JP2019534245A5

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Publication number: JP2019534245A5
Application number: JP2019511918A
Authority: JP
Filing date: 2017-08-23
Publication date: 2020-09-17
Anticipated expiration: 2037-08-23

Claims

下記化学式１で表される、５族金属化合物：
前記化学式１において、
Ｍは、Ｔａ又はＮｂであり、
Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３、及びＲ^４は、それぞれ独立に、水素又は炭素数１〜４の線状又は分枝状のアルキル基であり、
Ｒ^５は、炭素数３〜６の線状又は分枝状のアルキル基であり、
Ｒ^６、Ｒ^７、及びＲ^８は、それぞれ独立に、炭素数１〜４の線状又は分枝状のアルキル基であり、
ｎは、１〜４の整数であり、
シクロペンタジエニル環の１つの炭素原子とＮＲ ^８の窒素原子は、アルキレン基を介して互いに架橋結合されている。
前記Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３、及びＲ^４は、それぞれ独立に、水素、メチル基、又はエチル基である、請求項１に記載の５族金属化合物。
前記Ｒ^５は、ｎ−プロピル基、ｉｓｏ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｉｓｏ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、ｉｓｏ−ペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ネオペンチル基、又は３−ペンチル基である、請求項１に記載の５族金属化合物。
前記Ｒ^６、Ｒ^７、及びＲ^８は、それぞれ独立に、メチル基又はエチル基である、請求項１に記載の５族金属化合物。
下記化学式２で表される（Ｒ^５Ｎ＝）Ｍ（ＮＲ^６Ｒ^７）_３化合物に下記化学式３で表されるＲ^１Ｒ^２Ｒ^３Ｒ^４Ｃｐ（ＣＨ_２）_ｎＮＨＲ^８化合物を添加して反応させることを含む、下記化学式１で表される５族金属化合物の製造方法。
前記化学式１〜３の各々において、
Ｍは、Ｔａ又はＮｂであり、
Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３、及びＲ^４は、それぞれ独立に、水素又は炭素数１〜４の線状又は分枝状のアルキル基であり、
Ｒ^５は、炭素数３〜６の線状又は分枝状のアルキル基であり、
Ｒ^６、Ｒ^７、及びＲ^８は、それぞれ独立に、炭素数１〜４の線状又は分枝状のアルキル基であり、
ｎは、１〜４の整数であり、
Ｃｐは、シクロペンタジエニル基である。
前記Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３、及びＲ^４は、それぞれ独立に、水素、メチル基、又はエチル基である、請求項５に記載の５族金属化合物の製造方法。
前記Ｒ^５は、ｎ−プロピル基、ｉｓｏ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｉｓｏ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、ｉｓｏ−ペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ネオペンチル基、又は３−ペンチル基である、請求項５に記載の５族金属化合物の製造方法。
前記Ｒ^６、Ｒ^７、及びＲ^８は、それぞれ独立に、メチル基又はエチル基である、請求項５に記載の５族金属化合物の製造方法。
請求項１から４の何れか一項に記載の５族金属化合物を含む、５族金属含有膜蒸着用前駆体組成物。
請求項９に記載の５族金属含有膜蒸着用前駆体組成物を用いて基材上に５族金属含有膜を形成することを含む、５族金属含有膜の蒸着方法。
前記５族金属含有膜は、化学気相蒸着法又は原子層蒸着法によって蒸着される、請求項１０に記載の５族金属含有膜の蒸着方法。
前記基材は、その表面に形成された凹凸を含む、請求項１０に記載の５族金属含有膜の蒸着方法。