JP2019140310A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
また、本願明細書と各図において、既に説明したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
以下の説明及び図面において、n+、n−及びp+、pの表記は、各導電形における不純物濃度の相対的な高低を表す。すなわち、「+」が付されている表記は、「+」及び「−」のいずれも付されていない表記よりも不純物濃度が相対的に高く、「−」が付されている表記は、いずれも付されていない表記よりも不純物濃度が相対的に低いことを示す。
以下で説明する各実施形態について、各半導体領域のp形とn形を反転させて各実施形態を実施してもよい。
図1は、第1実施形態に係る半導体装置を表す平面図である。
図2は、図1のA−A’断面図である。
図3は、図1のB−B’断面図及びC−C’断面図である。
なお、図1は、図2のD−D’線の位置で切断した面を表し、図1では、各半導体領域が省略されている。
n−形半導体領域1、p形ベース領域2、n+形ソース領域3、p+形コンタクト領域4、及びn+形ドレイン領域5は、半導体材料として、シリコン、炭化シリコン、窒化ガリウム、またはガリウムヒ素を含む。半導体材料としてシリコンが用いられる場合、n形不純物として、ヒ素、リン、またはアンチモンを用いることができる。p形不純物として、ボロンを用いることができる。
FP電極10、ゲート電極14、第1導電部21、及び第2導電部22は、ポリシリコンなどの導電材料を含む。
絶縁部11、絶縁部12、ゲート絶縁部15、第1絶縁部31、及び第2絶縁部32は、酸化シリコンなどの絶縁材料を含む。
ドレイン電極41、ソース電極42、及びゲートパッド43は、アルミニウムなどの金属を含む。
ソース電極42に対してドレイン電極41に正の電圧が印加された状態で、ゲート電極14に閾値以上の電圧が印加されると、p形ベース領域2のゲート絶縁部15近傍にチャネル(反転層)が形成され、半導体装置100がオン状態となる。電子は、このチャネルを通ってソース電極42からドレイン電極41へ流れる。その後、ゲート電極14に印加される電圧が閾値よりも低くなると、p形ベース領域2におけるチャネルが消滅し、半導体装置100がオフ状態になる。
図4〜図6は、第1実施形態に係る半導体装置の製造工程を表す工程断面図である。
図4〜図6は、図1のA−A’断面に対応する部分の製造工程を表している。
図7は、第1実施形態に係る半導体装置が接続された電気回路を例示する回路図である。
図8は、図7に表した電気回路中の半導体装置における電流および電圧の波形を表すグラフである。
図9は、第1実施形態に係る半導体装置中の正孔の流れを模式的に表す平面図である。
なお、図9では、n−形半導体領域1及びp形ベース領域2以外の半導体領域が省略されている。
この構成によれば、n−形半導体領域1の外周に蓄積された正孔hの一部は、図9の点線矢印で表したように、第1導電部21同士の間を通過してp形ベース領域2へ流れる。正孔hの別の一部は、破線矢印で表したように、第1絶縁部31近傍でトラップされる。トラップされた正孔hは、トラップされなかった正孔hに比べて、長い時間をかけてp形ベース領域2へ流れる。
このように、互いに離間した複数の第1導電部21が設けられることで、正孔hがp形ベース領域2に達するまでの時間のばらつきを大きくできる。この結果、図8に表したdIR/dtを小さくでき、寄生NPNトランジスタの動作により半導体装置が破壊される可能性を低減できる。
第1絶縁部31同士の間のn−形半導体領域1を空乏化させ易くし、半導体装置100の耐圧の低下を抑制するためには、距離D1が距離D2以下であることが望ましい。より望ましくは、距離D1は、距離D2未満である。これにより、第1絶縁部31同士の間のn−形半導体領域1がより空乏化し易くなり、半導体装置100の耐圧の低下を抑制できる。
図10は、第1実施形態の変形例に係る半導体装置を表す平面図である。
図11は、図10のA−A’断面図である。
なお、図10の平面図は、図11のB−B’線における断面を表している。
図12は、第2実施形態に係る半導体装置を表す平面図である。
