JP2020063477A - 電解Sn合金めっき液 - Google Patents
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Abstract
【課題】径が小さいパッドにおいてもリフロー後のボイド発生を抑えることができる電解Sn合金めっき液を実現できるようにする。【解決手段】電解Sn合金めっき液は、スズイオンの供給源となる化合物と、銀イオンの供給源となる化合物と、含窒素複素環式化合物の酸化物と、フラボノイド化合物とを含む。【選択図】なし
Description
本開示は電解Sn合金めっき液に関し、特にバンプの形成に用いることができる電解Sn合金メッキ液に関する。
半導体チップには、接続用のバンプが設けられる。接続用のバンプとしてはんだボール等が用いられているが、半導体チップの小型化に伴い、従来のはんだボールでは対応が困難になっている。直径が100μm程度のマイクロボールも存在するが、さらなる微細化が求められており、スズ(Sn)又はSn合金のめっきによるバンプの形成が注目されている(例えば、特許文献1を参照。)。
めっきにより微小なバンプを形成する場合、数十μmの範囲に数十μmの厚さで、相互に独立した複数の被膜を均一に堆積することが求められる。また、できるだけ表面がフラットでリフロー後にボイドが発生しにくい被膜を形成することが求められている。
しかしながら、従来の電解Sn合金めっき液ではボイドの低減が不十分である。さらに、パターンの多様化が進められており、径が小さいパッドにバンプを形成した場合にも、ボイド発生を抑制できるようにすることが求められている。
本開示の課題は、径が小さいパッドにバンプを形成した場合においてもリフロー後のボイド発生を抑えることができる電解Sn合金めっき液を実現できるようにすることである。
本開示の電解Sn合金めっき液の一態様は、スズイオンの供給源となる化合物と、銀イオンの供給源となる化合物と、含窒素複素環式化合物の酸化物と、フラボノイド化合物とを含む。
電解Sn合金めっき液の一態様において、フラボノイド化合物は、フラボノイド配糖体とすることができる。
電解Sn合金めっき液の一態様において、含窒素複素環式化合物の酸化物の濃度は、0.1g/L以上、10g/L以下とし、フラボノイド化合物の濃度は、0.001g/L以上、20g/L以下とすることができる。
電解Sn合金めっき液の一態様において、銅イオンの供給源となる化合物をさらに含んでいてもよい。
本開示の電解Sn合金めっき液によれば、径が小さいパッドにおいてもリフロー後のボイド発生を抑えることができる。
本実施形態の電解Sn合金めっき液は、スズ−銀(Sn−Ag)の2元合金又はスズ−銀−銅(Sn−Ag−Cu)等の3元合金からなるめっき被膜の形成に用いる電解Sn合金めっき液であり、含窒素複素環式化合物の酸化物と、フラボノイド化合物とを含有する。含窒素複素環式化合物の酸化物と、フラボノイド化合物とを含むことにより、表面のフラット性に優れ、リフロー後にボイドが発生しにくいバンプを電解Sn合金めっきにより形成することが可能となる。
含窒素複素環式化合物の酸化物は、特に限定されないが、2−メチルピリジン N−オキシド、ニコチン酸 N−オキシド、ピリジン N−オキシド、4−メチルモルホリン N−オキシド、3−アセチルピリジン N−オキシド、2‐アミノピリジン N−オキシド、8−アミノキノリン N−オキシド、2,2’−ビピリジル1,1’−ジオキシド、4−(ジメチルアミノ)ピリジン N−オキシド水和物、4,4’−ジメチル−2,2’−ビピリジル1-オキシド、3,5−ジメチルピリジン N−オキシド、4−(ヒドロキシアミノ)キノリン N−オキシド、イソニコチン酸 N−オキシド、4−(ヒドロキシアミノ)キノリン N−オキシド、2−ヒドロキシピリジン N−オキシド、3−ヒドロキシピリジン N−オキシド、8−ヒドロキシキノリン N−オキシド、イソキノリン N−オキシド、2,6−ルチジン N−オキシド、4−メトキシピリジン N−オキシド、3−メチルピリジン N−オキシド、4−メチルピリジン N−オキシド、キノリン N−オキシド水和物、5,5−ジメチル−1−ピロリン N−オキシド、ミノキシジル、5−メチルピラジン−2−カルボン酸4−オキシド、及び3,3,5,5−テトラメチル−1−ピロリン N−オキシド等を用いることができる。