CN105984687B - 在天花板上存储和处理物品的装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供在天花板上存储和处理物品的装置，其包括：内部轨道，悬挂在天花板；存储系，悬挂在所述天花板，并且具有第一列搁架与第二列搁架及出入库端口，其中所述第一列搁架与第二列搁架相互面对地配置在所述内部轨道的两侧方，出入库端口连接于所述第一列搁架与第二列搁架中的其中之一；及内部搬送机器人，可移动地连接于所述内部轨道，并且在所述第一列搁架及所述第二搁架中其中之一与所述出入库端口之间搬送物品。所述内部搬送机器人包括：双方向滑动单元，沿着所述第一列搁架及所述第二列搁架中的其中之一方向滑动夹持所述物品的所述夹持单元；及升降驱动单元，沿着所述第一列搁架及所述第二列搁架的高度方向升降驱动所述双方向滑动单元。

Description

在天花板上存储和处理物品的装置
技术领域
本发明涉及在天花板上存储和处理物品的装置。
背景技术
一般地说，在半导体制造工艺中生产晶圆，并将生产出的晶圆投入到下一生产步骤来制造半导体封装。
这时，生产出的晶圆不会被直接投入到下一步骤，而是被存储预定时间之后，根据需要按顺序移动至下一步骤。所以需要用于存储正在待机的晶圆的设备。上述用于存储的设备设置在工厂的地面上，因此存在占据空间大的问题。
作为这种问题的解决方案，有在移送晶圆的机器人的行驶路径周边设置晶圆临时存储设施的情况。
但是，这种临时存储设施只提供暂时存储少量的晶圆的水准的作用。并且，对临时存储设施装载/卸载晶圆的一个机器人，因为与行驶所述机器人的行驶路径的其他机器人干涉而无法自由移动。并且，对应于晶圆量的增加，很难扩张临时存储设施。
发明内容
(要解决的问题)
本发明的一目的在于提供在天花板上存储物品和处理装置，能够将大量的物品单独存储在天花板侧并进行处理。
本发明的另一目的在于提供在天花板上存储物品和处理装置，对应于物品量的增加，容易扩张用于存储及处理的设施。
(解决问题的手段)
为了达成上述目的，根据本发明一方面的在天花板上存储物品和处理装置包括：内部轨道，悬挂在天花板；存储系，悬挂在所述天花板，并且具有第一列搁架与第二列搁架及出入库端口，其中所述第一列搁架与第二列搁架相互面对地配置在所述内部轨道的两侧方，出入库端口连接于所述第一列搁架与第二列搁架中的其中之一；内部搬送机器人，可移动地连接于所述内部轨道，并且在所述第一列搁架及所述第二列搁架中其中之一与所述出入库端口之间搬送物品。所述内部搬送机器人可包括：双方向滑动单元，沿着所述第一列搁架及所述第二列搁架中的其中之一方向滑动夹持所述物品的所述夹持单元；及升降驱动单元，沿着所述第一列搁架及所述第二列搁架的高度方向升降驱动所述双方向滑动单元。
在这里，可包括露出端部，沿着所述内部轨道的延长方向未被所述存储系阻断。
在这里，所述存储系还可包括：下部支架；第一柱框架，直立在所述下部框架上，并设置所述第一列搁架；及第二柱框架，与所述第一柱框架间隔地直立在所述下部框架上，并设置所述第二列搁架。
在这里，所述第一柱框架及第二柱框架中的至少一个可包括：底部部件，支撑所述第一列搁架或所述第二列搁架；及一对壁部件，分别结合于所述底部部件的两端部，沿着与所述底部部件形成的平面交叉的方向配置。
在这里，所述底部部件包括构成多个层的多个底部，所述第一列搁架或所述第二列搁架可包括对应于所述多个底部而构成多个层的多个搁架。
在这里，还可具有外部轨道，所述外部轨道设置在所述存储系的外侧，以使其经过所述出入库端口的上侧，并将搬送路径提供给外部搬送机器人，所述搬送路径将所述物品搬送于所述出入库端口。
在这里，所述外部轨道可包括露出端部，所述露出端部沿着所述外部轨道的延长方向，延长至所述第一列搁架及所述第二列搁架的端部以上。