図13は、図12のA−A’断面図である。
図14は、図12のB−B’断面図及びC−C’断面図である。
なお、図12の平面図は、図13のD−D’線における断面を表している。
図15は、第1実施形態に係る半導体装置の一部及び第2実施形態に係る半導体装置の一部を表す平面図である。
図15に表した例では、絶縁部11同士の間の距離、第1絶縁部31同士の間の距離、絶縁部11と第1絶縁部31との間の距離、絶縁部11と第2絶縁部32との間の距離、及び第1絶縁部31と第2絶縁部32との間の距離は、互いに同じである。
このため、半導体装置100では、第1絶縁部31近傍における空乏層の広がり方と第2絶縁部32近傍における空乏層の広がり方との差を小さくできる。従って、複数の第1導電部21が互いに離間している場合でも、耐圧の低下をより抑制できる。
図16は、第3実施形態に係る半導体装置を表す平面図である。
第3実施形態に係る半導体装置300では、複数の第1導電部21が、X方向においてゲート電極14と並んでいる。複数の第1導電部21は、Y方向において互いに離間している。また、複数の第2導電部22が、Y方向において複数のゲート電極14と並んでいる。複数の第2導電部22は、X方向において互いに離間している。
また、各半導体領域における不純物濃度については、例えば、SIMS(二次イオン質量分析法)により測定することが可能である。
Claims (14)
- 第1電極と、
前記第1電極の上に設けられ、第1領域と、前記第1領域を囲む第2領域と、を有する第1導電形の第1半導体領域と、
前記第1領域の上に設けられた第2導電形の第2半導体領域と、
前記第2半導体領域の上に設けられた第1導電形の第3半導体領域と、
前記第3半導体領域の上に設けられ、前記第2半導体領域及び前記第3半導体領域と電気的に接続された第2電極と、
前記第1領域から前記第2半導体領域に向かう第1方向に垂直な第2方向において、前記第2半導体領域とゲート絶縁部を介して対向するゲート電極と、
前記第2領域の上に第1絶縁部を介して設けられ、前記第1方向及び前記第2方向に垂直な第3方向において互いに離間して複数設けられた第1導電部であって、複数の前記第1導電部は、前記第2方向において前記ゲート電極と並び、前記第2電極又は前記ゲート電極と電気的に接続された、前記第1導電部と、
前記第2電極又は前記ゲート電極と電気的に接続され、前記第2領域の上に第2絶縁部を介して設けられ、前記第3方向において前記ゲート電極及び前記複数の第1導電部と並ぶ第2導電部と、
を備えた半導体装置。 - 前記第1導電部の前記第2方向における長さは、前記ゲート電極の前記第2方向における長さよりも長い請求項1記載の半導体装置。
- 前記ゲート電極は、前記第2方向において互いに離間して複数設けられ、
前記第2導電部は、前記第3方向において前記複数のゲート電極及び前記複数の第1導電部と並び、
前記第1絶縁部同士の間の前記第3方向における距離は、前記ゲート絶縁部同士の間の前記第2方向における距離以下である請求項1または2に記載の半導体装置。 - 前記第2電極又は前記ゲート電極と電気的に接続された複数の第3導電部と、
前記複数の第3導電部の上に設けられ、前記ゲート電極と電気的に接続された第3電極と、
をさらに備え、
前記複数の第3導電部は、前記第3方向において互いに離間し、
前記複数の第3導電部のそれぞれは、前記第2領域の上に第3絶縁部を介して設けられ、
前記ゲート電極の一部は、前記第2方向において、前記複数の第1導電部の一部と前記複数の第3導電部との間に位置する請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体装置。 - 前記複数の第3導電部のそれぞれの前記第2方向における長さは、前記複数の第1導電部のそれぞれの前記第2方向における長さよりも長い請求項4記載の半導体装置。
- 前記第1絶縁部中に設けられ、前記第2方向において前記第1導電部と離間した第4導電部をさらに備えた請求項1〜5のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記第1導電部は、さらに、前記第2方向において複数設けられ、
