JP2001257562A - 弾性表面波フィルタ装置及びその製造方法 - Google Patents
弾性表面波フィルタ装置及びその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な構成で弾性表面波フィルタ装置の端面
反射波の影響を軽減させる。 【解決手段】 端面１２，１３の方向に伝播する弾性表
面波１６は、溝１５ａ及びそれに隣接する溝１５ｂによ
って反射された後に端面１３に入射する。このようにし
て端面１３に入射した弾性表面波は、これらの溝によっ
て再び反射された後に出力側変換器５の開口部方向に出
射される。これらの溝１５ａ，１５ｂによって反射され
た弾性表面波は著しく減衰しているので、メイン波にほ
とんど悪影響を及ぼさない。
反射波の影響を軽減させる。 【解決手段】 端面１２，１３の方向に伝播する弾性表
面波１６は、溝１５ａ及びそれに隣接する溝１５ｂによ
って反射された後に端面１３に入射する。このようにし
て端面１３に入射した弾性表面波は、これらの溝によっ
て再び反射された後に出力側変換器５の開口部方向に出
射される。これらの溝１５ａ，１５ｂによって反射され
た弾性表面波は著しく減衰しているので、メイン波にほ
とんど悪影響を及ぼさない。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、弾性表面波の反射
波のメイン波に対する悪影響を軽減する弾性表面波フィ
ルタ装置及びその製造方法に関するものである。
波のメイン波に対する悪影響を軽減する弾性表面波フィ
ルタ装置及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、弾性表面波フィルタ装置において
弾性表面波の端面反射波のメイン波への悪影響を軽減さ
せるために、基板の端部に吸音剤が塗布されている。
弾性表面波の端面反射波のメイン波への悪影響を軽減さ
せるために、基板の端部に吸音剤が塗布されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな吸音剤を塗布した場合、弾性表面波の伝播方向に弾
性表面波フィルタ装置の寸法が増大し（実際には約０．
５〜１ｍｍ）、製品の小型化の要請に反する。
うな吸音剤を塗布した場合、弾性表面波の伝播方向に弾
性表面波フィルタ装置の寸法が増大し（実際には約０．
５〜１ｍｍ）、製品の小型化の要請に反する。
【０００４】吸音剤を塗布する代わりに基板の端部を荒
らすことによって反射波の悪影響を軽減させることも考
えられるが、このような狭い範囲を荒らすことは困難で
ある。
らすことによって反射波の悪影響を軽減させることも考
えられるが、このような狭い範囲を荒らすことは困難で
ある。
【０００５】本発明の目的は、簡単な構成で端面反射波
の影響を軽減させる弾性表面波フィルタ装置及びその製
造方法を提供することである。
の影響を軽減させる弾性表面波フィルタ装置及びその製
造方法を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のうち請求項１記
載の弾性表面波フィルタ装置は、圧電性基板と、この圧
電性基板の表面上に形成され、電気信号が外部から入力
され、この電気信号を弾性表面波に変換する入力側変換
器と、前記圧電性基板の表面上に形成され、前記入力側
変換器で励振された弾性表面波を電気信号に変換し、こ
の電気信号を外部に出力する出力側変換器とを具え、前
記圧電性基板が、端面とその端面に近接する方の前記入
力側変換器及び出力側変換器の開口部との間にそれぞれ
形成され、前記端面に対して傾斜した互いに平行な複数
の溝を有することを特徴とするものである。
載の弾性表面波フィルタ装置は、圧電性基板と、この圧
電性基板の表面上に形成され、電気信号が外部から入力
され、この電気信号を弾性表面波に変換する入力側変換
器と、前記圧電性基板の表面上に形成され、前記入力側
変換器で励振された弾性表面波を電気信号に変換し、こ
の電気信号を外部に出力する出力側変換器とを具え、前
記圧電性基板が、端面とその端面に近接する方の前記入
力側変換器及び出力側変換器の開口部との間にそれぞれ
形成され、前記端面に対して傾斜した互いに平行な複数
の溝を有することを特徴とするものである。
【０００７】本発明のうち請求項１記載の弾性表面波フ
ィルタ装置によれば、端面方向に伝播する弾性表面波の
