JP2020037170A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. ワークテーブルにダイシングテープを介してワークを保持した状態で、スピンドルにより回転するブレードと前記ワークテーブルとを相対移動させてダイシング加工を行うダイシング方法であって、
   前記ワークが貼り付けられていない前記ダイシングテープの表面領域において切削痕を形成するステップであって、前記ブレードと前記ワークテーブルとの相対移動に伴って前記ブレードを前記ダイシングテープから離れる方向に移動させて切削痕消失点を１つ形成する形成ステップと、
   前記形成ステップにおいて形成した１つの前記切削痕消失点の位置に関する情報を含む切削痕情報を検出する検出ステップと、
   前記切削痕情報から前記ブレードの径を算出し、前記ブレードの径に基づき、前記ダイシングテープへの切り込み深さが一定となるように前記ブレードの高さを制御する制御ステップと、
   を備えるダイシング方法。
2. 前記切削痕を形成する際の各時点におけるブレードの位置に関するログデータを記憶するステップを更に備え、
   前記検出ステップにおいて、前記切削痕消失点の位置に関する情報を前記ログデータから取得する、
   請求項１記載のダイシング方法。
3. 前記形成ステップにおいて、前記ワークの切り抜け側のダイシングテープ領域に前記切削痕を形成する、
   請求項１又は２記載のダイシング方法。
4. 前記形成ステップ及び前記検出ステップは、少なくとも１の加工ラインおきに行われる、
   請求項１から３のいずれか１項記載のダイシング方法。
5. ワークテーブルにダイシングテープを介してワークを保持した状態で、スピンドルにより回転するブレードと前記ワークテーブルとを相対移動させてダイシング加工を行うダイシング装置であって、
   前記ワークが貼り付けられていない前記ダイシングテープの表面領域において切削痕を形成する切削痕形成制御部であって、前記ブレードと前記ワークテーブルとの相対移動に伴って前記ブレードを前記ダイシングテープから離れる方向に移動させて切削痕消失点を１つ形成する切削痕形成制御部と、
   前記切削痕形成制御部によって形成した１つの前記切削痕消失点の位置に関する情報を含む切削痕情報を検出する切削痕検出部と、
   前記切削痕検出部が検出した前記切削痕情報に基づき、前記ダイシングテープへの切り込み深さが一定となるように前記ブレードの高さを制御する制御部と、
   を備えるダイシング装置。
6. 前記ワークテーブルの対向位置に配置された撮像装置を備え、
   前記切削痕検出部は、前記撮像装置で撮像された前記ダイシングテープの表面領域の画像データに基づいて前記切削痕情報を検出する、
   請求項５に記載のダイシング装置。
7. 前記撮像装置はアライメント用カメラで構成される、
   請求項６に記載のダイシング装置。
8. 前記ワークテーブルの対向位置に配置された距離測定装置を備え、
   前記切削痕検出部は、前記距離測定装置で測定された前記ダイシングテープの表面領域までの距離を示す距離データに基づいて前記切削痕情報を検出する、
   請求項５に記載のダイシング装置。