TW201634363A - 在天花板上存儲和處理物品的裝置 - Google Patents

在天花板上存儲和處理物品的裝置 Download PDF

Info

Publication number
TW201634363A
TW201634363A TW105107905A TW105107905A TW201634363A TW 201634363 A TW201634363 A TW 201634363A TW 105107905 A TW105107905 A TW 105107905A TW 105107905 A TW105107905 A TW 105107905A TW 201634363 A TW201634363 A TW 201634363A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
shelves
row
ceiling
storage system
storing
Prior art date
Application number
TW105107905A
Other languages
English (en)
Other versions
TWI588073B (zh
Inventor
柳東奎
金在允
Original Assignee
大福股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 大福股份有限公司 filed Critical 大福股份有限公司
Publication of TW201634363A publication Critical patent/TW201634363A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI588073B publication Critical patent/TWI588073B/zh

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67379—Closed carriers characterised by coupling elements, kinematic members, handles or elements to be externally gripped
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本發明提供在天花板上存儲和處理物品的裝置，其包括：內部軌道，懸掛在天花板；存儲系，懸掛在天花板，並且具有第一列擱架與第二列擱架及出入庫埠，其中該第一列擱架與第二列擱架相互面對地配置在內部軌道的兩側方，出入庫埠連接於第一列擱架與第二列擱架中的其中之一；及內部搬送機器人，可移動地連接於內部軌道，並且在第一列擱架及第二擱架中其中之一與出入庫埠之間搬送物品。該內部搬送機器人包括：雙方向滑動單元，沿著該第一列擱架及第二列擱架中的其中之一方向滑動夾持物品的夾持單元；及升降驅動單元，沿著第一列擱架及第二列擱架的高度方向升降驅動雙方向滑動單元。

