(b)に示した製造工程(裏面を研磨する工程)が完了したら、厚めのブレードでハーフダイシングすることにより形成する。酸化チタンの微粒子を含む白色インク層51は、図12(a)に示した製造工程の(位置あわせをする工程)の前に、予め回路基板12上面に対しLED素子13とツェナーダイオード17bが占める部分を除いた領域にスクリーン印刷してから加熱し硬化させておく。
次に図15で本実施形態のLED装置10bにおける発光を説明する。図15は、LED装置10bの発光の説明図であり、図14の断面図に蛍光体と代表的な光線を書き込んだものである。なお部材の番号は図示していない。
光線L1はLED素子13の発光層からLED装置10bの外部に直接的に出射する光を示している。光線L4はサファイア基板25の上面に向かい、サファイア基板25の上面で全反射し側面から出射し、さらにツェナーダイオード17bの傾斜部で反射してLED装置10bの外部に出射する光を示している。光線L5aは蛍光体11cに吸収される光を示している。光線L5bは蛍光体11cの発光が白色インク層51に向かって出射し、白色インク層51で散乱的に反射しLED装置10bの外部に出射する様子を示している。なおツェナーダイオード17bの上面で反射しLED装置10bの外部に出射する光線や蛍光体から直接LED装置10bの外部に出射する光線、サファイア基板25の底面から出射する光線などは図示していない。
以上のように本実施形態ではツェナーダイオード17bに傾斜部があるので、サファイア基板25の側面から出射しツェナーダイオード17bに向かう光線を効率よくLED装置10bの外部に出射できるようになる。また白色インク層51を備えることで回路基板12の上面近傍における反射効率が改善する。白色インク層51があるため回路基板12の上面の反射特性に対する制限が緩和されるので、板材として窒化アルミなど反射率は低いが熱伝導性の優れた材料や安価な樹脂が使えるようになる。特に樹脂材料はLED素子13の発光による劣化が白色インク層51で防止される。また白色インク層51は樹脂材料に比べて熱伝導率が大きいので放熱性も改善する。
(第3実施形態)
(第3実施形態)
添付図16〜18を参照しながら、本発明の第3実施形態について詳細に説明する。LED装置の外観及び回路基板12は第1及び第2実施形態と等しい。なお説明のなかでサフィックスをつけて第3実施形態であることを明示している部分がある。
図16により本実施形態のLED装置10c(サフィックス変更)の断面を説明する。図16も図2のA−A線に沿うようにして描いたLED装置10cの断面図である。第1及び第2実施形態に対しツェナーダイオード17c(サフィックス変更)の断面形状が異なり、第2実施形態とは回路基板12上に配置した白色インク層52が異なるので、これらの相違点について説明する。ツェナーダイオード17cは底面を除く外周全てが白色インクからなる反射層37cで覆われている。白色インク層52は、回路基板12上面全体に配置されており、LED素子13の下面にも浸み込んでいる。白色インク層52は、図12(c)に示した製造工程の(粘着シートを剥がす工程)の後に、回路基板12上面に対しLED素子13及びツェナーダイオード17cを避けるようにしてインクジェットなどノズルを使う方法で白色インクを塗布したものである。
次に図17で本実施形態のLED装置10cにおける発光を説明する。図17は、LED装置10cの発光の説明図であり、図16の断面図に蛍光体と代表的な光線を書き込んだものである。なお部材の番号は図示していない。光線L1,L5a,L5bは第2実施形態の図15と同じである。光線L6は、サファイア基板25の上面で全反射し側面から出射してから、さらにツェナーダイオード17cの反射層37の側面部で拡散的に反射しLED装置10cの外部に出射する光を示している。なおツェナーダイオード17cの上面で反射しLED装置10cの外部に出射する光線や蛍光体から直接LED装置10cの外部に出射する光線、サファイア基板25の底面から出射する光線などは図示していない。
図18により本実施形態のツェナーダイオード17cの製造方法を説明する。図18は本実施形態のツェナーダイオード17cを製造する方法の説明図である。(a)のウェハー31aを準備する工程と、(b)のウェハー31aの裏面を研磨する工程と、(c)のバンプ33を形成する工程は、第1実施形態における図11(a)、(b)、(c)と等しい。(d)は、ウェハー31aの上面にダイシング用シート38を貼り付ける工程を示
している。(e)はダイシング機によりウェハー31aをツェナーダイオード17dに個片化する工程を示している。(f)はダイシング用シート38を拡張する工程を示している。(g)は個片化したツェナーダイオード17dを粘着シート39に転写する工程を示している。(h)はツェナーダイオード17dの上面を覆うようにして粘着シート39上に白色インク層52aを形成する工程を示している。(i)は白色インク層52aをダイシングし、底面を除き白色インクに覆われたツェナーダイオード17cを完成させる工程を示している。(j)はツェナーダイオード17cを粘着シート39bに転写しピックアップできるようにする工程を示している。
している。(e)はダイシング機によりウェハー31aをツェナーダイオード17dに個片化する工程を示している。(f)はダイシング用シート38を拡張する工程を示している。(g)は個片化したツェナーダイオード17dを粘着シート39に転写する工程を示している。(h)はツェナーダイオード17dの上面を覆うようにして粘着シート39上に白色インク層52aを形成する工程を示している。(i)は白色インク層52aをダイシングし、底面を除き白色インクに覆われたツェナーダイオード17cを完成させる工程を示している。(j)はツェナーダイオード17cを粘着シート39bに転写しピックアップできるようにする工程を示している。
本実施形態は反射層37cを白色インクとしたので大気中で塗布できるため前述のように金属薄膜や誘電体多層膜に比べ製造方法や装置が簡単になる。またLED装置10cは、ツェナーダイオード17cの周囲を白色インクで覆っているのでサファイア基板25の側面からツェナーダイオード17cに向かう光線をLED装置10cの外部に出射できるめ、第1実施形態のLED装置10よりも反射効率が改善する。また白色インク層51とLED素子13及びツェナーダイオード17cとの間に隙間がないので第2実施形態のLED装置10bよりも反射効率が改善する。また白色インクがLED装置10cの底面に浸み込んでいる結果、LED素子13の底面から出射する光が板材16に届きにくくなるため板材16を樹脂にした場合、より確実に板材16の劣化が防止される。
