JP2019140130A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2019140130A5
JP2019140130A5 JP2018018797A JP2018018797A JP2019140130A5 JP 2019140130 A5 JP2019140130 A5 JP 2019140130A5 JP 2018018797 A JP2018018797 A JP 2018018797A JP 2018018797 A JP2018018797 A JP 2018018797A JP 2019140130 A5 JP2019140130 A5 JP 2019140130A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thin plate
shaped substrate
plate
purge
holding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2018018797A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2019140130A (ja
JP7037379B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority claimed from JP2018018797A external-priority patent/JP7037379B2/ja
Priority to JP2018018797A priority Critical patent/JP7037379B2/ja
Priority to PCT/JP2019/001256 priority patent/WO2019155842A1/ja
Priority to US16/966,888 priority patent/US11227784B2/en
Priority to EP19750264.4A priority patent/EP3734651A4/en
Priority to CN201980011784.9A priority patent/CN111727500B/zh
Priority to KR1020207021160A priority patent/KR102606448B1/ko
Priority to TW108103724A priority patent/TWI776016B/zh
Publication of JP2019140130A publication Critical patent/JP2019140130A/ja
Publication of JP2019140130A5 publication Critical patent/JP2019140130A5/ja
Publication of JP7037379B2 publication Critical patent/JP7037379B2/ja
Application granted granted Critical
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2018018797A 2018-02-06 2018-02-06 薄板状基板保持装置、及び保持装置を備える搬送ロボット Active JP7037379B2 (ja)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018018797A JP7037379B2 (ja) 2018-02-06 2018-02-06 薄板状基板保持装置、及び保持装置を備える搬送ロボット
CN201980011784.9A CN111727500B (zh) 2018-02-06 2019-01-17 薄板状衬底保持装置以及具有保持装置的运送机器人
US16/966,888 US11227784B2 (en) 2018-02-06 2019-01-17 Thin plate substrate-holding device and transfer robot provided with this holding device
EP19750264.4A EP3734651A4 (en) 2018-02-06 2019-01-17 HOLDING DEVICE FOR THIN PLATE-SHAPED SUBSTRATES AND A HOLDING DEVICE EQUIPPED WITH A TRANSPORT ROBOT
PCT/JP2019/001256 WO2019155842A1 (ja) 2018-02-06 2019-01-17 薄板状基板保持装置、及び保持装置を備える搬送ロボット
KR1020207021160A KR102606448B1 (ko) 2018-02-06 2019-01-17 박판 형상 기판 유지 장치 및 유지 장치를 구비하는 반송 로봇
TW108103724A TWI776016B (zh) 2018-02-06 2019-01-31 薄板狀基板保持裝置及具備保持裝置之搬送機器人

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018018797A JP7037379B2 (ja) 2018-02-06 2018-02-06 薄板状基板保持装置、及び保持装置を備える搬送ロボット

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2019140130A JP2019140130A (ja) 2019-08-22
JP2019140130A5 true JP2019140130A5 (enExample) 2021-02-12
JP7037379B2 JP7037379B2 (ja) 2022-03-16

Family

ID=67549588

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018018797A Active JP7037379B2 (ja) 2018-02-06 2018-02-06 薄板状基板保持装置、及び保持装置を備える搬送ロボット

Country Status (7)

Country Link
US (1) US11227784B2 (enExample)
EP (1) EP3734651A4 (enExample)
JP (1) JP7037379B2 (enExample)
KR (1) KR102606448B1 (enExample)
CN (1) CN111727500B (enExample)
TW (1) TWI776016B (enExample)
WO (1) WO2019155842A1 (enExample)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3605598B1 (en) * 2017-05-11 2024-05-01 Rorze Corporation Thin-plate substrate holding finger and transfer robot provided with said finger
JP2021048242A (ja) * 2019-09-18 2021-03-25 東京エレクトロン株式会社 搬送装置及び搬送方法
JP7045353B2 (ja) * 2019-10-02 2022-03-31 株式会社アルバック 基板搬送装置、および、基板搬送方法
CN113939904B (zh) * 2020-01-15 2025-06-13 日本特殊陶业株式会社 保持装置
JP7467152B2 (ja) * 2020-02-13 2024-04-15 東京エレクトロン株式会社 収容容器及び基板状センサの充電方法
CN115362539B (zh) * 2020-03-30 2025-10-14 Tdk株式会社 压模工具、搬运装置以及元件阵列的制造方法
TWI760096B (zh) * 2021-02-05 2022-04-01 矽碁科技股份有限公司 微型化半導體製程系統
JP2023006718A (ja) * 2021-06-30 2023-01-18 株式会社荏原製作所 搬送装置、および基板処理装置
CN115706440A (zh) * 2021-08-04 2023-02-17 东京毅力科创株式会社 收纳容器和基板状传感器的充电方法
CN116031184A (zh) * 2021-10-25 2023-04-28 大立钰科技有限公司 晶圆存取总成及其晶圆存取装置与晶圆载具
CN115915666A (zh) * 2022-11-20 2023-04-04 江苏亨通线缆科技有限公司 一种数据中心用智能机柜
CN117080135A (zh) * 2023-08-24 2023-11-17 上海广川科技有限公司 一种可净化保护的末端执行器
KR102707098B1 (ko) * 2023-10-24 2024-09-19 야스카와 일렉트릭 코퍼레이션 엔드 이펙터의 웨이퍼 고정용 능동-수동형 그립모듈 및 이를 구비하는 반송로봇