中でも、ピリジン N−オキシド及びニコチン酸 N−オキシドは、平滑性を向上させる効果が高く、入手も容易であり好ましい。これらの複素環化合物は、単独で用いることも、複数を組み合わせて用いることもできる。
複素環式化合物の酸化物の濃度は、フラット性を向上させる観点から好ましくは0.1g/L以上、より好ましくは0.5g/L以上である。また、コストの観点から、好ましくは10g/L以下、より好ましくは6g/L以下である。
フラボノイド化合物は、ヒドロキシ化体であっても、配糖体であってもよい。ヒドロキシ化体としては、フラボン、3−ヒドロキシフラボン、5−ヒドロキシフラボン、7−ヒドロキシフラボン、クリシン、モリン、ケルセチン、バイカレイン、アンレキサノクス、ケーリン、6−ヒドロキシフラボン、7,8−ジヒドロキシフラボン水和物、3,4’−ジヒドロキシフラボン、アピゲニン、3’,4’−ジヒドロキシフラボン、スクテラレイン、アカセチン、ケンフェロール水和物、ケンペリド、イソラムネチン、ノビレチン、フラバノン、4’−ヒドロキシフラバノン、3’−ヒドロキシフラバノン、ナリンゲニン、ヘスペレチン、ジヒドロミリセチン、(+)−カテキン水和物、(−)−エピガロカテキン、α−ナフトフラボン、β−ナフトフラボン、フラボノール−2’−スルホン酸ナトリウム水和物、イプリフラボン、ペンタヒドロキシフラボン、フィセチン、及びミリセチン等を挙げることができる。配糖体としては、ルチン水和物、ナリンギン、メチルヘスペリジン、バイカリン、ミリシトリン、ジオスミン、エピメジンC、ヘスペリジン、イカリイン、ミリシトリン、ネオヘスペリジン、ウォゴノシド、及びクエルシトリン等を挙げることができる。中でも、広範囲の電流密度において使用可能であることから配糖体が好ましく、特にルチン水和物、ナリンギン、メチルヘスペリジン及びヘスペリジンが好ましい。これらのフラボノイド化合物は、単独で用いることも、複数を組み合わせて用いることもできる。
フラボノイド化合物の濃度は、フラット性を向上させる観点から好ましくは0.001g/L以上、より好ましくは0.01g/L以上である。また、コストの観点から、好ましくは20g/L以下、より好ましくは10g/L以下である。
本実施形態の電解Sn合金めっき液は、含窒素複素環式化合物の酸化物及びフラボノイド化合物に加えて、スズ(Sn)イオンの供給源となる化合物と、銀(Ag)イオンの供給源となる化合物とを含んでいる。
Snイオンの供給源となる化合物としてSn塩を用いることができ、中でも第1Sn塩(Sn塩(II))及び第2Sn塩(Sn塩(IV))を用いることが好ましい。
第1Sn塩(Sn塩(II))は特に限定されないが、例えばメタンスルホン酸Sn(II)等のアルカンスルホン酸Sn(II)、イセチオン酸Sn(II)等のアルカノールスルホン酸Sn(II)などの有機スルホン酸Sn(II)、硫酸Sn(II)、ホウフッ化Sn(II)、塩化Sn(II)、臭化Sn(II)、ヨウ化Sn(II)、酸化Sn(II)、リン酸Sn(II)、ピロリン酸Sn(II)、酢酸Sn(II)、クエン酸Sn(II)、グルコン酸Sn(II)、酒石酸Sn(II)、乳酸Sn(II)、コハク酸Sn(II)、スルファミン酸Sn(II)、ギ酸Sn(II)、及びケイフッ化Sn(II)等を用いることができる。
第2Sn塩(Sn塩(IV))は特に限定されないが、例えばSn酸ナトリウム、及びSn酸カリウム等を用いることができる。
