JP2000286673A - 弾性表面波フィルタ装置及びその製造方法 - Google Patents
弾性表面波フィルタ装置及びその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な構成で弾性表面波フィルタ装置の端面
反射波の影響を軽減させる。 【解決手段】 端部１２，１３方向に伝播する弾性表面
波は、サンドブラスト処理によって形成された表面粗さ
が１０〜５０μｍの面によって、平面方向では水晶基板
１の側面方向に反射され、深さ方向では散乱される。こ
れによって、反射波がメイン波に直接入射されないの
で、反射波のメイン波への悪影響を軽減させることがで
きる。
反射波の影響を軽減させる。 【解決手段】 端部１２，１３方向に伝播する弾性表面
波は、サンドブラスト処理によって形成された表面粗さ
が１０〜５０μｍの面によって、平面方向では水晶基板
１の側面方向に反射され、深さ方向では散乱される。こ
れによって、反射波がメイン波に直接入射されないの
で、反射波のメイン波への悪影響を軽減させることがで
きる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、弾性表面波の反射
波のメイン波に対する悪影響を軽減する弾性表面波フィ
ルタ装置及びその製造方法に関するものである。
波のメイン波に対する悪影響を軽減する弾性表面波フィ
ルタ装置及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、弾性表面波フィルタ装置において
弾性表面波の端面反射波のメイン波への悪影響を軽減さ
せるために、基板の端部に吸音剤が塗布されている。
弾性表面波の端面反射波のメイン波への悪影響を軽減さ
せるために、基板の端部に吸音剤が塗布されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな吸音剤を塗布した場合、弾性表面波の伝播方向に弾
性表面波フィルタ装置の寸法が増大し（実際には約０．
５〜１ｍｍ）、製品の小型化の要請に反する。
うな吸音剤を塗布した場合、弾性表面波の伝播方向に弾
性表面波フィルタ装置の寸法が増大し（実際には約０．
５〜１ｍｍ）、製品の小型化の要請に反する。
【０００４】吸音剤を塗布する代わりに基板の端部を荒
らすことによって反射波の悪影響を軽減させることも考
えられるが、このような狭い範囲を荒らすことは困難で
ある。
らすことによって反射波の悪影響を軽減させることも考
えられるが、このような狭い範囲を荒らすことは困難で
ある。
【０００５】本発明の目的は、簡単な構成で端面反射波
の影響を軽減させることができる弾性表面波フィルタ装
置を提供することである。
の影響を軽減させることができる弾性表面波フィルタ装
置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のうち請求項１記
載の弾性表面波フィルタ装置は、圧電性基板と、この圧
電性基板の表面上に形成され、電気信号が外部から入力
され、この電気信号を弾性表面波に変換する入力側変換
器と、前記圧電性基板の表面上に形成され、前記入力側
変換器で励振された弾性表面波を電気信号に変換し、こ
の電気信号を外部に出力する出力側変換器とを具え、前
記圧電性基板の表面の両端部にサンドブラスト処理が施
され、このようなサンドブラスト処理によって形成され
た面が０．１〜１０μｍの表面粗さを有することを特徴
とするものである。
載の弾性表面波フィルタ装置は、圧電性基板と、この圧
電性基板の表面上に形成され、電気信号が外部から入力
され、この電気信号を弾性表面波に変換する入力側変換
器と、前記圧電性基板の表面上に形成され、前記入力側
変換器で励振された弾性表面波を電気信号に変換し、こ
の電気信号を外部に出力する出力側変換器とを具え、前
記圧電性基板の表面の両端部にサンドブラスト処理が施
され、このようなサンドブラスト処理によって形成され
た面が０．１〜１０μｍの表面粗さを有することを特徴
とするものである。
【０００７】本発明のうち請求項１記載の弾性表面波フ
ィルタ装置によれば、端面方向に伝播する弾性表面波
