JP2019132907A5

JP2019132907A5 - 投影光学系、露光装置、物品の製造方法及び調整方法

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Publication number: JP2019132907A5
Application number: JP2018012947A
Authority: JP
Filing date: 2018-01-29
Publication date: 2021-02-12
Anticipated expiration: 2038-01-29

Description

本発明は、投影光学系、露光装置、物品の製造方法及び調整方法に関する。

上記目的を達成するために、本発明の一側面としての投影光学系は、物体面からの光を、第１平面鏡、第１凹面鏡、凸面鏡、第２凹面鏡、第２平面鏡の順に反射して像面に結像させる投影光学系であって、前記物体面と前記第１平面鏡との間に配置され、鉛直方向に定義される第１方向と直交する第２方向における前記投影光学系の倍率を補正する第１光学系と、前記第２平面鏡と前記像面との間に配置され、前記第１方向及び前記第２方向と直交する第３方向における前記投影光学系の倍率を補正する第２光学系と、を有し、前記第１光学系は、前記第１方向に沿って並べられた、前記第２方向及び前記第３方向に異なるパワーを有する第１レンズ及び第２レンズを含み、前記第２光学系は、前記第１方向に沿って並べられた、前記第２方向及び前記第３方向に異なるパワーを有する第３レンズ及び第４レンズを含み、前記第１方向に平行な第１軸まわりに前記第１レンズ及び前記第２レンズの少なくとも一方のレンズを回転させる第１回転部と、前記第１方向に平行な第２軸まわりに前記第３レンズ及び前記第４レンズの少なくとも一方のレンズを回転させる第２回転部と、を更に有することを特徴とする。