在这里，还具有悬挂在所述天花板的设置架，并且所述内部轨道、所述存储系及所述外部轨道构成为连接于所述设置架并悬挂在所述天花板。
在这里，所述设置架包括多个横向框架及竖向框架，所述多个横向框架及竖向框架可形成格子构造。
在这里，所述内部搬送机器人还包括：驱动部，可移动地悬挂在所述内部轨道；机体，具有被所述驱动部驱动的基座。所述升降驱动单元包括设置在所述基座的升降轨道。所述双方向滑动单元为，设置在所述升降驱动单元，并沿着所述升降轨道以所述基座的高度方向升降。
在这里，还具有吹扫单元，所述吹扫单元对安装在所述第一列搁架及所述第二列搁架的所述物品供应吹扫气体。
在这里，所述吹扫单元可包括：气罐，连通于所述物品，并将所述吹扫气体供应于所述物品；回收泵，连通于所述物品，并回收供应于所述物品的吹扫气体；及控制器，若对所述物品供应所述吹扫气体之后经过已设定时间，则运行所述回收泵。
在这里，根据本发明另一方面的在天花板上存储和处理物品的装置，包括：第一存储系，悬挂在天花板，并具有两列的搁架与连接于所述两列的搁架的第一出入库端口；第二存储系，悬挂在天花板，并具有两列的搁架，并且与所述第一存储系接连配置；第一内部轨道，悬挂在天花板，并且配置在所述第一存储系的两列搁架之间；第二内部轨道，悬挂在天花板，并配置在所述第二存储系的两列隔板之间，并与所述第一内部轨道一同形成搬送路径；及内部搬送机器人，为了在所述第一存储系的两列搁架及所述第二存储系的两列搁架中的其中之一与所述出入库端口之间搬送物品，沿着所述搬送路径进行移动。所述内部搬送机器人可包括：双方向滑动单元，双方向滑动夹持所述物品的夹持单元；升降驱动单元，升降驱动所述双方向滑动单元。
在这里，所述第一内部轨道具有所述第一存储系的长度以上的长度，所述第二内部轨道具有所述第二存储系的长度以上的长度。
在这里，所述第一存储系的两列搁架与所述第二存储系的两列搁架分别可包括构成多个层的搁架。
在这里，所述第二存储系还可包括第二出入库端口，所述第二出入库端口连接于所述第二存储系的两列搁架。
(发明的效果)
根据如上所述构成的本发明相关的在天花板上存储物品和处理装置，能够在天花板侧单独存储并处理大量的物品，因此能够获得空间利用率及提高的物品处理能力。
并且，对应于物品量的增加，能够容易地扩张用于存储及处理的设施。
附图说明
图1是根据本发明一实施例的在天花板上存储物品和处理装置100的立体图。
图2是对图1的装置100的主要部分的侧面图。
图3是对图1内部搬送机器人200的立体图。
图4是用于说明图3的内部搬送机器人200的运作的概念图。
图5是用于说明吹扫放置于图1的搁架131、132的物品A的吹扫单元190的框图。
图6是示出图1的在天花板上存储物品和处理装置100的扩张状态的立体图。
具体实施方法
以下，参照附图详细说明根据本发明优选实施例的在天花板上存储物品和处理装置。在本说明书中就算是相互不同的实施例，对于相同、类似的构成赋予相同、类似的参照符号，并由最初的说明来代替。
图1是根据本发明一实施例的在天花板上存储物品和处理装置100的立体图，图2是对图1的装置100的主要部分的侧面图。
参照图面，在天花板上存储物品和处理装置100可具有内部轨道110、存储系130、外部轨道150、设置架170及内部搬送机器人200。
内部轨道110为可行驶地支撑内部搬送机器人200的构成。内部轨道110大致为杆(bar)形状，形成内部搬送机器人200的行驶路径(搬送路径)。据此，内部轨道110也可称为行驶轨道。
内部轨道110可具有对应于待后述的第一列搁架131及第二列搁架132的高度。例如，内部轨道110的两端部111、113为延长至第一列搁架131及第二列搁架132的两端部以上，两端部111、113可称为露出端部。因此，露出端部111、113沿着内部轨道110的延长方向未被第一列搁架131及第二列搁架132阻断。