は、サンドブラスト処理によって形成された面によって
散乱する。これによって、反射波がメイン波に直接入射
されないので、反射波のメイン波への悪影響を軽減させ
ることができる。この場合、端部に吸音剤を塗布する必
要がないので、吸音剤を塗布することによって弾性表面
波フィルタ装置の弾性表面波の伝播方向の寸法が長くな
ることがない。
ィルタ装置によれば、端面方向に伝播する弾性表面波
は、サンドブラスト処理によって形成された面によって
散乱する。これによって、反射波がメイン波に直接入射
されないので、反射波のメイン波への悪影響を軽減させ
ることができる。この場合、端部に吸音剤を塗布する必
要がないので、吸音剤を塗布することによって弾性表面
波フィルタ装置の弾性表面波の伝播方向の寸法が長くな
ることがない。
【０００８】なお、端面方向に伝播する弾性表面波を有
効に散乱させるために、圧電性基板の両端部にサンドブ
ラスト処理を施し、それによって形成された面が０．１
〜１０μｍの表面粗さを有するようにする。このような
サンドブラスト処理によって面を簡単に荒らすことがで
き、かつ、このような面の形成も容易に行うことができ
る。
効に散乱させるために、圧電性基板の両端部にサンドブ
ラスト処理を施し、それによって形成された面が０．１
〜１０μｍの表面粗さを有するようにする。このような
サンドブラスト処理によって面を簡単に荒らすことがで
き、かつ、このような面の形成も容易に行うことができ
る。
【０００９】本発明のうち請求項２記載の弾性表面波フ
ィルタ装置は、前記両端部の各々を鋸歯形状にしたこと
を特徴とするものである。このような鋸歯形状によっ
て、圧電性基板端部に入射する弾性表面波をその側面に
有効に反射させることができ、端面からの反射波の影響
が更に軽減する。
ィルタ装置は、前記両端部の各々を鋸歯形状にしたこと
を特徴とするものである。このような鋸歯形状によっ
て、圧電性基板端部に入射する弾性表面波をその側面に
有効に反射させることができ、端面からの反射波の影響
が更に軽減する。
【００１０】本発明のうち請求項３記載の弾性表面波フ
ィルタ装置は、前記サンドブラスト処理によって形成さ
れた面を、フォトリソグラフィ技術によって形成したこ
とを特徴とするものである。このような面を、フォトリ
ソグラフィ技術によって好適に形成することができる。
ィルタ装置は、前記サンドブラスト処理によって形成さ
れた面を、フォトリソグラフィ技術によって形成したこ
とを特徴とするものである。このような面を、フォトリ
ソグラフィ技術によって好適に形成することができる。
【００１１】本発明のうち請求項４記載の弾性表面波フ
ィルタ装置は、前記フォトリソグラフィ技術の際に感光
性フィルム又はレジストを使用したことを特徴とするも
のである。サンドブラスト処理によって形成された面
を、感光性フィルムを使用することによって更に好適に
形成することができる。
ィルタ装置は、前記フォトリソグラフィ技術の際に感光
性フィルム又はレジストを使用したことを特徴とするも
のである。サンドブラスト処理によって形成された面
を、感光性フィルムを使用することによって更に好適に
形成することができる。
【００１２】本発明のうち請求項５記載の弾性表面波フ
ィルタ装置の製造方法は、圧電性基板と、この圧電性基
板の表面上に形成され、電気信号が外部から入力され、
この電気信号を弾性表面波に変換する入力側変換器と、
前記圧電性基板の表面上に形成され、前記入力側変換器
で励振された弾性表面波を電気信号に変換し、この電気
信号を外部に出力する出力側変換器とを具える弾性表面
波フィルタ装置を製造するに当たり、前記圧電性基板の
表面の両端部にサンドブラスト処理を施し、このような
サンドブラスト処理によって形成された面が０．１〜１
０μｍの表面粗さを有することを特徴とするものであ
る。
ィルタ装置の製造方法は、圧電性基板と、この圧電性基
板の表面上に形成され、電気信号が外部から入力され、
この電気信号を弾性表面波に変換する入力側変換器と、
前記圧電性基板の表面上に形成され、前記入力側変換器
で励振された弾性表面波を電気信号に変換し、この電気
