JP2016085796A - 有機el表示装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】上部電極の有機層からの剥がれを防止する。
【解決手段】有機層10はバンク8aの上面に位置する部分を有している。TFT基板2は、有機層10よりも上側に、上部導電層12及び保護層14を含む複数の層を有している。複数の層のうち少なくとも1つは、有機層10のバンク8aの上面に位置する部分10bを貫通しバンク8aに接続する接続部Fを有している。この接続部Fにより、上部導電層12の有機層10からの剥がれを抑えることができる。
【選択図】図3
【解決手段】有機層10はバンク8aの上面に位置する部分を有している。TFT基板2は、有機層10よりも上側に、上部導電層12及び保護層14を含む複数の層を有している。複数の層のうち少なくとも1つは、有機層10のバンク8aの上面に位置する部分10bを貫通しバンク8aに接続する接続部Fを有している。この接続部Fにより、上部導電層12の有機層10からの剥がれを抑えることができる。
【選択図】図3
Description
本発明は有機EL表示装置に関する。
有機EL(Electro Luminescence)表示装置では、各画素に形成されている下部電極(アノード電極)の外周に画素を区画するバンクが形成されている。バンクを有する層(以下においてバンク層)上に発光層を含む有機層が形成され、有機層上に上部電極(カソード電極)が形成されている。有機層はバンク層が各画素に有しているバンク開口の内側で下部電極に接している。そのため、有機層はバンク開口の内側で発光する。このような構造の有機EL表示装置は、例えば下記特許文献1に開示されている。
上部電極は上述したように有機層上に形成されている。上部電極はITO(Indium Tin Oxide)やIZO(Indium Zinc Oxide)など無機材料で形成される。一般的に無機材料は有機材料に密着しにくいので、上部電極は有機層から剥がれやすいという問題がある。
本発明の目的は、上部電極の有機層からの剥がれを防止することにある。
(1)本発明に係る有機EL表示装置は、隣接する2つの画素と、前記隣接する2つの画素を互いに区画しているバンクを有しているバンク層と、発光層を含み、前記バンク層上に形成され、前記バンクの上面に位置している部分を有している有機層と、前記有機層上の上部電極として機能する導電層を含む、前記有機層の上側に形成されている少なくとも1つの層と、を備える。前記少なくとも1つの層は、前記有機層の前記バンクの上面に位置している前記部分を貫通し前記バンクに接続する接続部を有している。この有機EL表示装置によれば、上部電極の有機層からの剥がれを防止できる。
(2)(1)の有機EL表示装置において、前記バンクには、上方に向かって開口する形状を有している凹部であって、その下部から上部に向かって内側の幅が徐々に狭くなっている凹部が形成されてもよい。前記接続部は前記凹部の内側に形成され前記凹部に対応した形状を有してもよい。この有機EL表示装置によれば、上部電極の有機層からの剥がれをより効果的に防止できる。
(3)(2)の有機EL表示装置において、前記少なくとも1つの層は、前記上部電極として機能する前記導電層と、前記有機層と前記導電層とを覆っている保護層とを含み、前記導電層と前記保護層の少なくとも一方が前記接続部を有してもよい。
(4)(2)又は(3)の有機EL表示装置において、前記少なくとも1つの層は前記導電層であり、前記導電層は前記凹部の内側に形成され、前記凹部の内側の側面に接している部分を、前記接続部として有してもよい。
(5)(3)の有機EL表示装置において、前記少なくとも1つの層は前記保護層であり、前記保護層は前記凹部の内側に形成され、前記凹部の内側の側面に接している部分を前記接続部として有してもよい。
(6)(2)乃至(5)のいずれかの有機EL表示装置において、前記バンク層は、前記隣接する2つの画素のそれぞれに、前記バンクによって囲まれている開口を有し、前記バンクの前記凹部が形成されている部分と前記バンクの前記開口に面している部分は互いに異なる材料によって形成されてもよい。これによれば、バンクを形成することが容易となる。
(7)(2)乃至(6)のいずれかの有機EL表示装置において、前記バンク層の前記凹部が形成されている部分は、露光された部分を除去できるポジ型の感光性材料によって形成されてもよい。これによれば、凹部を有するバンクを形成することが容易となる。
