JP7467152B2 - 収容容器及び基板状センサの充電方法 - Google Patents
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Description
まず、本発明の一実施形態に係る半導体製造装置100の縦断面の構成の一例について、図1を参照しながら説明する。図1に示す半導体製造装置100はクラスタ構造(マルチチャンバタイプ)の装置であり、搬送室VTMや基板処理室PMは真空装置の一例である。
次に、本実施形態に係る収容容器1について、図2及び図3を用いて更に説明する。図2及び図3は、本実施形態に係る収容容器1の断面模式図の一例である。なお、図2及び図3において、紙面の左側が収容容器1の正面側(ロードポートLP1~LP3と接続される側)を示し、紙面の右側が収容容器1の背面側を示す。紙面の奥側が収容容器1の一方の側面側を示し、紙面の手前側が収容容器1の他方の側面側を示す。また、図2は、収容容器1に収容された基板状センサ200を充電等する状態の一例を示す。図3は、収容容器1がロードポートLP(図3において図示せず)に取り付けられ、ロードポートLPによって蓋体20(図3において図示せず)が取り外され、ローダーモジュールLMの搬送装置(図示せず)のエンドエフェクタ120によって収容容器1から基板状センサ200を取り出す状態の一例を示す。
次に、収容容器1に収容される基板状センサ200について、図4を用いて説明する。図4は、本実施形態に係る収容容器1に収容される基板状センサ200の構成ブロック図の一例である。
10 容器本体
11 ティース(支持部)
20 蓋体
30 支持体(支持部)
31 支持ブロック
40 給電機構
41~43 コンタクトピン
44 軸部材(駆動機構)
46 昇降機構(駆動機構、軸駆動機構)
47~49 配線
50 DCジャック(ジャック)
60 スイッチ
70 ACアダプタ(直流電源)
200 基板状センサ
210 端子部
220 センサ
230 センサ制御部
240 記憶部
250 通信部
260 電源制御部
270 バッテリ
Claims (11)
- 上面に端子部が設けられた基板状センサを収容する収容容器であって、
開口を有する容器本体と、
前記容器本体内に配置され、前記基板状センサを支持する支持部と、
前記容器本体内に配置され、前記基板状センサの前記端子部と接触可能なコンタクトピンと、
前記コンタクトピンを駆動する駆動機構と、
前記容器本体外に配置され、前記コンタクトピンと電気的に接続され、前記基板状センサを充電するための電源と接続可能な接続部と、
前記容器本体との前記開口を閉塞可能な蓋体と、
を備え、
前記支持部は、前記基板状センサの前記端子部が設けられた位置に対応する前記基板状センサの下面の位置を支持する支持部材を含む、
収容容器。 - 前記支持部材は、円板形状に形成される、
請求項1に記載の収容容器。 - 前記支持部材の直径は、二又に分岐した形状を有するエンドエフェクタの開口幅よりも小さい、
請求項1または請求項2に記載の収容容器。 - 前記端子部は、前記基板状センサの上面中央部に設けられており、
前記支持部材は、前記基板状センサの下面中央部を支持する、
請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の収容容器。 - 前記支持部材は、PTFEである、
請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の収容容器。 - 前記容器本体外に配置され、前記コンタクトピンと電気的に接続されるスイッチを更に備える、
請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の収容容器。 - 前記収容容器は、
基板を収容するキャリアが取り付け可能に構成されるロードポートに、取り付け可能に構成される、
請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の収容容器。 - 前記駆動機構は、
前記容器本体の壁面を貫通し、前記容器本体内側で前記コンタクトピンを支持する軸部材と、
前記容器本体外に配置され、前記軸部材を軸方向に駆動する軸駆動機構と、を有する、
請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の収容容器。 - 前記駆動機構は、
前記容器本体の壁面を貫通し、前記容器本体内側で前記コンタクトピンを支持する軸部材と、
前記容器本体外に配置され、前記軸部材を回転する回転駆動機構と、を有する、
請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の収容容器。 - 前記コンタクトピンと前記接続部を接続する配線は、前記軸部材内に配される、
請求項8または請求項9に記載の収容容器。 - 開口を有する容器本体と、前記容器本体内に配置され、上面に端子部が設けられた基板状センサを支持する支持部と、前記容器本体内に配置され、前記基板状センサの前記端子部と接触可能なコンタクトピンと、前記コンタクトピンを駆動する駆動機構と、前記容器本体外に配置され、前記コンタクトピンと電気的に接続され、前記基板状センサを充電するための電源と接続可能な接続部と、前記容器本体との前記開口を閉塞可能な蓋体と、を備え、前記支持部は、前記基板状センサの前記端子部が設けられた位置に対応する前記基板状センサの下面の位置を支持する支持部材を含む、収容容器に収容された基板状センサの充電方法であって、
前記駆動機構により、前記コンタクトピンを前記基板状センサの前記端子部に接触させる工程と、
前記接続部に直流電源を接続する工程と、
を含む、基板状センサの充電方法。
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