大部分は、複数の溝のうちの１本及びそれに隣接する１
本の溝によって反射された後に端面に入射する。このよ
うにして端面に入射した弾性表面波は、これらの溝によ
って再び反射された後に入力側変換器又は出力側変換器
の開口部方向に出射される。これらの溝によって反射さ
れた弾性表面波は著しく減衰しているので、メイン波に
ほとんど悪影響を及ぼさない。この場合、端部に吸音剤
を塗布する必要がないので、吸音剤を塗布することによ
って弾性表面波フィルタ装置の弾性表面波の伝播方向の
寸法が長くなることがない。
ィルタ装置によれば、端面方向に伝播する弾性表面波の
大部分は、複数の溝のうちの１本及びそれに隣接する１
本の溝によって反射された後に端面に入射する。このよ
うにして端面に入射した弾性表面波は、これらの溝によ
って再び反射された後に入力側変換器又は出力側変換器
の開口部方向に出射される。これらの溝によって反射さ
れた弾性表面波は著しく減衰しているので、メイン波に
ほとんど悪影響を及ぼさない。この場合、端部に吸音剤
を塗布する必要がないので、吸音剤を塗布することによ
って弾性表面波フィルタ装置の弾性表面波の伝播方向の
寸法が長くなることがない。
【０００８】なお、各溝の端面に対する傾斜角度、寸
法、幅及び隣接する溝との間隔並びに溝の本数を、設計
に応じて任意に選択することができる。
法、幅及び隣接する溝との間隔並びに溝の本数を、設計
に応じて任意に選択することができる。
【０００９】本発明のうち請求項２記載の弾性表面波フ
ィルタ装置は、前記複数の溝の一端がそれぞれ前記端面
上に位置することを特徴とするものである。複数の溝を
このように配置することによって、端面反射波の影響を
減少させながら弾性表面波フィルタ装置の弾性表面波の
伝播方向の寸法を更に減少させることができる。
ィルタ装置は、前記複数の溝の一端がそれぞれ前記端面
上に位置することを特徴とするものである。複数の溝を
このように配置することによって、端面反射波の影響を
減少させながら弾性表面波フィルタ装置の弾性表面波の
伝播方向の寸法を更に減少させることができる。
【００１０】本発明のうち請求項３記載の弾性表面波フ
ィルタ装置は、前記複数の溝をレーザ加工によって形成
したことを特徴とするものである。これによって、複数
の溝を良好に形成することができる。
ィルタ装置は、前記複数の溝をレーザ加工によって形成
したことを特徴とするものである。これによって、複数
の溝を良好に形成することができる。
【００１１】本発明のうち請求項４記載の弾性表面波フ
ィルタ装置は、前記レーザ加工を、ＣＯ２レーザを用い
たレーザ加工としたことを特徴とするものである。これ
によって、複数の溝を更に良好に形成することができ
る。
ィルタ装置は、前記レーザ加工を、ＣＯ２レーザを用い
たレーザ加工としたことを特徴とするものである。これ
によって、複数の溝を更に良好に形成することができ
る。
【００１２】本発明のうち請求項５記載の弾性表面波フ
ィルタ装置の製造方法は、圧電性基板と、この圧電性基
板の表面上に形成され、電気信号が外部から入力され、
この電気信号を弾性表面波に変換する入力側変換器と、
前記圧電性基板の表面上に形成され、前記入力側変換器
で励振された弾性表面波を電気信号に変換し、この電気
信号を外部に出力する出力側変換器とを具える弾性表面
波フィルタ装置を製造するに当たり、前記端面に対して
傾斜した互いに平行な複数の溝を、端面とその端面に近
接する方の前記入力側変換器及び出力側変換器の開口部
との間にそれぞれ形成することを特徴とするものであ
る。
ィルタ装置の製造方法は、圧電性基板と、この圧電性基
板の表面上に形成され、電気信号が外部から入力され、
この電気信号を弾性表面波に変換する入力側変換器と、
前記圧電性基板の表面上に形成され、前記入力側変換器
で励振された弾性表面波を電気信号に変換し、この電気
信号を外部に出力する出力側変換器とを具える弾性表面
波フィルタ装置を製造するに当たり、前記端面に対して
傾斜した互いに平行な複数の溝を、端面とその端面に近
接する方の前記入力側変換器及び出力側変換器の開口部
との間にそれぞれ形成することを特徴とするものであ
る。
【００１３】本発明のうち請求項５記載の弾性表面波フ
ィルタ装置の製造方法によれば、請求項１記載の弾性表
面波フィルタ装置を製造することができる。
ィルタ装置の製造方法によれば、請求項１記載の弾性表