信号を外部に出力する出力側変換器とを具える弾性表面
波フィルタ装置を製造するに当たり、前記圧電性基板の
表面の両端部にサンドブラスト処理を施し、このような
サンドブラスト処理によって形成された面が０．１〜１
０μｍの表面粗さを有することを特徴とするものであ
る。
【００１３】本発明のうち請求項５記載の弾性表面波フ
ィルタ装置の製造方法によれば、請求項１記載の弾性表
面波フィルタ装置を製造することができる。
ィルタ装置の製造方法によれば、請求項１記載の弾性表
面波フィルタ装置を製造することができる。
【００１４】本発明のうち請求項６記載の弾性表面波フ
ィルタ装置の製造方法は、前記両端部の各々を鋸歯形状
にすることを特徴とするものである。
ィルタ装置の製造方法は、前記両端部の各々を鋸歯形状
にすることを特徴とするものである。
【００１５】本発明のうち請求項６記載の弾性表面波フ
ィルタ装置の製造方法によれば、請求項２記載の弾性表
面波フィルタ装置を製造することができる。
ィルタ装置の製造方法によれば、請求項２記載の弾性表
面波フィルタ装置を製造することができる。
【００１６】本発明のうち請求項７記載の弾性表面波フ
ィルタ装置の製造方法は、前記サンドブラスト処理によ
って形成された面を、フォトリソグラフィ技術によって
形成することを特徴とするものである。
ィルタ装置の製造方法は、前記サンドブラスト処理によ
って形成された面を、フォトリソグラフィ技術によって
形成することを特徴とするものである。
【００１７】本発明のうち請求項７記載の弾性表面波フ
ィルタ装置の製造方法によれば、請求項３記載の弾性表
面波フィルタ装置を製造することができる。
ィルタ装置の製造方法によれば、請求項３記載の弾性表
面波フィルタ装置を製造することができる。
【００１８】本発明のうち請求項８記載の弾性表面波フ
ィルタ装置の製造方法は、前記サンドブラスト処理の際
に、前記圧電性基板の表面のうちサンドブラスト処理を
施す部分以外の部分に感光性フィルムを貼り付け又はレ
ジストを塗布することを特徴とするものである。
ィルタ装置の製造方法は、前記サンドブラスト処理の際
に、前記圧電性基板の表面のうちサンドブラスト処理を
施す部分以外の部分に感光性フィルムを貼り付け又はレ
ジストを塗布することを特徴とするものである。
【００１９】本発明のうち請求項８記載の弾性表面波フ
ィルタ装置の製造方法によれば、請求項４記載の弾性表
面波フィルタ装置を製造することができる。
ィルタ装置の製造方法によれば、請求項４記載の弾性表
面波フィルタ装置を製造することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】本発明による弾性表面波フィルタ
装置及びその製造方法を、図面を参照して詳細に説明す
る。図１は、本発明による弾性表面波フィルタ装置の実
施の形態の上面図であり、図２はその側面図である。圧
電性基板としての矩形の水晶基板１の表面２上に、入力
側変換器３と、シールド電極４と、出力側変換器５と
を、弾性表面波の伝播方向に沿って順に形成する。
装置及びその製造方法を、図面を参照して詳細に説明す
る。図１は、本発明による弾性表面波フィルタ装置の実
施の形態の上面図であり、図２はその側面図である。圧
電性基板としての矩形の水晶基板１の表面２上に、入力
側変換器３と、シールド電極４と、出力側変換器５と
を、弾性表面波の伝播方向に沿って順に形成する。
【００２１】入力側変換器３を、正電極６及び負電極７
と、これら正電極６及び負電極７の電極指間に配置した
短絡型浮き電極８とを有する一方向性変換器とする。こ
れら正電極６、負電極７及び短絡型浮き電極８の弾性表
面波の伝播方向における電極指の幅をそれぞれλ／１２
に設定する。ここで、λを基本弾性表面波の波長とす
る。正電極６及び負電極７の各電極指をそれぞれλのピ
ッチで形成し、正電極６の電極指とそれに隣接する負電
極７の電極指との中心間距離をλ／２に設定する。ま
た、短絡型浮き電極８の電極指を、それに隣接する正電
極６の電極指と負電極７の電極指の中間位置から弾性表
面波の伝播方向の上流側にλ／１２だけ偏位するように
配置して、非対称構造に基づく一方向性を高める。本実