(8)(7)の有機EL表示装置において、前記バンク層は、前記隣接する2つの画素のそれぞれに、前記バンクによって囲まれている開口を有し、前記バンクの前記開口に面している部分は、露光により硬化するネガ型の感光性材料によって形成されてもよい。これによれば、バンクの幅が上方に向かって徐々に小さくなるように、バンクの開口に面している側面を傾斜させることが容易となる。
(9)(2)乃至(8)のいずれかの有機EL表示装置において、前記少なくとも1つの層はスパッタ法、CVD法又は塗布法によって形成されてもよい。これによれば、凹部の内側に、凹部の形状に対応した部分を形成し易くなる。
(10)(1)乃至(9)のいずれかの有機EL表示装置において、前記少なくとも1つの層は無機材料によって形成され、前記バンク層も無機材料によって形成されてもよい。これによれば、前記少なくとも1つの層とバンクの凹部の内側の側面との密着性を増すことができる。
(11)(10)の有機EL表示装置において、前記少なくとも1つの層と前記バンク層は同じ材料を含んでもよい。これによれば、前記少なくとも1つの層とバンクの凹部の内側の側面との密着性をさらに増すことができる。
(12)(1)の有機EL表示装置において、前記少なくとも1つの層は、前記上部電極として機能する前記導電層と、前記有機層と前記導電層とを覆っている保護層とを含み、前記有機層と前記導電層とには、前記バンクの一部を露出させる開口が形成され、前記保護層は、前記接続部として、前記開口を通して前記バンクに接する部分を有し、前記保護層と前記バンク層は無機材料で形成されてもよい。これによれば、上部電極の有機層からの剥がれをさらに効果的に防止できる。
(13)(12)の有機EL表示装置において、前記保護層と前記バンク層は同じ材料を含んでもよい。前記保護層とバンクとの密着性を増すことができる。
以下、本発明の一実施形態について説明する。本明細書の開示はあくまで本発明の一例にすぎない。本発明の主旨を保った適宜変更であって当業者が容易に想到し得るものは、当然に本発明の範囲に含有される。また、図面で示す各部の幅、厚さ及び形状等は模式的に表されており、本発明の解釈を限定するものではない。
図1は本発明の第1の実施形態に係る有機EL表示装置1の斜視図である。有機EL表示装置1はTFT(Thin Film Transistor)基板2を有している。有機EL表示装置1は、図1に示すように、TFT基板2と対向している対向基板21を有してもよい。
図2はTFT基板2の例を示す拡大平面図である。図3は図2に示すIII−III線での断面図である。図2においてハッチングが施されている部分は後に説明するバンク層8である。
有機EL表示装置1は、その表示領域に、水平方向及び垂直方向に並んでいる複数の画素PXを有している。一例では、画素PXの単位配列Pは、赤画素PX(r)、緑画素PX(g)、及び青画素PX(b)によって構成される。単位配列Pを構成する複数の画素PXの並びは特に限定されない。例えば、図2に示すように、複数の画素PXは一列で並んでもよい。また、単位配列Pが4つの画素PXによって構成される場合には、4つの画素PXは2行2列で配置されてもよい。
TFT基板2は基板11を有している。基板11は例えばガラス基板や樹脂基板である。TFT基板2は基板11上に形成されている回路層3を有している。回路層3は走査信号線や映像信号線、電源供給線などの配線や、後述する有機層10への電流供給を制御するためのTFTなどを含んでいる(図3において配線やTFTは省略されている)。回路層3は平坦化膜4によって覆われている。平坦化膜4の上側には複数の下部電極6が形成されている。複数の下部電極6は複数の画素PXのそれぞれに設けられている。各下部電極6は平坦化膜4に形成されたコンタクトホール(不図示)を介して回路層3のTFTに接続されている。一例では、有機EL表示装置1は上方向(図1においてZ1の示す方向)に光を出すトップエミッション方式である。この場合、下部電極6は反射膜を含んでもよい。有機EL表示装置1は下方向(図1においてZ2の示す方向)に光を出すボトムエミッション方式でもよい。
図3に示すように、TFT基板2は、隣接する2つの画素PXを区画しているバンク8aを有している(以下においてバンク8aが構成する層をバンク層8と称する)。バンク層8は平坦化膜4及び下部電極6上に形成されている。バンク8aは隣接する2つの下部電極6の間に配置され、且つ下部電極6の外周縁に重なっている。バンク層8は、各画素PXに、バンク8aによって取り囲まれている開口A1を有している(以下においてこの開口A1をバンク開口と称する)。下部電極6はバンク開口A1において露出している。バンク8aには凹部8xが形成されている。この凹部8xについては後において詳説する。