中でもメタンスルホン酸Sn(II)等のアルカンスルホン酸Sn(II)、及びイセチオン酸Sn(II)等のアルカノールスルホン酸Sn(II)等の有機スルホン酸Sn(II)が好ましい。
また、Sn塩の濃度は、ヤケやコゲの発生を抑える観点から、Sn2+として好ましくは5g/L以上、より好ましくは10g以上である。また、めっき浴の安定性を向上させ、沈殿の発生を抑える観点から、好ましくは100g/L以下、より好ましくは70g/L以下である。また、このような濃度とすることはコストの面からも有利である。
Sn塩として鉛(Pb)濃度が1.0ppm以下の低濃度PbのSn塩を使用することも可能である。Pb濃度が低いSn塩を用いることにより、低濃度Pb化が可能となる。
Agイオンの供給源となる化合物としてAg塩を用いることができ、特に限定されないが、例えば有機スルホン酸Ag、硫酸Ag、ホウフッ化Ag、塩化Ag、臭化Ag、ヨウ化Ag、酸化Ag、リン酸Ag、ピロリン酸Ag、酢酸Ag、クエン酸Ag、グルコン酸Ag、酒石酸Ag、乳酸Ag、コハク酸Ag、スルファミン酸Ag、ギ酸Ag、及びケイフッ化Ag等を用いることができる。中でも、有機スルホン酸Agが好ましい。
Agイオンの供給源となる化合物の濃度は管理の観点から、Ag+として好ましくは10mg/L以上、より好ましくは20mg/L以上である。またコストの観点から1000mg/L以下、より好ましくは500mg/L以下である。
本実施形態の電解Sn合金めっき液は、さらに銅(Cu)イオンの供給源となる化合物を含んでいてもよい。Cuイオンの供給源となる化合物を加えることにより、Sn−Ag−Cuの3元合金の被膜を形成することが可能となる。Cuイオンの供給源としてCu塩を用いることができ、特に限定されないが、例えば有機スルホン酸Cu、硫酸Cu、ホウフッ化Cu、塩化Cu、臭化Cu、ヨウ化Cu、酸化Cu、リン酸Cu、ピロリン酸Cu、酢酸Cu、クエン酸Cu、グルコン酸Cu、酒石酸Cu、乳酸Cu、コハク酸Cu、スルファミン酸Cu、ギ酸Cu、及びケイフッ化Cu等を用いることができる。中でも、有機スルホン酸Cuが好ましい。
Cuイオンの供給源となる化合物の濃度は、管理や含有量の分布の観点から、Cu+として好ましくは10mg/L以上、より好ましくは50mg/L以上である。また、浴安定性の観点から5000mg/L以下、より好ましくは2000mg/L以下である。
本実施形態の電解Sn合金めっき液は、無機酸、有機酸及びこれらの水溶性塩のいずれかを含んでいてもよい。酸又はその水溶性塩を加えることにより、被めっき物表面及びめっき被膜であるSn−Ag合金表面のpHを一定に保ち、均一な表面電位とすることができる。これにより、Pbの共析を抑制することができる。
酸又はその水溶性塩は、特に限定されないが、例えば硫酸、塩酸、硝酸、りん酸、スルファミン酸、有機スルホン酸(メタンスルホン酸等のアルカンスルホン酸、又はイセチオン酸等のアルカノールスルホン酸)、及びカルボン酸(芳香族カルボン酸、脂肪族飽和カルボン酸、又はアミノカルボン酸)等を用いることができる。また、必要に応じてこれらの水溶性塩の中和塩を使用することもできる。中でもメタンスルホン酸は取り扱いが容易であり好ましい。
酸又はその水溶性塩の濃度は、めっき液の安定性を向上させ、沈殿物の発生を抑える観点から、好ましくは35g/L以上、より好ましくは50g/L以上である。このような濃度は、Pb析出電位の観点からも有利である。また、コストの観点から、好ましくは140g/L、より好ましくは120g/L以下である。
本実施形態の電解Sn合金めっき液は、界面活性剤を含んでいてよい。界面活性剤は、アニオン界面活性剤、カチオン界面活性剤、及び非イオン界面活性剤から選ばれる1種以上を用いることができる。中でも非イオン界面活性剤が好ましく、アルキレンオキサイド系のものがより好ましい。界面活性剤を加えることにより、被めっき物及び被膜であるSn結晶表面の電流密度を均一にし、表面での均一な析出電位を保つことができる。これにより、Pbの共析を抑制することができる。
アルキレンオキサイド系の界面活性剤は、特に限定されないが、例えばポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、ポリオキシエチレンアルキルアミド、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン多価アルコールエーテル、酸化エチレン酸化プロピレンブロック重合化合物、酸化エチレン酸化プロピレンランダム重合化合物、及び酸化プロピレン重合化合物等を用いることができる。中でもポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテルが好ましい。
界面活性剤の濃度は、好ましくは0.05g/L以上、より好ましくは0.5g/L以上である。このような濃度以上とすることにより、めっき時間を短縮するために高電流密度でめっきした場合においても、高電流密度になる部分におけるヤケやコゲの発生を抑えることができる。また、界面活性剤の濃度は、めっき被膜の黒色化による色むらの発生を抑制する観点から、好ましくは100g/L以下である。
本実施形態の電解Sn合金めっき液は、酸又はその水溶性塩と界面活性剤とを含み、酸又はその水溶性塩が、硫酸、塩酸、硝酸、りん酸、スルファミン酸、有機スルホン酸、カルボン酸又はその塩から選ばれる1種以上の酸又はその水溶性塩であり、界面活性剤が、アニオン界面活性剤、カチオン界面活性剤、非イオン界面活性剤から選ばれる1種以上であることがさらに好ましい。
本実施形態の電解Sn合金めっき液は、有機溶媒、酸化防止剤、及びキレート剤等を含むことができる。有機溶媒は、特に限定されないが、例えばメタノール及び2−プロパノール等の1価アルコール類、並びにエチレングリコール、ジエチレングリコール及びトリエチレングリコール等の2価アルコール類を用いることができる。酸化防止剤は、特に限定されないが、例えばカテコール、ヒドロキノン、4−メトキシフェノール、又はアスコルビン酸等を用いることができる。キレート剤は、特に限定されないが、例えばシュウ酸、コハク酸、マロン酸、グリコール酸、グルコン酸、グルコノラクトン、グリシン、エチレンジアミン酢酸、ピロリン酸、又はトリポリリン酸等を用いることができる。
本実施形態の電解Sn合金めっき液を用いた、めっき被膜形成の際には、めっき液のpHを強酸性とすることが好ましい。めっき被膜形成の際の温度は、特に限定されないが好ましくは25℃以上、好ましくは40℃以下である。めっき皮膜形成の際の電流密度は、好ましくは1A/dm2以上、より好ましくは2A/dm2以上であり、好ましくは20A/dm2以下、より好ましくは10A/dm2以下である。
本開示の電解Sn合金めっき液は、例えば半導体チップのめっきバンプの形成に用いることができる。めっきバンプを形成する場合には、所定の位置に所定のサイズのめっき被膜を形成した後、リフロー処理を行えばよい。リフロー処理は特に限定されず、通常のリフロー装置を用いて行うことができる。
以下に、本開示の電解Sn合金めっき液について実施例を用いてさらに詳細に説明する。以下の実施例は例示であり、本発明を限定することを意図するものではない。
<めっき被膜の形成>
所定の組成の電解Sn合金めっき液について液温を30℃、電流密度を4A/dm2として、電気銅からなるパッドの表面にSnめっき被膜からなるバンプを形成した。パッドの直径は20μm、50μm、80μm及び100μmとした。
所定の組成の電解Sn合金めっき液について液温を30℃、電流密度を4A/dm2として、電気銅からなるパッドの表面にSnめっき被膜からなるバンプを形成した。パッドの直径は20μm、50μm、80μm及び100μmとした。
<ボイドの評価>
得られたバンプを260℃にてリフローした後、X線非破壊検査装置(Nordson DAGE社製、XD7600NT Diamond FP)によりボイドの有無を評価した。X線非破壊検査装置の管電圧は60kv、出力は1.5Wとした。
得られたバンプを260℃にてリフローした後、X線非破壊検査装置(Nordson DAGE社製、XD7600NT Diamond FP)によりボイドの有無を評価した。X線非破壊検査装置の管電圧は60kv、出力は1.5Wとした。
(実施例1)
含窒素複素環式化合物の酸化物として、ピリジン N−オキシドを用い、濃度は5g/Lとした。フラボノイド化合物として、ナリンギンを用い、濃度は0.3g/Lとした。Snイオンの供給源としてアルカンスルホン酸Sn(II)をSn2+として60g/L、Agイオンの供給源としてアルカンスルホン酸AgをAg+として0.5g/L、有機酸としてメタンスルホン酸を70g/L、並びにノニオン界面活性剤を20g/Lとなるように加えた。めっき液の液温は30℃、電流密度は4A/dm2とした。
含窒素複素環式化合物の酸化物として、ピリジン N−オキシドを用い、濃度は5g/Lとした。フラボノイド化合物として、ナリンギンを用い、濃度は0.3g/Lとした。Snイオンの供給源としてアルカンスルホン酸Sn(II)をSn2+として60g/L、Agイオンの供給源としてアルカンスルホン酸AgをAg+として0.5g/L、有機酸としてメタンスルホン酸を70g/L、並びにノニオン界面活性剤を20g/Lとなるように加えた。めっき液の液温は30℃、電流密度は4A/dm2とした。
得られた、Sn−Ag合金めっき被膜からなるバンプは、いずれのパッド径においてもリフロー後にボイドは認められなかった。
(実施例2)
含窒素複素環式化合物の酸化物として、ニコチン酸 N−オキシドを用い、濃度は1g/Lとした以外は、実施例1と同様としてSn−Ag合金被膜を形成した。得られた、Sn−Ag合金めっき被膜からなるバンプは、いずれのパッド径においてもリフロー後にボイドは認められなかった。
含窒素複素環式化合物の酸化物として、ニコチン酸 N−オキシドを用い、濃度は1g/Lとした以外は、実施例1と同様としてSn−Ag合金被膜を形成した。得られた、Sn−Ag合金めっき被膜からなるバンプは、いずれのパッド径においてもリフロー後にボイドは認められなかった。
(実施例3)
フラボノイド化合物として、5g/Lのメチルヘスペリジンを用いた以外は、実施例1と同様にしてSn−Ag合金被膜を形成した。得られた、Sn−Ag合金めっき被膜からなるバンプは、いずれのパッド径においてもリフロー後にボイドは認められなかった。
フラボノイド化合物として、5g/Lのメチルヘスペリジンを用いた以外は、実施例1と同様にしてSn−Ag合金被膜を形成した。得られた、Sn−Ag合金めっき被膜からなるバンプは、いずれのパッド径においてもリフロー後にボイドは認められなかった。
(実施例4)
含窒素複素環式化合物の酸化物として、2g/Lのニコチン酸 N−オキシドを用い、フラボノイド化合物として、3g/Lのルチン水和物を用いた以外は、実施例1と同様としてSn−Ag合金被膜を形成した。得られた、Sn−Ag合金めっき被膜からなるバンプは、いずれのパッド径においてもリフロー後にボイドは認められなかった。
含窒素複素環式化合物の酸化物として、2g/Lのニコチン酸 N−オキシドを用い、フラボノイド化合物として、3g/Lのルチン水和物を用いた以外は、実施例1と同様としてSn−Ag合金被膜を形成した。得られた、Sn−Ag合金めっき被膜からなるバンプは、いずれのパッド径においてもリフロー後にボイドは認められなかった。
(実施例5)
