JP2019067525A - 表示装置、電子機器、及び表示装置の製造方法 - Google Patents
表示装置、電子機器、及び表示装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019067525A JP2019067525A JP2017188934A JP2017188934A JP2019067525A JP 2019067525 A JP2019067525 A JP 2019067525A JP 2017188934 A JP2017188934 A JP 2017188934A JP 2017188934 A JP2017188934 A JP 2017188934A JP 2019067525 A JP2019067525 A JP 2019067525A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating layer
- lower electrode
- layer
- electrode
- organic layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 17
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 473
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 claims abstract description 180
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 27
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 26
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 22
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 claims description 12
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 22
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 19
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 19
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 12
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 11
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 9
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 9
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 7
- 230000006870 function Effects 0.000 description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 7
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 7
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 7
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 6
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 6
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 6
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 6
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 6
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 5
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 5
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 5
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 5
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 4
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 3
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 3
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 2
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 2
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M lithium fluoride Chemical compound [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010485 coping Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N nobelium Chemical compound [No] ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000002390 rotary evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000010301 surface-oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005019 vapor deposition process Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/122—Pixel-defining structures or layers, e.g. banks
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
- H10K50/11—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
- H10K50/14—Carrier transporting layers
- H10K50/15—Hole transporting layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
- H10K50/17—Carrier injection layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/124—Insulating layers formed between TFT elements and OLED elements
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/12—Passive devices, e.g. 2 terminal devices
- H01L2924/1204—Optical Diode
- H01L2924/12044—OLED
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
- H10K2102/301—Details of OLEDs
- H10K2102/302—Details of OLEDs of OLED structures
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
- H10K2102/301—Details of OLEDs
- H10K2102/302—Details of OLEDs of OLED structures
- H10K2102/3023—Direction of light emission
- H10K2102/3026—Top emission
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
- H10K2102/301—Details of OLEDs
- H10K2102/351—Thickness
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/805—Electrodes
- H10K50/81—Anodes
- H10K50/813—Anodes characterised by their shape
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/805—Electrodes
- H10K50/81—Anodes
- H10K50/818—Reflective anodes, e.g. ITO combined with thick metallic layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K50/844—Encapsulations
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/85—Arrangements for extracting light from the devices
- H10K50/852—Arrangements for extracting light from the devices comprising a resonant cavity structure, e.g. Bragg reflector pair
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/1201—Manufacture or treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/126—Shielding, e.g. light-blocking means over the TFTs
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
- H10K59/35—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
- H10K59/353—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels characterised by the geometrical arrangement of the RGB subpixels
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
- H10K59/38—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising colour filters or colour changing media [CCM]
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/805—Electrodes
- H10K59/8051—Anodes
- H10K59/80515—Anodes characterised by their shape
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/805—Electrodes
- H10K59/8051—Anodes
- H10K59/80518—Reflective anodes, e.g. ITO combined with thick metallic layers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
Description
前記第1下部電極、前記第2下部電極、前記第1有機層、前記第2有機層、及び前記上部電極を通る断面において、前記第2絶縁層は、前記第1上部電極の前記端部の上の第1部分、前記第2下部電極の前記端部の上の第2部分、及び前記第1部分から前記第2部分まで連続する第3部分を有し、前記第2絶縁層の前記第3部分の上面は、前記第1下部電極と前記第2下部電極の間で、凹部を有し、前記凹部の、前記第1下部電極が前記第1絶縁層に積層される第1方向における長さは、前記第1方向と垂直な第2方向における長さの0.5倍以上である表示装置に関する。
前記第1下部電極、前記第2下部電極、前記第1有機層、前記第2有機層、及び前記上部電極を通る断面において、前記第2絶縁層は、前記第1上部電極の前記端部の上の第1部分、前記第2下部電極の前記端部の上の第2部分、及び前記第1部分から前記第2部分まで連続する第3部分を有し、前記第2絶縁層の前記第3部分の上面は、前記第1下部電極と前記第2下部電極の間で、凹部を有し、前記第2絶縁層の前記第3部分と前記第1有機層の間において、前記凹部の内側に空隙がある表示装置に関する。
図1乃至図8は本実施の形態に係る表示装置の構成を示すものである。図1は表示装置の一例の等価回路図である。基板100上にレイアウトされた画素領域20には、複数の発光素子ELが配列されている。各発光素子ELは、例えば赤色、緑色、青色の副画素2に対応している。画素領域20の周辺には周辺回路領域が設けられている。周辺回路領域には、例えば映像表示用のドライバである信号線駆動回路40及び走査線駆動回路50が設けられている。
D1/S1 ≧ 0.5 ・・・ <式1>