バンク層8上には、発光層を含んでいる有機層10が形成されている。有機層10は電荷注入層や電荷輸送層などを含んでもよい(ここで電荷とは正孔及び電子である)。有機層10はバンク開口A1の内側で下部電極6に接している。有機層10の一例は、各画素PXの色に応じた色の光が有機層10から出るように構成される(塗り分け方式)。有機層10は、全画素PXが共通の色(例えば白)で発光するように構成されてもよい(カラーフィルタ方式)。カラーフィルタ方式の場合、対向基板21にカラーフィルタが形成される。また、カラーフィルタ方式の場合、有機層10は全画素PXにおいて共通の積層構造を有してもよい。
有機層10上には、複数の画素PXに亘って配置される上部電極として機能する導電層12が形成されている(以下において、この導電層を上部導電層と称する)。有機EL表示装置1がトップエミッション方式である場合、上部導電層12は透明導電材料(例えば、ITOやIZOなど)によって形成される。有機EL表示装置1がボトムエミッション方式である場合、上部導電層12は、透明導電材料に替えて、AlやAg、Mgなどの金属によって形成されてもよい。
上部導電層12上には保護層14が形成されている。上部導電層12及び有機層10は保護層14によって覆われている。保護層14は有機層10に水分が浸入するのを防止する層であり、水分が浸透しにくい無機材料で形成されている。無機材料は例えばSiNであるが、これに限定されない。保護層14は複数の層によって構成されてもよい。例えば、保護層14はSiN(窒化ケイ素)の層とSiO(酸化ケイ素)の層とを含んでもよい。保護層14と対向基板21との間に充填材が配置され、対向基板21はTFT基板2に貼り付けられている(図3において、充填材及び対向基板21は省略されている)。
TFT基板2は、有機層10よりも上側に、上部導電層12及び保護層14を含む複数の層を有している。複数の層のうち少なくとも1つは、有機層10のバンク8aの上面に位置する部分10bを貫通しバンク8aに接続する接続部Fを有している。この接続部Fにより、上部導電層12の有機層10からの剥がれを抑えることができる。図3の例では、接続部Fは上部導電層12と保護層14とによって構成される。
一例では、図3に示すように、バンク8aには上方に向かって開口している形状の凹部8xが形成される。凹部8xは有機層10によって閉じられていない。すなわち、凹部8xは有機層10によって充たされていない。有機層10よりも上側に形成される複数の層のうち少なくとも1つは、接続部Fとして、凹部8xの内側に形成されている部分を有する。このような接続部Fはより強固にバンク8aに接続する。図3に示す例では、凹部8xの内側の幅は凹部8xの下部から上部に向かって徐々に小さくなっている。換言すると、凹部8xは、その内側に、互いに対向する2つの側面8bを有している。そして、2つの側面8bは、それらの上部の間隔がそれらの下部の間隔に比べて小さくなるように傾斜している。接続部Fは凹部8xに対応した形状を有している。すなわち、接続部Fはその下部から上部に向かってその幅が小さくなっている。凹部8x及び接続部Fによると、接続部Fを構成している層が凹部8xからさらに外れにくくなる。その結果、上部導電層12の有機層10からの剥がれをさらに効果的に抑えることができる。図3の例では、接続部Fは上部導電層12と保護層14とによって構成される。
凹部8xの幅及び接続部Fの幅とは、TFT基板2と平行な方向における、互いに向き合う2つの側面8bの間隔である。凹部8xが回路層3の走査信号線或いは映像信号線に沿って伸びている溝状である場合には、凹部8xの幅及び接続部Fの幅とは、TFT基板2と平行な方向で且つ凹部8xの延伸方向に直交する方向における、2つの側面8bの間隔である。
なお、バンク8aの側面(バンク開口A1側の面)8cは、バンク8aの幅が上方に向かって小さくなるように傾斜している。このため、バンク層8上に形成される有機層10がバンク開口A1とバンク8aの側面8cとの境で破断してしまうことを防ぐことができる。
凹部8xの内側は、接続部Fを構成する層によって充たされている。図3の例では、上部導電層12と保護層14とによって凹部8xの内側は充たされている。これにより、接続部Fと凹部8xとの引っ掛かりが強固になり、上部導電層12の有機層10からの剥がれを効果的に抑えることができる。