(第4実施形態)
(第4実施形態)
添付図19を参照しながら、本発明の第4実施形態について詳細に説明する。LED装置の外観及びLED素子13、ツェナーダイオード17は第1実施形態と等しい。なお説明のなかでサフィックスをつけて第4実施形態であることを明示している部分がある。図19も図2のA−A線に沿うようにして描いたLED装置10d(サフィックス変更)の断面図である。第1実施形態(図8)に対し回路基板12d(サフィックス変更)の断面形状だけが異なる。回路基板12dは、ツェナーダイオード17の実装領域に凹部があり、その凹部には−電極14及び+電極15(図示せず)が配線されている。第1実施形態の製造方法(図12)との相違点は接合する工程にあり、本実施形態の場合、先にツェナーダイオード17と回路基板12dを接合し、次にLED素子13と回路基板12dとを接合する。
本実施形態では反射層37がサファイア基板25の上面より低くなっているのでサファイア基板25の側面から出射しツェナーダイオード17に向かう光線の一部を反射できるようになる。この結果、第1実施形態よりもLED装置10dの発光効率が改善する。また第2及び第3実施形態のように回路基板12d上面に白色インク層を設けても良い。反射層37をサファイア基板25の上面より低くする手法として凹部形成ではなくSi基板31やバンプ33を薄くしても良い。一般にツェナーダイオード17は薄い方が発光効率向上に係わる効果が大きくなる。
第1〜第4実施形態では蛍光体層を、LED素子13とともにツェナーダイオード17,17b、17cを取り囲んで覆う樹脂層11としていた。蛍光体層は樹脂層に限らず、LED素子とツェナーダイオードをともに覆っていれば、LED素子とツェナーダイオードから離間し上部に配置されていても良い。
10,10b,10c,10d,20…LED装置(半導体発光装置)、
11,11d…樹脂層(蛍光体層)、
11a,11b,11c…蛍光体、
12,12d…回路基板、
13…LED素子(半導体発光素子)、
13a…LED素子の実装領域、
14…−電極、
14a,15a…スルーホール電極、
14b,15b…出力電極、
15…+電極、
16…板材、
17,17b,17c…ツェナーダイオード(保護素子)、
17a…ツェナーダイオードの実装領域、
17e,17f…ツェナーダイオード素子
21…n型半導体層、
22…p型半導体層、
23…n側バンプ、
24…p側バンプ、
25…サファイア基板、
31,31b,31c…Si基板、
31a…ウェハー、
32a,32b…p型半導体領域、
33,34…バンプ、
33a…金錫共晶層、
33b…金バンプ部、
33c…UBM層、
35a、35b…アルミ電極、
36…保護膜、
37,37a,37b,37c…反射層、
38…ダイシング用シート、
39、39b、41…粘着シート、
42…集合基板、
43…ヘッド、
44…加熱台、
45…切断線、
51,52,52a…白色インク層、
L1,L2a,L2b,L3a,L3b、L4,L5a,L5b,L6…光線。
11,11d…樹脂層(蛍光体層)、
11a,11b,11c…蛍光体、
12,12d…回路基板、
13…LED素子(半導体発光素子)、
13a…LED素子の実装領域、
14…−電極、
14a,15a…スルーホール電極、
14b,15b…出力電極、
15…+電極、
16…板材、
17,17b,17c…ツェナーダイオード(保護素子)、
17a…ツェナーダイオードの実装領域、
17e,17f…ツェナーダイオード素子
21…n型半導体層、
22…p型半導体層、
23…n側バンプ、
24…p側バンプ、
25…サファイア基板、
31,31b,31c…Si基板、
31a…ウェハー、
32a,32b…p型半導体領域、
33,34…バンプ、
33a…金錫共晶層、
33b…金バンプ部、
33c…UBM層、
35a、35b…アルミ電極、
36…保護膜、
37,37a,37b,37c…反射層、
38…ダイシング用シート、
39、39b、41…粘着シート、
42…集合基板、
43…ヘッド、
44…加熱台、
45…切断線、
51,52,52a…白色インク層、
L1,L2a,L2b,L3a,L3b、L4,L5a,L5b,L6…光線。
Claims (4)
- 回路基板上に半導体発光素子とともに保護素子もフリップチップ実装され、蛍光体層が前記回路基板及び前記半導体及び保護素子を覆う半導体発光装置において、
前記保護素子は前記回路基板と接続する面とは反対側の面に反射層を備えることを特徴とする半導体発光装置。 - 前記反射層が金属膜であることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光装置。
- 前記反射層は反射性微粒子とバインダーとを混練した白色インクであることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光装置。
- 前記半導体発光素子と前記保護素子がそれぞれ電解メッキ法で形成した金バンプを備え、
前記半導体発光素子及び前記保護素子が前記回路基板の電極と金錫共晶で接合することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体発光装置。
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JP2010152763A JP2012015437A (ja) | 2010-07-05 | 2010-07-05 | 半導体発光装置 |
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2010
- 2010-07-05 JP JP2010152763A patent/JP2012015437A/ja active Pending
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