前記ゲート電極は、前記第2方向において、複数の前記第1導電部の一部と、複数の前記第1導電部の別の一部と、の間に位置する請求項1〜6のいずれか1つに記載の半導体装置。 - 前記第2導電部は、前記第3方向において複数設けられ、
前記ゲート電極は、前記第3方向において、複数の前記第2導電部の1つと、複数の前記第2導電部の別の1つと、の間に位置する請求項1〜7のいずれか1つに記載の半導体装置。 - 第1電極と、
前記第1電極の上に設けられ、第1領域と、前記第1領域を囲む第2領域と、を有し、前記第1電極と電気的に接続された第1導電形の第1半導体領域と、
前記第1領域の上に設けられた第2導電形の複数の第2半導体領域と、
それぞれが、前記複数の第2半導体領域のそれぞれの上に設けられた第1導電形の複数の第3半導体領域と、
前記複数の第3半導体領域の上に設けられ、前記複数の第2半導体領域及び前記複数の第3半導体領域と電気的に接続された第2電極と、
それぞれが、前記第1領域から前記第2半導体領域に向かう第1方向に垂直な第2方向において、前記複数の第2半導体領域のそれぞれとゲート絶縁部を介して対向する複数のゲート電極と、
前記第2領域の上に第1絶縁部を介して設けられ、前記第2方向において互いに離間して複数設けられた第1導電部であって、複数の前記第1導電部は、前記第1方向及び前記第2方向に垂直な第3方向において前記ゲート電極と並び、前記第2電極又は前記ゲート電極と電気的に接続された、前記第1導電部と、
前記第2電極又は前記ゲート電極と電気的に接続され、前記第2領域の上に第2絶縁部を介して設けられ、前記第2方向において前記ゲート電極及び前記複数の第1導電部と並ぶ第2導電部と、
を備えた半導体装置。 - 前記第1導電部の前記第3方向における長さは、前記ゲート電極の前記第2方向における長さよりも長い請求項9記載の半導体装置。
- 前記ゲート電極は、前記第2方向において互いに離間して複数設けられ、
前記第2導電部は、前記第2方向において前記複数のゲート電極及び前記複数の第1導電部と並び、
前記第1絶縁部同士の間の前記第2方向における距離は、前記ゲート絶縁部同士の間の前記第2方向における距離以下である請求項9または10に記載の半導体装置。 - 第1電極と、
前記第1電極の上に設けられ、第1領域と、前記第1領域を囲む第2領域と、を有し、前記第1電極と電気的に接続された第1導電形の第1半導体領域と、
前記第1領域の上に設けられた第2導電形の複数の第2半導体領域と、
それぞれが、前記複数の第2半導体領域のそれぞれの上に設けられた第1導電形の複数の第3半導体領域と、
前記複数の第3半導体領域の上に設けられ、前記複数の第2半導体領域及び前記複数の第3半導体領域と電気的に接続された第2電極と、
それぞれが、前記第1領域から前記第2半導体領域に向かう第1方向に垂直な第2方向において、前記複数の第2半導体領域のそれぞれとゲート絶縁部を介して対向する複数のゲート電極と、
前記第2領域の上に第1絶縁部を介して設けられ、前記第1方向及び前記第2方向に垂直な第3方向において互いに離間して複数設けられた第1導電部であって、複数の前記第1導電部は、前記第2方向において前記ゲート電極と並び、前記第2電極又は前記ゲート電極と電気的に接続された、前記第1導電部と、
前記第2領域の上に第2絶縁部を介して設けられ、前記第2方向において互いに離間して複数設けられた第2導電部であって、複数の前記第2導電部は、前記第3方向において前記複数のゲート電極と並び、前記第2電極又は前記ゲート電極と電気的に接続された、前記第2導電部と、
を備えた半導体装置。 - 前記第2半導体領域の上に設けられた第2導電形の第4半導体領域をさらに備え、
前記第4半導体領域における第2導電形の不純物濃度は、前記第2半導体領域における第2導電形の不純物濃度よりも高い請求項1〜12のいずれか1つに記載の半導体装置。 - 前記第1電極と前記第1半導体領域との間に設けられ、前記第1電極と電気的に接続された第1導電形の第5半導体領域をさらに備え、
前記第5半導体領域における第1導電形の不純物濃度は、前記第1半導体領域における第1導電形の不純物濃度よりも高い請求項1〜13のいずれか1つに記載の半導体装置。
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