Claims

物体面からの光を、第１平面鏡、第１凹面鏡、凸面鏡、第２凹面鏡、第２平面鏡の順に反射して像面に結像させる投影光学系であって、
前記物体面と前記第１平面鏡との間に配置され、鉛直方向に定義される第１方向と直交する第２方向における前記投影光学系の倍率を補正する第１光学系と、
前記第２平面鏡と前記像面との間に配置され、前記第１方向及び前記第２方向と直交する第３方向における前記投影光学系の倍率を補正する第２光学系と、
を有し、
前記第１光学系は、前記第１方向に沿って並べられた、前記第２方向及び前記第３方向に異なるパワーを有する第１レンズ及び第２レンズを含み、
前記第２光学系は、前記第１方向に沿って並べられた、前記第２方向及び前記第３方向に異なるパワーを有する第３レンズ及び第４レンズを含み、
前記第１方向に平行な第１軸まわりに前記第１レンズ及び前記第２レンズの少なくとも一方のレンズを回転させる第１回転部と、
前記第１方向に平行な第２軸まわりに前記第３レンズ及び前記第４レンズの少なくとも一方のレンズを回転させる第２回転部と、
を更に有することを特徴とする投影光学系。
前記第１光学系及び前記第２光学系によって前記投影光学系の倍率を補正することで生じる前記投影光学系の非点収差が低減されるように、前記第１回転部及び前記第２回転部を制御する制御部を更に有することを特徴とする請求項１に記載の投影光学系。
前記制御部は、前記第１レンズ及び前記第２レンズの一方と、前記第３レンズ及び前記第４レンズの一方とを同時に回転させるように、前記第１回転部及び前記第２回転部を制御することを特徴とする請求項２に記載の投影光学系。
前記制御部は、前記第１光学系及び前記第２光学系によって前記投影光学系の倍率を目標値に補正することで生じる前記投影光学系の非点収差を打ち消すために必要となる、前記第１レンズ及び前記第２レンズの一方及び前記第３レンズ及び前記第４レンズの一方のそれぞれの回転量を求め、前記回転量に基づいて前記第１回転部及び前記第２回転部を制御することを特徴とする請求項２又は３に記載の投影光学系。
前記非点収差は、前記第２方向及び前記第３方向から４５度回転した方向の非点収差を含むことを特徴とする請求項２乃至４のうちいずれか１項に記載の投影光学系。
前記第１軸と前記第２軸とは、同一の直線上に存在することを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載の投影光学系。
前記物体面と前記第１平面鏡との間又は前記第２平面鏡と前記像面との間に配置され、前記第２方向及び前記第３方向において同一の倍率で前記投影光学系の倍率を補正する第３光学系を更に有することを特徴とする請求項１乃至６のうちいずれか１項に記載の投影光学系。
前記第１レンズ及び前記第２レンズは、前記第１方向における間隔を変更可能であり、
前記第３レンズ及び前記第４レンズは、前記第１方向における間隔を変更可能であり、
前記第３光学系は、前記第１方向における間隔を変更可能な平凸レンズ及び平凹レンズを含み、
前記投影光学系の倍率が目標値となり、且つ、前記投影光学系の非点収差が目標値となるように、前記第１レンズと前記第２レンズとの前記第１方向における間隔、前記第３レンズと前記第４レンズとの前記第１方向における間隔、前記平凸レンズと前記平凹レンズとの前記第１方向における間隔、前記第１レンズ及び前記第２レンズの一方の回転角、及び、前記第３レンズ及び前記第４レンズの一方の回転角を制御する制御部を更に有することを特徴とする請求項７に記載の投影光学系。
前記物体面及び前記像面においてテレセントリックであることを特徴とする請求項１乃至８のうちいずれか１項に記載の投影光学系。
前記第１レンズ、前記第２レンズ、前記第３レンズ及び前記第４レンズは、シリンドリカルレンズ又はトーリックレンズを含むことを特徴とする請求項１乃至９のうちいずれか１項に記載の投影光学系。
物体面からの光を、第１平面鏡、第１凹面鏡、凸面鏡、第２凹面鏡、第２平面鏡の順に反射して像面に結像させる投影光学系であって、
前記物体面と前記第１平面鏡との間に配置され、鉛直方向に定義される第１方向と直交する第２方向における前記投影光学系の倍率を補正する第１光学系と、
前記第２平面鏡と前記像面との間に配置され、前記第１方向及び前記第２方向と直交する第３方向における前記投影光学系の倍率を補正する第２光学系と、
を有し、
前記第１光学系は、前記第１方向に沿って並べられた、前記第１方向及び前記第２方向に異なるパワーを有する第１レンズ及び第２レンズを含み、
前記第２光学系は、前記第１方向に沿って並べられた、前記第１方向及び前記第２方向に異なるパワーを有する第３レンズ及び第４レンズを含み、
前記第１光学系及び前記第２光学系によって前記投影光学系の倍率を補正することで生じる前記投影光学系の非点収差が低減されるように、前記第１レンズ及び前記第２レンズの少なくとも一方のレンズは、互いが有する前記パワーの方向が一致する基準状態から回転させた状態で配置され、且つ、前記第３レンズ及び前記第４レンズの少なくとも一方のレンズは、互いが有する前記パワーの方向が一致する基準状態から回転させた状態で配置されていることを特徴とする投影光学系。
光源からの光でマスクを照明する照明光学系と、
前記マスクのパターンの像を基板に投影する請求項１乃至１１のうちいずれか１項に記載の投影光学系と、
を有することを特徴とする露光装置。
請求項１２に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
露光した前記基板を現像する工程と、
現像された前記基板から物品を製造する工程と、
を有することを特徴とする物品の製造方法。
物体面からの光を、第１平面鏡、第１凹面鏡、凸面鏡、第２凹面鏡、第２平面鏡の順に反射して像面に結像させる投影光学系であり、前記物体面と前記第１平面鏡との間に配置され、鉛直方向に定義される第１方向と直交する第２方向における前記投影光学系の倍率を補正する第１光学系と、前記第２平面鏡と前記像面との間に配置され、前記第１方向及び前記第２方向と直交する第３方向における前記投影光学系の倍率を補正する第２光学系と、を有する投影光学系の調整方法であって、
前記第１光学系は、前記第１方向に沿って並べられた、前記第２方向及び前記第３方向に異なるパワーを有する第１レンズ及び第２レンズを含み、
前記第２光学系は、前記第１方向に沿って並べられた、前記第２方向及び前記第３方向に異なるパワーを有する第３レンズ及び第４レンズを含み、
前記第１光学系及び前記第２光学系によって前記投影光学系の倍率を補正することで生じる前記投影光学系の非点収差が低減されるように、前記第１方向に平行な第１軸まわりに前記第１レンズ及び前記第２レンズの少なくとも一方のレンズを回転させ、前記第１方向に平行な第２軸まわりに前記第３レンズ及び前記第４レンズの少なくとも一方のレンズを回転させることを特徴とする調整方法。
物体面からの光を、第１平面鏡、第１凹面鏡、凸面鏡、第２凹面鏡、第２平面鏡の順に反射して像面に結像させる投影光学系であり、前記物体面と前記第１平面鏡との間に配置され、鉛直方向に定義される第１方向と直交する第２方向における前記投影光学系の倍率を補正する第１光学系と、前記第２平面鏡と前記像面との間に配置され、前記第１方向及び前記第２方向と直交する第３方向における前記投影光学系の倍率を補正する第２光学系と、を有する投影光学系の調整方法であって、
前記第１光学系は、前記第１方向に沿って並べられた、前記第２方向及び前記第３方向に異なるパワーを有する第１レンズ及び第２レンズを含み、
前記第２光学系は、前記第１方向に沿って並べられた、前記第２方向及び前記第３方向に異なるパワーを有する第３レンズ及び第４レンズを含み、
前記第１光学系及び前記第２光学系によって前記投影光学系の倍率を補正することで生じる前記投影光学系の非点収差が低減されるように、前記第１レンズ及び前記第２レンズの少なくとも一方のレンズを、互いが有する前記パワーの方向が一致する基準状態から回転させた状態で配置し、且つ、前記第３レンズ及び前記第４レンズの少なくとも一方のレンズを、互いが有する前記パワーの方向が一致する基準状態から回転させた状態で配置することを特徴とする調整方法。