JP5944813B2 - スイッチングデバイスおよびモジュール - Google Patents
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Description
圧電基板22:44°Yカットのタンタル酸リチウムの単結晶基板
IDT24:対数 2.5対、ピッチ 1.98μm、開口長 65λ
IDT26:対数 3対、ピッチ 2.00μm、開口長 65λ
IDT24と26の間隔:2.15μm
λは弾性波の波長である。
圧電基板22:44°Yカットのタンタル酸リチウムの単結晶基板
IDT24:対数 8.5対、ピッチ 1.97μm、開口長 72λ
IDT26:対数 18.0対、ピッチ 1.97μm、開口長 72λ
IDT24と26の間隔:0.46μm
共振子28:対数 14対、ピッチ 2.0μm、開口長 17λ
λは弾性波の波長である。
12−18 トランジスタ
20 遅延線
22 圧電基板
24、26 IDT
24a、24b、26a、26b 櫛歯電極
25 弾性波
28 共振子
30 伝送線路
42、46 圧電薄膜共振子
44 圧電層
Claims (10)
- 複数の入力出力端子のうち一つを選択し共通端子に接続するスイッチと、
前記複数の入力出力端子のうち2つの端子の間に前記スイッチと並列に接続され弾性波を用い信号を遅延させる遅延線と、
を具備することを特徴とするスイッチングデバイス。 - 前記遅延線は、前記2つの端子のうち一方の端子に入力した電気信号を圧電層を伝搬する前記弾性波に変換し、前記圧電層を伝搬する前記弾性波を電気信号に変換し、前記2つの端子のうち他方の端子に出力することを特徴とする請求項1記載のスイッチングデバイス。
- 前記弾性波は、圧電層上に形成された櫛歯電極により励振された弾性波であることを特徴とする請求項1記載のスイッチングデバイス。
- 前記遅延線は、前記2つの端子のうち一方の端子に入力した電気信号を圧電層を伝搬する前記弾性波に変換する第1IDTと、前記圧電層を伝搬する前記弾性波を電気信号に変換し、前記2つの端子のうち他方の端子に出力する第2IDTとを備えることを特徴とする請求項1記載のスイッチングデバイス。
- 前記弾性波は、圧電層を用いた厚み振動子により励振された弾性波であることを特徴とする請求項1記載のスイッチングデバイス。
- 前記遅延線は、前記2つの端子のうち一方の端子に入力した電気信号を圧電層を伝搬する前記弾性波に変換する第1圧電薄膜共振子と、前記圧電層を伝搬する前記弾性波を電気信号に変換し、前記2つの端子のうち他方の端子に出力する第2圧電薄膜共振子とを備えることを特徴とする請求項1記載のスイッチングデバイス。
- 前記2つの端子の間に前記遅延線に直列に接続された共振子を具備することを特徴とする請求項1から6に記載スイッチングデバイス。
- 前記スイッチは、半導体スイッチであることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項記載のスイッチングデバイス。
- 請求項1から8のいずれか一項記載のスイッチングデバイスを含むモジュール。
- 前記2つの端子それぞれに接続するフィルタを含むことを特徴とする請求項9記載のモジュール。
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