図3の例では、上部導電層12は凹部8xの内側に形成されている部分12aを有している(以下において部分12aを電極接続部と称する)。電極接続部12aは凹部8xの内面に沿って形成されている。すなわち、電極接続部12aは凹部8xの内側の側面8b及び底面に沿って形成されている。したがって、上部導電層12は、バンク8aを挟んで隣り合う2つの画素PXの間で、電極接続部12aを介して繋がっている。図3の例において、電極接続部12aは側面8bに接している。また、電極接続部12aは側面8bに沿って傾斜している。保護層14は凹部8xの内側に形成される部分14aを有している(以下においてこの部分14aを保護接続部と称する)。保護接続部14aは上部導電層12の電極接続部12aの内側に嵌まっている。電極接続部12aと保護接続部14aは全体として凹部8xの内側に対応した形状を有している。
接続部Fを構成する層は、上部導電層12と保護層14とに限られない。例えば、上部導電層12が比較的厚い場合には、上部導電層12だけで接続部Fが構成されてもよい。すなわち、凹部8xは上部導電層12だけで充たされてもよい。この場合、TFT基板2は必ずしも保護層14を有していなくてもよい。
上述したように、接続部Fは有機層10のバンク8aの上面に位置する部分10bを貫通している。一例では、図3に示すように、有機層10は凹部8xの内側に形成される部分10aを有し、部分10aは凹部8xの底部にのみ形成されてもよい。電極接続部12aは必ずしも凹部8xの側面8bに接していなくてもよい。例えば、凹部8xの内面に沿って、有機層10の膜が形成されてもよい。有機層10は比較的薄いので、凹部8xを有機層10の内面に沿って形成した場合でも、有機層10よりも上側の層は凹部8xの内側に形成される接続部Fを有することとなる。この場合でも、接続部Fは、有機層10におけるバンク8aの上面に位置する部分を下方に貫通する。
後において説明するように、接続部Fは保護層14だけで構成されてもよい。すなわち、保護接続部14aが凹部8xの側面8bに接するように形成されてもよい。
接続部Fは、上部導電層12と保護層14とに加えて、TFT基板2と対向基板21との間に配置されている充填材によって構成されてもよい。すなわち、上部導電層12と保護層14が比較的薄い場合、凹部8xの内側には、上部導電層12と保護層14とに加えて、充填材が配置されてもよい。
図3に示すように、凹部8xの一例はバンク8aをその厚さ(高さ)方向に貫通する(バンク8aの厚さ方向とはTFT基板2の厚さ方向である)。こうすることにより、凹部8xの深さを確保し易くなる。その結果、接続部Fを構成する層は凹部8xからさらに外れ難くなる。凹部8xはこれに限られない。すなわち、凹部8xは必ずしもバンク8aを貫通していなくてもよい。
一例では、凹部8xは各画素PXに対応して設けられる。例えば、凹部8xは各画素PXを囲むよう形成される。凹部8xは各画素PXの対向する2辺(例えば、右辺及び左辺)に沿って形成され、別の2辺(例えば、上辺及び下辺)には形成されなくてもよい。
凹部8xは各画素PXに対応して設けられるのではなく、隣り合う複数の画素PXに対応して設けられてもよい。例えば、凹部8xは、1つの単位配列Pを構成する複数の画素PXの周りを囲んでもよい。
凹部8xは、一例では、バンク8aに沿った方向に伸びている溝状である(バンク8aに沿った方向とは、画素PXが並んでいる方向、すなわち走査信号線及び映像信号線に沿った方向である)。凹部8xは、平面視において円形や四角形の穴であってもよい。この場合、複数の凹部8xがバンク8aに沿った方向において間隔を空けて並んでもよい。凹部8xの平面形状は適宜変更されてよい。
一例では、バンク層8は感光性材料(例えばアクリルやポリイミド)によって形成される。バンク層8は、露光により硬化するネガ型の感光性材料と、露光された部分を除去できるポジ型の感光性材料とによって形成されてもよい。こうすることにより、バンク8aの形成が容易となる。これについては後において詳説する。
バンク層8は無機材料によって形成されてもよい。例えば、バンク層8はSiNやSiOによって形成されてもよい。上部導電層12は無機材料によって形成される。具体的には、上部導電層12はITOやIZOなどの透明導電材料、或いはAlやAg、Mgなどの金属によって形成される。図3の例では、上部導電層12の電極接続部12aはバンク8aの凹部8xの側面8bに接している。したがって、無機材料であるバンク層8と無機材料である接続部12aとが接することとなるので、それらの間での密着性を確保し易くなる。
上述したように、保護層14もSiNやSiOなどの無機材料で形成される。上部導電層12が電極接続部12aを有していない場合、保護層14の保護接続部14aが凹部8xの側面8bに接する。この場合、無機材料であるバンク層8と無機材料である接続部14aとが接することとなるので、それらの間での密着性を確保し易くなる。保護接続部14aが側面8bに接する形態については後において詳説する。