施の形態では、入力側変換器３の電極の対数を例えば４
０対に設定するが、この対数は、要求されるフィルタ特
性に応じて適宜最適条件に設定することかできる。
と、これら正電極６及び負電極７の電極指間に配置した
短絡型浮き電極８とを有する一方向性変換器とする。こ
れら正電極６、負電極７及び短絡型浮き電極８の弾性表
面波の伝播方向における電極指の幅をそれぞれλ／１２
に設定する。ここで、λを基本弾性表面波の波長とす
る。正電極６及び負電極７の各電極指をそれぞれλのピ
ッチで形成し、正電極６の電極指とそれに隣接する負電
極７の電極指との中心間距離をλ／２に設定する。ま
た、短絡型浮き電極８の電極指を、それに隣接する正電
極６の電極指と負電極７の電極指の中間位置から弾性表
面波の伝播方向の上流側にλ／１２だけ偏位するように
配置して、非対称構造に基づく一方向性を高める。本実
施の形態では、入力側変換器３の電極の対数を例えば４
０対に設定するが、この対数は、要求されるフィルタ特
性に応じて適宜最適条件に設定することかできる。
【００２２】出力側変換器５も、正電極９及び負電極１
０と、これら正電極９及び負電極１０の電極指間に配置
した短絡型浮き電極１１とを有する一方向性変換器とす
る。これら正電極９、負電極１０及び短絡型浮き電極１
１の弾性表面波の伝播方向における電極指の幅もそれぞ
れλ／１２に設定する。正電極９及び負電極１０の各電
極指をそれぞれλのピッチで形成し、正電極９の電極指
とそれに隣接する負電極１０の電極指との中心間距離を
λ／２に設定する。また、短絡型浮き電極１１の電極指
を、それに隣接する正電極９の電極指と負電極１０の電
極指の中間位置から弾性表面波の伝播方向の上流側にλ
／１２だけ偏位するように配置して、非対称構造に基づ
く一方向性を高める。出力側変換器５の電極の対数を例
えば４０対に設定する。
０と、これら正電極９及び負電極１０の電極指間に配置
した短絡型浮き電極１１とを有する一方向性変換器とす
る。これら正電極９、負電極１０及び短絡型浮き電極１
１の弾性表面波の伝播方向における電極指の幅もそれぞ
れλ／１２に設定する。正電極９及び負電極１０の各電
極指をそれぞれλのピッチで形成し、正電極９の電極指
とそれに隣接する負電極１０の電極指との中心間距離を
λ／２に設定する。また、短絡型浮き電極１１の電極指
を、それに隣接する正電極９の電極指と負電極１０の電
極指の中間位置から弾性表面波の伝播方向の上流側にλ
／１２だけ偏位するように配置して、非対称構造に基づ
く一方向性を高める。出力側変換器５の電極の対数を例
えば４０対に設定する。
【００２３】水晶基板１の表面２の両端部１２，１３に
サンドブラスト処理が施されて、図１に示すような鋸歯
形状を形成する。このように形成された鋸歯の各々の底
辺ａ、高さｂ及び深さｃをそれぞれ、１００〜３００μ
ｍ，１００〜３００μｍ及び５０〜１００μｍとする。
このようなサンドブラスト処理によって形成された面１
３〜１６はそれぞれ、端面方向に伝播する弾性表面波を
有効に散乱させるために、０．１〜１０μｍの表面粗さ
を有する。
サンドブラスト処理が施されて、図１に示すような鋸歯
形状を形成する。このように形成された鋸歯の各々の底
辺ａ、高さｂ及び深さｃをそれぞれ、１００〜３００μ
ｍ，１００〜３００μｍ及び５０〜１００μｍとする。
このようなサンドブラスト処理によって形成された面１
３〜１６はそれぞれ、端面方向に伝播する弾性表面波を
有効に散乱させるために、０．１〜１０μｍの表面粗さ
を有する。
【００２４】サンドブラスト処理によって形成された面
１４〜１７を、感光性フィルム又はレジストを使用した
フォトリソグラフィ技術によって形成する。これについ
ては後に説明する。
１４〜１７を、感光性フィルム又はレジストを使用した
フォトリソグラフィ技術によって形成する。これについ
ては後に説明する。
【００２５】本実施の形態の動作を説明する。端部１
２，１３方向に伝播する弾性表面波１８〜２３は、サン
ドブラスト処理によって形成された面１４〜１７によっ
て、平面方向では水晶基板１の側面方向に反射され（図
