JP2020150218A - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】歩留まりを向上する。【解決手段】実施形態によれば、半導体記憶装置は、複数の第1配線層WLと、複数の第1配線層と隣り合って配置された複数の第2配線層WLと、複数の第1配線層を通過する第1メモリピラーMPと、複数の第2配線層を通過する第2メモリピラーMPと、複数の第1配線層の上方に設けられ、複数の第1配線層と対応した平面形状にて第1方向に延伸する第1膜37と、複数の第2配線層の上方に設けられ、第2方向に第1膜とは分離されつつ、前記複数の第2配線層と対応した平面形状にて第1方向に延伸する第2膜37とを含む。第1及び第2膜は、シリコン酸化膜よりも高い圧縮ストレスを有する。【選択図】図4
Description
本発明の実施形態は、半導体記憶装置に関する。
半導体記憶装置として、NAND型フラッシュメモリが知られている。
歩留まりを向上できる半導体記憶装置を提供する。
実施形態に係る半導体記憶装置は、半導体基板に略平行な第1方向に延伸する複数の第1配線層と、第1方向に延伸し、半導体基板に略平行であり且つ第1方向と交差する第2方向に複数の第1配線層とは分離されつつ、複数の第1配線層と隣り合って配置された複数の第2配線層と、複数の第1配線層を通過し、半導体基板に略垂直な第3方向に延伸する第1メモリピラーと、複数の第2配線層を通過し、第3方向に延伸する第2メモリピラーと、複数の第1配線層の上方に設けられ、複数の第1配線層と対応した平面形状にて第1方向に延伸する第1膜と、複数の第2配線層の上方に設けられ、第2方向に第1膜とは分離されつつ、複数の第2配線層と対応した平面形状にて第1方向に延伸する第2膜とを含む。第1及び第2膜は、シリコン酸化膜よりも高い圧縮ストレスを有する。
以下に、実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下の説明において、略同一の機能及び構成を有する構成要素については、同一符号を付し、重複説明は必要な場合にのみ行う。また、以下に示す各実施形態は、この実施形態の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、実施形態の技術的思想は、構成部品の材質、形状、構造、配置等を下記のものに特定するものでない。実施形態の技術的思想は、特許請求の範囲において、種々の変更を加えることができる。
1.第1実施形態
第1実施形態に係る半導体記憶装置について説明する。以下では、半導体記憶装置として、メモリセルトランジスタが半導体基板上に三次元に積層された三次元積層型NAND型フラッシュメモリを例に挙げて説明する。
第1実施形態に係る半導体記憶装置について説明する。以下では、半導体記憶装置として、メモリセルトランジスタが半導体基板上に三次元に積層された三次元積層型NAND型フラッシュメモリを例に挙げて説明する。
1.1 構成
1.1.1 半導体記憶装置の全体構成
まず、半導体記憶装置の全体構成について、図1を用いて説明する。図1は、半導体記憶装置の基本的な全体構成を示すブロック図の一例である。
1.1.1 半導体記憶装置の全体構成
まず、半導体記憶装置の全体構成について、図1を用いて説明する。図1は、半導体記憶装置の基本的な全体構成を示すブロック図の一例である。
図1に示すように、半導体記憶装置1は、メモリコア部10と周辺回路部20とを含む。
メモリコア部10は、メモリセルアレイ11、ロウデコーダ12、及びセンスアンプ13を含む。
メモリセルアレイ11は、複数のブロックBLK(BLK0、BLK1、BLK2、…)を備えている。ブロックBLKの各々は、メモリセルトランジスタが直列接続されたNANDストリングNSの集合である複数(本実施形態では4個)のストリングユニットSU(SU0〜SU3)を備えている。なお、メモリセルアレイ11内のブロックBLKの個数及びブロックBLK内のストリングユニットSUの個数は任意である。
ロウデコーダ12は、図示せぬ外部コントローラから受信したロウアドレスをデコードする。そしてロウデコーダ12は、デコード結果に基づいてメモリセルアレイ11のロウ方向を選択する。より具体的にはロウデコーダ12は、ロウ方向を選択するための種々の配線に電圧を与える。
センスアンプ13は、データの読み出し時には、いずれかのブロックBLKから読み出されたデータをセンスする。また、センスアンプ13は、データの書き込み時には、書き込みデータに応じた電圧をメモリセルアレイ11に与える。
周辺回路部20は、シーケンサ21及び電圧発生回路22を含む。
シーケンサ21は、半導体記憶装置1全体の動作を制御する。より具体的には、シーケンサ21は、書き込み動作、読み出し動作、及び消去動作の際に、電圧発生回路22、ロウデコーダ12、及びセンスアンプ13等を制御する。