并且，内部轨道110悬挂在天花板。在本实施例中，内部轨道110连接于待后述的设置架170并被悬挂在天花板。
存储系130为存储物品A，例如存储在半导体工厂中使用的晶圆传送盒(FOUP)的构成。存储系130构成为悬挂在天花板。存储系130可具有第一列搁架131、第二例搁架132、下部框架135、第一柱框架136、第二柱框架137及出入库端口139。
第一列搁架131与第二列搁架132为在内部轨道110的两侧相互面对配置的搁架。第一列搁架131与第二列搁架132相互间隔能够使内部搬送机器人200通过的间隔距离。第一列搁架131与第二例搁架132分别可由多个个别的搁架构成。各个个别的搁架可具有对应于一个物品A的尺寸。
下部框架135可构成存储系130的最低部分。下部框架135整体可具有四角形的形状。下部框架135可沿着内部轨道110的延长方向延长形成。下部框架135为第一列搁架131与第二列搁架132相互连接的媒介。
第一柱框架136与第二柱框架137能够以相互间隔状态直立在下部框架135的两个边缘位置侧。这时，在第一柱框架136可设置第一列搁架131，在第二柱框架137可设置第二列搁架132。
第一柱框架136与第二柱框架137可具有底部部件136a、137a与壁部件136b、137b部件。
底部部件136a、137a为支撑第一列搁架131或第二列搁架132的构成。底部部件136a、137a可沿着内部轨道110的延长方向延长。这种底部部件136a、137a可具有多个个别的底部，以使底部部件136a、137a配置为构成多个层。对应于此，第一列搁架131或第二列搁架132也可具有对应于多个层的底部部件136a、137a而构成多个层的个别搁架。
壁部件136b、137b形成一对分别结合于底部部件136a、137a的两端部，并且坚固地支撑底部部件136a、137a。壁部件136b、137b沿着与形成底部部件136a、137a的平面交叉的方向配置。
出入库端口139为在第一列搁架131中一部分中凸出配置在外部轨道150下侧的构成。在出入库端口139临时放置待放置于第一列搁架131或第二列搁架132的物品A或从于第一列搁架131或第二列搁架132拿出来的物品A。
外部轨道150为设置在存储系130的外部并且使其经过出入库端口139的上侧而配置的构成。外部轨道150为在对应于存储系130的区域中可大致与内部轨道110平行地进行设置。在外部轨道150可移动地设置与内部搬送机器人200关联而运行的外部搬送机器人ER。外部轨道150可具有沿着其延长方向并延长至第一列搁架131或第二列搁架132的端部以上的露出端部151、153。
设置架170为悬挂在天花板的构成。在设置架170可连接内部轨道110、存储系130及外部轨道150。
设置架170可具有横向框架171与竖向框架173。横向框架171与竖向框架173以相互交叉的方向配置并且可形成格子构造。并且，设置架170还可具有结合于竖向框架173的媒介框架175。媒介框架175作为连接内部轨道110的对象，由内部搬送机器人200的行驶产生的震动通过竖向框架173等不会直接传达于存储系130。
根据这种构成，设置架170利用连接棒(未图示)等连接于天花板。在这一状态下，在设置架170可连接内部轨道110、存储系130及外部轨道150。在内部轨道110可行驶地设置内部搬送机器人200，在外部轨道150当然也可行驶地设置外部搬送机器人ER。内部搬送机器人200在第一柱框架136与第二柱框架137之间移动。
