JP2020037169A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. ワークテーブルにダイシングテープを介してワークを保持した状態で、スピンドルにより回転するブレードと前記ワークテーブルとを相対移動させてダイシング加工を行うダイシング装置であって、
   前記ワークが貼り付けられていない前記ダイシングテープの表面領域に形成された切削痕情報を検出する切削痕検出部と、
   前記切削痕検出部が検出した前記切削痕情報に基づき、前記ダイシングテープへの切り込み深さが一定となるように前記ブレードの高さを制御する制御部とを備え、
   前記切削痕情報は、前記ブレードと前記ワークテーブルとを前記ワークの分割予定ラインに沿う切削送り方向に相対移動させた場合に前記ダイシングテープの表面領域に形成される、切削痕の前記切削送り方向の長さに関する情報を含み、
   前記切削痕検出部は、前記切削痕情報に基づいて前記ダイシングテープの表面領域における切削痕形成率を算出し、
   前記制御部は、前記切削痕検出部が算出した前記切削痕形成率に基づいて、前記切削痕形成率が一定の範囲内となるように前記ブレードの高さを制御する、ダイシング装置。
2. 前記ワークテーブルの対向位置に配置された撮像装置を備え、
   前記切削痕検出部は、前記撮像装置で撮像された前記ダイシングテープの表面領域の画像データに基づいて前記切削痕情報を検出する、
   請求項１に記載のダイシング装置。
3. 前記撮像装置はアライメント用カメラで構成される、
   請求項２に記載のダイシング装置。
4. 前記ワークテーブルの対向位置に配置された距離測定装置を備え、
   前記切削痕検出部は、前記距離測定装置で測定された前記ダイシングテープの表面領域までの距離を示す距離データに基づいて前記切削痕情報を検出する、
   請求項１に記載のダイシング装置。
5. ワークテーブルにダイシングテープを介してワークを保持した状態で、スピンドルにより回転するブレードと前記ワークテーブルとを相対移動させてダイシング加工を行うダイシング方法であって、
   前記ワークが貼り付けられていない前記ダイシングテープの表面領域に形成された切削痕情報を検出する検出ステップと、
   前記検出ステップで検出した前記切削痕情報に基づき、前記ダイシングテープへの切り込み深さが一定となるように前記ブレードの高さを制御する制御ステップとを備え、
   前記切削痕情報は、前記ブレードと前記ワークテーブルとを前記ワークの分割予定ラインに沿う切削送り方向に相対移動させた場合に前記ダイシングテープの表面領域に形成される、切削痕の前記切削送り方向の長さに関する情報を含み、
   前記検出ステップでは、前記切削痕情報に基づいて前記ダイシングテープの表面領域における切削痕形成率を算出し、
   前記制御ステップでは、前記切削痕形成率に基づいて、前記切削痕形成率が一定の範囲内となるように前記ブレードの高さを制御する、ダイシング方法。