JP2019510881A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019510881A5 JP2019510881A5 JP2018549488A JP2018549488A JP2019510881A5 JP 2019510881 A5 JP2019510881 A5 JP 2019510881A5 JP 2018549488 A JP2018549488 A JP 2018549488A JP 2018549488 A JP2018549488 A JP 2018549488A JP 2019510881 A5 JP2019510881 A5 JP 2019510881A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- processing
- container
- station
- partially
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102016105548.4A DE102016105548A1 (de) | 2016-03-24 | 2016-03-24 | Verfahren und Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Behältern |
| DE102016105548.4 | 2016-03-24 | ||
| PCT/EP2017/056223 WO2017162509A1 (de) | 2016-03-24 | 2017-03-16 | Verfahren und vorrichtung zur plasmabehandlung von behältern |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2019510881A JP2019510881A (ja) | 2019-04-18 |
| JP2019510881A5 true JP2019510881A5 (https=) | 2020-03-12 |
| JP6836601B2 JP6836601B2 (ja) | 2021-03-03 |
Family
ID=58461268
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2018549488A Active JP6836601B2 (ja) | 2016-03-24 | 2017-03-16 | 容器をプラズマ処理するための方法および装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US10619237B2 (https=) |
| EP (1) | EP3433395B1 (https=) |
| JP (1) | JP6836601B2 (https=) |
| DE (1) | DE102016105548A1 (https=) |
| WO (1) | WO2017162509A1 (https=) |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102018114776A1 (de) | 2018-06-20 | 2019-12-24 | Khs Corpoplast Gmbh | Vorrichtung zum Beschichten von Behältern mit einer Barriereschicht und Verfahren zur Heizung eines Behälters |
| DE102018129694A1 (de) * | 2018-11-26 | 2020-05-28 | Khs Corpoplast Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Plasmabehandlung von Behältern |
| DE102019126291A1 (de) | 2019-09-30 | 2021-04-01 | Krones Ag | Vorrichtung zum Beschichten von Behältnissen mit Bypass und Verfahren zum Betreiben einer solchen Vorrichtung |
| DE102019130303A1 (de) | 2019-11-11 | 2021-05-12 | Khs Corpoplast Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Plasmabehandlung von Behältern |
| DE102020105000A1 (de) | 2020-02-26 | 2021-08-26 | Khs Corpoplast Gmbh | Verfahren zur Beschichtung von Behältern sowie beschichteter Behälter |
| DE102020130917A1 (de) | 2020-11-23 | 2022-05-25 | Khs Corpoplast Gmbh | Mehrweg-Kunststoffbehälter, Verfahren zum Waschen von solchen Behältern, Verfahren zum Beschichten von solchen Behältern und Behälterbehandlungsmaschine für die Getränkeindustrie |
| DE102023107505A1 (de) * | 2023-03-24 | 2024-09-26 | Khs Gmbh | Behälterbeschichtungsanlage, insbesondere zum Beschichten von Getränkebehältern |
| DE102023112963A1 (de) | 2023-05-17 | 2024-11-21 | Khs Gmbh | Ventileinsatz für eine Behälterbeschichtungsanlage, Ventilanordnung und Behälterbeschichtungsanlage |
| DE102023112998A1 (de) | 2023-05-17 | 2024-11-21 | Khs Gmbh | Ventileinsatz für eine Behälterbeschichtungsanlage, Ventilanordnung und Behälterbeschichtungsanlage |
| DE102023112961A1 (de) | 2023-05-17 | 2024-11-21 | Khs Gmbh | Ventileinsatz für eine Behälterbeschichtungsanlage, Ventilanordnung und Behälterbeschichtungsanlage |
| DE102023113416A1 (de) | 2023-05-23 | 2024-11-28 | Khs Gmbh | Beschichtungsanlage sowie Verfahren zum Beschichten von Behältern |
| DE102023132995A1 (de) | 2023-11-27 | 2025-05-28 | Khs Gmbh | Verfahren zum Beschichten von Mehrwegbehältern, nach diesem Verfahren hergestellte Behälter und Behälterbeschichtungsmaschine zum Beschichten von Mehrweg-Kunststoffbehältern |
| DE102024102398B3 (de) | 2024-01-29 | 2025-01-23 | Khs Gmbh | Verfahren zur Produktion und Qualitätsprüfung von mittels Plasma beschichteten Kunststoffflaschen |
| DE102024109778A1 (de) | 2024-04-09 | 2025-10-09 | Khs Gmbh | Plasmabehandlungsanlage für Behälter und Verfahren zur Plasmabehandlung von Behältern |
Family Cites Families (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4866346A (en) * | 1987-06-22 | 1989-09-12 | Applied Science & Technology, Inc. | Microwave plasma generator |
| DE4120176C1 (https=) * | 1991-06-19 | 1992-02-27 | Schott Glaswerke, 6500 Mainz, De | |