面波フィルタ装置を製造することができる。
【００１４】本発明のうち請求項６記載の弾性表面波フ
ィルタ装置の製造方法は、前記複数の溝を、その一端が
それぞれ前記端面上に位置するように形成することを特
徴とするものである。
ィルタ装置の製造方法は、前記複数の溝を、その一端が
それぞれ前記端面上に位置するように形成することを特
徴とするものである。
【００１５】本発明のうち請求項６記載の弾性表面波フ
ィルタ装置の製造方法によれば、請求項２記載の弾性表
面波フィルタ装置を製造することができる。
ィルタ装置の製造方法によれば、請求項２記載の弾性表
面波フィルタ装置を製造することができる。
【００１６】本発明のうち請求項７記載の弾性表面波フ
ィルタ装置の製造方法は、前記溝部をレーザ加工によっ
て形成することを特徴とするものである。
ィルタ装置の製造方法は、前記溝部をレーザ加工によっ
て形成することを特徴とするものである。
【００１７】本発明のうち請求項７記載の弾性表面波フ
ィルタ装置の製造方法によれば、請求項３記載の弾性表
面波フィルタ装置を製造することができる。
ィルタ装置の製造方法によれば、請求項３記載の弾性表
面波フィルタ装置を製造することができる。
【００１８】本発明のうち請求項８記載の弾性表面波フ
ィルタ装置の製造方法は、前記レーザ加工を、ＣＯ２レ
ーザを用いて行うことを特徴とするものである。
ィルタ装置の製造方法は、前記レーザ加工を、ＣＯ２レ
ーザを用いて行うことを特徴とするものである。
【００１９】本発明のうち請求項８記載の弾性表面波フ
ィルタ装置の製造方法によれば、請求項４記載の弾性表
面波フィルタ装置を製造することができる。
ィルタ装置の製造方法によれば、請求項４記載の弾性表
面波フィルタ装置を製造することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】本発明による弾性表面波フィルタ
装置及びその製造方法を、図面を参照して詳細に説明す
る。図１は、本発明による弾性表面波フィルタ装置の実
施の形態を示す図である。圧電性基板としての矩形の水
晶基板１の表面２上に、入力側変換器３と、シールド電
極４と、出力側変換器５とを形成する。
装置及びその製造方法を、図面を参照して詳細に説明す
る。図１は、本発明による弾性表面波フィルタ装置の実
施の形態を示す図である。圧電性基板としての矩形の水
晶基板１の表面２上に、入力側変換器３と、シールド電
極４と、出力側変換器５とを形成する。
【００２１】入力側変換器３を、正電極６及び負電極７
と、これら正電極６及び負電極７の電極指間に配置した
短絡型浮き電極８とを有する一方向性変換器とする。こ
れら正電極６、負電極７及び短絡型浮き電極８の弾性表
面波の伝播方向における電極指の幅をそれぞれλ／１２
に設定する。ここで、λを基本弾性表面波の波長とす
る。正電極６及び負電極７の各電極指をそれぞれλのピ
ッチで形成し、正電極６の電極指とそれに隣接する負電
極７の電極指との中心間距離をλ／２に設定する。ま
た、短絡型浮き電極８の電極指を、それに隣接する正電
極６の電極指と負電極７の電極指の中間位置から弾性表
面波の伝播方向の上流側にλ／１２だけ偏位するように
配置して、非対称構造に基づく一方向性を高める。本実
施の形態では、入力側変換器３の電極の対数を例えば４
０対に設定するが、この対数は、要求されるフィルタ特
性に応じて適宜最適条件に設定することかできる。
と、これら正電極６及び負電極７の電極指間に配置した
短絡型浮き電極８とを有する一方向性変換器とする。こ
れら正電極６、負電極７及び短絡型浮き電極８の弾性表
面波の伝播方向における電極指の幅をそれぞれλ／１２
に設定する。ここで、λを基本弾性表面波の波長とす
る。正電極６及び負電極７の各電極指をそれぞれλのピ
ッチで形成し、正電極６の電極指とそれに隣接する負電
極７の電極指との中心間距離をλ／２に設定する。ま
た、短絡型浮き電極８の電極指を、それに隣接する正電
極６の電極指と負電極７の電極指の中間位置から弾性表
面波の伝播方向の上流側にλ／１２だけ偏位するように
配置して、非対称構造に基づく一方向性を高める。本実
施の形態では、入力側変換器３の電極の対数を例えば４
０対に設定するが、この対数は、要求されるフィルタ特
性に応じて適宜最適条件に設定することかできる。
【００２２】出力側変換器５も、正電極９及び負電極１