物品A被外部搬送机器人ER搬送并下达至出入库端口139。内部搬送机器人200夹住其物品A下达于第一列搁架131或第二列搁架132中的其中之一，据此物品A被存储在存储系130并且可进行吹扫处理(Purge)等。
相反，存储系130内的物品A一端先被内部搬送机器人200装载向出入库端口139移动之后，下达于出入库端口139。在这一过程中，内部搬送机器人200当然沿着内部轨道110移动。放置于出入库端口139的物品A被外部搬送机器人ER夹持并且可被搬送至其他位置。据此，物品A会脱离存储系130。
内部搬送机器人200能够对应于相互面对的第一列搁架131与第二列搁架132来进行作业。具体地说，内部搬送机器人200可将物品A全部下达放置于第一列搁架131与第二列搁架132，或者可从第一列搁架131与第二列搁架132夹持物品A。
根据具有这种内部搬送机器人200，存储系130可构成为集成式，在一个内部轨道110的两侧分别配置第一列搁架131与第二列搁架132。并且，第一列搁架131及第二列搁架132各自可由多个层构成，因此能够集成存储更多的物品A。
并且，由于具有内部轨道110及沿着内部轨道110行驶的内部搬送机器人200及出入库端口139，因此构成对物品A的存储及处理系统。这种系统可与沿着外部轨道150行驶的外部搬送机器人ER独立地进行运行。
参照图3及图4说明以上的内部半送机器人200。
图3是对图1内部搬送机器人200的立体图，图4是用于说明图3的内部搬送机器人200的运作的概念图。
参照图面，内部半送机器人200可具有机体210、升降驱动单元230、双方向滑动单元250与夹持单元270。
机体210可具有基座部211与驱动部216。基座部211为设置升降驱动单元230等的部分。驱动部216为设置在基座部211并悬挂在内部轨道110(图1)的部分。驱动部216具有滚动内部轨道216的滚轮。
升降驱动单元230为沿着基座部211或第一列搁架131与第二列搁架132(以上参照图1)的高度方向升降双方向滑动单元250的构成。为此，升降驱动单元230可具有发动机、联动于所述发动机的旋转的传送带。所述双方向滑动单元250连接于所述传送带并且可被滑动轨道238支撑进行升降。
双方向滑动单元250为，设置在升降驱动单元230并且以基座部211为基准向两侧方向滑动的构成。为了双方向滑动单元250的滑动，双方向滑动单元250可由多个板件构成。这时，所述多个板件的滑动方向可以是向着第一列搁架131与第二列搁架132中的其中之一。
夹持单元270为连接于双方向滑动单元250的自由端侧并夹持物品A的构成。
根据这种构成，机体210的驱动部216以被内部轨道110支撑的状态沿着内部轨道110行驶。据此，基座部211沿着内部轨道110可在存储系130(图1)的一端移动至另一端。
在基座部211到达第一列搁架131与第二列搁架132中的其中之一的设定位置的情况下，双方向滑动单元250使夹持单元270向已设定的物品A滑动。
这时，如果物品A位于比夹持单元270更高或更低的位置的情况，则根据升降驱动单元230的运作可改变双方向滑动单元250的高度。
在双方向滑动单元250位于对应于物品A的高度的情况下，双方向滑动单元250滑动的同时夹持单元270被放置于物品A的上侧。之后，加持单元270可进行运作来夹持物品A。
结果，夹持单元270在本实施例中在诸如左上位置(LU)、左下位置(LD)、右上位置(RU)、右下位置(RD)夹持物品A或将物品A放置于这四个位置。
与上述相反，在将放置于第一例搁架131或第二列搁架132的物品A拿到存储系130外部的情况下，内部搬送机器人200进行与上述大致相反的运作。
以下，参照图5说明夹持放置于第一列搁架131与第二列搁架132的物品A。
图5是用于说明吹扫放置于图1的搁架131、132的物品A的吹扫单元190的框图。