Description

在天花板上存儲和處理物品的裝置
本發明涉及在天花板上存儲和處理物品的裝置。
一般地說，在半導體製造工藝中生產晶圓，並將生產出的晶圓投入到下一生產步驟來製造半導體封裝。
這時，生產出的晶圓不會被直接投入到下一步驟，而是被存儲預定時間之後，根據需要按順序移動至下一步驟。所以需要用於存儲正在待機的晶圓的設備。上述用於存儲的設備設置在工廠的地面上，因此存在佔據空間大的問題。
作為這種問題的解決方案，有在移送晶圓的機器人的行駛路徑周邊設置晶圓臨時存儲設施的情況。
但是，這種臨時存儲設施只提供暫時存儲少量的晶圓的水準的作用。並且，對臨時存儲設施裝載/卸載晶圓的一個機器人，因為與行駛機器人的行駛路徑的其他機器人干涉而無法自由移動。並且，對應於晶圓量的增加，很難擴張臨時存儲設施。
本發明的一目的在於提供在天花板上存儲物品和處理裝置，能夠將大量的物品單獨存儲在天花板側並進行處理。
本發明的另一目的在於提供在天花板上存儲物品和處理裝置，對應於物品量的增加，容易擴張用於存儲及處理的設施。
為了達成上述目的，根據本發明一方面的在天花板上存儲物品和處理裝置包括：內部軌道，懸掛在天花板；存儲系，懸掛在天花板，並且具有第一列擱架與第二列擱架及出入庫埠，其中第一列擱架與第二列擱架相互面對地配置在內部軌道的兩側方，出入庫埠連接於第一列擱架與第二列擱架中的其中之一；內部搬送機器人，可移動地連接於內部軌道，並且在第一列擱架及第二列擱架中其中之一與出入庫埠之間搬送物品。內部搬送機器人可包括：雙方向滑動單元，沿著第一列擱架及第二列擱架中的其中之一方向滑動夾持物品的夾持單元；及升降驅動單元，沿著第一列擱架及第二列擱架的高度方向升降驅動雙方向滑動單元。
本發明的又一目的在於可包括露出端部，沿著內部軌道的延長方向未被存儲系阻斷。
本發明的再一目的在於存儲系還可包括：下部框架、第一柱框架，直立在下部框架上，並設置第一列擱架；及第二柱框架，與第一柱框架間隔地直立在下部框架上，並設置第二列擱架。
本發明的又一目的在於第一柱框架及第二柱框架中的至少一個可包括：底部部件，支撐第一列擱架或第二列擱架；及一對壁部件，分別結合於底部部件的兩端部，沿著與底部部件形成的平面交叉的方向配置。
本發明的再一目的在於底部部件包括構成多個層的多個底部，第一列擱架或第二列擱架可包括對應於多個底部而構成多個層的多個擱架。
本發明的又一目的在於還可具有外部軌道，外部軌道設置在存儲系的外側，以使其經過出入庫埠的上側，並將搬送路徑提供給外部搬送機器人，搬送路徑將物品搬送於出入庫埠。
本發明的再一目的在於外部軌道可包括露出端部，露出端部沿著外部軌道的延長方向，延長至第一列擱架及第二列擱架的端部以上。
本發明的又一目的在於還具有懸掛在天花板的設置架，並且內部軌道、存儲系及外部軌道構成為連接於設置架並懸掛在天花板。
本發明的再一目的在於設置架包括多個橫向框架及豎向框架，多個橫向框架及豎向框架可形成格子構造。
本發明的又一目的在於內部搬送機器人還包括：驅動部，可移動地懸掛在內部軌道；機體，具有被驅動部驅動的基座。升降驅動單元包括設置在基座的升降軌道。雙方向滑動單元為，設置在升降驅動單元，並沿著升降軌道以基座的高度方向升降。
本發明的再一目的在於還具有吹掃單元，吹掃單元對安裝在第一列擱架及第二列擱架的物品供應吹掃氣體。
本發明的又一目的在於吹掃單元可包括：氣罐，連通於物品，並將吹掃氣體供應於物品；回收泵，連通於物品，並回收供應於物品的吹掃氣體；及控制器，若對物品供應吹掃氣體之後經過已設定時間，則運行回收泵。
本發明的再一目的在於，根據本發明另一方面的在天花板上存儲和處理物品的裝置，包括：第一存儲系，懸掛在天花板，並具有兩列的擱架與連接於兩列的擱架的第一出入庫埠；第二存儲系，懸掛在天花板，並具有兩列的擱架，並且與第一存儲系接連配置；第一內部軌道，懸掛在天花板，並且配置在第一存儲系的兩列擱架之間；第二內部軌道，懸掛在天花板，並配置在第二存儲系的兩列隔板之間，並與第一內部軌道一同形成搬送路徑；及內部搬送機器人，為了在第一存儲系的兩列擱架及第二存儲系的兩列擱架中的其中之一與出入庫埠之間搬送物品，沿著搬送路徑進行移動。內部搬送機器人可包括：雙方向滑動單元，雙方向滑動夾持物品的夾持單元；升降驅動單元，升降驅動雙方向滑動單元。
