JP2020022160A5

JP2020022160A5 - 弾性波デバイス、無線周波数モジュール及びフィルタ

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Publication number: JP2020022160A5
Application number: JP2019132387A
Authority: JP
Filing date: 2019-07-18
Publication date: 2022-07-06
Anticipated expiration: 2039-07-18

Claims

弾性波デバイスであって、
無線周波数信号をフィルタリングするべく構成された弾性波フィルタと、
前記弾性波フィルタに結合されたループ回路と
を含み、
前記ループ回路は、特定の周波数において標的信号に対する逆相信号を生成するべく構成され、
前記ループ回路は、圧電層と前記圧電層上に配置されたインターディジタルトランスデューサ電極とを有するラム波共振器を含み、
前記圧電層は自由エッジを含み、
前記圧電層の一の自由エッジは、前記インターディジタルトランスデューサ電極により生成された弾性波の、前記圧電層の前記自由エッジからの反射に対し抑制又は散乱の一方を行うべく構成される、弾性波デバイス。
前記圧電層は、窒化アルミニウム層、ニオブ酸リチウム層又はタンタル酸リチウム層の一つである、請求項１の弾性波デバイス。
前記ラム波共振器において利用される弾性波モードは、最低次反対称（Ａ_０）モード、最低次対称（Ｓ_０）モード、最低次シアホリゾンタル（ＳＨ_０）モード、１次反対称（Ａ_１）モード、１次対称（Ｓ_１）モード、又は１次シアホリゾンタル（ＳＨ_１）モードの一つである、請求項１の弾性波デバイス。
前記ラム波共振器はソリッドマウント共振器である、請求項１の弾性波デバイス。
前記ラム波共振器は独立型共振器である、請求項１の弾性波デバイス。
前記弾性波フィルタはバルク弾性波共振器を含む、請求項１の弾性波デバイス。
前記ラム波共振器の圧電層は、前記バルク弾性波共振器の圧電材料と同じ材料から形成される、請求項６の弾性波デバイス。
前記材料は窒化アルミニウムを含む、請求項７の弾性波デバイス。
前記バルク弾性波共振器は薄膜圧電共振器である、請求項６の弾性波デバイス。
前記バルク弾性波共振器はソリッドマウント共振器である、請求項６の弾性波デバイス。
前記弾性波フィルタは第２弾性波共振器を含む、請求項１の弾性波デバイス。
前記ラム波共振器と、前記弾性波フィルタの少なくとも一つ共振器とが、同じ半導体基板上に配置される、請求項１の弾性波デバイス。
前記弾性波デバイスは送信フィルタである、請求項１の弾性波デバイス。
前記弾性波デバイスは受信フィルタである、請求項１の弾性波デバイス。
第２弾性波フィルタをさらに含み、
前記弾性波フィルタ及び前記第２弾性波フィルタは一のデュプレクサに含まれる、請求項１の弾性波デバイス。
無線周波数モジュールであって、
弾性波デバイスを含むデュプレクサと、
前記デュプレクサの一ポートに関連付けられる無線周波数信号を通過させるように配列された無線周波数スイッチと
を含み、
前記弾性波デバイスは、無線周波数信号をフィルタリングするべく構成された弾性波フィルタと、前記弾性波フィルタに結合されたループ回路とを含み、
前記ループ回路は、特定の周波数において標的信号に対する逆相信号を生成するべく構成され、
前記ループ回路は、圧電層と前記圧電層上に配置されたインターディジタルトランスデューサ電極とを有するラム波共振器を含み、
前記圧電層は自由エッジを含み、
前記圧電層の一の自由エッジは、前記インターディジタルトランスデューサ電極により生成された弾性波の、前記圧電層の前記自由エッジからの反射に対し抑制又は散乱の一方を行うべく構成される、無線周波数モジュール。
電力増幅器をさらに含み、
前記無線周波数スイッチは、前記電力増幅器と前記デュプレクサとの間の信号経路に結合される、請求項１６の無線周波数モジュール。
前記無線周波数スイッチは、アンテナスイッチ又は帯域選択スイッチの一方である、請求項１６の無線周波数モジュール。
無線通信デバイスであって、
弾性波デバイスを含む無線周波数フロントエンドと、
前記無線周波数フロントエンドと通信するアンテナと
を含み、
前記弾性波デバイスは、無線周波数信号をフィルタリングするべく構成された弾性波フィルタと、前記弾性波フィルタに結合されたループ回路とを含み、
前記ループ回路は、特定の周波数において標的信号に対する逆相信号を生成するべく構成され、
前記ループ回路は、圧電層と前記圧電層上に配置されたインターディジタルトランスデューサ電極とを有するラム波共振器を含み、
前記圧電層は自由エッジを含み、
前記圧電層の一の自由エッジは、前記インターディジタルトランスデューサ電極により生成された弾性波の、前記圧電層の前記自由エッジからの反射に対し抑制又は散乱の一方を行うべく構成される、無線通信デバイス。
フィルタであって、
入力端子と、
出力端子と、
前記入力端子と前記出力端子との間に接続された主要バルク弾性波フィルタ回路と、
前記入力端子と前記出力端子との間において前記主要バルク弾性波フィルタ回路に並列に接続された位相シフト回路と
を含み、
前記主要バルク弾性波フィルタ回路は、第１位相特性、第１通過帯域及び第１阻止帯域を有し、
前記位相シフト回路は、第１キャパシタ素子と、第２キャパシタ素子と、前記第１キャパシタ素子と前記第２キャパシタ素子との間において直列に接続されたラムモード結合共振器とを含み、
前記ラムモード結合共振器は、弾性波が前記ラムモード結合共振器を通って伝播する一つの弾性波経路において圧電層上で互いから離れて配置された少なくとも２つのインターディジタルトランスデューサ電極を含み、
前記圧電層は自由エッジを含み、
前記圧電層の一のエッジが、前記ラムモード結合共振器によって生成された弾性波の、前記圧電層の前記自由エッジからの反射に対して抑制又は散乱の一方を行うべく構成され、
前記位相シフト回路は、前記第１阻止帯域の少なくとも一部分に対応する減衰帯域に前記第１位相特性とは反対の第２位相特性を有する、フィルタ。