１参照）、深さ方向では散乱される（図２参照）。これ
によって、反射波がメイン波に直接入射されないので、
反射波のメイン波への悪影響を軽減させることができ
る。この場合、端部に吸音剤を塗布する必要がないの
で、吸音剤を塗布することによって弾性表面波フィルタ
装置の弾性表面波の伝播方向の寸法が長くなることがな
い。
２，１３方向に伝播する弾性表面波１８〜２３は、サン
ドブラスト処理によって形成された面１４〜１７によっ
て、平面方向では水晶基板１の側面方向に反射され（図
１参照）、深さ方向では散乱される（図２参照）。これ
によって、反射波がメイン波に直接入射されないので、
反射波のメイン波への悪影響を軽減させることができ
る。この場合、端部に吸音剤を塗布する必要がないの
で、吸音剤を塗布することによって弾性表面波フィルタ
装置の弾性表面波の伝播方向の寸法が長くなることがな
い。
【００２６】図３は、本発明による弾性表面波フィルタ
装置及び従来の弾性表面波フィルタ装置の周波数特性を
示す図である。図３において、図１に示した弾性表面波
フィルタ装置によって得られる特性を破線で示すととも
に、端部に吸音剤を塗布した従来の弾性表面波フィルタ
装置によって得られる特性を示す。図から明らかなよう
に、本発明による弾性表面波フィルタ装置によって得ら
れる特性が従来の弾性表面波フィルタ装置によって得ら
れる特性と類似しており、本発明による弾性表面波フィ
ルタ装置によって端面反射波の影響を軽減させることが
できることがわかる。
装置及び従来の弾性表面波フィルタ装置の周波数特性を
示す図である。図３において、図１に示した弾性表面波
フィルタ装置によって得られる特性を破線で示すととも
に、端部に吸音剤を塗布した従来の弾性表面波フィルタ
装置によって得られる特性を示す。図から明らかなよう
に、本発明による弾性表面波フィルタ装置によって得ら
れる特性が従来の弾性表面波フィルタ装置によって得ら
れる特性と類似しており、本発明による弾性表面波フィ
ルタ装置によって端面反射波の影響を軽減させることが
できることがわかる。
【００２７】次に、本発明による弾性表面波フィルタ装
置の製造方法を説明する。図４は、本発明による弾性表
面波フィルタ装置の製造プロセスのフローチャートであ
る。本プロセスでは、先ず、水晶基板を洗浄した後に、
水晶基板の表面上にＡｌ又はＡｌ＋Ｃｕ等の電極膜を成
膜する。次いで、レジストを塗布し、それをプリベーグ
する。その後、露光し、現像し及びポストベーグを行
う。次いで、エッチングを行い、レジストを除去する。
置の製造方法を説明する。図４は、本発明による弾性表
面波フィルタ装置の製造プロセスのフローチャートであ
る。本プロセスでは、先ず、水晶基板を洗浄した後に、
水晶基板の表面上にＡｌ又はＡｌ＋Ｃｕ等の電極膜を成
膜する。次いで、レジストを塗布し、それをプリベーグ
する。その後、露光し、現像し及びポストベーグを行
う。次いで、エッチングを行い、レジストを除去する。
【００２８】基板表面にサンドブラスト用の感光性フィ
ルムを貼り付けた後、それを露光し及び現像する。この
ようなフォトグラフィ技術を用いた後、サンドブラスト
処理を施す部分を取り除き、サンドブラスト処理を施
す。次いで、感光性フィルムを剥離した後、プローバー
検査を行う。
ルムを貼り付けた後、それを露光し及び現像する。この
ようなフォトグラフィ技術を用いた後、サンドブラスト
処理を施す部分を取り除き、サンドブラスト処理を施
す。次いで、感光性フィルムを剥離した後、プローバー
検査を行う。
【００２９】次いで、テープマウントを行った後に切断
を行う。このようにして得られた基板の端面の写真を図
５に示す。なお、図６に図５の一部拡大写真を示し、図
７に図６の一部拡大写真を示す。図５〜７において、２
４〜２６はそれぞれ、ダイシング切断面、サンドブラス
ト処理が施された面及び電極の端部を示す。
を行う。このようにして得られた基板の端面の写真を図
５に示す。なお、図６に図５の一部拡大写真を示し、図
７に図６の一部拡大写真を示す。図５〜７において、２
４〜２６はそれぞれ、ダイシング切断面、サンドブラス
ト処理が施された面及び電極の端部を示す。