本發明的又一目的在於第一內部軌道具有第一存儲系的長度以上的長度，第二內部軌道具有第二存儲系的長度以上的長度。
本發明的再一目的在於第一存儲系的兩列擱架與第二存儲系的兩列擱架分別可包括構成多個層的擱架。
本發明的又一目的在於第二存儲系還可包括第二出入庫埠，第二出入庫埠連接於第二存儲系的兩列擱架。
根據如上構成的本發明相關的在天花板上存儲物品和處理裝置，能夠在天花板側單獨存儲並處理大量的物品，因此能夠獲得空間利用率及提高的物品處理能力。
並且，對應於物品量的增加，能夠容易地擴張用於存儲及處理的設施。
以下，參照附圖詳細說明根據本發明優選實施例的在天花板上存儲物品和處理裝置。在本說明書中就算是相互不同的實施例，對於相同、類似的構成賦予相同、類似的參照符號，並由最初的說明來代替。
圖１是根據本發明一實施例的在天花板上存儲物品和處理裝置１００的立體圖，圖２是對圖１的裝置１００的主要部分的側面圖。
參照圖面，在天花板上存儲物品和處理裝置１００可具有內部軌道１１０、存儲系１３０、外部軌道１５０、設置架１７０及內部搬送機器人２００。
內部軌道１１０為可行駛地支撐內部搬送機器人２００的構成。內部軌道１１０大致為杆(bar)形狀，形成內部搬送機器人２００的行駛路徑（搬送路徑）。據此，內部軌道１１０也可稱為行駛軌道。
內部軌道１１０可具有對應於待後述的第一列擱架１３１及第二列擱架１３２的高度。例如，內部軌道１１０的兩端部１１１、１１３為延長至第一列擱架１３１及第二列擱架１３２的兩端部以上，兩端部１１１、１１３可稱為露出端部。因此，露出端部１１１、１１３沿著內部軌道１１０的延長方向未被第一列擱架１３１及第二列擱架１３２阻斷。
並且，內部軌道１１０懸掛在天花板。在本實施例中，內部軌道１１０連接於待後述的設置架１７０並被懸掛在天花板。
存儲系１３０為存儲物品Ａ，例如存儲在半導體工廠中使用的晶圓傳送盒(FOUP)的構成。存儲系１３０構成為懸掛在天花板。存儲系１３０可具有第一列擱架１３１、第二例擱架１３２、下部框架１３５、第一柱框架１３６、第二柱框架１３７及出入庫埠１３９。
第一列擱架１３１與第二列擱架１３２為在內部軌道１１０的兩側相互面對配置的擱架。第一列擱架１３１與第二列擱架１３２相互間隔能夠使內部搬送機器人２００通過的間隔距離。第一列擱架１３１與第二例擱架１３２分別可由多個個別的擱架構成。各個個別的擱架可具有對應於一個物品Ａ的尺寸。
下部框架１３５可構成存儲系１３０的最低部分。下部框架１３５整體可具有四角形的形狀。下部框架１３５可沿著內部軌道１１０的延長方向延長形成。下部框架１３５為第一列擱架１３１與第二列擱架１３２相互連接的媒介。
第一柱框架１３６與第二柱框架１３７能夠以相互間隔狀態直立在下部框架１３５的兩個邊緣位置側。這時，在第一柱框架１３６可設置第一列擱架１３１，在第二柱框架１３７可設置第二列擱架１３２。
第一柱框架１３６與第二柱框架１３７可具有底部部件１３６ａ、１３７ａ與壁部件１３６ｂ、１３７ｂ部件。
底部部件１３６ａ、１３７ａ為支撐第一列擱架１３１或第二列擱架１３２的構成。底部部件１３６ａ、１３７ａ可沿著內部軌道１１０的延長方向延長。這種底部部件１３６ａ、１３７ａ可具有多個個別的底部，以使底部部件１３６ａ、１３７ａ配置為構成多個層。對應於此，第一列擱架１３１或第二列擱架１３２也可具有對應於多個層的底部部件１３６ａ、１３７ａ而構成多個層的個別擱架。
壁部件１３６ｂ、１３７ｂ形成一對分別結合於底部部件１３６ａ、１３７ａ的兩端部，並且堅固地支撐底部部件１３６ａ、１３７ａ。壁部件１３６ｂ、１３７ｂ沿著與形成底部部件１３６ａ、１３７ａ的平面交叉的方向配置。
出入庫埠１３９為在第一列擱架１３１中一部分中凸出配置在外部軌道１５０下側的構成。在出入庫埠１３９臨時放置待放置於第一列擱架１３１或第二列擱架１３２的物品Ａ或從於第一列擱架１３１或第二列擱架１３２拿出來的物品Ａ。
外部軌道１５０為設置在存儲系１３０的外部並且使其經過出入庫埠１３９的上側而配置的構成。外部軌道１５０為在對應於存儲系１３０的區域中可大致與內部軌道１１０平行地進行設置。在外部軌道１５０可移動地設置與內部搬送機器人２００關聯而運行的外部搬送機器人ＥＲ。外部軌道１５０可具有沿著其延長方向並延長至第一列擱架１３１或第二列擱架１３２的端部以上的露出端部１５１、１５３。
