JP2007053670A - 弾性境界波素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】 周波数温度特性を改善する。
【解決手段】 弾性境界波素子10は、相互に接合された第1圧電基板12および第2圧電基板14と、第1圧電基板12と第2圧電基板14との境界部に弾性波を励振するすだれ状電極からなるIDT16とを有している。IDT16の弾性境界波の伝播方向両側には、反射器24(24a、24b)が設けてある。第1圧電基板12と第2圧電基板14とは、オイラー角を(φ,θ,ψ)としたときに、カット角が(φ,θ,ψ)または(φ,θ+180°,ψ)の水晶板からなっている。
【選択図】 図1
【解決手段】 弾性境界波素子10は、相互に接合された第1圧電基板12および第2圧電基板14と、第1圧電基板12と第2圧電基板14との境界部に弾性波を励振するすだれ状電極からなるIDT16とを有している。IDT16の弾性境界波の伝播方向両側には、反射器24(24a、24b)が設けてある。第1圧電基板12と第2圧電基板14とは、オイラー角を(φ,θ,ψ)としたときに、カット角が(φ,θ,ψ)または(φ,θ+180°,ψ)の水晶板からなっている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、一対の圧電基板の接合した境界部に弾性波を励振する弾性境界波素子に関する。
弾性表面波共振器、弾性表面波フィルタなどの弾性表面波(Surface Acoustic Wave:SAW)デバイスを形成するSAW素子は、水晶やタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなどの圧電基板の表面に、すだれ状電極を備えている。すだれ状電極は、圧電基板を励振して弾性表面波を発生する。そして、特許文献1には、SAWデバイスの周波数温度特性を改善するために、カット角がオイラー角表示で(0°±10°,118±5°,±(43°±3°))の水晶板を用いてSAW素子を形成することが記載されている。
SAW素子に生ずる弾性表面波は、基本的にすだれ状電極の電極指の形成ピッチに依存している。そして、SAW素子は、弾性表面波が高周波数になればなるほど、すだれ状電極の電極指の形成ピッチが狭くなる。このため、このようなSAW素子を備えたSAWデバイスは、塵埃などの微小な異物が付着すると、すだれ状電極が短絡するおそれがある。また、すだれ状電極に異物が付着すると、すだれ状電極の電極膜の質量が実質的に変化して共振周波数のずれを生ずる。したがって、SAWデバイスは、付着した異物によるすだれ状電極の短絡、周波数ずれを防止するために、SAW素子を外部から隔てる容器を必要とし、SAWデバイスの小型化の障害になる。
そこで、すだれ状電極を外部に露出させずに弾性波を励振できる弾性境界波素子の開発が進められている(例えば、特許文献1)。この特許文献1に記載の弾性境界波素子は、すだれ状電極を挟み込んで接合した一対の固体材料の少なくとも一方に、ニオブ酸リチウム(LiNbO3)などの圧電効果を有する材料(圧電材料)を用いたものである。このような弾性境界波素子は、接合した一対の固体材料の接合部(境界部)に、挟み込んだすだれ状電極によってストンリー波と呼ばれる弾性境界波を励振することができる。このような弾性境界波素子は、すだれ状電極が外部に露出していないため、容器に収容しなくとも塵埃などの異物の付着による短絡、共振周波数のずれを防止することができる。
特開昭57−73513号公報
特表2003−512637号公報
特許文献2に記載の弾性境界波素子は、圧電基板としてニオブ酸リチウムやタンタル酸リチウム(LiTaO3)などを使用している。これらの圧電基板は、水晶より電気機械結合係数が大きい。しかし、これらの圧電基板は、周波数温度特性を決定する因子である弾性表面波の伝播速度の温度依存性が比較的大きい。すなわち、ニオブ酸リチウムやタンタル酸リチウムは、水晶基板に比較すると、周波数温度特性が非常に悪い。
本発明は、前記従来技術の欠点を解消するためになされたもので、周波数温度特性を改善することを目的としている。
本発明は、前記従来技術の欠点を解消するためになされたもので、周波数温度特性を改善することを目的としている。