電圧発生回路22は、書き込み動作、読み出し動作、及び消去動作に使用される電圧を発生させ、ロウデコーダ12及びセンスアンプ13等に供給する。
1.1.2 メモリセルアレイの構成
次に、メモリセルアレイ11の構成について、図2を用いて説明する。図2の例は、ブロックBLK0を示しているが、他のブロックBLKの構成も同じである。
次に、メモリセルアレイ11の構成について、図2を用いて説明する。図2の例は、ブロックBLK0を示しているが、他のブロックBLKの構成も同じである。
図2に示すように、ブロックBLK0は、例えば4つのストリングユニットSU0〜SU3を含む。そして、各々のストリングユニットSUは、複数のNANDストリングNSを含む。NANDストリングNSの各々は、例えば8個のメモリセルトランジスタMC(MC0〜MC7)並びに選択トランジスタST1及びST2を含んでいる。メモリセルトランジスタMCは、制御ゲートと電荷蓄積層とを備え、データを不揮発に保持する。以下、メモリセルトランジスタMC0〜MC7のいずれかを限定しない場合は、メモリセルトランジスタMCと表記する。
なお、メモリセルトランジスタMCは、電荷蓄積層に絶縁膜を用いたMONOS型であってもよいし、電荷蓄積層に導電層を用いたFG型であってもよい。以下、本実施形態では、MONOS型を例として説明する。また、メモリセルトランジスタMCの個数は8個に限らず、16個や32個、64個、96個、128個等であってもよく、その数は限定されるものではない。図2の例は、1つのNANDストリングNSに選択トランジスタST1及びST2が1個ずつ含まれている場合を示しているが、1つのNANDストリングNSに含まれる選択トランジスタST1及びST2は、それぞれ1個以上であればよい。
NANDストリングNS内では、選択トランジスタST2、メモリセルトランジスタMC0〜MC7、選択トランジスタST1の順に、それぞれの電流経路が直列に接続される。そして、選択トランジスタST1のドレインは、対応するビット線BLに接続される。また、選択トランジスタST2のソースは、ソース線SLに接続される。
同一のブロックBLK内にある各NANDストリングNSのメモリセルトランジスタMC0〜MC7の制御ゲートは、それぞれ異なるワード線WL0〜WL7に共通に接続される。より具体的には、例えば、ブロックBLK内にある複数のメモリセルトランジスタMC0の制御ゲートは、ワード線WL0に共通に接続される。
同一のストリングユニットSU内にある各NANDストリングNSの選択トランジスタST1のゲートは、選択ゲート線SGDに共通に接続される。より具体的には、ストリングユニットSU0にある選択トランジスタST1のゲートは、選択ゲート線SGD0に接続される。ストリングユニットSU1にある選択トランジスタST1(不図示)のゲートは、選択ゲート線SGD1に接続される。ストリングユニットSU2にある選択トランジスタST1(不図示)のゲートは、選択ゲート線SGD2に接続される。ストリングユニットSU3にある選択トランジスタST1(不図示)のゲートは、選択ゲート線SGD3に接続される。以下、選択ゲート線SGD0〜SGD3のいずれかを限定しない場合は、選択ゲート線SGDと表記する。
同一のブロックBLK内にある選択トランジスタST2のゲートは、選択ゲート線SGSに共通に接続される。なお、ストリングユニットSU0〜SU3にある選択トランジスタST2のゲートは、ストリングユニットSU毎に、異なる選択ゲート線SGSに接続されてもよい。
ストリングユニットSU内にある複数の選択トランジスタST1のドレインは、それぞれが異なるビット線BL(BL0〜BL(N−1)、但し、Nは2以上の自然数)に接続される。すなわち、ストリングユニットSU内にある複数のNANDストリングNSは、それぞれが異なるビット線BLに接続される。また、ビット線BLは、各ブロックBLKにあるストリングユニットSU0〜SU3にそれぞれ含まれる1つのNANDストリングNSを共通に接続する。
複数のブロックBLKにある選択トランジスタST2のソースは、ソース線SLに共通に接続される。
つまり、ストリングユニットSUは、それぞれが異なるビット線BLに接続され、且つ同一の選択ゲート線SGDに接続されたNANDストリングNSの集合体である。またブロックBLKは、ワード線WLを共通にする複数のストリングユニットSUの集合体である。そしてメモリセルアレイ11は、ビット線BLを共通にする複数のブロックBLKの集合体である。