設置架１７０為懸掛在天花板的構成。在設置架１０可連接內部軌道１１０、存儲系１３０及外部軌道１５０。
設置架１７０可具有橫向框架１７１與豎向框架１７３。橫向框架１７１與豎向框架１７３以相互交叉的方向配置並且可形成格子構造。並且，設置架１７０還可具有結合于豎向框架１７３的媒介框架１７５。媒介框架１７５作為連接內部軌道１１０的物件，由內部搬送機器人２００的行駛產生的震動通過豎向框架１７３等不會直接傳達於存儲系１３０。
根據這種構成，設置架１７０利用連接棒（未圖示）等連接於天花板。在這一狀態下，在設置架１７０可連接內部軌道１１０、存儲系１３０及外部軌道１５０。在內部軌道１１０可行駛地設置內部搬送機器人２００，在外部軌道１５０當然也可行駛地設置外部搬送機器人ＥＲ。內部搬送機器人２００在第一柱框架１３６與第二柱框架１３７之間移動。
物品Ａ被外部搬送機器人ＥＲ搬送並下達至出入庫埠１３９。內部搬送機器人２００夾住其物品Ａ下達於第一列擱架１３１或第二列擱架１３２中的其中之一，據此物品Ａ被存儲在存儲系１３０並且可進行吹掃處理(Purge)等。
相反，存儲系１３０內的物品Ａ一端先被內部搬送機器人２００裝載向出入庫埠１３９移動之後，下達於出入庫埠１３９。在這一過程中，內部搬送機器人２００當然沿著內部軌道１１０移動。放置於出入庫埠１３９的物品Ａ被外部搬送機器人ＥＲ夾持並且可被搬送至其他位置。據此，物品Ａ會脫離存儲系１３０。
內部搬送機器人２００能夠對應於相互面對的第一列擱架１３１與第二列擱架１３２來進行作業。具體地說，內部搬送機器人２００可將物品Ａ全部下達放置於第一列擱架１３１與第二列擱架１３２，或者可從第一列擱架１３１與第二列擱架１３２夾持物品Ａ。
根據具有這種內部搬送機器人２００，存儲系１３０可構成為集成式，在一個內部軌道１１０的兩側分別配置第一列擱架１３１與第二列擱架１３２。並且，第一列擱架１３１及第二列擱架１３２各自可由多個層構成，因此能夠集成存儲更多的物品Ａ。
並且，由於具有內部軌道１１０及沿著內部軌道１１０行駛的內部搬送機器人２００及出入庫埠１３９，因此構成對物品Ａ的存儲及處理系統。這種系統可與沿著外部軌道１５０行駛的外部搬送機器人ＥＲ獨立地進行運行。
參照圖３及圖４說明以上的內部半送機器人２００。
圖３是對圖１內部搬送機器人２００的立體圖，圖４是用於說明圖３的內部搬送機器人２００的運作的概念圖。
參照圖面，內部半送機器人２００可具有機體２１０、升降驅動單元２３０、雙方向滑動單元２５０與夾持單元２７０。
機體２１０可具有基座部２１１與驅動部２１６。基座部２１１為設置升降驅動單元２３０等的部分。驅動部２１６為設置在基座部２１１並懸掛在內部軌道１１０（圖１）的部分。驅動部２１６具有滾動內部軌道２１６的滾輪。
升降驅動單元２３０為沿著基座部２１１或第一列擱架１３１與第二列擱架１３２（以上參照圖１）的高度方向升降雙方向滑動單元２５０的構成。為此，升降驅動單元２３０可具有發動機、聯動於發動機的旋轉的傳送帶。雙方向滑動單元２５０連接於傳送帶並且可被滑動軌道２３８支撐進行升降。
雙方向滑動單元２５０為，設置在升降驅動單元２３０並且以基座部２１１為基準向兩側方向滑動的構成。為了雙方向滑動單元２５０的滑動，雙方向滑動單元２５０可由多個板件構成。這時，多個板件的滑動方向可以是向著第一列擱架１３１與第二列擱架１３２中的其中之一。
夾持單元２７０為連接于雙方向滑動單元２５０的自由端側並夾持物品Ａ的構成。
根據這種構成，機體２１０的驅動部２１６以被內部軌道１１０支撐的狀態沿著內部軌道１１０行駛。據此，基座部２１１沿著內部軌道１１０可在存儲系１３０（圖１）的一端移動至另一端。
在基座部２１１到達第一列擱架１３１與第二列擱架１３２中的其中之一的設定位置的情況下，雙方向滑動單元２５０使夾持單元２７０向已設定的物品Ａ滑動。
這時，如果物品Ａ位於比夾持單元２７０更高或更低的位置的情況，則根據升降驅動單元２３０的運作可改變雙方向滑動單元２５０的高度。
在雙方向滑動單元２５０位於對應於物品Ａ的高度的情況下，雙方向滑動單元２５０滑動的同時夾持單元２７０被放置於物品Ａ的上側。之後，加持單元２７０可進行運作來夾持物品Ａ。
結果，夾持單元２７０在本實施例中在諸如左上位置(LU)、左下位置(LD)、右上位置(RU)、右下位置(RD)夾持物品Ａ或將物品Ａ放置於這四個位置。