首先，在搁架131、132(以下，只记载131)可设置供应喷嘴131a、排气喷嘴131b、载体传感器131c。供应喷嘴131a与排气喷嘴131b设置在搁架131的上面侧与物品A的内部连通。载体传感器131c设置在搁架131的上面侧，掌握物品A是否位于搁架131的状态。
为了对以上物品A进行吹扫，还可具有吹扫单元190。吹扫单元190可具有气罐191、回收泵195及控制器199。
气罐191为连通于物品A向物品A内供应吹扫气体的构成。具体地说，在气罐191中向供应喷嘴131a流动吹扫气体中，可经过供应阀192、供应流量计193及气体过滤器194。
供应阀192形成为开闭用于吹扫气体的供应流动的流路。供应阀192作为电动阀，根据电气性信号执行用于开闭的动作。供应流量计193配置在供应阀192与供应喷嘴131a之间，按照已设定的流量调节向所述供应喷嘴131a的所述气体的流量。气体过滤器194为，设置在供应流量计193与供应喷嘴131a之间，并且过滤通过供应喷嘴131a向物品A内供应的所述气体中的异物质。在这里，供应阀192及供应流量计193可由数字质量流量计(Mass FlowController)合并。在这情况下，数字质量流量计可根据时间设置气体的供应量，并且可被电脑电子控制。
回收泵195为连通于物品A强制回收供应于物品A的吹扫气体的构成。具体地说，在回收喷嘴131b中吹扫气体向回收泵195流动中，可经过排气阀196及排气流量计197。
回收阀196形成为开闭用于吹扫气体的排气流动的流路。回收阀196作为电动阀，根据电气性信号进行开闭动作。回收流量计197为，配置在回收阀196与回收喷嘴131b之间，按照已设定的流量通过所述回收喷嘴131b调节向物品A外部回收的所述气体的流量。
控制器199控制气罐191的开闭与回收泵195的运作。控制器199从供应流量计193与回收流量计197及载体传感器131c接收各种信息，进而可控制供应阀192与回收阀196的动作。
例如，控制器199根据在供应流量计193测量的供应流量与在回收流量计197测量的回收流量的差异，可控制供应阀192与回收阀196的开闭。具体地说，在所述供应流量中减去所述回收流量，计算出填充于物品A内的所述气体的量。若所述已填充的气体量低于基准的量，则供应阀192在开放的状态下可关闭回收阀196。相反，若所述已充填的气体的量超出基准的量，则供应阀192在关闭的状态下可开放回收阀196。
在以上中，根据控制器199的回收阀196的开放及回收泵196的运行，在供应阀192的开放之后经过设定时间之后进行。这能够对吹扫气体进行能动性的回收。据此，使物品A被吹扫气体吹扫，同时也能够减少根据吹扫气体持续停留在物品A内引起的晶圆的氧化或因为吹扫气体的泄露引起的作业场空气污染。
并且，控制器199根据载体感应传感器131c的感应结果可控制供应阀192及/或回收阀196的开闭。具体地说，在感应载体传感器131c感应物品A存在于搁架131上的情况下，可开放供应阀192。控制器199为，若控制供应阀192的开放之后经过预定时间在物品A内填充预定量的所述气体，则可控制回收阀196的开放。
以下，参照图6说明在天花板上存储物品和处理装置100的扩张系统。
图6是示出图1的在天花板上存储物品和处理装置100的扩张状态的立体图。
参照图面(及图1)，所述扩张系统为在上述说明的存储及处理装置100追加结合包装及处理装置100’的形态。追加的存储及处理装置100’相比于存储及处理装置100在不具有内部搬送机器人200上存在区别点。
在存储及处理装置100中，内部轨道110、存储系130、外部轨道150及设置架170分别为了与追加的存储及处理装置100’区分，可称为第一内部轨道110、第一存储系130、第一外部轨道150、第一设置架170。