有機EL表示装置1の製造方法について説明する。図4A、4B及び4Cは有機EL表示装置1の製造方法の一例を示す図である。
図4A(a)に示すように、複数の有機EL表示装置1の基板11に対応したサイズを有しているマザー基板111に回路層3を形成する。回路層3上に平坦化膜4を形成し、平坦化膜4上に下部電極6を形成する。
次にバンク層8を形成する。図4A〜4Cで説明する例では、バンク8aにおいてバンク開口A1に面している部分と、バンク8aの凹部8xが形成されている部分は、互いに異なる材料によって形成されている。バンク8aにおいてバンク開口A1に面している部分は、露光により硬化するネガ型の感光性材料によって形成されている。一方、バンク8aの凹部8xが形成されている部分は、露光された部分を除去できるポジ型の感光性材料によって形成されている。以下の説明では、バンク8aにおいてバンク開口A1に面している部分を外側部分と称し、バンク8aの凹部8xが形成されている部分を内側部分と称する。
図4A(b)に示すように、一例では、まずネガ型の感光性材料(以下において第1の材料)108Aをマザー基板111に塗布し、第1の材料108Aで下部電極6を覆う。そして、図4(c)に示すように、第1の材料108Aに露光マスク109Aを配置する。露光マスク109Aは、バンク8aの外側部分に対応する部分108aに光が照射され、その他の部分(内側部分に対応する部分108b、及びバンク開口A1が形成される部分108c)に光が照射されないように形成されている。露光マスク109Aを通して第1の材料108Aに光を照射する。これにより、バンク8aの側面8cを形成することとなる部分108aが硬化する。その後、光が照射されていない部分108b、108cをエッチングにより除去する。露光工程では、光が露光マスク109Aに形成した開口を通して第1の材料108Aに斜めに浸入するように、光を照射する。その結果、バンク8aの幅が上方に向かって徐々に小さくなるように傾斜した側面8cが得られる。
その後、図4B(d)に示すように、バンク8aの外側部分に対応する2つの部分108aの間、すなわち、凹部8xが形成される部分に、上述のポジ型の感光性材料(以下において、第2の材料108B)を配置する。第2の材料108Bの配置は例えばインクジェット方式により行うことができる。図4B(e)に示すように、第2の材料108Bを覆うように露光マスク109Bを配置する。露光マスク109Bは、凹部8xに対応する部分108dに光が照射され、その他の部分に光が照射されないように形成されている。露光マスク109Bを通して第2の材料108Bに光を照射する。これにより、凹部8xに対応する部分108dは軟化する。そして、図4B(f)に示すように、この部分108dをエッチングにより除去する。図4B(e)の露光工程では、光が露光マスク109Bに形成した開口を通して第2の材料108Bに斜めに浸入するように、光を照射する。その結果、凹部8xの内側に形成される、傾斜した側面8bが得られる。このようにして、凹部8xを有するバンク8aが形成される。
図4A及び図4Bで示す例では、このように、2種類の材料を使用してバンク8aが形成されている。その結果、バンク8aの幅が上方に向かって小さくなるように側面8cを傾斜させ、且つ、バンク8aの凹部8xの幅が上方に向かって小さくなるように凹部8xの内側の側面8bを傾斜させることができる。なお、図4A及び図4Bで示す例では、第1の材料108Aからバンク8aの外側部分を形成する工程は、第2の材料108Bからバンク8aの内側部分を形成する工程よりも先になされている。しかしながら、それらの順序は逆でもよい。
バンク層8を形成した後、図4C(g)に示すように、発光層を含む有機層10をバンク層8上に形成する。例えば蒸着法によって有機層10を形成する。蒸着材料(分子)は蒸着源から直線的に飛びやすい。そのため、有機層10の材料は凹部8xの入り口からその側面8bに回り込みにくい。その結果、有機層10の材料は凹部8xの底部には付着するものの、凹部8xの側面8bには付着し難い。これにより、上部導電層12或いは保護層14を凹部8xの側面8bに接触させることができる。図3及び図4C(g)では、凹部8xの底部に形成される有機層10に符号10aが付されている。