與上述相反，在將放置於第一例擱架１３１或第二列擱架１３２的物品Ａ拿到存儲系１３０外部的情況下，內部搬送機器人２００進行與上述大致相反的運作。
以下，參照圖5說明夾持放置於第一列擱架１３１與第二列擱架１３２的物品Ａ。
圖５是用於說明吹掃放置於圖１的擱架１３１、１３２的物品Ａ的吹掃單元１９０的框圖。
首先，在擱架１３１、１３２（以下，只記載１３１）可設置供應噴嘴１３１ａ、排氣噴嘴１３１ｂ、載體感測器１３１ｃ。供應噴嘴１３１ａ與排氣噴嘴１３１ｂ設置在擱架１３１的上面側與物品Ａ的內部連通。載體感測器１３１ｃ設置在擱架１３１的上面側，掌握物品Ａ是否位於擱架１３１的狀態。
為了對以上物品Ａ進行吹掃，還可具有吹掃單元１９０。吹掃單元１９０可具有氣罐１９１、回收泵１９５及控制器１９９。
氣罐１９１為連通於物品Ａ向物品Ａ內供應吹掃氣體的構成。具體地說，在氣罐１９１中向供應噴嘴１３１ａ流動吹掃氣體中，可經過供應閥１９２、供應流量計１９３及氣體篩檢程式１９４。
供應閥１９２形成為開閉用於吹掃氣體的供應流動的流路。供應閥１９２作為電動閥，根據電氣性信號執行用於開閉的動作。供應流量計１９３配置在供應閥１９２與供應噴嘴１３１ａ之間，按照已設定的流量調節向供應噴嘴１３１ａ的氣體的流量。氣體篩檢程式１９４為，設置在供應流量計１９３與供應噴嘴１３１ａ之間，並且過濾通過供應噴嘴１３１ａ向物品Ａ內供應的氣體中的異物質。在這裏，供應閥１９２及供應流量計１９３可由數位品質流量計(Mass Flow Controller)合併。在這情況下，數位品質流量計可根據時間設置氣體的供應量，並且可被電腦電子控制。
回收泵１９５為連通於物品Ａ強制回收供應於物品Ａ的吹掃氣體的構成。具體地說，在回收噴嘴１３１ｂ中吹掃氣體向回收泵１９５流動中，可經過排氣閥１９６及排氣流量計１９７。
回收閥１９６形成為開閉用於吹掃氣體的排氣流動的流路。回收閥１９６作為電動閥，根據電氣性信號進行開閉動作。回收流量計１９７為，配置在回收閥１９６與回收噴嘴１３１ｂ之間，按照已設定的流量通過回收噴嘴１３１ｂ調節向物品ａ外部回收的氣體的流量。
控制器１９９控制氣罐１９１的開閉與回收泵１９５的運作。控制器１９９從供應流量計１９３與回收流量計１９７及載體感測器１３１ｃ接收各種資訊，進而可控制供應閥１９２與回收閥１９６的動作。
例如，控制器１９９根據在供應流量計１９３測量的供應流量與在回收流量計１９７測量的回收流量的差異，可控制供應閥１９２與回收閥１９６的開閉。具體地說，在供應流量中減去回收流量，計算出填充於物品Ａ內的氣體的量。若已填充的氣體量低於基準的量，則供應閥１９２在開放的狀態下可關閉回收閥１９６。相反，若已充填的氣體的量超出基準的量，則供應閥１９２在關閉的狀態下可開放回收閥１９６。
在以上中，根據控制器１９９的回收閥１９６的開放及回收泵１９６的運行，在供應閥１９２的開放之後經過設定時間之後進行。這能夠對吹掃氣體進行能動性的回收。據此，使物品Ａ被吹掃氣體吹掃，同時也能夠減少根據吹掃氣體持續停留在物品Ａ內引起的晶圓的氧化或因為吹掃氣體的洩露引起的作業場空氣污染。
並且，控制器１９９根據載體感應感測器１３１ｃ的感應結果可控制供應閥１９２及/或回收閥１９６的開閉。具體地說，在感應載體感測器１３１ｃ感應物品Ａ存在於擱架１３１上的情況下，可開放供應閥１９２。控制器１９９為，若控制供應閥１９２的開放之後經過預定時間在物品Ａ內填充預定量的氣體，則可控制回收閥１９６的開放。
以下，參照圖６說明在天花板上存儲物品和處理裝置１００的擴張系統。
圖６是示出圖１的在天花板上存儲物品和處理裝置１００的擴張狀態的立體圖。
參照圖面（及圖１），擴張系統為在上述說明的存儲及處理裝置１００追加結合包裝及處理裝置１００’的形態。追加的存儲及處理裝置１００’相比於存儲及處理裝置１００在不具有內部搬送機器人２００上存在區別點。
在存儲及處理裝置１００中，內部軌道１１０、存儲系１３０、外部軌道１５０及設置架１７０分別為了與追加的包裝及處理裝置１００’區分，可稱為第一內部軌道１１０、第一存儲系１３０、第一外部軌道１５０、第一設置架１７０。
據此，追加的包裝及處理裝置１００’可具有第二內部軌道１１０’、第二存儲系１３０’、第二外部軌道１５０’、第二設置架１７０’。這些與存儲及處理裝置１００對應的構成大致相同。