含窒素複素環式化合物の酸化物として、3g/Lのニコチン酸 N−オキシドを用い、フラボノイド化合物として、0.5g/Lのヘスペリジンを用いた以外は、実施例1と同様としてSn−Ag合金被膜を形成した。得られた、Sn−Ag合金めっき被膜からなるバンプは、いずれのパッド径においてもリフロー後にボイドは認められなかった。
含窒素複素環式化合物の酸化物として、3g/Lのニコチン酸 N−オキシドを用い、フラボノイド化合物として、0.5g/Lのヘスペリジンを用いた以外は、実施例1と同様としてSn−Ag合金被膜を形成した。得られた、Sn−Ag合金めっき被膜からなるバンプは、いずれのパッド径においてもリフロー後にボイドは認められなかった。
(実施例6)
含窒素複素環式化合物の酸化物として、1g/Lのニコチン酸 N−オキシドを用い、フラボノイド化合物として、5g/Lのメチルヘスペリジンを用いた以外は、実施例1と同様としてSn−Ag合金被膜を形成した。得られた、Sn−Ag合金めっき被膜からなるバンプは、いずれのパッド径においてもリフロー後にボイドは認められなかった。
含窒素複素環式化合物の酸化物として、1g/Lのニコチン酸 N−オキシドを用い、フラボノイド化合物として、5g/Lのメチルヘスペリジンを用いた以外は、実施例1と同様としてSn−Ag合金被膜を形成した。得られた、Sn−Ag合金めっき被膜からなるバンプは、いずれのパッド径においてもリフロー後にボイドは認められなかった。
(実施例7)
含窒素複素環式化合物の酸化物として、3g/Lのピリジン N−オキシドを用い、フラボノイド化合物として、0.5g/Lのヘスペリジンを用いた以外は、実施例1と同様としてSn−Ag合金被膜を形成した。得られた、Sn−Ag合金めっき被膜からなるバンプは、いずれのパッド径においてもリフロー後にボイドは認められなかった。
含窒素複素環式化合物の酸化物として、3g/Lのピリジン N−オキシドを用い、フラボノイド化合物として、0.5g/Lのヘスペリジンを用いた以外は、実施例1と同様としてSn−Ag合金被膜を形成した。得られた、Sn−Ag合金めっき被膜からなるバンプは、いずれのパッド径においてもリフロー後にボイドは認められなかった。
(比較例1)
含窒素複素環式化合物の酸化物を加えず、フラボノイド化合物として、1g/Lのバイカリンを用いた以外は、実施例1と同様としてSn−Ag合金被膜を形成した。得られた、Sn−Ag合金めっき被膜からなるバンプは、パッド径が100μmの場合にはリフロー後にボイドが認められなかったが、パッド径が80μm、50μm及び20μmの場合にはリフロー後にボイドが認められた。
含窒素複素環式化合物の酸化物を加えず、フラボノイド化合物として、1g/Lのバイカリンを用いた以外は、実施例1と同様としてSn−Ag合金被膜を形成した。得られた、Sn−Ag合金めっき被膜からなるバンプは、パッド径が100μmの場合にはリフロー後にボイドが認められなかったが、パッド径が80μm、50μm及び20μmの場合にはリフロー後にボイドが認められた。
(比較例2)
含窒素複素環式化合物の酸化物を加えず、フラボノイド化合物として、5mg/Lのナリンギンを用いた以外は、実施例1と同様としてSn−Ag合金被膜を形成した。得られた、Sn−Ag合金めっき被膜からなるバンプは、パッド径が100μm及び80μmの場合にはリフロー後にボイドが認められなかったが、パッド径が50μm及び20μmの場合にはリフロー後にボイドが認められた。
含窒素複素環式化合物の酸化物を加えず、フラボノイド化合物として、5mg/Lのナリンギンを用いた以外は、実施例1と同様としてSn−Ag合金被膜を形成した。得られた、Sn−Ag合金めっき被膜からなるバンプは、パッド径が100μm及び80μmの場合にはリフロー後にボイドが認められなかったが、パッド径が50μm及び20μmの場合にはリフロー後にボイドが認められた。
(比較例3)