さらに好ましくは、D1/S1≧1の関係を満たすことが望ましい。
本実施の形態では、図12及び図13を用い、実施の形態1と異なる部分についてのみ説明する。実施形態1と同様の構成、機能、材料、効果については、説明を省略する。
本実施の形態では、図14〜図19を用いて、実施の形態1及び2と異なる部分についてのみ説明し、同様の構成、機能、材料、効果については説明を省略する。
図20に示すように、実施の形態3の変形例として、導電部材115を絶縁部材116としても良い。よって、実施の形態3と異なる点についてのみ説明し、同様の構成、機能、材料、方法、効果については、説明を省略する。
本実施の形態では、実施の形態1乃至4に記載の表示装置を電子機器に適用する例について図22を用いて説明する。
110 第一電極
120 第二絶縁層
131 有機層
132 有機層
140 第二電極
200 凹部
Claims (17)
- 第1絶縁層の上に配された第1下部電極及び第2下部電極と、
前記第1下部電極と前記第2下部電極の間、前記第1下部電極の端部の上、及び前記第2下部電極の端部の上に配された第2絶縁層と、
前記第1下部電極、前記第2絶縁層、及び前記第2下部電極の上に配された第1有機層と、
前記第1下部電極、前記第2絶縁層、及び前記第2下部電極の上に前記第1有機層を介して配され、発光層を有する第2有機層と、
前記第1下部電極、前記第2絶縁層、及び前記第2下部電極の上に前記第1有機層及び前記第2有機層を介して配された上部電極と、
を有し、
前記第1下部電極、前記第2下部電極、前記第1有機層、前記第2有機層、及び前記上部電極を通る断面において、
前記第2絶縁層は、前記第1下部電極の前記端部の上の第1部分、前記第2下部電極の前記端部の上の第2部分、及び前記第1部分から前記第2部分まで連続する第3部分を有し、
前記第2絶縁層の前記第3部分の上面は、前記第1下部電極と前記第2下部電極の間で、凹部を有し、
前記凹部の、前記第1下部電極が前記第1絶縁層に積層される第1方向における長さは、前記第1方向と垂直な第2方向における長さの0.5倍以上である
表示装置。 - 前記凹部の、前記第1下部電極が前記第1絶縁層に積層される第1方向における長さは、前記第1方向と垂直な第2方向における長さの1倍以上である請求項1に記載の表示装置。
- 前記第2絶縁層の前記第3部分と前記第1有機層の間において、前記凹部の内側に空隙がある請求項1または2に記載の表示装置。
- 第1絶縁層の上に配された第1下部電極及び第2下部電極と、
前記第1下部電極と前記第2下部電極の間、前記第1下部電極の端部の上、及び前記第2下部電極の端部の上に配された第2絶縁層と、
前記第1下部電極、前記第2絶縁層、及び前記第2下部電極の上に配された第1有機層と、
前記第1下部電極、前記第2絶縁層、及び前記第2下部電極の上に前記第1有機層を介して配され、発光層を有する第2有機層と、
前記第1下部電極、前記第2絶縁層、及び前記第2下部電極の上に前記第1有機層及び前記第2有機層を介して配された上部電極と、
を有し、
前記第1下部電極、前記第2下部電極、前記第1有機層、前記第2有機層、及び前記上部電極を通る断面において、
前記第2絶縁層は、前記第1下部電極の前記端部の上の第1部分、前記第2下部電極の前記端部の上の第2部分、及び前記第1部分から前記第2部分まで連続する第3部分を有し、
前記第2絶縁層の前記第3部分の上面は、前記第1下部電極と前記第2下部電極の間で、凹部を有し、
前記第2絶縁層の前記第3部分と前記第1有機層の間において、前記凹部の内側に空隙がある
表示装置。 - 前記第1下部電極の前記端部と、前記第2下部電極の前記端部とは、互いに向かい合う端部である請求項1乃至4のいずれか1項に記載の表示装置。
- 前記第1有機層の導電率は、前記第2有機層の導電率より大きい請求項1乃至5のいずれか1項に記載の表示装置。
- 前記第1有機層は、正孔注入層及び正孔輸送層の少なくとも一方を含む請求項1乃至6のいずれか1項に記載の表示装置。
- 前記第2絶縁層は、前記第1絶縁層、前記第1下部電極、及び前記第2下部電極の上に配され、
前記第2絶縁層は、前記第1下部電極の上に第1開口を有し、前記第2下部電極の上に第2開口を有する請求項1乃至7のいずれか1項に記載の表示装置。 - 前記断面において、
前記第1絶縁層の上で、前記第1下部電極と前記第2下部電極の間に導電部材が配され、
前記第3部分の前記上面が有する前記凹部は、前記第1下部電極と前記導電部材の間にある請求項1乃至8のいずれか1項に記載の表示装置。 - 前記導電部材は前記第1下部電極及び前記第2下部電極と同じ材料を含む請求項9に記載の表示装置。
- 前記断面において、
前記第3部分の前記上面は、更に前記導電部材と前記第1下部電極の間に第2凹部を有する請求項9または10に記載の表示装置。 - 前記断面において、
前記第1絶縁層の上で、前記第1下部電極と前記第2下部電極の間に絶縁部材が配され、
前記第3部分の前記上面が有する前記凹部は、前記第1下部電極と前記絶縁部材の間にある請求項1乃至8のいずれか1項に記載の表示装置。 - 前記第1絶縁層の上面は前記第1下部電極と前記第2下部電極との間に凹部を有し、
前記第2絶縁層の前記第3部分の凹部は、前記第1絶縁層の前記凹部の上に配される請求項1乃至12のいずれか1項に記載の表示装置。 - 前記第1有機層は、前記凹部の内側における膜厚が、前記第2絶縁層の上における膜厚より小さい請求項1乃至13のいずれか1項に記載の表示装置。
- 請求項1乃至14のいずれか1項に記載の表示装置と、
前記表示装置に信号を入力する制御部と、を有する電子機器。 - 第1絶縁層を形成し、
前記第1絶縁層の上に第1下部電極及び第2下部電極を形成し、
前記第1絶縁層の、前記第1下部電極及び前記第2下部電極の間の一部を除去して、前記第1絶縁層に凹部を形成し、
前記第1下部電極、前記第1絶縁層、及び前記第2下部電極の上に、前記第1下部電極の端部の上から前記第1絶縁層の凹部の上を介して前記第2下部電極の端部の上まで連続し、前記第1絶縁層の凹部と接する第2絶縁層を形成し、
前記第1下部電極、前記第2絶縁層、及び前記第2下部電極の上に第1有機層を形成し、
前記第1下部電極、前記第2絶縁層、及び前記第2下部電極の上に前記第1有機層を介して、発光層を含む第2有機層を形成し、
前記第1下部電極、前記第2絶縁層、及び前記第2下部電極の上に前記第1有機層及び前記第2有機層を介して上部電極を形成する、
表示装置の製造方法。 - 前記第1絶縁層に前記凹部を形成する工程は、前記第1下部電極及び前記第2下部電極を形成するためのエッチングの工程が兼ねること請求項16に記載の表示装置の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017188934A JP6957294B2 (ja) | 2017-09-28 | 2017-09-28 | 表示装置、電子機器、及び表示装置の製造方法 |
US16/134,810 US10636851B2 (en) | 2017-09-28 | 2018-09-18 | Display device, electronic apparatus, and display device manufacturing method |