据此，追加的存储及处理装置100’可具有第二内部轨道110’、第二存储系130’、第二外部轨道150’、第二设置架170’。这些与存储及处理装置100对应的构成大致相同。
在上述扩张系统中，第二设置架170’与第二存储系130’可分别接连第一设置架170及第一存储系130地进行配置。并且，第二内部轨道110’与第二外部轨道150’分别连接于第一内部轨道110与第一外部轨道150，分别形成用于内部搬送机器人200与外部搬送机器人ER的移动的搬送路径。
在这里，第一内部轨道110的露出端部111直接与第二内部轨道110’的露出端部113’接触。第一外部轨道150的露出端部与第二外部轨道150’的露出端部当然也直接接触。这是因为存储系130、130’并不阻断内部轨道110、110’及外部轨道150、150’的端部。与此相关，第一内部轨道110具有第一存储系130的长度以上的长度，而第二内部轨道110’可具有第二存储系130’的长度以上的长度。
由于第一存储系130具有第一出入库端口139，因此第二存储系130’可无需具有出入库端口。但是在本实施例中第二存储系130’具有第二出入库端口139’。这是在搬送机器人200搬送物品WC、WC’时在搬送速度上能够提高效率。
根据这种构成，若物品A的量增加超出存储及处理装置100能够承受的水准，则在天花板追加设置存储及处理装置100’，进而能够对应增加的物品A’。
这时，由于在第一内部轨道110连接第二内部轨道110’，因此内部搬送机器人200可沿着内部轨道110及110’形成的搬送路径行驶。据此，利用一个内部搬送机器人200，能够对应物品A与增加的物品A’。
若在第二存储系130’也具有第二出入库端口139’，则位于第一存储系130的内部搬送机器人200以无负荷状态向第二存储系130’移动，从而可在第二出入库端口139’夹持物品A’。之后，内部搬送机器人200可将物品A’直接下达于第二存储系130’的搁架。
如上所述的在天花板上存储物品和处理装置并不被在以上说明的实施例的构成与运作方式限定。上述实施例也可构成为选择性地组合各个实施例的全部或一部分来进行多种变形。

Claims (14)

1.一种在天花板上存储和处理物品的装置，其特征在于，包括：
内部轨道，悬挂在天花板；
存储系，悬挂在所述天花板，并且具有第一列搁架与第二列搁架及出入库端口，其中所述第一列搁架与第二列搁架相互面对地配置在所述内部轨道的两侧方，出入库端口连接于所述第一列搁架与第二列搁架中的其中之一；
内部搬送机器人，可移动地连接于所述内部轨道，并且在所述第一列搁架及所述第二列搁架中其中之一与所述出入库端口之间搬送物品，以及吹扫单元，对安装在所述第一列搁架及所述第二列搁架的所述物品供应吹扫气体；
其中，所述内部搬送机器人包括：
机体，包括可移动地悬挂在所述内部轨道的驱动部，以及连接到所述驱动部的基座部；
夹持单元，夹持所述物品；
双方向滑动单元，沿着所述第一列搁架及所述第二列搁架中的其中之一方向滑动所述夹持单元；及
升降驱动单元，安装在所述基座部，并沿着所述第一列搁架及所述第二列搁架的高度方向升降驱动所述双方向滑动单元；
其中，所述吹扫单元包括：
气罐，连通于所述物品，并将所述吹扫气体供应于所述物品；
回收泵，连通于所述物品，并回收供应于所述物品的吹扫气体；及
控制器，若对所述物品供应所述吹扫气体之后经过已设定时间，则运行所述回收泵。
2.根据权利要求1所述的在天花板上存储和处理物品的装置，其特征在于，
所述内部轨道包括：
露出端部，其沿着所述内部轨道的延长方向未被所述存储系阻断。
3.根据权利要求1所述的在天花板上存储和处理物品的装置，其特征在于，
所述存储系包括：