ところで、弾性境界波は、どのような圧電基板を用いても得られるものではない。例えば、STカット水晶板は、弾性表面波であるレイリー波を利用した弾性表面波素子に広く用いられている。しかし、発明者らの研究によると、STカット水晶板を用いたのでは弾性境界波を発生させることができない。すなわち、単に弾性表面波を励振できる水晶基板を用いたからといって、弾性境界波素子を形成することができない。そして、発明者らは、G.W.Farnell,“Symmetry Considerations for Elastic Layer Modes Propagating in Anisotropic Piezoelectric Crystals”,IEEE Trans.Sonics Ultrason.,vol.SU-17,NO.4,pp.229〜238,1079.(以下、技術文献という)に記載された方法により、運動方程式、圧電方程式等に基づいてSTカット水晶板について、弾性境界波を励振させうる境界条件を満足するカット角を求めたところ、STカット水晶板を特定の角度面内回転させた場合に、弾性境界波を励振できることがわかった。本発明は、このような知見に基づいてなされたものである。
すなわち、上記目的を達成するために、本発明に係る弾性境界波素子は、相互に接合された第1圧電基板および第2圧電基板と、前記各圧電基板の境界部に弾性波を励振するすだれ状電極とを備えた弾性境界波素子であって、前記第1圧電基板と前記第2圧電基板とは、カット角がオイラー各表示で(φ,θ,ψ)または(φ,θ+180°,ψ)の水晶板であることを特徴としている。
このようになっている本発明は、周波数の温度依存性が小さい水晶基板を用いて弾性境界波素子を形成することができる。したがって、本発明は、弾性境界波素子の周波数温度特性を大幅に改善することができる。
前記φは、−10°〜10°の範囲、θは、122.5°〜136.5°の範囲であることが望ましい。そして、ψは、
にするとよい。
前記φは、−10°〜10°の範囲、θは、122.5°〜136.5°の範囲であることが望ましい。そして、ψは、
本発明に係る弾性境界波素子の好ましい実施の形態を、添付図面に従って詳細に説明する。
図1は、本発明の実施の形態に係る弾性境界波素子を模式的に示した説明図である。図1において、弾性境界波素子10は、第1圧電基板12と第2圧電基板14との一対の圧電基板を備えている。第1圧電基板12と第2圧電基板14とは、オイラー角を(φ,θ,ψ)としたときに、カット角が(φ,θ,ψ)または(φ,θ+180°,ψ)の水晶板からなっていて、相互に接合してある。実施形態の場合、水晶板は、φが−10°〜10°、θが122.5°〜136.5°、すなわちオイラー角表示で(−10°〜10°,122.5°〜136.5°,ψ)のいわゆる面内回転STカット水晶板または(−10°〜10°,−43.5°〜−57.5°,ψ)の水晶板からなっている。ψは、カット角が(φ,θ,ψ)または(φ,θ+180°,ψ)であって、−10°≦φ10°かつ122.5°≦θ≦136.5°であるとき、実施形態の場合、後述するように、
にしてある。これにより、周波数、温度特性の非常に優れた弾性境界波素子が得られる。
図1は、本発明の実施の形態に係る弾性境界波素子を模式的に示した説明図である。図1において、弾性境界波素子10は、第1圧電基板12と第2圧電基板14との一対の圧電基板を備えている。第1圧電基板12と第2圧電基板14とは、オイラー角を(φ,θ,ψ)としたときに、カット角が(φ,θ,ψ)または(φ,θ+180°,ψ)の水晶板からなっていて、相互に接合してある。実施形態の場合、水晶板は、φが−10°〜10°、θが122.5°〜136.5°、すなわちオイラー角表示で(−10°〜10°,122.5°〜136.5°,ψ)のいわゆる面内回転STカット水晶板または(−10°〜10°,−43.5°〜−57.5°,ψ)の水晶板からなっている。ψは、カット角が(φ,θ,ψ)または(φ,θ+180°,ψ)であって、−10°≦φ10°かつ122.5°≦θ≦136.5°であるとき、実施形態の場合、後述するように、
ただし、第1圧電基板12、第2圧電基板14は、φが−10°〜10°、θが122.5°〜136.5°の範囲にあるカット角が(φ,θ,ψ)または(φ,θ+180°,ψ)の水晶板の場合、相互にφやθが異なっていてもよい。また、第1圧電基板12と第2圧電基板14とを同じカット角の水晶板を使用し、一方を他方に対して裏返しにして接合してもよい。なお、図1においては、理解を容易にするために、第2圧電基板14は、2点鎖線からなる仮想線によって示してある。
弾性境界波素子10は、第1圧電基板12の第2圧電基板14を接合した接合面(上面)中央部にIDT(Interdigital Transducer)16が設けてある。IDT16は、一対の櫛型電極18(18a、18b)からなっている。櫛型電極18は、それぞれが複数の電極指20(20a、20b)と、バスバー22(22a、22b)とを備えている。電極指20は、長手方向が弾性境界波の伝播方向に直交しており、一端が対応するバスバー22に接続してある。そして、IDT16は、一対の櫛型電極18の各電極指20が噛み合うようにして等間隔に配置してあり、すだれ状に形成してある。
