JP7106719B2 - 有機発光装置、撮像装置、及び有機発光装置の製造方法 - Google Patents
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Description
前記断面において、前記第2金属層は、前記第1金属層に対して、前記第1絶縁層の前記第1電極が配される面と平行な方向に突出していることを特徴とする発光装置を提供する。
図1は、本発明を適用した有機ELディスプレイの画素領域の断面構造の一例を示す模式図である。本実施の形態では、反射型の有機発光装置の例について説明する。なお、図の縮尺や縦横比に関しては必ずしも正確ではない。
本実施の形態では、有機発光装置の製造方法の一例について図6を用いて説明する。
本実施の形態では、実施の形態1または2に記載の有機発光装置を電子機器に適用する例について図8を用いて説明する。
110 第1電極
117 絶縁層
120 有機層
130 第2電極
Claims (17)
- 第1絶縁層の上に配され、第1金属層と前記第1金属層の上に配された第2金属層とを有する第1電極と、
前記第1電極の端部を覆う第2絶縁層と、
前記第1電極及び前記第2絶縁層の上に配され、発光層を有する有機層と、
前記有機層の上に配される第2電極と、を有し、
前記第1絶縁層、前記第1電極、及び前記第2絶縁層を含む断面において、前記第2絶縁層は、前記第1電極の端部を覆う第1部分と、前記第1絶縁層と接する第2部分と、前記第1部分と前記第2部分の間かつ前記第1部分と前記第1絶縁層との間に配されている第3部分と、を有し、前記第3部分は、前記第1部分および前記第2部分に接し、前記第1電極に向かう凹部を有する発光装置であって、
前記断面において、前記第2金属層は、前記第1金属層に対して、前記第1絶縁層の前記第1電極が配される面と平行な方向に突出していることを特徴とする発光装置。 - 第1絶縁層の面の上に配され、第1金属層と前記第1金属層の上に配された第2金属層とを有する第1電極と、
前記第1電極の端部を覆う第2絶縁層と、
前記第1電極及び前記第2絶縁層の上に配され、発光層を有する有機層と、
前記有機層の上に配される第2電極と、を有し、
前記第1絶縁層、前記第1電極、及び前記第2絶縁層を含む断面において、前記第2絶縁層は、前記第1電極の端部を覆う第1部分と、前記第1絶縁層と接する第2部分と、前記第1部分と前記第2部分の間かつ前記第1部分と前記第1絶縁層との間に配され、前記第1部分および前記第2部分に接している第3部分と、を有し、
前記断面において、前記第2金属層は、前記第1金属層に対して、前記第1絶縁層の前記第1電極が配される面と平行な方向に突出しており、
前記断面において、前記第1部分は、前記第3部分に対して、前記第1絶縁層の前記面に平行な方向に突出していることを特徴とする発光装置。 - 前記第1絶縁層の第1電極が配される面に平行な面に対する平面視において、前記第2絶縁層の前記第3部分の外縁は、前記第1部分の外縁の内側にある請求項1または2に記載の発光装置。
- 前記第2絶縁層は、酸化シリコン、窒化シリコン、窒化酸化シリコン、アクリル及びポリイミドのいずれかで構成されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の発光装置。
- 前記第1電極の上における、前記第2絶縁層の前記面に垂直な方向の膜厚は、前記面に平行な第1方向における前記第2金属層が前記第1金属層に対して突出している長さより大きい請求項1乃至4のいずれか1項に記載の発光装置。
- 前記第1電極の上における、前記面に垂直な第2方向での前記第2絶縁層の膜厚は、前記第1電極の前記有機層と接する部分における、前記第2方向での前記第1電極の膜厚より大きい請求項1乃至5のいずれか1項に記載の発光装置。
- 前記第2絶縁層の第3部分は、前記第1電極の前記第1金属層と接する請求項1乃至6のいずれか1項に記載の発光装置。
- 前記断面において、前記第1金属層は、前記第2金属層から前記第1絶縁層に向かって前記面に平行な第1方向における長さが長くなる請求項1乃至7のいずれか1項に記載の発光装置。
- 前記第1金属層の前記第1絶縁層と接する部分の側面と、前記第1電極の底面との成す角が80度以下である請求項1乃至8のいずれか一項に記載の発光装置。
- 前記第1電極の上における前記有機層の膜厚は、前記第1電極の上における前記第2絶縁層の膜厚より大きい請求項1乃至9のいずれか1項に記載の発光装置。
- 前記有機層は、前記第1電極と前記発光層の間に正孔注入層を有する請求項1乃至10のいずれか1項に記載の発光装置。
- 前記第1金属層はアルミニウムを含み、
前記第2金属層は、チタン、モリブデン、またはタングステンのいずれか1つを含む請求項1乃至11のいずれか1項に記載の発光装置。 - 前記凹部が、前記面に平行な方向を向くことを特徴とする請求項1に記載の発光装置。
- 第1絶縁層の上に、第1金属層と、前記第1金属層の上に配される第2金属層と、を形成し、
前記第1金属層及び第2金属層をエッチングして、前記第2金属層が、前記第1絶縁層の前記第1金属層が配される面に平行な方向に、前記第1金属層より突出した構成を有する第1電極を形成し、
前記第1電極の端部を覆う第2絶縁層を形成し、
前記第1電極及び前記第1絶縁層の上に、発光層を含む有機層を形成し、
前記有機層の上に第2電極を形成し、
前記第2絶縁層は、前記面に垂直な方向における前記第1電極の上での前記第2絶縁層の膜厚が、前記第2金属層の前記第1金属層に対して突出する長さより大きくなるように形成されることを特徴とする発光装置の製造方法。 - 前記垂直方向において、前記第2絶縁層の前記第1電極の上での膜厚は、前記第1電極の前記第2絶縁層に覆われる端部の膜厚より大きい請求項14に記載の発光装置の製造方法。
- 前記第2金属層の突出部は、前記第1金属層と前記第2金属層のエッチングレートの違いを用いて形成される請求項14または15に記載の発光装置。
- オルト珪酸テトラエチルを含むガスを用いたCVDにより前記第2絶縁層を形成する請求項14乃至16のいずれか1項に記載の発光装置の製造方法。
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