【００３０】次いで、ダイ付け、ワイヤボンディング及
び溶接を順次行った後、特性検査を行う。以上のプロセ
スによって図１及び２に示した弾性表面波フィルタ装置
を得ることができる。
び溶接を順次行った後、特性検査を行う。以上のプロセ
スによって図１及び２に示した弾性表面波フィルタ装置
を得ることができる。
【００３１】本発明は、上記実施の形態に限定されるも
のではなく、幾多の変更及び変形が可能である。例え
ば、入力側変換器及び出力側変換器を、従来既知の任意
の変換器とすることができる。また、圧電性基板を水晶
以外の他のものとすることができ、サンドブラスト処理
によって形成される形状を、鋸歯形状以外の任意の形状
とすることができる。
のではなく、幾多の変更及び変形が可能である。例え
ば、入力側変換器及び出力側変換器を、従来既知の任意
の変換器とすることができる。また、圧電性基板を水晶
以外の他のものとすることができ、サンドブラスト処理
によって形成される形状を、鋸歯形状以外の任意の形状
とすることができる。
【００３２】さらに、上記実施の形態ではサンドブラス
ト処理前に電極膜を成膜したが、サンドブラスト処理後
に成膜することもできる。
ト処理前に電極膜を成膜したが、サンドブラスト処理後
に成膜することもできる。
【図１】本発明による弾性表面波フィルタ装置の実施の
形態の上面図である。
形態の上面図である。
【図２】図１の弾性表面波フィルタ装置の側面図であ
る。
る。
【図３】本発明による弾性表面波フィルタ装置及び従来
の弾性表面波フィルタ装置の周波数特性を示す図であ
る。
の弾性表面波フィルタ装置の周波数特性を示す図であ
る。
【図４】本発明による弾性表面波フィルタ装置の製造プ
ロセスのフローチャートである。
ロセスのフローチャートである。
【図５】サンドブラスト処理が施された基板の写真であ
る。
る。
【図６】図５の一部を拡大した写真である。
【図７】図６の一部を拡大した写真である。
１ 水晶基板、２ 表面、３ 入力側変換器、４ シー
ルド電極、５ 出力側変換器 ６，９ 正電極、７，１
０ 負電極、８，１１ 短絡型浮き電極 １２，１３
端部、１４，１５，１６，１７ 面、１８，１９，２
０，２１，２２，２３ 弾性表面波、２４ ダイシング
切断面、２５ サンドブラスト処理２６ 電極の端部
ルド電極、５ 出力側変換器 ６，９ 正電極、７，１
０ 負電極、８，１１ 短絡型浮き電極 １２，１３
端部、１４，１５，１６，１７ 面、１８，１９，２
０，２１，２２，２３ 弾性表面波、２４ ダイシング
切断面、２５ サンドブラスト処理２６ 電極の端部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 健司 愛知県名古屋市瑞穂区須田町２番56号 日 本碍子株式会社内 Ｆターム(参考） 5J097 AA04 AA29 AA31 BB11 CC15 DD04 DD10 DD13 DD20 EE06 GG02 HA02 HA07 HA08 KK04 KK09
Claims (8)
- 【請求項１】圧電性基板と、この圧電性基板の表面上に
形成され、電気信号が外部から入力され、この電気信号
を弾性表面波に変換する入力側変換器と、前記圧電性基
板の表面上に形成され、前記入力側変換器で励振された
弾性表面波を電気信号に変換し、この電気信号を外部に
出力する出力側変換器とを具え、 前記圧電性基板の表面の両端部にサンドブラスト処理が
施され、このようなサンドブラスト処理によって形成さ
れた面が０．１〜１０μｍの表面粗さを有することを特
徴とする弾性表面波フィルタ装置。 - 【請求項２】前記両端部の各々を鋸歯形状にしたことを
特徴とする請求項１記載の弾性表面波フィルタ装置。 - 【請求項３】前記サンドブラスト処理によって形成され
た面を、フォトリソグラフィ技術によって形成したこと
を特徴とする請求項１又は２記載の弾性表面波フィルタ
装置。 - 【請求項４】前記フォトリソグラフィ技術の際に感光性
フィルム又はレジストを使用したことを特徴とする請求
項３記載の弾性表面波フィルタ装置。 - 【請求項５】圧電性基板と、この圧電性基板の表面上に
形成され、電気信号が外部から入力され、この電気信号