在上述擴張系統中，第二設置架１７０’與第二存儲系１３０’可分別接連第一設置架１７０及第一存儲系１３０地進行配置。並且，第二內部軌道１１０’與第二外部軌道１５０’分別連接於第一內部軌道１１０與第一外部軌道１５０，分別形成用於內部搬送機器人２００與外部搬送機器人ＥＲ的移動的搬送路徑。
在這裏，第一內部軌道１１０的露出端部１１１直接與第二內部軌道１１０’的露出端部１１３’接觸。第一外部軌道１５０的露出端部與第二外部軌道１５０’的露出端部當然也直接接觸。這是因為存儲系１３０、１３０’並不阻斷內部軌道１１０、１１０’及外部軌道１５０、１５０’的端部。與此相關，第一內部軌道１１０具有第一存儲系１３０的長度以上的長度，而第二內部軌道１１０’可具有第二存儲系１３０’的長度以上的長度。
由於第一存儲系１３０具有第一出入庫埠１３９，因此第二存儲系１３０’可無需具有出入庫埠。但是在本實施例中第二存儲系１３０’具有第二出入庫埠１３９’。這是在搬送機器人２００搬送物品ＷＣ、ＷＣ’時在搬送速度上能夠提高效率。
根據這種構成，若物品Ａ的量增加超出存儲及處理裝置１００能夠承受的水準，則在天花板追加設置存儲及處理裝置１００’，進而能夠對應增加的物品Ａ’。
這時，由於在第一內部軌道１００連接第二內部軌道１１０’，因此內部搬送機器人２００可沿著內部軌道１１０及１１０’形成的搬送路徑行駛。據此，利用一個內部搬送機器人２００，能夠對應物品Ａ與增加的物品Ａ’。
若在第二存儲系１３０’也具有第二出入庫埠１３９’，則位於第一存儲系１３０的內部搬送機器人２００以無負荷狀態向第二存儲系１３０’移動，從而可在第二出入庫埠１３９’夾持物品Ａ’。之後，內部搬送機器人２００可將物品Ａ’直接下達於第二存儲系１３０’的擱架。
如上所述的在天花板上存儲物品和處理裝置並不被在以上說明的實施例的構成與運作方式限定。上述實施例也可構成為選擇性地組合各個實施例的全部或一部分來進行多種變形。
１００‧‧‧處理裝置
１００’‧‧‧處理裝置
１１０‧‧‧內部軌道
１１０’‧‧‧第二內部軌道
１１１‧‧‧端部
１１３‧‧‧端部
１１３’‧‧‧端部
１５０‧‧‧外部軌道
１５０’‧‧‧第二外部軌道
１５１‧‧‧露出端部
１３０‧‧‧存儲系
１３０’‧‧‧第二存儲系
１３１‧‧‧第一列擱架
１３１ａ‧‧‧供應噴嘴
１３１ｂ‧‧‧排氣噴嘴
１３１ｃ‧‧‧載體感測器
１３２‧‧‧第二列擱架
１３５‧‧‧下部框架
１３６‧‧‧第一柱框架
１３６ａ‧‧‧底部部件
１３６ｂ‧‧‧壁部件
１３７‧‧‧第二柱框架
１３７ａ‧‧‧底部部件
１３７ｂ‧‧‧壁部件
１３９‧‧‧出入庫埠
１３９’‧‧‧第二出入庫埠
１５０‧‧‧外部軌道
１５３‧‧‧露出端部
１７０‧‧‧設置架
１７０’‧‧‧第二設置架
１７１‧‧‧橫向框架
１７３‧‧‧豎向框架
１７５‧‧‧媒介框架
１９０‧‧‧吹掃單元
１９１‧‧‧氣罐
１９２‧‧‧供應閥
１９３‧‧‧供應流量計
１９４‧‧‧氣體篩檢程式
１９５‧‧‧回收泵
１９６‧‧‧排氣閥
１９７‧‧‧排氣流量計
１９９‧‧‧控制器
２００‧‧‧內部搬送機器人
２１０‧‧‧機體
２１１‧‧‧基座部
２１６‧‧‧驅動部
２３０‧‧‧升降驅動單元
２３８‧‧‧滑動軌道
２５０‧‧‧雙方向滑動單元
２７０‧‧‧夾持單元
Ａ‧‧‧物品
Ａ’‧‧‧物品
ＥＲ‧‧‧外部搬送機器人
圖１是根據本發明一實施例的在天花板上存儲物品和處理裝置的立體圖。 圖２是對圖１的裝置的主要部分的側面圖。 圖３是對圖１內部搬送機器人的立體圖。 圖４是用於說明圖３的內部搬送機器人的運作的概念圖。 圖５是用於說明吹掃放置於圖１的擱架的物品的吹掃單元的框圖。 圖６是示出圖１的在天花板上存儲物品和處理裝置的擴張狀態的立體圖。
100‧‧‧處理裝置
110‧‧‧內部軌道
111‧‧‧端部
113‧‧‧端部
151‧‧‧露出端部
130‧‧‧存儲系
131‧‧‧第一列擱架
132‧‧‧第二列擱架
135‧‧‧下部框架
136‧‧‧第一柱框架
136a‧‧‧底部部件
136b‧‧‧壁部件
137‧‧‧第二柱框架
137a‧‧‧底部部件
137b‧‧‧壁部件
139‧‧‧出入庫埠
150‧‧‧外部軌道
153‧‧‧露出端部
170‧‧‧設置架
171‧‧‧橫向框架
173‧‧‧豎向框架
175‧‧‧媒介框架
200‧‧‧內部搬送機器人
A‧‧‧物品
ER‧‧‧外部搬送機器人