| DE4233512C2 (de) * | 1992-10-06 | 2000-07-13 | Leybold Ag | Verfahren zur Steuerung von Prozeßgasen für Beschichtungsanlagen und Beschichtungsanlage zu seiner Durchführung |
| ES2131810T5 (es) * | 1994-02-16 | 2004-02-16 | The Coca-Cola Company | Recipientes huecos con superficies interiores inertes o impermeables producidas por reaccion superficial asistida por plasma o polimerizacion sobre la superficie. |
| AU744162B2 (en) * | 1997-02-19 | 2002-02-14 | Kirin Beer Kabushiki Kaisha | Method and apparatus for producing plastic container having carbon film coating |
| EP1019944A1 (en) * | 1997-09-30 | 2000-07-19 | Tetra Laval Holdings & Finance S.A. | Method and apparatus for treating the inside surface of plastic bottles in a plasma enhanced process |
| FR2791598B1 (fr) | 1999-03-30 | 2001-06-22 | Sidel Sa | Machine a carrousel pour le traitement de corps creux comportant un circuit de distribution de pression perfectionne et distributeur pour une telle machine |
| FR2799994B1 (fr) | 1999-10-25 | 2002-06-07 | Sidel Sa | Dispositif pour le traitement d'un recipient a l'aide d'un plasma a basse pression comportant un circuit de vide perfectionne |
| JP2002129337A (ja) * | 2000-10-24 | 2002-05-09 | Applied Materials Inc | 気相堆積方法及び装置 |
| DE10225609A1 (de) * | 2002-06-07 | 2003-12-24 | Sig Technology Ltd | Verfahren und Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken |
| CN100412230C (zh) * | 2002-05-24 | 2008-08-20 | 肖特股份公司 | 用于等离子涂层的多位涂层装置和方法 |
| WO2004077006A1 (ja) * | 2003-02-28 | 2004-09-10 | Youtec Co.,Ltd. | プラスチック成形体のガスバリア性測定方法 |
| DE102004020185B4 (de) * | 2004-04-22 | 2013-01-17 | Schott Ag | Verfahren und Vorrichtung für die Innenbeschichtung von Hohlkörpern sowie Verwendung der Vorrichtung |
| FR2894165B1 (fr) * | 2005-12-01 | 2008-06-06 | Sidel Sas | Installation d'alimentation en gaz pour machines de depot d'une couche barriere sur recipients |
| JP2009076881A (ja) * | 2007-08-30 | 2009-04-09 | Tokyo Electron Ltd | 処理ガス供給システム及び処理装置 |
| CN101688302A (zh) | 2008-05-30 | 2010-03-31 | 东洋制罐株式会社 | 蒸镀装置 |
| US9458536B2 (en) * | 2009-07-02 | 2016-10-04 | Sio2 Medical Products, Inc. | PECVD coating methods for capped syringes, cartridges and other articles |
| DE102010055155A1 (de) * | 2010-12-15 | 2012-06-21 | Khs Corpoplast Gmbh | Verfahren zur Plasmabehandlung von Werkstücken sowie Werkstück mit Gasbarriereschicht |
-
2016
- 2016-03-24 DE DE102016105548.4A patent/DE102016105548A1/de not_active Ceased
-
2017
- 2017-03-16 US US16/085,894 patent/US10619237B2/en active Active
- 2017-03-16 EP EP17714654.5A patent/EP3433395B1/de active Active
- 2017-03-16 JP JP2018549488A patent/JP6836601B2/ja active Active
- 2017-03-16 WO PCT/EP2017/056223 patent/WO2017162509A1/de not_active Ceased
-
2020
- 2020-03-03 US US16/807,635 patent/US20200263292A1/en not_active Abandoned
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2019510881A5 (https=) | ||
| JP6218921B2 (ja) | Ａｌｄコーティングによるターゲットポンプ内部の保護 | |
| JP6763274B2 (ja) | 成膜装置、成膜装置のクリーニング方法及び記憶媒体 | |
| CN111415884B (zh) | 基板处理装置 | |
| JP2015138913A5 (https=) | ||
| JP6681179B2 (ja) | 脱気方法 | |
| JP2014208883A5 (https=) | ||
| JP6506757B2 (ja) | プロセスチャンバのインシトゥ洗浄のための方法および装置 | |
| JP2015070177A5 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | |
| WO2009079636A4 (en) | Methods and apparatuses for controlling contamination of substrates | |
| TW201130042A (en) | Substrate processing method and substrate processing apparatus | |
| JP2016122795A5 (https=) | ||
| JP2018166142A5 (https=) | ||
| TWI614368B (zh) | Mocvd氣體噴淋頭預處理方法 | |
| JP2016009724A (ja) | 成膜装置および成膜方法 | |
| US20170115058A1 (en) | Systems and methods to dry workpieces | |
| TWI452165B (zh) | 真空處理裝置、真空處理方法 | |
| JP2016164964A5 (https=) | ||
| JP2017036493A5 (https=) | ||
| WO2019152751A3 (en) | Interchangeable edge rings for stabilizing wafer placement and system using same | |
| JP2010094642A (ja) | 缶容器の水滴除去方法及び装置 | |
| KR101749973B1 (ko) | Ｏｌｅｄ 봉지용 박막 경화 시스템 | |
| US20150260350A1 (en) | Systems and methods for cooling and removing reactants from a substrate processing chamber | |
| JP2021158133A5 (https=) | ||
| WO2020046565A3 (en) | Method and apparatus for providing station to station uniformity |