なお、メモリセルアレイ11の構成についてはその他の構成であっても良い。すなわちメモリセルアレイ11の構成については、例えば、“三次元積層型不揮発性半導体メモリ(THREE DIMENSIONAL STACKED NONVOLATILE SEMICONDUCTOR MEMORY)”という2009年3月19日に出願された米国特許出願12/407,403号に記載されている。また、“三次元積層型不揮発性半導体メモリ(THREE DIMENSIONAL STACKED NONVOLATILE SEMICONDUCTOR MEMORY)”という2009年3月18日に出願された米国特許出願12/406,524号、“不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法(NON-VOLATILE SEMICONDUCTOR STORAGE DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME)”という2010年3月25日に出願された米国特許出願12/679,991号、“半導体メモリ及びその製造方法(SEMICONDUCTOR MEMORY AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME)”という2009年3月23日に出願された米国特許出願12/532,030号に記載されている。これらの特許出願は、その全体が本願明細書において参照により援用されている。
1.1.3 メモリセルアレイの構成
次に、メモリセルアレイ11の構成について、図3及び図4を用いて説明する。図3は、メモリセルアレイ11の斜視図である。図4は、メモリセルアレイ11の断面図である。
次に、メモリセルアレイ11の構成について、図3及び図4を用いて説明する。図3は、メモリセルアレイ11の斜視図である。図4は、メモリセルアレイ11の断面図である。
図3に示すように、半導体基板30の上方には、半導体基板30に略平行なX方向に延伸する選択ゲート線SGS、ワード線WL0〜WL7、及び選択ゲート線SGDが、半導体基板30に略垂直であり且つX方向に略直交するZ方向に積層されている。ワード線WL並びに選択ゲート線SGS及びSGDは、半導体基板30に略平行であり且つX方向及びZ方向に略直交するY方向において、X方向に延伸するスリットSLTにより、例えば、ブロックBLK毎に分離されている。また、選択ゲート線SGDは、例えば、2つのスリットSLT間でX方向に延伸する浅いスリット(不図示)により、ストリングユニットSU毎にY方向に更に分離されている。例えば、ワード線WL並びに選択ゲート線SGS及びSGDは、Z方向から見るとX方向に長くY方向に短い長方形である。本実施形態では、スリットSLT内にソース線コンタクトが形成されている場合について説明する。ソース線コンタクトは、半導体基板30とメモリピラーMPよりも上方に設けられる図示せぬソース線SLとを接続する。
ワード線WL並びに選択ゲート線SGS及びSGDとして機能する配線層には、n型半導体またはp型半導体等の半導体材料、あるいはタングステン(W)等の金属材料が用いられる。例えば、CVD(chemical vapor deposition)により形成されたWは、引っ張り応力(tensile stress)を有する。よって、例えば、ワード線WL並びに選択ゲート線SGS及びSGDがX方向に長くY方向に短い長方形の形状である場合、半導体基板30は、ワード線WL並びに選択ゲート線SGS及びSGDの影響により、X方向の反り量が大きくなる。
本実施形態では、ワード線WL並びに選択ゲート線SGS及びSGDの引っ張り応力による半導体基板のX方向の反り量を低減するため、選択ゲート線SGDの上方に、ワード線WL並びに選択ゲート線SGS及びSGDとは逆方向の圧縮ストレス(compressive stress)を有する高圧縮ストレス膜HCが設けられている。高圧縮ストレス膜HCは、ワード線WL並びに選択ゲート線SGS及びSGDと同様に、Y方向においてはスリットSLTにより分離され、X方向に延伸する。すなわち、高圧縮ストレス膜HCは、Z方向から見るとX方向に長くY方向に短い長方形であり、ワード線WL及び選択ゲート線SGSと対応した平面形状を有する。高圧縮ストレス膜HCは、シリコン酸化膜(SiO2)より高い圧縮ストレスを有する。例えば、平行平板型プラズマCVDにより形成されたSiO2は、−100〜−200MPa(−は圧縮ストレスを示す)程度の圧縮ストレスを有しているので、高圧縮ストレス膜HCは、少なくとも−300MPa(絶対値300MPa以上)の高い圧縮ストレスを有していることが好ましい。本実施形態では、高圧縮ストレス膜HCに、スパッタリング等のPVD(physical vapor deposition)により形成されたシリコン窒化膜(SiN)を用いる場合について説明する。PVD−SiNは、例えば少なくとも−1GPaの比較的高い圧縮ストレスを有する。PVD−SiNは、CVD−SiNと異なり、膜中に水素(H)をほとんど含んでいない。このため、SIMS(secondary ion mass spectrometry)等の分析により、PVD−SiNとCVD−SiNとは区別ができる。