US16/823,148 US11387299B2 (en) | 2017-09-28 | 2020-03-18 | Display device, electronic apparatus, and display device manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017188934A JP6957294B2 (ja) | 2017-09-28 | 2017-09-28 | 表示装置、電子機器、及び表示装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019067525A true JP2019067525A (ja) | 2019-04-25 |
JP6957294B2 JP6957294B2 (ja) | 2021-11-02 |
Family
ID=65806860
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017188934A Active JP6957294B2 (ja) | 2017-09-28 | 2017-09-28 | 表示装置、電子機器、及び表示装置の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10636851B2 (ja) |
JP (1) | JP6957294B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022224085A1 (ja) * | 2021-04-22 | 2022-10-27 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置 |
WO2023073481A1 (ja) * | 2021-10-27 | 2023-05-04 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置、及び表示装置の作製方法 |
WO2023100022A1 (ja) * | 2021-11-30 | 2023-06-08 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置、及び表示装置の作製方法 |
WO2023176718A1 (ja) * | 2022-03-16 | 2023-09-21 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 表示装置 |
EP4141944A4 (en) * | 2020-04-21 | 2024-06-05 | Boe Technology Group Co Ltd | DISPLAY DEVICE, DISPLAY BOARD AND MANUFACTURING METHOD THEREOF |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102325674B1 (ko) * | 2017-08-16 | 2021-11-12 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기발광 표시장치, 그를 포함한 헤드 장착형 디스플레이, 및 그의 제조방법 |
JP2019110007A (ja) * | 2017-12-18 | 2019-07-04 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 有機el表示装置 |
JP7075292B2 (ja) * | 2018-06-21 | 2022-05-25 | キヤノン株式会社 | 有機デバイス、表示装置、撮像装置、照明装置、移動体用灯具、および、移動体 |
CN109144311B (zh) * | 2018-07-26 | 2022-06-07 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示基板、指纹识别方法、触控显示装置 |
US11362147B2 (en) * | 2018-07-31 | 2022-06-14 | Lg Display Co., Ltd. | Display device |
KR20200048580A (ko) * | 2018-10-30 | 2020-05-08 | 엘지디스플레이 주식회사 | 전계 발광 표시 장치 |
CN109638035B (zh) * | 2018-11-13 | 2021-02-26 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 像素排列结构及有机发光二极管显示装置 |
JP2020136145A (ja) * | 2019-02-22 | 2020-08-31 | キヤノン株式会社 | 有機el素子及び発光装置 |
KR20200119452A (ko) * | 2019-04-09 | 2020-10-20 | 삼성디스플레이 주식회사 | 디스플레이 장치 |
TWI691109B (zh) * | 2019-05-09 | 2020-04-11 | 友達光電股份有限公司 | 顯示裝置及其製造方法 |
KR20200143562A (ko) * | 2019-06-13 | 2020-12-24 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막트랜지스터 기판 및 이를 구비한 디스플레이 장치 |
KR20220123010A (ko) * | 2019-12-25 | 2022-09-05 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 기능 패널, 표시 장치, 입출력 장치, 정보 처리 장치 |
CN111279486A (zh) * | 2020-01-13 | 2020-06-12 | 康佳集团股份有限公司 | 一种Micro-LED像素排列结构、排列方法及显示面板 |
CN112002827B (zh) * | 2020-09-03 | 2024-04-23 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示面板及其制造方法、显示装置 |
CN112103315B (zh) * | 2020-09-15 | 2024-04-09 | 视涯科技股份有限公司 | 一种有机发光显示面板和显示装置 |
WO2023226028A1 (zh) * | 2022-05-27 | 2023-11-30 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示面板及其制作方法、显示装置 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11307240A (ja) * | 1998-04-15 | 1999-11-05 | Tdk Corp | 有機el表示装置及びその製造方法 |