０と、これら正電極９及び負電極１０の電極指間に配置
した短絡型浮き電極１１とを有する一方向性変換器とす
る。これら正電極９、負電極１０及び短絡型浮き電極１
１の弾性表面波の伝播方向における電極指の幅もそれぞ
れλ／１２に設定する。正電極９及び負電極１０の各電
極指をそれぞれλのピッチで形成し、正電極９の電極指
とそれに隣接する負電極１０の電極指との中心間距離を
λ／２に設定する。また、短絡型浮き電極１１の電極指
を、それに隣接する正電極９の電極指と負電極１０の電
極指の中間位置から弾性表面波の伝播方向の上流側にλ
／１２だけ偏位するように配置して、非対称構造に基づ
く一方向性を高める。出力側変換器５の電極の対数を例
えば４０対に設定する。
０と、これら正電極９及び負電極１０の電極指間に配置
した短絡型浮き電極１１とを有する一方向性変換器とす
る。これら正電極９、負電極１０及び短絡型浮き電極１
１の弾性表面波の伝播方向における電極指の幅もそれぞ
れλ／１２に設定する。正電極９及び負電極１０の各電
極指をそれぞれλのピッチで形成し、正電極９の電極指
とそれに隣接する負電極１０の電極指との中心間距離を
λ／２に設定する。また、短絡型浮き電極１１の電極指
を、それに隣接する正電極９の電極指と負電極１０の電
極指の中間位置から弾性表面波の伝播方向の上流側にλ
／１２だけ偏位するように配置して、非対称構造に基づ
く一方向性を高める。出力側変換器５の電極の対数を例
えば４０対に設定する。
【００２３】水晶基板１は、その表面２の端面１２，１
３に一端がそれぞれ位置するように形成され、端面１
２，１３に対して傾斜した互いに平行な複数の溝１４，
１５を有する。これら複数の溝１４，１５の各々の端面
１２，１３に対する傾斜角度、寸法、幅及び隣接する溝
との間隔並びに溝の本数を、設計に応じて任意に選択す
ることができる。
３に一端がそれぞれ位置するように形成され、端面１
２，１３に対して傾斜した互いに平行な複数の溝１４，
１５を有する。これら複数の溝１４，１５の各々の端面
１２，１３に対する傾斜角度、寸法、幅及び隣接する溝
との間隔並びに溝の本数を、設計に応じて任意に選択す
ることができる。
【００２４】複数の溝１４，１５を、例えば、ＣＯ２レ
ーザを用いたレーザ加工によって形成する。これについ
ては後に説明する。
ーザを用いたレーザ加工によって形成する。これについ
ては後に説明する。
【００２５】本実施の形態の動作を説明する。端面１
２，１３の方向に伝播する弾性表面波の大部分（例え
ば、弾性表面波１６）は、複数の溝１４，１５のうちの
１本（例えば溝１５ａ）及びそれに隣接する１本の溝
（例えば溝１５ｂ）によって反射された後に端面１２，
１３に入射する。このようにして端面１２，１３に入射
した弾性表面波は、これらの溝によって再び反射された
後に入力側変換器３又は出力側変換器５の開口部方向に
出射される。これらの溝１５ａ，１５ｂによって反射さ
れた弾性表面波は著しく減衰しているので、メイン波に
ほとんど悪影響を及ぼさない。この場合、端部に吸音剤
を塗布する必要がないので、吸音剤を塗布することによ
って弾性表面波フィルタ装置の弾性表面波の伝播方向の
寸法が長くなることがない。
２，１３の方向に伝播する弾性表面波の大部分（例え
ば、弾性表面波１６）は、複数の溝１４，１５のうちの
１本（例えば溝１５ａ）及びそれに隣接する１本の溝
（例えば溝１５ｂ）によって反射された後に端面１２，
１３に入射する。このようにして端面１２，１３に入射
した弾性表面波は、これらの溝によって再び反射された
後に入力側変換器３又は出力側変換器５の開口部方向に
出射される。これらの溝１５ａ，１５ｂによって反射さ
れた弾性表面波は著しく減衰しているので、メイン波に
ほとんど悪影響を及ぼさない。この場合、端部に吸音剤
を塗布する必要がないので、吸音剤を塗布することによ
って弾性表面波フィルタ装置の弾性表面波の伝播方向の
寸法が長くなることがない。
【００２６】図２は、本発明による弾性表面波フィルタ
装置の他の実施の形態を示す図である。本実施の形態で
は、水晶基板２１が、端面２２，２３とその端面に近接
する方の入力側変換器２４及び出力側変換器の入力側変
換器２４及び出力側変換器２５の開口部との間にそれぞ
れ形成され、端面２２，２３に対して傾斜した互いに平
行な複数の溝２６，２７を有する。この場合も、複数の
溝２６，２７のうちの１本（例えば、溝２７ａ）及びそ
れに隣接する溝（例えば溝２７ｂ）によって反射された
弾性表面波（例えば、弾性表面波２８）は著しく減衰し
ているので、メイン波にほとんど悪影響を及ぼさない。
装置の他の実施の形態を示す図である。本実施の形態で
は、水晶基板２１が、端面２２，２３とその端面に近接
する方の入力側変換器２４及び出力側変換器の入力側変
換器２４及び出力側変換器２５の開口部との間にそれぞ
れ形成され、端面２２，２３に対して傾斜した互いに平
行な複数の溝２６，２７を有する。この場合も、複数の
溝２６，２７のうちの１本（例えば、溝２７ａ）及びそ
れに隣接する溝（例えば溝２７ｂ）によって反射された
弾性表面波（例えば、弾性表面波２８）は著しく減衰し
ているので、メイン波にほとんど悪影響を及ぼさない。
【００２７】図３は、本発明による弾性表面波フィルタ
装置及び従来の弾性表面波フィルタ装置の周波数特性を
示す図である。図３において、図１に示した弾性表面波
フィルタ装置によって得られる特性を破線で示すととも
に、端部に吸音剤を塗布した従来の弾性表面波フィルタ
装置によって得られる特性を示す。図から明らかなよう
に、本発明による弾性表面波フィルタ装置によって得ら
れる特性が従来の弾性表面波フィルタ装置によって得ら
れる特性と類似しており、本発明による弾性表面波フィ
ルタ装置によって端面反射波の影響を軽減させることが
できることがわかる。
装置及び従来の弾性表面波フィルタ装置の周波数特性を
示す図である。図３において、図１に示した弾性表面波
フィルタ装置によって得られる特性を破線で示すととも
に、端部に吸音剤を塗布した従来の弾性表面波フィルタ
装置によって得られる特性を示す。図から明らかなよう
に、本発明による弾性表面波フィルタ装置によって得ら
れる特性が従来の弾性表面波フィルタ装置によって得ら
れる特性と類似しており、本発明による弾性表面波フィ
ルタ装置によって端面反射波の影響を軽減させることが
できることがわかる。
【００２８】次に、本発明による弾性表面波フィルタ装
置の製造方法を説明する。図４は、本発明による弾性表
面波フィルタ装置の製造プロセスのフローチャートであ
る。本プロセスでは、先ず、水晶基板を洗浄した後に、
水晶基板の表面上にＡｌ又はＡｌ＋Ｃｕ等の電極膜を成
膜する。次いで、レジストを塗布し、それをプリベーグ
する。その後、露光し、現像し及びポストベーグを行
う。次いで、エッチングを行い、レジストを除去する。
置の製造方法を説明する。図４は、本発明による弾性表
面波フィルタ装置の製造プロセスのフローチャートであ
る。本プロセスでは、先ず、水晶基板を洗浄した後に、
水晶基板の表面上にＡｌ又はＡｌ＋Ｃｕ等の電極膜を成
膜する。次いで、レジストを塗布し、それをプリベーグ
する。その後、露光し、現像し及びポストベーグを行
う。次いで、エッチングを行い、レジストを除去する。
【００２９】次いで、基板表面に図１又は図２に示すよ
うな複数の溝を形成する。これら複数の溝の形成を、図
５に示すようなＣＯ２レーザ加工装置を用いて行う。こ
の場合、レーザ発振器３１から出射したレーザ光は、位
相シフトミラー３２、エキスパンダ３３、アッテネータ
３４、部分透過ミラー３５、ミラー３６，３７，３８及
び集光レンズ３９を通じて、ＸＹステージ４０上の水晶
基板４１に入射する。例えば、レーザ発振器３１から出
射するレーザ光の波長を１０．６μｍとし、出力を１５
０Ｗとし、パルス幅を１０−１０００マイクロ秒とし、
発振周波数を２０ｋＨｚ未満とする。また、集光レンズ
３９の焦点距離を、例えば６２．５ｍｍとし、ＸＹステ
ージ４０のストローク、位置決め精度及び繰り返し精度
をそれぞれ、例えば、１００ｍｍ，±１０μｍ，±１μ
ｍとする。
うな複数の溝を形成する。これら複数の溝の形成を、図
５に示すようなＣＯ２レーザ加工装置を用いて行う。こ
の場合、レーザ発振器３１から出射したレーザ光は、位
相シフトミラー３２、エキスパンダ３３、アッテネータ
３４、部分透過ミラー３５、ミラー３６，３７，３８及
び集光レンズ３９を通じて、ＸＹステージ４０上の水晶
基板４１に入射する。例えば、レーザ発振器３１から出
射するレーザ光の波長を１０．６μｍとし、出力を１５
０Ｗとし、パルス幅を１０−１０００マイクロ秒とし、
発振周波数を２０ｋＨｚ未満とする。また、集光レンズ
３９の焦点距離を、例えば６２．５ｍｍとし、ＸＹステ
ージ４０のストローク、位置決め精度及び繰り返し精度
をそれぞれ、例えば、１００ｍｍ，±１０μｍ，±１μ
ｍとする。
【００３０】複数の溝を形成した後、プローバー検査を
行う。次いで、テープマウントを行った後に切断を行
う。基板表面に形成された複数の溝のうちの１本の断面
の写真を図６及び７に示す。
行う。次いで、テープマウントを行った後に切断を行
う。基板表面に形成された複数の溝のうちの１本の断面
の写真を図６及び７に示す。
【００３１】次いで、ダイ付け、ワイヤボンディング及
び溶接を順次行った後、特性検査を行う。以上のプロセ
スによって図１又は２に示した弾性表面波フィルタ装置
を得ることができる。
び溶接を順次行った後、特性検査を行う。以上のプロセ
スによって図１又は２に示した弾性表面波フィルタ装置
を得ることができる。
【００３２】本発明は、上記実施の形態に限定されるも
のではなく、幾多の変更及び変形が可能である。例え
ば、入力側変換器及び出力側変換器を、従来既知の任意
の変換器とすることができる。また、圧電性基板を水晶
以外の他のものとすることができる。
のではなく、幾多の変更及び変形が可能である。例え
ば、入力側変換器及び出力側変換器を、従来既知の任意
の変換器とすることができる。また、圧電性基板を水晶
以外の他のものとすることができる。
【００３３】さらに、上記実施の形態ではレーザ加工前
に電極膜を成膜したが、レーザ加工後に成膜することも
できる。
に電極膜を成膜したが、レーザ加工後に成膜することも
できる。
【図１】本発明による弾性表面波フィルタ装置の実施の
形態を示す図である。
形態を示す図である。
【図２】本発明による弾性表面波フィルタ装置の他の実
施の形態を示す図である。
施の形態を示す図である。
【図３】本発明による弾性表面波フィルタ装置及び従来
の弾性表面波フィルタ装置の周波数特性を示す図であ
る。
の弾性表面波フィルタ装置の周波数特性を示す図であ
る。
【図４】本発明による弾性表面波フィルタ装置の製造プ
ロセスのフローチャートである。
ロセスのフローチャートである。
【図５】ＣＯ２レーザ加工装置の概略図である。
【図６】基板に形成された１本の溝の一例の断面の拡大
写真である。
写真である。
【図７】基板に形成された１本の溝の他の例の断面の拡
大写真である。
大写真である。
１，２１，４１ 水晶基板、２ 表面、３，２４ 入力
側変換器、４ シールド電極、５，２５ 出力側変換器
６，９ 正電極、７，１０ 負電極、８，１１ 短絡
型浮き電極 １２，１３，２２，２３ 端面、１４，１
５，１５ａ，１５ｂ，２６，２７，２７ａ，２７ｂ
溝、１６，２８ 弾性表面波、３１ レーザ発振器、３
２ 位相シフトミラー、３３ エキスパンダ、３４ ア
ッテネータ、３５ 部分透過ミラー、３６，３７，３８
ミラー、３９ 集光レンズ、４０ＸＹステージ
側変換器、４ シールド電極、５，２５ 出力側変換器
６，９ 正電極、７，１０ 負電極、８，１１ 短絡
型浮き電極 １２，１３，２２，２３ 端面、１４，１
５，１５ａ，１５ｂ，２６，２７，２７ａ，２７ｂ
溝、１６，２８ 弾性表面波、３１ レーザ発振器、３
２ 位相シフトミラー、３３ エキスパンダ、３４ ア
ッテネータ、３５ 部分透過ミラー、３６，３７，３８
ミラー、３９ 集光レンズ、４０ＸＹステージ
Claims (8)
- 【請求項１】圧電性基板と、この圧電性基板の表面上に
形成され、電気信号が外部から入力され、この電気信号
を弾性表面波に変換する入力側変換器と、前記圧電性基
板の表面上に形成され、前記入力側変換器で励振された
弾性表面波を電気信号に変換し、この電気信号を外部に
出力する出力側変換器とを具え、 前記圧電性基板が、端面とその端面に近接する方の前記
入力側変換器及び出力側変換器の開口部との間にそれぞ
れ形成され、前記端面に対して傾斜した互いに平行な複
数の溝を有することを特徴とする弾性表面波フィルタ装
置。 - 【請求項２】前記複数の溝の一端がそれぞれ前記端面上
に位置することを特徴とする請求項１記載の弾性表面波
フィルタ装置。 - 【請求項３】前記複数の溝をレーザ加工によって形成し
たことを特徴とする請求項１又は２記載の弾性表面波フ
ィルタ装置。 - 【請求項４】前記レーザ加工を、ＣＯ２レーザを用いた
レーザ加工としたことを特徴とする請求項３記載の弾性
表面波フィルタ装置の製造方法。 - 【請求項５】圧電性基板と、この圧電性基板の表面上に