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA2043266A1 (en) * 1990-09-24 1992-03-25 Gary Hillman Wafer transfer device
JP2000040730A (ja) * 1998-07-24 2000-02-08 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板搬送装置および基板処理装置
JP4086398B2 (ja) * 1999-01-28 2008-05-14 大日本スクリーン製造株式会社 基板洗浄装置
US6354832B1 (en) * 1999-07-28 2002-03-12 Tokyo Electron Limited Substrate processing apparatus and substrate processing method
JP4558981B2 (ja) * 2000-11-14 2010-10-06 株式会社ダイヘン トランスファロボット
JP2003092335A (ja) * 2001-09-18 2003-03-28 Toshiba Corp 基板搬送装置、これを用いた基板処理装置および基板処理方法
CN101124663B (zh) * 2004-07-09 2010-12-01 积水化学工业株式会社 用于处理基板的外周部的方法及设备
JP2007048814A (ja) * 2005-08-08 2007-02-22 Mitsubishi Electric Corp 基板保持装置、半導体製造装置及び半導体装置の製造方法
JP4959457B2 (ja) * 2007-07-26 2012-06-20 東京エレクトロン株式会社 基板搬送モジュール及び基板処理システム
JP2009170740A (ja) * 2008-01-18 2009-07-30 Rorze Corp 搬送装置
US9254566B2 (en) * 2009-03-13 2016-02-09 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Robot having end effector and method of operating the same
KR101668823B1 (ko) 2009-05-27 2016-10-24 로제 가부시키가이샤 분위기 치환 장치
JP2011018661A (ja) * 2009-07-07 2011-01-27 Panasonic Corp キャリア搬送装置
JP2013006222A (ja) 2009-10-14 2013-01-10 Rorze Corp 薄板状物の把持装置、および薄板状物の把持方法
JP2013247283A (ja) * 2012-05-28 2013-12-09 Tokyo Electron Ltd 搬送機構、搬送方法及び処理システム
JP6263972B2 (ja) * 2013-11-11 2018-01-24 シンフォニアテクノロジー株式会社 基板搬送装置、ｅｆｅｍ及び半導体製造装置
TWI678751B (zh) * 2013-12-13 2019-12-01 日商昕芙旎雅股份有限公司 設備前端模組（ｅｆｅｍ）
JP6349750B2 (ja) 2014-01-31 2018-07-04 シンフォニアテクノロジー株式会社 Ｅｆｅｍ
US9343343B2 (en) * 2014-05-19 2016-05-17 Asm Ip Holding B.V. Method for reducing particle generation at bevel portion of substrate
JP6556148B2 (ja) * 2014-09-05 2019-08-07 ローツェ株式会社 ロードポート及びロードポートの雰囲気置換方法
US10515834B2 (en) * 2015-10-12 2019-12-24 Lam Research Corporation Multi-station tool with wafer transfer microclimate systems

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2019140130A5 (enExample)
JP2015146347A5 (enExample)
TWI553767B (zh) 真空處理設備
JP2013151720A5 (enExample)
KR101434169B1 (ko) 에어블로윙 타입 기판 부상 및 이송 장치
JP2015141908A5 (enExample)
JPWO2013069716A1 (ja) ロードポート、ｅｆｅｍ
JP6349110B2 (ja) チャンバー装置及び加熱方法
US10612130B2 (en) Vacuum processing apparatus
JP2013222963A (ja) 搬送装置及び塗布装置
US10483151B2 (en) Substrate transfer apparatus, substrate processing apparatus, and substrate processing method
TW201634363A (zh) 在天花板上存儲和處理物品的裝置
TWI829832B (zh) 物品保管設備
JP4367440B2 (ja) 搬送システム
KR101856110B1 (ko) 기판처리장치 및 기판처리방법
JP2016030234A (ja) 成形品検査機用排出装置
JP2013220421A (ja) ノズル及び塗布装置
JP6496919B2 (ja) ベルヌーイハンド及び半導体製造装置
TWI649828B (zh) 基板搬送系統及使用其之熱處理裝置
JP6362917B2 (ja) 供給装置
KR20140108044A (ko) 대면적 기판용 수평형 원자층 증착장치
JP2018193071A (ja) 卵パック用の移載装置
JP4236687B2 (ja) 培養装置
JP4169535B2 (ja) 蓋部材開閉装置及びそれを備えたステーション
KR200480443Y1 (ko) 적층식 웨이퍼 이송용 암 블레이드