を弾性表面波に変換する入力側変換器と、前記圧電性基
板の表面上に形成され、前記入力側変換器で励振された
弾性表面波を電気信号に変換し、この電気信号を外部に
出力する出力側変換器とを具える弾性表面波フィルタ装
置を製造するに当たり、 前記圧電性基板の表面の両端部にサンドブラスト処理を
施し、このようなサンドブラスト処理によって形成され
た面が０．１〜１０μｍの表面粗さを有することを特徴
とする弾性表面波フィルタ装置の製造方法。 - 【請求項６】前記両端部の各々を鋸歯形状にすることを
特徴とする請求項５記載の弾性表面波フィルタ装置の製
造方法。 - 【請求項７】前記サンドブラスト処理によって形成され
た面を、フォトリソグラフィ技術によって形成すること
を特徴とする請求項５又は６記載の弾性表面波フィルタ
装置の製造方法。 - 【請求項８】前記サンドブラスト処理の際に、前記圧電
性基板の表面のうちサンドブラスト処理を施す部分以外
の部分に感光性フィルムを貼り付け又はレジストを塗布
することを特徴とする請求項７記載の弾性表面波フィル
タ装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9118199A JP2000286673A (ja) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | 弾性表面波フィルタ装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9118199A JP2000286673A (ja) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | 弾性表面波フィルタ装置及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000286673A true JP2000286673A (ja) | 2000-10-13 |
Family
ID=14019293
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9118199A Withdrawn JP2000286673A (ja) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | 弾性表面波フィルタ装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000286673A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2577361A (en) * | 2018-07-18 | 2020-03-25 | Skyworks Solutions Inc | Fbar filter with integrated cancelation cicuit |
-
1999
- 1999-03-31 JP JP9118199A patent/JP2000286673A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2577361A (en) * | 2018-07-18 | 2020-03-25 | Skyworks Solutions Inc | Fbar filter with integrated cancelation cicuit |
| US20210226607A1 (en) * | 2018-07-18 | 2021-07-22 | Skyworks Solutions, Inc. | Fbar filter with integrated cancelation circuit |
| GB2577361B (en) * | 2018-07-18 | 2023-03-01 | Skyworks Solutions Inc | FBAR filter with integrated cancelation circuit |
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