Claims (16)

  1. 一種在天花板上存儲和處理物品的裝置，其特徵在於，包括： 內部軌道，懸掛在天花板； 存儲系，懸掛在天花板，並且具有第一列擱架與第二列擱架及出入庫埠，其中第一列擱架與第二列擱架相互面對地配置在內部軌道的兩側方，出入庫埠連接於第一列擱架與第二列擱架中的其中之一； 內部搬送機器人，可移動地連接於內部軌道，並且在第一列擱架及第二列擱架中其中之一與出入庫埠之間搬送物品，內部搬送機器人包括： 雙方向滑動單元，沿著第一列擱架及第二列擱架中的其中之一方向滑動夾持物品的夾持單元；及 升降驅動單元，沿著第一列擱架及第二列擱架的高度方向升降驅動雙方向滑動單元。
  2. 如請求項1所述之在天花板上存儲和處理物品的裝置，該內部軌道包括： 露出端部，其沿著內部軌道的延長方向未被存儲系阻斷。
  3. 如請求項1所述的在天花板上存儲和處理物品的裝置，該存儲系包括： 下部框架； 第一柱框架，直立在下部框架上，並設置第一列擱架；及 第二柱框架，與第一柱框架間隔地直立在下部框架上，並設置第二列擱架。
  4. 如請求項3所述之在天花板上存儲和處理物品的裝置，該第一柱框架及第二柱框架中的至少一個包括： 底部部件，支撐第一列擱架或第二列擱架；及 一對壁部件，分別結合於底部部件的兩端部，沿著與底部部件形成的平面交叉的方向配置。
  5. 如請求項4所述之在天花板上存儲和處理物品的裝置，該底部部件包括構成多個層的多個底部，第一列擱架或第二列擱架包括對應於多個底部而構成多個層的多個擱架。
  6. 如請求項1所述之在天花板上存儲和處理物品的裝置，還包括： 外部軌道，設置在存儲系的外側，以使其經過出入庫埠的上側，並將搬送路徑提供給外部搬送機器人，搬送路徑將物品搬送於出入庫埠。
  7. 如請求項6所述之在天花板上存儲和處理物品的裝置，該外部軌道包括： 露出端部，沿著外部軌道的延長方向，延長至第一列擱架及第二列擱架的端部以上。
  8. 如請求項6所述之在天花板上存儲和處理物品的裝置，還包括： 設置架，懸掛在天花板，由內部軌道、存儲系及外部軌道構成為連接於設置架並懸掛在天花板。
  9. 如請求項8所述之在天花板上存儲和處理物品的裝置，該設置架包括多個橫向框架及豎向框架，由多個橫向框架及豎向框架形成格子構造。
  10. 如請求項1所述之在天花板上存儲和處理物品的裝置，該內部搬送機器人還包括： 驅動部，可移動地懸掛在內部軌道； 機體，具有被驅動部驅動的基座，升降驅動單元包括設置在基座的升降軌道，雙方向滑動單元為，設置在升降驅動單元，並沿著升降軌道以基座的高度方向升降。
  11. 如請求項1所述之在天花板上存儲和處理物品的裝置，還包括： 吹掃單元，對安裝在第一列擱架及第二列擱架的物品供應吹掃氣體。
  12. 如請求項11所述之在天花板上存儲和處理物品的裝置，該吹掃單元包括： 氣罐，連通於物品，並將吹掃氣體供應於物品； 回收泵，連通於物品，並回收供應於物品的吹掃氣體；及 控制器，若對物品供應吹掃氣體之後經過已設定時間，則運行回收泵。
  13. 一種在天花板上存儲和處理物品的裝置，包括： 第一存儲系，懸掛在天花板，並具有兩列的擱架以及連接於兩列的擱架的第一出入庫埠； 第二存儲系，懸掛在天花板，並具有兩列的擱架，並且與第一存儲系接連配置； 第一內部軌道，懸掛在天花板，並且配置在述第一存儲系的兩列擱架之間； 第二內部軌道，懸掛在天花板，並配置在第二存儲系的兩列隔板之間，並與第一內部軌道一同形成搬送路徑；及 內部搬送機器人，為了在第一存儲系的兩列擱架及第二存儲系的兩列擱架中的其中之一與出入庫埠之間搬送物品，沿著搬送路徑進行移動，內部搬送機器人包括： 雙方向滑動單元，雙方向滑動夾持物品的夾持單元； 升降驅動單元，升降驅動雙方向滑動單元。
  14. 如請求項13所述之在天花板上存儲和處理物品的裝置，該第一內部軌道具有第一存儲系的長度以上的長度，該第二內部軌道具有第二存儲系的長度以上的長度。
  15. 如請求項13所述之在天花板上存儲和處理物品的裝置，該第一存儲系的兩列擱架與第二存儲系的兩列擱架分別包括構成多個層的擱架。
  16. 如請求項13所述之在天花板上存儲和處理物品的裝置，該第二存儲系還包括：第二出入庫埠，連接於第二存儲系的兩列擱架。
TW105107905A 2015-03-16 2016-03-15 在天花板上存儲和處理物品的裝置 TWI588073B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150036080A KR101609338B1 (ko) 2015-03-16 2015-03-16 웨이퍼 캐리어를 천정에 보관하고 처리하는 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201634363A true TW201634363A (zh) 2016-10-01
TWI588073B TWI588073B (zh) 2017-06-21