下部支架；
第一柱框架，直立在下部框架上，并设置所述第一列搁架；及
第二柱框架，与所述第一柱框架间隔地直立在所述下部框架上，并设置所述第二列搁架。
4.根据权利要求3所述的在天花板上存储和处理物品的装置，其特征在于，
所述第一柱框架及第二柱框架中的至少一个包括：
底部部件，支撑所述第一列搁架或所述第二列搁架；及
一对壁部件，分别结合于所述底部部件的两端部，沿着与所述底部部件形成的平面交叉的方向配置。
5.根据权利要求4所述的在天花板上存储和处理物品的装置，其特征在于，
所述底部部件包括构成多个层的多个底部，
所述第一列搁架或所述第二列搁架包括对应于所述多个底部而构成多个层的多个搁架。
6.根据权利要求1所述的在天花板上存储和处理物品的装置，其特征在于，还包括：
外部轨道，设置在所述存储系的外侧，以使其经过所述出入库端口的上侧，并将搬送路径提供给外部搬送机器人，所述搬送路径将所述物品搬送于所述出入库端口。
7.根据权利要求6所述的在天花板上存储和处理物品的装置，其特征在于，
所述外部轨道包括：
露出端部，沿着所述外部轨道的延长方向，延长至所述第一列搁架及所述第二列搁架的端部以上。
8.根据权利要求6所述的在天花板上存储和处理物品的装置，其特征在于，还包括：
设置架，悬挂在所述天花板，
所述内部轨道、所述存储系及所述外部轨道构成为连接于所述设置架并悬挂在所述天花板。
9.根据权利要求8所述的在天花板上存储和处理物品的装置，其特征在于，
所述设置架包括多个横向框架及竖向框架，
所述多个横向框架及竖向框架形成格子构造。
10.根据权利要求1所述的在天花板上存储和处理物品的装置，其特征在于，
所述升降驱动单元包括设置在所述基座部的升降轨道，
所述双方向滑动单元为，设置在所述升降驱动单元，并沿着所述升降轨道以所述基座部的高度方向升降。
11.一种在天花板上存储和处理物品的装置，其特征在于，包括：
第一存储系，悬挂在天花板，并具有两列的搁架以及连接于所述两列的搁架的第一出入库端口；
第二存储系，悬挂在天花板，并具有两列的搁架，并且与所述第一存储系接连配置；
第一内部轨道，悬挂在天花板，并且配置在所述第一存储系的两列搁架之间；
第二内部轨道，悬挂在天花板，并配置在所述第二存储系的两列隔板之间，并与所述第一内部轨道一同形成搬送路径；及
内部搬送机器人，为了在所述第一存储系的两列搁架及所述第二存储系的两列搁架中的其中之一与所述出入库端口之间搬送物品，沿着所述搬送路径进行移动，以及
吹扫单元，对物品供应吹扫气体；
其中，所述内部搬送机器人包括：
机体，包括可移动地悬挂在所述内部轨道的驱动部，以及连接到所述驱动部的基座部；
夹持单元，夹持所述物品；
双方向滑动单元，双方向滑动所述夹持单元；
升降驱动单元，安装在所述基座部，并升降驱动所述双方向滑动单元；
其中，所述吹扫单元包括：
气罐，连通于所述物品，并将所述吹扫气体供应于所述物品；
回收泵，连通于所述物品，并回收供应于所述物品的吹扫气体；及
控制器，若对所述物品供应所述吹扫气体之后经过已设定时间，则运行所述回收泵。
12.根据权利要求11所述的在天花板上存储和处理物品的装置，其特征在于，
所述第一内部轨道具有所述第一存储系的长度以上的长度，
所述第二内部轨道具有所述第二存储系的长度以上的长度。
13.根据权利要求11所述的在天花板上存储和处理物品的装置，其特征在于，
所述第一存储系的两列搁架与所述第二存储系的两列搁架分别包括构成多个层的搁架。
14.根据权利要求11所述的在天花板上存储和处理物品的装置，其特征在于，
所述第二存储系还包括：
第二出入库端口，连接于所述第二存储系的两列搁架。
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