含窒素複素環式化合物の酸化物を加えず、フラボノイド化合物として、3mg/Lのメチルヘスペリジンを用いた以外は、実施例1と同様としてSn−Ag合金被膜を形成した。得られた、Sn−Ag合金めっき被膜からなるバンプは、パッド径が100μm及び80μmの場合にはリフロー後にボイドが認められなかったが、パッド径が50μm及び20μmの場合にはリフロー後にボイドが認められた。
含窒素複素環式化合物の酸化物を加えず、フラボノイド化合物として、3mg/Lのメチルヘスペリジンを用いた以外は、実施例1と同様としてSn−Ag合金被膜を形成した。得られた、Sn−Ag合金めっき被膜からなるバンプは、パッド径が100μm及び80μmの場合にはリフロー後にボイドが認められなかったが、パッド径が50μm及び20μmの場合にはリフロー後にボイドが認められた。
(比較例4)
含窒素複素環式化合物として6g/Lのピリジン N−オキシドを用い、フラボノイド化合物を加えなかった以外は、実施例1と同様としてSn−Ag合金被膜を形成した。得られた、Sn−Ag合金めっき被膜からなるバンプは、パッド径が100μm及び80μmの場合にはリフロー後にボイドが認められなかったが、パッド径が50μm及び20μmの場合にはリフロー後にボイドが認められた。
含窒素複素環式化合物として6g/Lのピリジン N−オキシドを用い、フラボノイド化合物を加えなかった以外は、実施例1と同様としてSn−Ag合金被膜を形成した。得られた、Sn−Ag合金めっき被膜からなるバンプは、パッド径が100μm及び80μmの場合にはリフロー後にボイドが認められなかったが、パッド径が50μm及び20μmの場合にはリフロー後にボイドが認められた。
(比較例5)
含窒素複素環式化合物として3g/Lの5,5−ジメチル−1−ピロリン N オキシドを用い、フラボノイド化合物を加えなかった以外は、実施例1と同様としてSn−Ag合金被膜を形成した。得られた、Sn−Ag合金めっき被膜からなるバンプは、パッド径が100μmの場合にはリフロー後にボイドが認められなかったが、パッド径が80μm。50μm及び20μmの場合にはリフロー後にボイドが認められた。
含窒素複素環式化合物として3g/Lの5,5−ジメチル−1−ピロリン N オキシドを用い、フラボノイド化合物を加えなかった以外は、実施例1と同様としてSn−Ag合金被膜を形成した。得られた、Sn−Ag合金めっき被膜からなるバンプは、パッド径が100μmの場合にはリフロー後にボイドが認められなかったが、パッド径が80μm。50μm及び20μmの場合にはリフロー後にボイドが認められた。
表1及び表2に各実施形態及び比較例の結果をまとめて示す。含窒素複素環式化合物の酸化物と、フラボノイド化合物とを含む場合には、パッド径が小さい場合にもリフロー後にボイドが発生しなかったが、いずれか1方のみの場合には、パッド径が小さい場合にリフロー後にボイドが発生した。
本開示の電解Sn合金めっき液は、径が小さいパッドにおいてもリフロー後のボイド発生を抑えることができ、バンプ等の形成において有用である。
Claims (4)
- スズイオンの供給源となる化合物と、
銀イオンの供給源となる化合物と、
含窒素複素環式化合物の酸化物と、
フラボノイド化合物とを含む、電解Sn合金めっき液。 - 前記フラボノイド化合物は、フラボノイド配糖体である、請求項1に記載の電解Sn合金めっき液。
- 前記含窒素複素環式化合物の酸化物の濃度は、0.1g/L以上、10g/L以下であり、
前記フラボノイド化合物の濃度は、0.001g/L以上、20g/L以下である、請求項1又は2に記載の電解Sn合金めっき液。 - 銅イオンの供給源となる化合物をさらに含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載の電解Sn合金めっき液。
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