有機層10を形成した後、図4C(h)に示すように、上部導電層12を有機層10上に形成する。上部導電層12の材料は、上述したように、例えばITOやIZOなどの透明導電材料である。図4Cに示す例では、上部導電層12は、その分子が凹部8xの入り口から側面8bに回り込むような方法で形成される。その結果、凹部8xの内側の側面8bに沿った電極接続部12aが得られる。分子の回り込みを実現する方法の一例は、スパッタ法であるが、上部導電層12は他の方法により形成されてもよい。
上部導電層12を形成した後、図4C(i)に示すように、上部導電層12及び有機層10を覆う保護層14を形成する。保護層14は、電極接続部12aの内側に浸入するように形成される。保護層14は、例えばスパッタ法や、蒸着法、CVD法、塗布法など種々の方法により形成できる。保護層14の材料は、上述したように、例えばSiNやSiOである。
その後、マザー基板111に複数の対向基板21を貼り付ける。その際、マザー基板111と各対向基板21との間に充填材を配置する。そして、マザー基板111を複数の基板11に裁断する。これにより、複数の有機EL表示装置1が得られる。
有機EL表示装置1の製造方法は図4Aから図4Cに示したものに限られない。例えば、バンク層8がSiNやSiOなどの無機材料によって形成される場合には、バンク8aは必ずしも2種類の材料によって構成されなくてもよい。
図5は第1の実施形態の変形例であるTFT基板202の断面図である。この図の切断面は図3と同様である。図5では、図3と同様の箇所には同一符合を付している。以下では、図3の例との異なる点を中心に説明する。TFT基板202について説明のない事項は図3の例と同じである。
TFT基板202は、有機層10よりも上側に、上部導電層12及び保護層214を有している。上部導電層12は、図3の例とは異なり、電極接続部12aを有していない。すなわち、上部導電層12は凹部8xの側面8bに沿って形成されている部分を有していない。一方、保護層214は凹部8xの内側に形成される部分214aを有している(以下において、部分214aを接続部214aと称する)。接続部214aは凹部8xの内側に対応した形状を有している。すなわち、接続部214aの幅は、その下部から上部に向かって小さくなっている。これにより、保護層214がバンク8aから外れにくくなる。その結果、上部導電層12の有機層10からの剥がれを抑えることができる。図5の例では、上部導電層12は、凹部8xの底部に配置される部分12bを有している。この部分12bは、有機層10の凹部8xの内側に配置される部分10aに重なっている。
図5に示すように、保護層214の接続部214aは凹部8xの内側の側面8bに接しても良い。このような構造においては、バンク層8と保護層214の双方が無機材料によって形成されてもよい。こうすることにより、保護層214の接続部214aとバンク8aの凹部8xの側面8bとの密着性を確保できる。より好ましくは、保護層214とバンク層8は同じ材料を含んでもよい。こうすることにより、密着性をさらに増すことができる。一例では、保護層214は凹部8xの側面8bに接する部分にSiNを有し、バンク8aの側面8bを形成する部分もSiNで形成される。
図5の例では、上部導電層12が凹部8xの内面に沿って形成されていない。そのため、隣接する2つの画素PXのうち一方の画素PXの上部導電層12と他方の画素PXの上部導電層12は、凹部8xにおいて切断されている。仮に一連の凹部8x(途中に破断部を有していない凹部8x)が1つの画素を取り囲む場合、その画素についての上部導電層12はその画素の周りから電気的に独立してしまう。そこで、図5の例では、隣接する2つの画素PXの間の少なくとも一部には凹部8xが形成されていない。換言すると、図5の例では、1つ又は複数の画素PXが一連の凹部8xによって完全には取り囲まれていない。こうすることで、周りから電気的に独立した部分が上部導電層12に形成されることを防ぐことができる。
図6は凹部8xが形成される位置の例を示す平面図である。図6(a)の例では、間隔を空けて並んでいる複数の凹部8xによって、複数の単位配列Pが囲まれている(図6(a)の例では3つの単位配列Pが複数の凹部8xによって取り囲まれている)。したがって、一連の凹部8xによって取り囲まれる画素PXが発生していない。図6(b)の例では、直交する2方向に伸びている2つの凹部8xが、単位配列Pの角に形成されている。この例においても、一連の凹部8xによって取り囲まれる画素PXは発生していない。凹部8xの平面形状は、図6に示したものに限られず、適宜変更されてよい。
TFT基板202の製造方法について説明する。図7はTFT基板202の製造方法の一例を示す図である。ここで説明する例では、図4A(a)から図4C(g)の工程は、TFT基板202の製造においても採用される。