Family

ID=55800396

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW105107905A TWI588073B (zh) 2015-03-16 2016-03-15 在天花板上存儲和處理物品的裝置

Country Status (4)

Country Link
US (2) US10141213B2 (zh)
KR (1) KR101609338B1 (zh)
CN (1) CN105984687B (zh)
TW (1) TWI588073B (zh)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109911483A (zh) * 2019-02-18 2019-06-21 意欧斯智能科技股份有限公司 一种移动机器人自动存储和拣选系统
CN114667260B (zh) * 2019-11-12 2024-06-28 村田机械株式会社 悬挂式搬送车及保管系统
TWI714472B (zh) * 2020-03-12 2020-12-21 力晶積成電子製造股份有限公司 晶圓載具運輸系統
US12110178B2 (en) * 2020-07-17 2024-10-08 Intelligrated Headquarters, Llc High density storage and retrieval system
WO2022102264A1 (ja) * 2020-11-12 2022-05-19 村田機械株式会社 保管棚
KR20230033188A (ko) * 2021-08-30 2023-03-08 삼성전자주식회사 웨이퍼 보관 시스템
KR102388037B1 (ko) * 2021-10-19 2022-04-20 크린팩토메이션 주식회사 웨이퍼 캐리어 보관용 다단 천장 버퍼 및 그를 포함하는 천장 버퍼 시스템

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3669057B2 (ja) * 1996-06-03 2005-07-06 アシスト シンコー株式会社 ストッカへの搬送システム
US6506009B1 (en) * 2000-03-16 2003-01-14 Applied Materials, Inc. Apparatus for storing and moving a cassette
JP2001335116A (ja) * 2000-05-25 2001-12-04 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd コンテナ貯蔵装置
DE502005004445D1 (de) * 2005-01-13 2008-07-31 Keuro Besitz Gmbh & Co Hebevorrichtung für Boote
FI126245B (fi) * 2005-03-09 2016-08-31 Konecranes Finland Oy Menetelmä paletittoman tavarakollin sijoittamiseksi ja luovuttamiseksi varastohyllystä ja kollien logistiikan hallitsemiseksi sekä laitteisto menetelmän toteuttamiseksi
JP4394027B2 (ja) 2005-04-05 2010-01-06 村田機械株式会社 天井走行車システム
JP2008019017A (ja) * 2006-07-11 2008-01-31 Asyst Technologies Japan Inc 物品収納装置
US7850412B2 (en) * 2006-09-25 2010-12-14 Bec Companies, Inc. Overhead boat storage system
CN101236887A (zh) * 2007-01-30 2008-08-06 力晶半导体股份有限公司 半导体制造的共用仓储储位的处理系统与方法
JP5088468B2 (ja) * 2007-03-09 2012-12-05 村田機械株式会社 懸垂式搬送台車を用いた搬送システム
JP2009051600A (ja) * 2007-08-24 2009-03-12 K-Force International:Kk ストッカー装置
JP5228504B2 (ja) * 2008-01-24 2013-07-03 村田機械株式会社 保管庫及び入出庫方法
JP2011029550A (ja) * 2009-07-29 2011-02-10 Muratec Automation Co Ltd 搬送システム及びその設定方法
KR101173120B1 (ko) * 2009-11-23 2012-08-14 주식회사 신성에프에이 천정 주행차 시스템
US9701431B2 (en) 2011-05-25 2017-07-11 Murata Machinery, Ltd. Load port device, transport system, and container carrying out method
CN104603032B (zh) * 2012-08-21 2016-12-07 村田机械株式会社 具备清洗功能的储料器、储料器单元以及洁净气体的供给方法
KR101434951B1 (ko) * 2013-09-30 2014-08-28 크린팩토메이션 주식회사 흡기형 웨이퍼 천정 보관 장치 및 그를 구비하는 흡기형 웨이퍼 보관 시스템

Also Published As

Publication number Publication date
KR101609338B1 (ko) 2016-04-05
US10453724B2 (en) 2019-10-22
TWI588073B (zh) 2017-06-21
US20180211857A1 (en) 2018-07-26
US20160272422A1 (en) 2016-09-22
US10141213B2 (en) 2018-11-27
CN105984687B (zh) 2019-03-22
CN105984687A (zh) 2016-10-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI588073B (zh) 在天花板上存儲和處理物品的裝置
JP5700119B2 (ja) ロードポート装置、搬送システム、及びコンテナ搬出方法
TWI622473B (zh) 傳輸物品的機器人
TWI388479B (zh) Warehousing
TWI610866B (zh) 物品保管設備
TWI450850B (zh) 保管庫、保管庫組以及具保管庫之搬運系統
JP5598734B2 (ja) 物品保管設備
CN108290687B (zh) 保管装置以及输送系统
US20090022575A1 (en) Article storing apparatus
TW200418697A (en) Processing and keeping apparatus
TW201704120A (zh) 多層棚及使用其的高架行走車系統
JP4348520B2 (ja) 搬送システム
JP2021077691A (ja) 基板処理装置及び基板収納容器保管方法
US11460766B2 (en) Article storage facility
JP6809612B2 (ja) 自動倉庫システム、及び自動倉庫システムの制御方法
JP2020512964A (ja) 垂直搬送装置を備える保管システム
JP7327425B2 (ja) 搬送設備
JP2019085210A (ja) 搬送装置及び搬送方法
TWM504347U (zh) 晶圓儲存裝置
JPH0640513A (ja) 荷保管設備
JPH0640514A (ja) 棚設備