なお、PVD−SiNの代わりに、例えばCVD−SiNに、炭素(C)、またはホウ素(B)等の不純物を添加して高圧縮ストレス膜HCを形成してもよい。また、SiN以外の絶縁膜を用いてもよい。更に、高圧縮ストレス膜HCは、絶縁膜に限定されない。例えば、高圧縮ストレス膜HCは、半導体材料でもよく金属材料であってもよい。例えば、高圧縮ストレス膜HCは、アモルファスシリコン、ポリシリコン、または、窒素(N)等を添加したタングステン(W)であってもよい。
Y方向において、2つのスリットSLTの間には、ワード線WL並びに選択ゲート線SGS及びSGDを通過し、Z方向に延伸する複数のメモリピラーMPが、X方向に沿って配置されている。1つのメモリピラーMPが1つのNANDストリングNSに対応する。メモリピラーMPの詳細については後述する。なお、2つのスリットSLT間におけるメモリピラーMPの配列は任意である。例えば、メモリピラーMPの配置は、X方向において、4列の千鳥配置であってもよい。
メモリピラーMP上には、高圧縮ストレス膜HCを貫通するコンタクトプラグCPが設けられている。コンタクトプラグCPは、メモリピラーMPと、高圧縮ストレス膜HCの上方に設けられたビット線BL(不図示)とを接続する。
次に、メモリセルアレイ11の断面構成について説明する。
図4に示すように、半導体基板(p型半導体基板)30の表面領域には、n型ウェル31が設けられている。そして、n型ウェル31の表面領域には、p型ウェル32が設けられている。また、p型ウェル32の表面領域の一部には、n+型拡散層33が設けられている。そしてp型ウェル32上には、11層の絶縁層34と、選択ゲート線SGS、ワード線WL0〜WL7、及び選択ゲート線SGDとして機能する10層の配線層35が、交互に積層されている。絶縁層34及び配線層35は、X方向に沿って延伸する。絶縁層34には、例えば、SiO2が用いられる。以下では、配線層35として、窒化チタン(TiN)とタングステン(W)との積層構造が用いられる場合について説明する。TiNは、例えばCVDによりWを成膜する際、WとSiまたはSiO2との反応を防止するためのバリア層、あるいはWの密着性を向上させるための密着層としての機能を有する。
11層の絶縁層34及び10層の配線層35による積層構造の上面及び側面を覆うように、絶縁層36が形成されている。絶縁層36には、例えば、SiO2が用いられる。
絶縁層36上には、X方向に延伸する絶縁層37が形成されている。絶縁層37は、高圧縮ストレス膜HCとして機能し、例えば、PVD−SiNが用いられる。また、積層構造の側面側には、絶縁層36を介して後述する導電層44が形成されており、絶縁層37及び導電層44上には、絶縁層34が形成されている。
10層の配線層35を貫通して、底面がp型ウェル32に達するメモリピラーMPが形成されている。メモリピラーMPは、ブロック絶縁膜38、電荷蓄積層39、トンネル絶縁膜40、半導体層41、コア層42、及びキャップ層43を含む。
より具体的には、10層の配線層35を貫通して、底面がp型ウェル32に達するように、メモリピラーMPに対応するホールが形成されている。ホールの側面にはブロック絶縁膜38、電荷蓄積層39、及びトンネル絶縁膜40が順次積層されている。そして、側面がトンネル絶縁膜40に接し、底面がp型ウェル32に接するように半導体層41が形成されている。半導体層41は、メモリセルトランジスタMC並びに選択トランジスタST1及びST2のチャネルが形成される領域である。よって、半導体層41は、選択トランジスタST2、メモリセルトランジスタMC0〜MC7、及び選択トランジスタST1の電流経路を接続する信号線として機能する。半導体層41内にはコア層42が設けられている。そして、半導体層41及びコア層42上には、側面がトンネル絶縁膜40に接するキャップ層43が形成されている。
ブロック絶縁膜38、トンネル絶縁膜40、及びコア層42には、例えば、SiO2が用いられる。電荷蓄積層39には、例えば、SiNが用いられる。半導体層41及びキャップ層43には、例えば、ポリシリコンが用いられる。
メモリピラーMPと、ワード線WL0〜WL7としてそれぞれ機能する8層の配線層35とにより、メモリセルトランジスタMC0〜MC7がそれぞれ構成される。同様に、メモリピラーMPと、選択ゲート線SGD及びSGSとしてそれぞれ機能する2層の配線層35とにより、選択トランジスタST1及びST2がそれぞれ構成される。
なお、図4の例では、選択ゲート線SGD及びSGSとして機能する配線層35は、それぞれ1層ずつ設けられているが、複数層設けられても良い。
キャップ層43上には、絶縁層36、絶縁層37、及び絶縁層34を貫通するコンタクトプラグCPが形成される。コンタクトプラグCP上には、ビット線BLとして機能する配線層(不図示)が形成される。例えば、コンタクトプラグCPには、W及びTiN等の金属材料が用いられる。
Y方向において、配線層35及び絶縁層37をそれぞれ分離するように、底面がn+型拡散層33に達し、X方向に延伸するスリットSLTが形成されている。スリットSLT内には、側面が絶縁層36及び絶縁層37に接し、底面がn+型拡散層33に接する導電層44が形成されている。導電層44は、ソース線コンタクトとして機能する。導電層44は、X方向に延伸するライン形状を有する。導電層44の上面は、ソース線SLとして機能する配線層(不図示)に接続される。導電層44には、例えば、ポリシリコン等の半導体材料、W等の金属材料、またはこれらの積層構造が用いられる。
1.2 メモリセルアレイの製造方法
次に、メモリセルアレイ11の製造方法について、図5〜図9を用いて説明する。図5〜図9は、メモリセルアレイ11の製造工程における断面図を示す。本実施形態では、配線層35に相当する構造を犠牲層で形成した後、犠牲層を導電材料に置き換えて配線層35を形成する方法(以下、「リプレース」と呼ぶ)について説明する。
次に、メモリセルアレイ11の製造方法について、図5〜図9を用いて説明する。図5〜図9は、メモリセルアレイ11の製造工程における断面図を示す。本実施形態では、配線層35に相当する構造を犠牲層で形成した後、犠牲層を導電材料に置き換えて配線層35を形成する方法(以下、「リプレース」と呼ぶ)について説明する。
図5に示すように、p型ウェル32上に、11層の絶縁層34と10層の配線層35に対応する10層の犠牲層45とを交互に積層する。犠牲層45には、例えば、SiNが用いられる。なお、犠牲層は、SiNに限定されない。犠牲層45は、例えば、絶縁層34とウエットエッチングの選択比が十分に得られる材料であればよい。
次に、底面がp型ウェル32に接するメモリピラーMPを形成する。より具体的には、絶縁層34及び犠牲層45を加工してメモリピラーMPに対応するホールを形成する。次に、ブロック絶縁膜38、電荷蓄積層39、及びトンネル絶縁膜40を順次積層した後、ホール底部のブロック絶縁膜38、電荷蓄積層39、及びトンネル絶縁膜40を除去する。次に、半導体層41及びコア層42を順次積層してホール内を埋め込む。次に、最上層の絶縁層34上のブロック絶縁膜38、電荷蓄積層39、トンネル絶縁膜40、半導体層41、及びコア層42を除去する。このとき、ホールの上部において、半導体層41及びコア層42の一部がエッチングされる。その後、ホールの上部を埋め込むようにキャップ層43を形成する。そして、最上層の絶縁層34上のキャップ層43を除去する。
次に、メモリピラーMPの上面を覆うように絶縁層34を形成し、表面を平坦化する。
次に、底面がn+型拡散層33に達し、X方向に延伸するスリットSLTを形成する。
図6に示すように、犠牲層45を除去し空隙AGを形成する。より具体的には、例えば、犠牲層45がSiNである場合、燐酸(H3PO4)を用いたウエットエッチングにより、スリットSLTの側面から露出している犠牲層45をエッチングする。
図7に示すように、TiN及びWを順次成膜して、空隙AG内を埋め込む。次に、スリットSLT内及び最上層の絶縁層34上のWとTiNとを除去することにより配線層35が形成される。
次に、絶縁層36を形成した後、スリットSLT底部の絶縁層36を除去する。このとき、最上層の絶縁層34上に形成されている絶縁層36も除去されてもよい。すなわち、スリットSLTの側面に絶縁層36が形成されていればよい。
図8に示すように、絶縁層37を形成する。例えばスパッタリングにより形成されたSiNは、段差被覆性(step coverage)がよくない。このため、絶縁層37としてPVD−SiNを用いた場合、PVD−SiNは、スリットSLTの側面及び底面にほとんど形成されない。これにより、スリットSLTにより分離された絶縁層37、すなわち高圧縮ストレス膜HCが形成される。
図9に示すように、スリットSLTを埋め込むように、導電層44が形成される。なお、スリットSLT内は導電層44により完全に埋め込まれていなくてもよく、ボイドが形成されていてもよい。そして、図4に示すように、絶縁層34を形成して導電層44及び絶縁層37を被覆した後、コンタクトプラグCPを形成する。
1.3 本実施形態に係る効果
本実施形態に係る構成であれば、歩留まりを向上できる半導体記憶装置を提供できる。本効果につき、詳述する。
本実施形態に係る構成であれば、歩留まりを向上できる半導体記憶装置を提供できる。本効果につき、詳述する。
ワード線WLの膜ストレスと半導体基板30の反り量との関係に着目すると、例えば、ワード線WLがZ方向から見てX方向に長くY方向に短い長方形をしている場合、ワード線WLによる半導体基板30の反り量は、X方向に大きくY方向に小さくなる。三次元積層型NAND型フラッシュメモリの高集積化が進み、ワード線WLの積層数が増えると、その傾向は、より顕著となる。例えば、半導体基板30のX方向の反り量とY方向の反り量との差が大きくなると、半導体記憶装置の製造工程において、半導体基板30の搬送不良等が発生しやすくなる。また、半導体基板30の反りにより絶縁層のクラック等が発生しやすくなる。このため、製造歩留まりが低下する。
これに対し、本実施形態に係る構成であれば、ワード線WLの上方に、ワード線WLと同様にスリットSLTで分離された高圧縮ストレス膜HCを形成できる。ワード線WLに用いられる金属は引っ張り応力なので、高圧縮ストレス膜HCを形成することにより、半導体基板30のX方向の反り量を低減でき、X方向の反り量とY方向の反り量との差を低減できる。これにより、製造歩留まりの低下を抑制できる。
更に、本実施形態に係る構成であれば、高圧縮ストレス膜HCは、スリットSLTにより分離されているため、高圧縮ストレス膜HCを設けることによるY方向の反り量増加を抑制できる。
2.第2実施形態
次に、第2実施形態について説明する。第2実施形態では、第1実施形態とは異なるメモリセルアレイ11の製造方法について説明する。以下、第1実施形態と異なる点を中心に説明する。
次に、第2実施形態について説明する。第2実施形態では、第1実施形態とは異なるメモリセルアレイ11の製造方法について説明する。以下、第1実施形態と異なる点を中心に説明する。
2.1 メモリセルアレイの製造方法
本実施形態に係るメモリセルアレイ11の製造方法について、図10〜図14を用いて説明する。図10〜図14は、メモリセルアレイ11の製造工程における断面図を示す。
本実施形態に係るメモリセルアレイ11の製造方法について、図10〜図14を用いて説明する。図10〜図14は、メモリセルアレイ11の製造工程における断面図を示す。
図10に示すように、第1実施形態の図5と同様に、p型ウェル32上に、11層の絶縁層34と10層の犠牲層45とを交互に積層した後、メモリピラーMPを形成する。更に、メモリピラーMPの上面を覆うように絶縁層34を形成し、表面を平坦化する。
次に、高圧縮ストレス膜HCとして、例えば、半導体層46を形成する。半導体層46には、例えば、少なくとも−300MPaの圧縮ストレスを有するアモルファスシリコンまたはポリシリコンが用いられる。本実施形態では、リプレースを考慮して、PVD−SiNの代わりに、半導体層46を用いた場合について説明するが、半導体層46に限定されない。高圧縮ストレス膜HCには、絶縁材料を用いてもよく、導電材料を用いてもよい。本実施形態では、スリットSLTを形成する前に高圧縮ストレス膜HCを形成するため、段差被覆性を考慮せずに高圧縮ストレス膜HCを選択できる。
図11に示すように、次に、半導体層46、絶縁層34、及び犠牲層45を加工し、底面がp型ウェル32に達し、X方向に延伸するスリットSLTを形成する。
図12に示すように、第1実施形態の図6と同様に、犠牲層45を除去し空隙AGを形成する。
図13に示すように、TiN及びWを順次成膜して、空隙AG内を埋め込む。次に、スリットSLT内及び半導体層46上のWとTiNとを除去することにより配線層35が形成される。
次に、絶縁層36を形成した後、スリットSLT底部の絶縁層36を除去する。
図14に示すように、スリットSLTを埋め込むように、導電層44が形成される。
次に、絶縁層34を形成した後、側面に絶縁層47が設けられたコンタクトプラグCPを形成する。絶縁層47には、例えば、SiO2が用いられる。
2.2. 本実施形態に係る効果
本実施形態に係る構成であれば、第1実施形態と同様の効果を得られる。
本実施形態に係る構成であれば、第1実施形態と同様の効果を得られる。
3.第3実施形態
次に、第3実施形態について説明する。第3実施形態では、スリットSLT内にも高圧縮ストレス膜HCを形成する場合について説明する。以下、第1及び第2実施形態と異なる点を中心に説明する。
次に、第3実施形態について説明する。第3実施形態では、スリットSLT内にも高圧縮ストレス膜HCを形成する場合について説明する。以下、第1及び第2実施形態と異なる点を中心に説明する。
3.1 メモリセルアレイの断面構成
本実施形態に係るメモリセルアレイ11の断面構成について、図15を用いて説明する。
本実施形態に係るメモリセルアレイ11の断面構成について、図15を用いて説明する。
図15に示すように、スリットSLT内には、バリアメタルとして機能する導電層51及び53、高圧縮ストレス膜HCとして機能する導電層52、並びに導電層54が形成されている。より具体的には、スリットSLTの側面及び底面に接するように導電層51が形成されている。側面及び底面が導電層51に接するように導電層52が形成されている。導電層52は、スリットSLTの開口部に向かってY方向における膜厚が薄くなるように形成されている。側面及び底面が導電層52に接するように導電層53が形成されている。側面及び底面が導電層53に接し、スリットSLT内を埋め込むように導電層54が形成されている。
導電層51には、例えば、TiN/Tiの積層構造が用いられる。導電層52には、高圧縮ストレス膜HCとして、例えば、Nが添加されたWが用いられる。導電層53には、例えば、TiNが用いられる。導電層54には、例えば、Wが用いられる。
なお、スリットSLT内に形成される高圧縮ストレス膜HCは、Nが添加されたWに限定されない。また、高圧縮ストレス膜HCは、スリットSLTにおける絶縁層37を分離する高さまで設けられる必要はなく、少なくとも10層の配線層35が積層された積層構造において、スリットSLTが配線層35を分離する高さまで設けられていればよい。
3.2 メモリセルアレイの製造方法
本実施形態に係るメモリセルアレイ11の製造方法について、図16〜図19を用いて説明する。図16〜図19は、メモリセルアレイ11の製造工程における断面図を示す。以下では、スリットSLTの埋め込みについて詳細に説明する。
本実施形態に係るメモリセルアレイ11の製造方法について、図16〜図19を用いて説明する。図16〜図19は、メモリセルアレイ11の製造工程における断面図を示す。以下では、スリットSLTの埋め込みについて詳細に説明する。
図16に示すように、第1実施形態の図5〜図8と同様にして、絶縁層37を形成する。
次に、導電層51としてTiN/Tiを積層する。
次に、導電層52を形成する。より具体的には、スリットSLTを埋め込まない膜厚のWを形成する。次に、例えば、アンモニア(NH3)雰囲気で熱処理を行う。これによりW膜中にNが拡散し、高圧縮ストレス膜HCが形成される。
図17に示すように、絶縁層37の上方に形成されている導電層52を除去する。このとき、スリットSLTの開口部近傍においても、導電層52の一部が除去される。これにより、導電層52のY方向における膜厚は、スリットSLTの開口部に向かって薄くなる。
図18に示すように、導電層53としてTiNを形成した後、導電層54としてWを形成し、スリットSLTを埋め込む。
図19に示すように、絶縁層37上の導電層51〜54を除去する。そして、図15に示すように、絶縁層34を形成した後、コンタクトプラグCPを形成する。
3.3 本実施形態に係る効果
本実施形態に係る構成であれば、第1実施形態と同様の効果が得られる。
本実施形態に係る構成であれば、第1実施形態と同様の効果が得られる。
更に、本実施形態に係る構成であれば、スリットSLT内に高圧縮ストレス膜HCを形成することにより、半導体基板30のX方向の反り量とY方向の反り量との差をより低減できる。
4.第4実施形態
次に、第4実施形態について説明する。第4実施形態では、第1〜第3実施形態とは異なるメモリセルアレイ11の断面構成について説明する。
次に、第4実施形態について説明する。第4実施形態では、第1〜第3実施形態とは異なるメモリセルアレイ11の断面構成について説明する。
4.1 メモリセルアレイの断面構成
本実施形態に係るメモリセルアレイ11の断面構成について、図20を用いて説明する。
本実施形態に係るメモリセルアレイ11の断面構成について、図20を用いて説明する。
図20に示すように、半導体基板30上には、絶縁層60が形成されている。絶縁層60には、例えば、SiO2が用いられる。
絶縁層60上には、ソース線SLとして機能する配線層61が形成されている。配線層61は導電材料により構成され、例えば、n型半導体またはp型半導体等の半導体材料、あるいは金属材料が用いられる。なお、絶縁層60が形成されている領域、すなわち半導体基板30と配線層61との間には、ロウデコーダ12またはセンスアンプ13等の回路が設けられていてもよい。
配線層61の上方に設けられた配線層35、絶縁層37、メモリピラーMP、及びコンタクトプラグCPの構成は、第1実施形態と同様である。
本実施形態に係る構成では、ソース線コンタクトが不要であるため、例えば、スリットSLTの側面及び底面に絶縁層36が形成されている。スリットSLT内には、例えば、高圧縮ストレス膜HCとして半導体層62が形成されている。半導体層62には、例えば、少なくとも−300MPaの圧縮ストレスを有するアモルファスシリコンまたはポリシリコンが用いられる。なお、スリットSLT内には、高圧縮ストレス膜HCとして、絶縁材料が用いられてもよく、導電材料が用いられてもよい。
また、スリットSLT内の高圧縮ストレス膜HCは第3実施形態と同様、少なくとも10層の配線層35が積層された積層構造において、スリットSLTが配線層35を分離する高さまで埋め込まれていればよい。なお、スリットSLT内に、高圧縮ストレス膜HCが用いられなくてもよい。
4.2 本実施形態に係る効果
本実施形態に係る構成であれば、第1〜第3実施形態と同様の効果が得られる。
本実施形態に係る構成であれば、第1〜第3実施形態と同様の効果が得られる。
5.変形例等
上記実施形態に係る半導体記憶装置は、半導体基板に略平行な第1方向(X方向)に延伸する複数の第1配線層(WL)と、第1方向に延伸し、半導体基板に略平行であり且つ第1方向と交差する第2方向(Y方向)に複数の第1配線層とは分離されつつ、複数の第1配線層と隣り合って配置された複数の第2配線層(WL)と、複数の第1配線層を通過し、半導体基板に略垂直な第3方向に延伸する第1メモリピラー(MP)と、複数の第2配線層を通過し、第3方向に延伸する第2メモリピラー(MP)と、複数の第1配線層の上方に設けられ、複数の第1配線層と対応した平面形状にて第1方向に延伸する第1膜(37)と、複数の第2配線層の上方に設けられ、第2方向に第1膜とは分離されつつ、複数の第2配線層と対応した平面形状にて第1方向に延伸する第2膜(37)とを含む。第1及び第2膜は、シリコン酸化膜よりも高い圧縮ストレスを有する。
上記実施形態に係る半導体記憶装置は、半導体基板に略平行な第1方向(X方向)に延伸する複数の第1配線層(WL)と、第1方向に延伸し、半導体基板に略平行であり且つ第1方向と交差する第2方向(Y方向)に複数の第1配線層とは分離されつつ、複数の第1配線層と隣り合って配置された複数の第2配線層(WL)と、複数の第1配線層を通過し、半導体基板に略垂直な第3方向に延伸する第1メモリピラー(MP)と、複数の第2配線層を通過し、第3方向に延伸する第2メモリピラー(MP)と、複数の第1配線層の上方に設けられ、複数の第1配線層と対応した平面形状にて第1方向に延伸する第1膜(37)と、複数の第2配線層の上方に設けられ、第2方向に第1膜とは分離されつつ、複数の第2配線層と対応した平面形状にて第1方向に延伸する第2膜(37)とを含む。第1及び第2膜は、シリコン酸化膜よりも高い圧縮ストレスを有する。
上記実施形態を適用することにより、歩留まりを向上できる半導体記憶装置を提供できる。
なお、実施形態は上記説明した形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。
また、上記実施形態における「接続」とは、間に例えばトランジスタあるいは抵抗等、他の何かを介在させて間接的に接続されている状態も含む。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1…半導体記憶装置、10…メモリコア部、11…メモリセルアレイ、12…ロウデコーダ、13…センスアンプ、20…周辺回路部、21…シーケンサ、22…電圧発生回路、30…半導体基板、31…n型ウェル、32…p型ウェル、33…n+型拡散層、34、36、37、47、60…絶縁層、35、61…配線層、38…ブロック絶縁膜、39…電荷蓄積層、40…トンネル絶縁膜、41、46、62…半導体層、42…コア層、43…キャップ層、44、51〜54…導電層、45…犠牲層。
Claims (5)
- 半導体基板に略平行な第1方向に延伸する複数の第1配線層と、
前記第1方向に延伸し、前記半導体基板に略平行であり且つ前記第1方向と交差する第2方向に前記複数の第1配線層とは分離されつつ、前記複数の第1配線層と隣り合って配置された複数の第2配線層と、
前記複数の第1配線層を通過し、前記半導体基板に略垂直な第3方向に延伸する第1メモリピラーと、
前記複数の第2配線層を通過し、前記第3方向に延伸する第2メモリピラーと、
前記複数の第1配線層の上方に設けられ、前記複数の第1配線層と対応した平面形状にて前記第1方向に延伸する第1膜と、
前記複数の第2配線層の上方に設けられ、前記第2方向に前記第1膜とは分離されつつ、前記複数の第2配線層と対応した平面形状にて前記第1方向に延伸する第2膜と、
を備え、
前記第1及び第2膜は、シリコン酸化膜よりも高い圧縮ストレスを有する、
半導体記憶装置。 - 前記複数の第1配線層と前記複数の第2配線層との間に設けられ、前記第1方向に延伸する第3膜を更に備え、
前記第3膜は、前記シリコン酸化膜よりも高い圧縮ストレスを有する、
請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 前記第1及び第2膜は、アモルファスシリコン、ポリシリコン、PVD(physical vapor deposition)により形成されたシリコン窒化膜、及び窒素を含有するタングステンの1つを含む、
請求項1または2に記載の半導体記憶装置。 - 前記第3膜は、アモルファスシリコン、ポリシリコン、及びPVDにより形成されたシリコン窒化膜の1つを含む、
請求項2に記載の半導体記憶装置。 - 前記第3膜は、窒素を含有するタングステンを含む、
請求項2に記載の半導体記憶装置。
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