図4C(g)に示すようにバンク層8上に発光層を含む有機層10を形成した後、図7(a)に示すように、上部導電層12を有機層10上に形成する。図5の例の上部導電層12は蒸着法によって形成される。上述したように、蒸着材料(分子)は蒸着源から直線的に飛びやすい。そのため、上部導電層12の材料は凹部8xの入り口から側面8bに回り込みにくい。その結果、上部導電層12は凹部8xの側面8bには付着し難い。図5の例の上部導電層12の材料は、例えばAlや、Ag、Mgなどの金属である。蒸着法により上部導電層12を形成する場合、その材料は図7(a)に示すように凹部8xの底部(詳細には、有機層10の部分10a)に付着し、上述の部分12b(図5参照)を形成する。
次に、図7(b)に示すように、上部導電層12及び有機層10を覆うように保護層214を形成する。保護層214は、その材料が凹部8xの入り口から側面8bに回り込む方法によって形成される。その結果、バンク8aの凹部8xの内側に形成される接続部214aが得られる。このような材料の回り込みを実現する方法としては、例えばスパッタ法や、CVD法、塗布法などがある。保護層214の材料の回り込みが実現される方法であれば、他の方法が利用されてもよい。
以上説明したように、バンク8aには上方に向かって幅が徐々に小さくなる形状の凹部8xが形成されている。TFT基板2、202は、有機層10上の上部電極として機能する導電層12を含み、有機層10の上側に形成されている少なくとも1つの層(上の説明では、上部導電層12及び保護層14、214)を備えている。そして、この少なくとも1つの層は、バンク8aの凹部8xの内側に形成され凹部8xに対応した形状を有している部分を含んでいる。そのため、この少なくとも1つの層がバンク8aから外れにくくなり、上部導電層12の有機層10からの剥がれを防止できる。
図8は本発明の第2の実施形態に係るTFT基板302の断面図である。この図の切断面は図3と同様である。図8では、図3と同様の箇所には同一符合を付している。以下では、図3の例との異なる点を中心に説明する。TFT基板302について説明のない事項は図3の例と同じである。
TFT基板302は、バンク層308を有している。バンク層308は、上述のバンク8aに替えて、バンク308aを有している。バンク308aには上述の凹部8xは形成されていない。TFT基板302は、発光層を含んでいる有機層310、及び上部導電層312を有している。上部導電層312と有機層310は保護層314によって覆われている。保護層314は接続部314aを有している。接続部314aは有機層310におけるバンク308の上面に位置する部分を貫通し、バンク308に接続している。TFT基板302の有機層310と上部導電層312は、バンク308aの上側に開口A3を有し、バンク308aの上面は開口A3において露出している。保護層314の接続部314aは開口A3を通してバンク308aに接している。開口A3を有する有機層10及び上部導電層12はマスクを利用して形成できる。
TFT基板302においては、保護層314とバンク層308の双方は無機材料によって形成される。こうすることにより、保護層314の接続部314aとバンク308aとの密着性を確保できる。その結果、上部導電層312の有機層310からの剥がれを抑えることができる。
一例では、保護層314とバンク層308は、それらが接する面に同じ材料を含む。例えば、保護層314とバンク層308は、それらが接する面にSiN或いはSiOを含む。これにより、保護層314とバンク308aとの密着性を向上できる。
図8の形態では、上部導電層312には開口A3が形成されているので、隣接する2つの画素PXのうち一方の画素PXの上部導電層312と他方の画素PXの上部導電層312は、開口A3において切断されている。仮に一連の開口A3(途中に破断部を有していない開口A3)が1つの画素PXを取り囲む場合、その画素の上部導電層12は周りの部分から電気的に独立してしまう。そこで、TFT基板302においては、図6で示した凹部8xと同様に、隣接する2つの画素PXの間の少なくとも一部には、開口A3が形成されていない。換言すると、1つ又は複数の画素PXは一連の開口A3によって取り囲まれていない。
なお、本発明は以上説明した実施形態に限られず、種々の変更がなされてよい。例えば、上述したように、バンク8aの凹部8xの内側には、上部導電層12の電極接続部12a及び保護層14、214の保護接続部14a、214aとともに、充填材が入り込んでもよい。
