JP2000026474A5

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Publication number: JP2000026474A5
Application number: JP1999116567A
Authority: JP
Filing date: 1999-04-23
Publication date: 2005-10-27
Anticipated expiration: 2019-04-23

Claims

式
Ｈ_３Ａｌ：Ｌ_ｎ
〔式中、Ｌは非共有電子対をアルミニウムに与えることができる１以上のルイス塩基であって、チオフェン、チオピラン、または、式ＩＩまたはＩＩＩの有機アミンから選択される。〕

〔式中、
Ｒは、１〜４の炭素数を有するアルキル基であり；
Ｒ’、Ｒ’’、Ｒ^３５、Ｒ^３６、Ｒ^３７およびＲ^３８はそれぞれ独立して水素または１〜２の炭素数を有するアルキル基であり；
Ｘは酸素または、アルキル基を有する窒素であり；
ｍは２〜８の整数であり；
ｋおよびｌはそれぞれ独立して１〜３の整数であり；さらに
ｎは１または２である。〕
の有機金属化合物。
有機アミンがアルキルアジリジン、アルキルアゼチジン、アルキルピロリジン、アルキルピペリジン、アルキルヘキサメチレンイミン、アルキルヘプタメチレンイミン、アルキルモルホリンまたは１，４−ジアルキルピペラジンから選択される１以上である請求項１記載の化合物。
有機アミンが１−メチルピロリジン、１−ブチルピロリジン、１，４−ジメチルピロリジン、１−メチルピペリジン、１−エチルピペリジン、１，２，２，６，６−ペンタメチルピペリジン、４−メチルモルホリン、４−エチルモルホリンまたは１，４−ジメチルピペラジンから選択される１以上である請求項２記載の化合物。
請求項１記載の有機金属化合物を含む蒸着先駆物質組成物。
複素環式アミン溶媒をさらに含む請求項４記載の組成物。
複素環式アミン溶媒が１−メチルピロリジン、１−ブチルピロリジン、１−メチルピペリジン、１−エチルピペリジン、４−メチルモルホリン、４−エチルモルホリンまたは１，４−ジメチルピペラジンから選択される１以上である請求項５記載の組成物。
基板上にアルミニウム膜を蒸着する工程を含み、該アルミニウム膜中のアルミニウムのソースが式
Ｈ_３Ａｌ：Ｌ_ｎ
〔式中、Ｌは非共有電子対をアルミニウムに与えることができる１以上のルイス塩基であって、チオフェン、チオピラン、または、式ＩＩまたはＩＩＩの有機アミンから選択される。〕

〔式中、
Ｒは１〜４の炭素数を有するアルキル基であり；
Ｒ’、Ｒ’’、Ｒ^３５、Ｒ^３６、Ｒ^３７およびＲ^３８はそれぞれ独立して水素または１〜２の炭素数を有するアルキル基であり；
Ｘは酸素または、アルキル基を有する窒素であり；
ｍは２〜８の整数であり；
ｋおよびｌはそれぞれ独立して１〜３の整数であり；さらに
ｎは１または２である。〕
の有機金属化合物を含む蒸着先駆物質である、アルミニウム膜形成方法。
有機金属化合物が基板に適用される熱エネルギー、プラズマまたはバイアスによって気化される請求項７記載の方法。
式
Ｈ_３Ａｌ：Ｌ_ｎ
〔式中、Ｌは非共有電子対をアルミニウムに与えることができる１以上のルイス塩基であって、チオフェン、チオピラン、または、式ＩＩまたはＩＩＩの有機アミンから選択される。〕

〔式中、
Ｒは１〜４の炭素数を有するアルキル基であり；
Ｒ’、Ｒ’’、Ｒ^３５、Ｒ^３６、Ｒ^３７およびＲ^３８はそれぞれ独立して水素または１〜２の炭素数を有するアルキル基であり；
Ｘは酸素または、アルキル基を有する窒素であり；
ｍは２〜８の整数であり；
ｋおよびｌはそれぞれ独立して１〜３の整数であり；さらに
ｎは１または２である。〕
の有機金属化合物の製造方法であって、
ａ）ヘキサンまたはペンタン中で塩化アルミニウムおよび水素化アルミニウムリチウムの懸濁液を形成し、さらに
ｂ）懸濁液に前記ルイス塩基を添加する工程を含む方法。
有機アミンが１−メチルピロリジン、１−ブチルピロリジン、１，４−ジメチルピロリジン、１−メチルピペリジン、１−エチルピペリジン、１，２，２，６，６−ペンタメチルピペリジン、４−メチルモルホリン、４−エチルモルホリンまたは１，４−ジメチルピペラジンから選択される１以上である請求項９記載の方法。