さらに、弾性境界波素子10は、IDT16の弾性境界波の伝播方向両側に反射器24(24a、24b)が設けてある。反射器24は、櫛型電極18と同じ導電材によって形成してあり、長手方向を弾性境界波の伝播方向に直交させて、電極指20と平行に形成した複数の導体ストリップ26からなっている。なお、反射器24は、導体ストリップ26の両端を接続するバスバーを設けてもよい。
各反射器24の外側には、電極部30(30a、30b)が設けてある。これらの電極部30は、配線部32(32a、32b)を介して対応する櫛型電極18のバスバー22に接続してある。電極部30は、図1に示したように、第2圧電基板14から露出する位置に形成してあって、図示しないボンディングワイヤなどを介して実装基板の回路に電気的に接続される。すなわち、第2圧電基板14は、第1圧電基板12より小さく、第1圧電基板12に設けたIDT16と一対の反射器24とを覆い、電極部30を露出させる大きさに形成してある。
なお、反射器24とIDT16とは、図2に示したように、第1圧電基板12に形成した溝28内に形成してあり、上面が第1圧電基板12の接合面と一致しているか、やや低くなっており、第2圧電基板14を第1圧電基板12に接合するのに支障がないようにしてある。
このようになっている弾性境界波素子10は、第1圧電基板12と第2圧電基板14とをカット角がオイラー各表示で(φ,θ,ψ)または(φ,θ+180°,ψ)の水晶板で構成したことにより、周波数温度特性の優れたものとすることができる。図3は、実施形態に係る弾性境界波素子10の周波数温度特性を、面内回転STカット水晶板により形成した弾性表面波素子の周波数温度特性と比較した図である。
図3は、横軸が℃で示した温度、縦軸が25℃における共振周波数を基準にした共振周波数の変動量をppmによって示している。そして、□が実施形態に係る弾性境界波素子、◆が比較対照の弾性表面波素子である。なお、弾性表面波素子は、カット角がオイラー角表示で(0°,123°,43.47°)の面内回転STカット水晶板から形成してある。また、実施形態の弾性境界波素子は、第1圧電基板12および第2圧電基板14のいずれも、周波数温度特性が最もよくなるように、カット角がオイラー角表示で(0°,123°,44.76°)の面内回転STカット水晶板からなっている。
図3に示されているように、比較対照の弾性表面波素子は、−20℃〜+80℃の温度範囲において、共振周波数が上に凸の放物線状に変化する二次曲線で近似できる周波数温度特性を示す。これに対して、実施形態の弾性境界波素子は、+20℃〜+40℃の温度範囲においては、共振周波数がほとんど変動しない。そして、弾性境界波素子は、温度が+20℃より低くなると、温度の低下に伴って周波数が低くなり、温度が+40℃を超えると温度の上昇に伴って周波数が高くなる三次曲線で近似できる周波数温度特性を示す。
また、−20℃〜+80℃の温度範囲における周波数変動量は、実施形態の弾性境界波素子および比較対照の弾性表面波素子の双方とも、約22ppmであってほとんど差がない。しかし、温度範囲が0℃〜+40℃の場合、実施形態の弾性境界波素子では周波数変動量が約1ppmであるのに対して、弾性表面波素子では約4ppmとなる。したがって、実施形態に係る弾性境界波素子は、非常に温度周波数特性の優れたものとすることができる。
図4は、実施形態に係る弾性境界波素子10のカット角を変化させたときの周波数の変動量を示したものである。図4は、横軸がオイラー角表示における角θを度で示し、右の縦軸が同じく角ψを度で示している。また、左の縦軸は、−20℃〜+80℃の温度範囲における共振周波数の変動量をppmで示している。そして、図4中、◆が前記の角ψ、□が周波数変動量である。また、図4に示した矢印の範囲は、−20℃〜+80℃の温度範囲における周波数変動量が20ppm以下の範囲である。
角ψと周波数変動量は、次のようにして求めている。例えば、カット角がオイラー角表示で(0°,125°,ψ)の水晶板を形成する。さらに、弾性波の伝播方向となるψを所定の角度ピッチずつ変えた弾性境界波素子を形成する。次に、これらの弾性境界波素子について、−20℃〜+80℃の温度範囲における共振周波数の変動量を求める。そして、周波数変動量が最も小さかったψを選択する。さらに、θを所定の角度ピッチずつ変えて同様の操作を行なう。図4は、このようにして求めたψと周波数変動量をθに対応させてプロットしたものである。
図4に基づいて周波数変動量が20ppmの範囲において角θと角ψとの関係を求めると、
が得られる。そして、数式4によって得られた角ψに対しては、±3°程度のずれがあっても周波数変動量に大きな影響を与えない。したがって、ψは、
であってよい。
図5は、弾性境界波素子10を製造する方法の一例を示す工程図である。まず、接合面を研磨、洗浄し上記した水晶板からなる第1圧電基板12の接合面にフォトレジストを塗布し、固化させてレジスト膜を形成する。次に、フォトマスク(図示せず)を介してレジスト膜を露光したのち、現像液を用いて現像し、図5(1)に示したように、IDT16や反射器24などに対応したパターンを有するように、レジスト膜34をパターニングする。
その後、レジスト膜34をマスクにして第1圧電基板12をエッチングし、同図(2)に示したように、第1圧電基板12の接合面に、IDT16や反射器24などに対応した所定深さの溝28を形成する。所定深さの溝28を形成したならば、レジスト膜34を剥離して除去する。この溝28を形成する第1圧電基板12のエッチングは、ウエットエッチングまたはドライエッチングのどちらでもよいが、ドライエッチングの方が寸法精度の高い溝28を形成することができる。
次に、図5(3)に示したように、第1圧電基板12の接合面全体にネガ型フォトレジストを塗布して固化させ、レジスト膜36を形成する。さらに、レジスト膜36を露光、現像し、図5(4)に示したように、溝28に対応したパターンがオーバーハング形状になるようにレジスト膜36をパターニングする。ネガ型フォトレジストは、光(紫外線)の当たった部分が硬化して現像液に不溶となる。そして、フォトマスクを介してレジスト膜36を露光した場合に、フォトマスクのパターン開口の縁部における露光量が開口中心部より相対的に少なく、フォトレジストの厚み方向において光の強度が次第に弱くなる。このため、ネガ型フォトレジストを露光、現像してパターニングすると、オーバーハング形状にパターニングされる。
その後、図5(5)に示したように、フォトレジスト36を設けた第1圧電基板12の全面に、アルミニウムなどの導電性を有する金属38をスパッタリングや真空蒸着などによって堆積し、溝28に金属38を充填する。このとき、レジスト膜36は、オーバーハング形状となっているため、図5(5)に示されているように、側面に金属38が付着するのを防止することができる。溝28を金属38によって充填したならば、図5(6)に示したように、レジスト膜36を剥離して除去する。レジスト膜36は、側面に金属38が付着していないため、容易に剥離することができる。これにより、第1圧電基板12にIDT16や反射器24、電極部30などが形成される。
その後、図5(7)に示したように、第1圧電基板12の接合面に、接合面を研磨、洗浄した上記の水晶板からなる第2圧電基板14を接合する。これにより、弾性境界波素子10が形成される。
その後、図5(7)に示したように、第1圧電基板12の接合面に、接合面を研磨、洗浄した上記の水晶板からなる第2圧電基板14を接合する。これにより、弾性境界波素子10が形成される。
第1圧電基板12と第2圧電基板14との接合は、例えば、第1圧電基板12と第2圧電基板14との接合面に薄い金属膜を形成し、両者を圧接した状態で金属膜を溶着させる金属接合によって行なうことができる。また、両者の接合面をイオンビームやプラズマを照射して活性化し、または両者の接合面を親水化処理し、両者を直接接合してもよい。なお、溝28への金属38の充填は、第1圧電基板12と第2圧電基板14との接合の障害とならないように、金属38の上面が第1圧電基板12の接合面と同じ高さになるか、やや低くなるようにする。また、金属38の上面が第1圧電基板12の接合面より高くなる場合、あるいは高くなるおそれがある場合、第1圧電基板12の接合面を研磨してから第2圧電基板14を接合するとよい。また、前記実施形態においては、第1圧電基板12に溝28を形成するためのレジスト膜と、溝28に金属38を充填するためのレジスト膜とを別々に形成した場合について説明したが、オーバーハング形状のパターンを有するレジスト膜を形成し、このレジスト膜を用いてドライエッチングにより溝28を形成し、その後、同じレジスト膜を用いて溝28に金属38を充填するようにしてもよい。
10………弾性境界波素子、12………第1圧電基板(水晶板)、14………第2圧電基板(水晶板)、16………IDT、18a、18b………櫛型電極、20a、20b………電極指、24a、24b………反射器。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008294538A (ja) * | 2007-05-22 | 2008-12-04 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性境界波装置及びその製造方法 |
WO2011018913A1 (ja) * | 2009-08-10 | 2011-02-17 | 株式会社村田製作所 | 弾性境界波装置 |
JPWO2009098840A1 (ja) * | 2008-02-05 | 2011-05-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性境界波装置 |
-
2005
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