また、バンク8aは必ずしも2種類の材料によって形成されなくてもよい。
1 有機EL表示装置、2,202 TFT基板、3 回路層、4 平坦化膜、6 下部電極、8 バンク層、8a バンク、8b 凹部の内側の側面、8c バンクの側面、8x 凹部、10 有機層、12 上部導電層、12a 接続部、14,214 保護層、14a,214a 接続部、A1 バンク開口、108A バンク層の第1の材料、108B バンク層の第2の材料、109A,109B 露光マスク、302 TFT基板、308 バンク層、308a バンク、310 有機層、312 上部導電層、314 保護層、F 接続部。
Claims (13)
- 隣接する2つの画素と、
前記隣接する2つの画素を互いに区画しているバンクを有しているバンク層と、
発光層を含み、前記バンク層上に形成され、前記バンクの上面に位置している部分を有している有機層と、
前記有機層上の上部電極として機能する導電層を含む、前記有機層の上側に形成されている少なくとも1つの層と、を備え、
前記少なくとも1つの層は、前記有機層の前記バンクの上面に位置している前記部分を貫通し前記バンクに接続する接続部を有している
ことを特徴とする有機EL表示装置。 - 請求項1に記載の有機EL表示装置において、
前記バンクには、上方に向かって開口する形状を有している凹部であって、その下部から上部に向かって内側の幅が徐々に狭くなっている凹部が形成され、
前記接続部は前記凹部の内側に形成され前記凹部に対応した形状を有している
ことを特徴とする有機EL表示装置。 - 請求項2に記載の有機EL表示装置において、
前記少なくとも1つの層は、前記上部電極として機能する前記導電層と、前記有機層と前記導電層とを覆っている保護層とを含み、
前記導電層と前記保護層の少なくとも一方が前記接続部を有している
ことを特徴とする有機EL表示装置。 - 請求項2に記載の有機EL表示装置において、
前記少なくとも1つの層は前記導電層であり、
前記導電層は、前記凹部の内側に形成され前記凹部の内側の側面に接している部分を、前記接続部として有している
ことを特徴とする有機EL表示装置。 - 請求項3に記載の有機EL表示装置において、
前記少なくとも1つの層は前記保護層であり、
前記保護層は前記凹部の内側に形成され、前記凹部の内側の側面に接している部分を前記接続部として有している
ことを特徴とする有機EL表示装置。 - 請求項2に記載の有機EL表示装置において、
前記バンク層は、前記隣接する2つの画素のそれぞれに、前記バンクによって囲まれている開口を有し、
前記バンクの前記凹部が形成されている部分と前記バンクの前記開口に面している部分は互いに異なる材料によって形成されている
ことを特徴とする有機EL表示装置。 - 請求項2に記載の有機EL表示装置において、
前記バンク層の前記凹部が形成されている部分は、露光された部分を除去できるポジ型の感光性材料によって形成されている
ことを特徴とする有機EL表示装置。 - 請求項7に記載の有機EL表示装置において、
前記バンク層は、前記隣接する2つの画素のそれぞれに、前記バンクによって囲まれている開口を有し、
前記バンクの前記開口に面している部分は、露光により硬化するネガ型の感光性材料によって形成されている
ことを特徴とする有機EL表示装置。 - 請求項2に記載の有機EL表示装置において、
前記少なくとも1つの層はスパッタ法、CVD法又は塗布法によって形成されている
ことを特徴とする有機EL表示装置。 - 請求項1に記載の有機EL表示装置において、
前記少なくとも1つの層は無機材料によって形成され、
前記バンク層も無機材料によって形成されている
ことを特徴とする有機EL表示装置。 - 請求項10に記載の有機EL表示装置において
前記少なくとも1つの層と前記バンク層は同じ材料を含んでいる
ことを特徴とする有機EL表示装置。 - 請求項1に記載の有機EL表示装置において、
前記少なくとも1つの層は、前記上部電極として機能する前記導電層と、前記有機層と前記導電層とを覆っている保護層とを含み、
前記有機層と前記導電層とには、前記バンクの一部を露出させる開口が形成され、
前記保護層は、前記接続部として、前記開口を通して前記バンクに接する部分を有し、
前記保護層と前記バンク層は無機材料で形成されている
ことを特徴とする有機EL表示装置。 - 請求項12に記載の有機EL表示装置において、
前記保護層と前記バンク層は同じ材料を含んでいる
ことを特徴とする有機EL表示装置。
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