JPH03227557A - ダイシング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はウェハをカッティングするダイシング装置に
関するものである。

〔従来の技術〕

第３図は従来のダイシング装置のカッティング状態を示
す断面図で、図において、（１）はウェハ、（２）はウ
ェハ（１）を貼勺付けた粘着シート、（３）は粘着シー
　ト（２）を吸着固定するチャックテーブル、（４）は
ウェハ（１）をカッティングするブレードでめる。

次に！ｌ１ｆｆについて説明する。チャックテーブル（
３）に粘着シート（２）及びウェハ（１）を保持したま
ｌ水平方向に移動する。ブレード（４）はチャックテー
プｚｌｚ（３）表面から高さ（Ｈ）に保たれたまま回転
する。

このようにして、ウェハ（１）は切り残し＠　（ｈ）を
残してカッティングされる。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来のダイシング５ｌｔｕ以上のように構成されていた
ので、粘着シートの厚み（１）が増減すると切シ残しｚ
　（ｈ）かに動するという問題点があった。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、粘着シートの厚みが増減しても、高精度の切
シ残し童が得られるダイシング装置Ｉｔを得ることを目
的とする。

〔課題を解決するだめの手段〕

この発明に係るダイシング装ｒｔは、粘着シートの厚み
を測定し、この測定値によってブレードの高さを制御す
るようにしたものである。

〔作用〕

この発明におけるダイシングｆＩｊ［＋１は、粘着シー
トの厚みを創足してブレードの而さを制御し、ウェハの
切シ残しｔを一定にする。

〔夫施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図において、（１）はウェハ、（２１ｆｌつｚハ（１）
を貼り付けた粘着シート、（３）は積層シート（２）を
後層固定するチャックテープ／Ｌ’、１４）［ウェハ（
１）　’にカッティングするブレード、（５）は粘着シ
ート（２）を保持するフレーム、（６）は粘着シートの
厚み測定器、（７）は制御系、（８）はブレード（４）
の高さ駆動系である。

次に動ｆ′Ｆ−について説明する。

ウェハ（１）が積層シー）（２）、フレーム（５）ト共
にチャックテープ／９　（３Ｊ　Ｋセットされる。次に
、粘着シートの厚み測定器（６）で粘着シート（２）の
淳み（１）を測定する。粘着シートの厚み測定器（６）
としては反射光を利用するものや、ダイヤ〜ゲーンのよ
うに接触して測定するものが考えられる。次に第２図の
フローチャートに示すように、初めに、ウェハ（１）　
ｔチャックテープ／Ｌ’　（３）にセットする（ステラ
フ。

１）。次に粘着シート（２）の厚みを創足する（ステッ
プ２）。次に制御系（７）であらかじめ設定されている
ウェハの切夛残しｚ（ｂ）と、測定？Ｍ来（１）よシブ
レード（４）の高さ（Ｈ）を算出しくステップ３）、ブ
レード高さ駆動系ｔ８Ｊ　＆′ｉｃ制御指令を出して、
ブレード（４）を算出された高さｌ’Ｈ）Ｉｃｅ幼する
（ステップ４）０次に、チャックチーグル（３）が水平
方向に移動して、ブレード（４）によυウェハ（１）が
カッティングされる。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明によれば、シートの淳みを測定し
てブレードの高さを制御するようにしたので、シートの
厚みが増減しても、高ｉｆｆの切υ残し量を得られると
いう効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例によるダイシング装置Ｉｔ
を示す説明図、第２図は第１図のダイシング装置のフロ
ーチャート、第３図は従来のダイシング装−のカッティ
ング状態を示す断面図でめる０図において、（１）はウ
ェハ、（２）は積層シート、（３）はチャックテーブル
、［４）　ｔ／ｉブレード、（５）はフレーム、（６）
は粘着シートの厚み測定器、（７）は制御系、（８）は
ブレード高さ駆動系を示す。 なお、 図中、 同一符号は同一、 又は相当部分を 示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ウェハを粘着シートに貼り付けた状態でカツテングする
   ダイシング装置において、前記粘着シートの厚みを測定
   して、ブレードの高さを制御することを特徴とするダイ
   シング装置。