JP2009176495A (ja) * | 2008-01-23 | 2009-08-06 | Seiko Epson Corp | 有機el装置、有機el装置の製造方法、電子機器 |
JP2009545117A (ja) * | 2006-07-25 | 2009-12-17 | エルジー・ケム・リミテッド | 有機発光素子の製造方法およびこれによって製造された有機発光素子 |
JP2012216338A (ja) * | 2011-03-31 | 2012-11-08 | Sony Corp | 表示装置およびその製造方法 |
WO2014020914A1 (ja) * | 2012-08-02 | 2014-02-06 | パナソニック株式会社 | 有機el表示パネルとその製造方法 |
JP2015072770A (ja) * | 2013-10-02 | 2015-04-16 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法 |
JP2015118796A (ja) * | 2013-12-18 | 2015-06-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 有機el素子構造、その製造方法及び発光パネル |
US20150236081A1 (en) * | 2013-02-25 | 2015-08-20 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light-emitting display device and method of manufacturing the same |
JP2016085796A (ja) * | 2014-10-23 | 2016-05-19 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 有機el表示装置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI224880B (en) * | 2002-07-25 | 2004-12-01 | Sanyo Electric Co | Organic electroluminescence display device |
JP5627071B2 (ja) * | 2008-09-01 | 2014-11-19 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
JP6124584B2 (ja) * | 2012-12-21 | 2017-05-10 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置及びその製造方法 |
KR102394427B1 (ko) * | 2015-04-02 | 2022-05-04 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기발광표시장치 및 이를 제조하는 방법 |
KR102502202B1 (ko) * | 2015-06-29 | 2023-02-21 | 삼성디스플레이 주식회사 | 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 |
US10374197B2 (en) * | 2015-10-30 | 2019-08-06 | Lg Display Co., Ltd. | Organic light emitting diode display device with micro lenses |
KR102375685B1 (ko) * | 2016-02-02 | 2022-03-18 | 삼성디스플레이 주식회사 | 플렉서블 디스플레이 장치 |
US10741587B2 (en) * | 2016-03-11 | 2020-08-11 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, semiconductor wafer, module, electronic device, and manufacturing method the same |
WO2017158477A1 (en) * | 2016-03-18 | 2017-09-21 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device |
KR102630001B1 (ko) * | 2016-10-31 | 2024-01-25 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기발광 표시장치, 그를 포함한 헤드 장착형 디스플레이, 및 그의 제조방법 |
KR102327991B1 (ko) * | 2016-12-16 | 2021-11-18 | 삼성디스플레이 주식회사 | 디스플레이 장치의 제조방법 |
WO2018147050A1 (ja) * | 2017-02-13 | 2018-08-16 | ソニー株式会社 | 表示装置、および電子機器 |
-
2017
- 2017-09-28 JP JP2017188934A patent/JP6957294B2/ja active Active
-
2018
- 2018-09-18 US US16/134,810 patent/US10636851B2/en active Active
-
2020
- 2020-03-18 US US16/823,148 patent/US11387299B2/en active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11307240A (ja) * | 1998-04-15 | 1999-11-05 | Tdk Corp | 有機el表示装置及びその製造方法 |
JP2009545117A (ja) * | 2006-07-25 | 2009-12-17 | エルジー・ケム・リミテッド | 有機発光素子の製造方法およびこれによって製造された有機発光素子 |
JP2009176495A (ja) * | 2008-01-23 | 2009-08-06 | Seiko Epson Corp | 有機el装置、有機el装置の製造方法、電子機器 |
JP2012216338A (ja) * | 2011-03-31 | 2012-11-08 | Sony Corp | 表示装置およびその製造方法 |
WO2014020914A1 (ja) * | 2012-08-02 | 2014-02-06 | パナソニック株式会社 | 有機el表示パネルとその製造方法 |
US20150236081A1 (en) * | 2013-02-25 | 2015-08-20 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light-emitting display device and method of manufacturing the same |
