JP2023106553A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既に説明したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
以下の説明及び図面において、n+、n-及びp+、pの表記は、各不純物濃度の相対的な高低を表す。すなわち、「+」が付されている表記は、「+」及び「-」のいずれも付されていない表記よりも不純物濃度が相対的に高く、「-」が付されている表記は、いずれも付されていない表記よりも不純物濃度が相対的に低いことを示す。これらの表記は、それぞれの領域にp形不純物とn形不純物の両方が含まれている場合には、それらの不純物が補償しあった後の正味の不純物濃度の相対的な高低を表す。
以下で説明する各実施形態について、各半導体領域のp形とn形を反転させて各実施形態を実施してもよい。
図1は、第1実施形態に係る半導体装置を表す平面図である。
図2~図5は、第1実施形態に係る半導体装置の一部を表す断面図である。
図2は、図4及び図5のII-II断面図である。図3は、図4及び図5のIII-III断面図である。図4は、図2及び図3のIV-IV断面図である。図5は、図2及び図3のV-V断面図である。
ソース電極13に対してドレイン電極11に正電圧が印加された状態で、ゲート電極10に閾値以上の電圧を印加する。これにより、p形ベース領域2にチャネル(反転層)が形成され、半導体装置100がオン状態となる。電子は、チャネルを通ってソース電極13からドレイン電極11へ流れる。その後、ゲート電極10に印加される電圧が閾値よりも低くなると、p形ベース領域2におけるチャネルが消滅し、半導体装置100がオフ状態になる。
また、n-形ドリフト領域1に空乏層が広がった際、衝突電離等によって発生したキャリア(電子及び正孔)が空乏層中で加速され、アバランシェ降伏が発生する。アバランシェ降伏が発生したとき、電子は、n+形ドレイン領域4を通ってドレイン電極11から排出される。正孔は、p+形コンタクト領域5を通ってソース電極13へ排出される。
n-形ドリフト領域1、p形ベース領域2、n+形ソース領域3、n+形ドレイン領域4、及びp+形コンタクト領域5は、半導体材料として、シリコン、炭化シリコン、窒化ガリウム、またはガリウムヒ素を含む。半導体材料としてシリコンが用いられる場合、n形不純物として、ヒ素、リン、またはアンチモンを用いることができる。p形不純物として、ボロンを用いることができる。
ゲート電極10及びFP電極12は、ポリシリコンなどの導電材料を含む。導電材料には、不純物が添加されていても良い。
ゲート絶縁層10a及び絶縁層12aは、酸化シリコンなどの絶縁材料を含む。
ドレイン電極11及びソース電極13は、アルミニウム又は銅などの金属を含む。
図6~図8は、第1実施形態に係る半導体装置の製造工程を表す工程断面図である。図6~図8は、第1方向D1及び第2方向D2に平行な断面における製造工程を表す。
上述したように、半導体装置100がオン状態からオフ状態に切り替わったとき、各FP電極12の周りに空乏層が広がる。このとき、図5に表したように、幅Waの空乏層DLが広がると、第2方向D2及び第3方向D3のそれぞれにおいて、FP電極12同士の間のn-形ドリフト領域1が、完全に空乏化される。
また、第1領域1aにおけるn形不純物濃度は、第2領域1bにおけるn形不純物濃度よりも高い。従って、第2領域1bでは、第1領域1aに比べて、空乏層が広がり易い。このため、第1実施形態によれば、長さL3が長さL1及びL2のそれぞれよりも長くても、n-形ドリフト領域1のn形不純物濃度が一様であるときに比べて、第4方向D4でのFP電極12同士の間のn-形ドリフト領域1が空乏化され易くなる。
図9(a)~図9(h)は、半導体装置の特性を例示するグラフである。
図9(a)~図9(d)は、第1実施形態に係る半導体装置の特性を表す。図9(e)~図9(h)は、参考例に係る2つの半導体装置の特性を表す。
一方で、図9(f)に表したように、n-形ドリフト領域1における電界強度は、一様に減少する。第4方向D4で隣り合うFP電極12同士の間のn-形ドリフト領域1では、図9(h)に表したように、電界強度が減少して0となる。このため、半導体装置ref1の耐圧は、半導体装置100に比べて大きく低下する。
また、第2領域1bは、第1領域1aに比べて空乏化し易い。このため、図9(b)に表したように、第2領域1bにおける電界強度の減少を、半導体装置ref1のn-形ドリフト領域1における電界強度の減少よりも緩やかにできる。これにより、半導体装置100の耐圧を、半導体装置ref1の耐圧よりも大きくできる。
すなわち、第1実施形態によれば、参考例に比べて、オン抵抗の大きな上昇及び耐圧の大きな低下を回避しつつ、耐圧の向上及びオン抵抗の低減が可能となる。
図10は、第1実施形態の第1変形例に係る半導体装置の一部を表す断面図である。
図11(a)及び図11(b)は、それぞれ、図10のA1-A2線及びB1-B2線におけるn形不純物濃度NDの分布を表すグラフである。
図12(a)~図12(c)は、第1実施形態の第2変形例に係る半導体装置の一部を表す平面図である。
図12(a)~図12(c)は、n-形ドリフト領域1及びFP電極12を通る、第2方向D2及び第3方向D3に平行な断面における構造を表している。
図13は、第1実施形態の第3変形例に係る半導体装置の一部を表す平面図である。
図13は、n-形ドリフト領域1及びFP電極12を通る、第2方向D2及び第3方向D3に沿う断面における半導体装置の構造を表している。
図14は、第1実施形態の第4変形例に係る半導体装置の一部を表す平面図である。
図14は、n-形ドリフト領域1及びFP電極12を通る、第2方向D2及び第3方向D3に沿う断面における半導体装置の構造を表している。
図15~図17は、第2実施形態に係る半導体装置の一部を表す断面図である。
図15は、図16及び図17のXV-XV断面図である。図16は、図15のXVI-XVI断面図である。図17は、図15のXVII-XVII断面図である。
また、各第1領域1aの一部は、第1方向D1においてドレイン電極11と複数のFP電極12との間に設けられている。すなわち、各絶縁部20の底部近傍にも第1領域1aが設けられている。このため、オン状態でのn-形ドリフト領域1における電気抵抗が低減し、半導体装置100のオン抵抗をさらに低減できる。
図18は、第2実施形態の変形例に係る半導体装置の一部を表す断面図である。
図18は、n-形ドリフト領域1及びFP電極12を通る、第2方向D2及び第3方向D3に平行な断面における構造を表している。
又は、第2実施形態に係る半導体装置200又は210において、第1実施形態の第4変形例と同様に、複数のFP電極12が千鳥状に設けられていても良い。この場合、複数のゲート電極10も同様に千鳥状に配置される。
第2実施形態に係る半導体装置200又は210において、第1領域1a及び第2領域1bが設けられていれば、ゲート電極10及びFP電極12の具体的構造は、適宜変更可能である。
Claims (8)
- 第1電極と、
前記第1電極の上に設けられ、前記第1電極と電気的に接続された第1導電形の第1半導体領域と、
前記第1電極から前記第1半導体領域に向かう第1方向に垂直な第2方向と、前記第1方向に垂直であり且つ前記第2方向と交差する第3方向と、において複数設けられ、前記第2方向及び前記第3方向において絶縁層を介して前記第1半導体領域の一部と対向する第2電極と、
前記複数の第2電極のそれぞれの周りに設けられたゲート電極と、
前記複数の第2電極と前記ゲート電極との間にそれぞれ設けられ、前記ゲート電極とゲート絶縁層を介して対向する第2導電形の複数の第2半導体領域と、
前記複数の第2半導体領域の上にそれぞれ設けられた第1導電形の複数の第3半導体領域と、
前記複数の第2半導体領域及び前記複数の第3半導体領域の上に設けられ、前記複数の第2半導体領域、前記複数の第3半導体領域、及び前記複数の第2電極と電気的に接続された第3電極と、
を備え、
前記第1方向に垂直であり前記第2方向及び前記第3方向と交差する第4方向における前記絶縁層同士の間の距離は、前記第2方向において隣り合う前記絶縁層同士の間の距離及び前記第3方向において隣り合う前記絶縁層同士の間の距離よりも長く、
前記第1半導体領域は、
前記第2方向、前記第3方向、及び前記第4方向において前記複数の第2電極の周りにそれぞれ設けられた複数の第1領域と、
前記複数の第1領域の周りに設けられた第2領域と、
を有し、
前記複数の第1領域のそれぞれにおける第1導電形の不純物濃度は、前記第2領域における第1導電形の不純物濃度よりも高い半導体装置。 - 前記複数の第1領域は、さらに、前記第1方向において前記第1電極と前記複数の第2電極との間にそれぞれ設けられた請求項1記載の半導体装置。
- 前記第2方向における前記複数の第1領域のそれぞれの厚さは、前記第4方向における前記複数の第1領域のそれぞれの厚さよりも大きい請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 第1電極と、
前記第1電極の上に設けられ、前記第1電極と電気的に接続された第1導電形の第1半導体領域と、
前記第1半導体領域の一部の上に設けられ、前記第1電極から前記第1半導体領域に向かう第1方向に垂直な第2方向と、前記第1方向に垂直であり且つ前記第2方向と交差する第3方向と、において複数設けられた絶縁部と、
前記第1半導体領域の別の一部の上に設けられた第2導電形の第2半導体領域と、
前記複数の絶縁部中にそれぞれ設けられ、前記第1半導体領域と対向する部分を有する複数の第2電極と、
前記複数の絶縁部中にそれぞれ設けられ、前記複数の第2半導体領域とそれぞれ対向する複数のゲート電極と、
前記第2半導体領域の上に選択的に設けられ、前記複数のゲート電極の周りにそれぞれ位置する第1導電形の複数の第3半導体領域と、
前記第2半導体領域及び前記複数の第3半導体領域の上に設けられ、前記複数の第2半導体領域、前記複数の第3半導体領域、及び前記複数の第2電極と電気的に接続された第3電極と、
を備え、
前記第1方向に垂直であり前記第2方向及び前記第3方向と交差する第4方向における前記絶縁部同士の間の距離は、前記第2方向において隣り合う前記絶縁部同士の間の距離及び前記第3方向において隣り合う前記絶縁部同士の間の距離よりも長く、
前記第1半導体領域は、
前記第2方向、前記第3方向、及び前記第4方向において前記複数の絶縁部の周りにそれぞれ設けられた複数の第1領域と、
前記複数の第1領域の周りに設けられた第2領域と、
を有し、
前記複数の第1領域のそれぞれの一部は、前記第1方向において前記第1電極と前記複数の第2電極との間に位置し、
前記複数の第1領域のそれぞれにおける第1導電形の不純物濃度は、前記第2領域における第1導電形の不純物濃度よりも高い半導体装置。 - 前記第1半導体領域は、前記第1電極と前記複数の第1領域との間、前記第1電極と前記第2領域との間、及び前記第1電極と前記複数の第2電極との間に設けられた第3領域をさらに有し、
前記第3領域における第1導電形の不純物濃度は、前記第2領域における第1導電形の不純物濃度よりも高い請求項1~4のいずれか1つに記載の半導体装置。 - 前記複数の第2電極のそれぞれの形状は、前記第1方向から見たときに円状である請求項1~5のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記ゲート電極は、前記第2方向において隣り合う前記第2電極同士の間を前記第3方向に延び、前記第3方向において隣り合う前記第2電極同士の間を前記第2方向に延びる請求項1~6のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記第2領域と前記複数の絶縁部の1つとの間に位置する前記複数の第1領域の1つの厚さは、前記複数の絶縁部の前記1つの周りにおいて一様である請求項1~7のいずれか1つに記載の半導体装置。
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