形成され、電気信号が外部から入力され、この電気信号
を弾性表面波に変換する入力側変換器と、前記圧電性基
板の表面上に形成され、前記入力側変換器で励振された
弾性表面波を電気信号に変換し、この電気信号を外部に
出力する出力側変換器とを具える弾性表面波フィルタ装
置を製造するに当たり、 前記端面に対して傾斜した互いに平行な複数の溝を、端
面とその端面に近接する方の前記入力側変換器及び出力
側変換器の開口部との間にそれぞれ形成することを特徴
とする弾性表面波フィルタ装置の製造方法。 - 【請求項６】前記複数の溝を、その一端がそれぞれ前記
端面上に位置するように形成することを特徴とする請求
項５記載の弾性表面波フィルタ装置の製造方法。 - 【請求項７】前記溝部をレーザ加工によって形成するこ
とを特徴とする請求項５又は６記載の弾性表面波フィル
タ装置の製造方法。 - 【請求項８】前記レーザ加工を、ＣＯ２レーザを用いて
行うことを特徴とする請求項７記載の弾性表面波フィル
タ装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000065193A JP2001257562A (ja) | 2000-03-09 | 2000-03-09 | 弾性表面波フィルタ装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000065193A JP2001257562A (ja) | 2000-03-09 | 2000-03-09 | 弾性表面波フィルタ装置及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001257562A true JP2001257562A (ja) | 2001-09-21 |
Family
ID=18584764
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000065193A Pending JP2001257562A (ja) | 2000-03-09 | 2000-03-09 | 弾性表面波フィルタ装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001257562A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007066777A1 (ja) * | 2005-12-09 | 2007-06-14 | Kyocera Corporation | 流体アクチュエータ並びにこれを用いた発熱装置及び分析装置 |
-
2000
- 2000-03-09 JP JP2000065193A patent/JP2001257562A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007066777A1 (ja) * | 2005-12-09 | 2007-06-14 | Kyocera Corporation | 流体アクチュエータ並びにこれを用いた発熱装置及び分析装置 |
| EP1958920A1 (en) * | 2005-12-09 | 2008-08-20 | Kyocera Corporation | Fluid actuator, heat generating device using the same, and analysis device |
| EP1958920A4 (en) * | 2005-12-09 | 2011-06-15 | Kyocera Corp | FLUIDACTOR, THIS USING HEAT GENERATOR AND ANALYSIS DEVICE |
| US8159110B2 (en) | 2005-12-09 | 2012-04-17 | Kyocera Corporation | Fluid actuator, and heat generating device and analysis device using the same |
| JP5229988B2 (ja) * | 2005-12-09 | 2013-07-03 | 京セラ株式会社 | 流体アクチュエータ並びにこれを用いた発熱装置及び分析装置 |
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