JP2015072770A (ja) * | 2013-10-02 | 2015-04-16 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法 |
JP2015118796A (ja) * | 2013-12-18 | 2015-06-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 有機el素子構造、その製造方法及び発光パネル |
JP2016085796A (ja) * | 2014-10-23 | 2016-05-19 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 有機el表示装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4141944A4 (en) * | 2020-04-21 | 2024-06-05 | Boe Technology Group Co Ltd | DISPLAY DEVICE, DISPLAY BOARD AND MANUFACTURING METHOD THEREOF |
WO2022224085A1 (ja) * | 2021-04-22 | 2022-10-27 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置 |
WO2023073481A1 (ja) * | 2021-10-27 | 2023-05-04 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置、及び表示装置の作製方法 |
WO2023100022A1 (ja) * | 2021-11-30 | 2023-06-08 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置、及び表示装置の作製方法 |
WO2023176718A1 (ja) * | 2022-03-16 | 2023-09-21 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 表示装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20190096971A1 (en) | 2019-03-28 |
US10636851B2 (en) | 2020-04-28 |
JP6957294B2 (ja) | 2021-11-02 |
US20200219951A1 (en) | 2020-07-09 |
US11387299B2 (en) | 2022-07-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11387299B2 (en) | Display device, electronic apparatus, and display device manufacturing method | |
CN109390376B (zh) | 显示设备及其制造方法、以及电子装置 | |
US11917867B2 (en) | Display panel and display device for both 2D and 3D display, and method for manufacturing the same | |
CN108231830B (zh) | 有机发光显示装置 | |
KR102453420B1 (ko) | 투명 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조방법 | |
JP5919807B2 (ja) | 有機発光素子、有機発光素子の製造方法および表示装置 | |
JP6119437B2 (ja) | 電気光学装置、電気光学装置の製造方法、電子機器 | |
JP2019102443A (ja) | 電界発光表示装置 | |
WO2021093687A1 (zh) | 显示基板及其制备方法、显示装置 | |
JP2014232631A (ja) | 表示装置および表示装置の製造方法ならびに電子機器 | |
US10084026B2 (en) | Organic light emitting display device and method of fabricating the same | |
JP5988624B2 (ja) | 発光装置及びこれを用いた撮像装置、画像形成装置 | |
KR102547213B1 (ko) | 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 | |
WO2020210943A1 (en) | Display substrate, display apparatus, method of fabricating display substrate | |
JP7182569B2 (ja) | 発光素子及びその製造方法、表示装置 | |
CN117596951A (zh) | 具有改善的分辨率和可靠性的电致发光器件 | |
JP6428822B2 (ja) | 電気光学装置及び電子機器 | |
JP2017162832A (ja) | 表示装置および電子機器 | |
JP6201442B2 (ja) | 電気光学装置、電気光学装置の製造方法、電子機器 | |
US20230165098A1 (en) | Display substrate, manufacturing method thereof and three-dimensional display apparatus | |
JP6620860B2 (ja) | 電気光学装置、電気光学装置の製造方法、電子機器 | |
JP2018116769A (ja) | 表示装置 | |
CN113571666A (zh) | 显示面板及其制备方法、显示装置 | |
JP2007005384A (ja) | 半導体装置およびその製造方法、電子情報機器 | |
WO2023015487A1 (zh) | 显示基板及电子装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200714 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210317 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210511 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210706 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210907 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211006 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6957294 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |