JP2019057690A - セラミック配線基板およびプローブ基板 - Google Patents
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Abstract
【課題】電気抵抗の小さい配線を有するセラミック配線基板およびプローブ基板を提供する。【解決手段】プローブ基板は、セラミック基板1と、該セラミック基板1に設けられた、Cu、AuおよびAgの群から選ばれる少なくとも1種の低抵抗金属ならびにWおよびMoの少なくとも1種の高融点金属を含む線状導体(信号配線21a〜21f)と、前記低抵抗金属を含み、前記線状導体に沿って設けられている副導体3と、を有しているセラミック配線基板および該セラミック配線基板とプローブピンとを備える。【選択図】図2
Description
本発明は、セラミック配線基板およびこれを用いたプローブ基板に関するものである。
半導体素子の電気的検査に用いられるプローブカードは、プローブピンを備えたプローブ基板と、プローブ基板と接続され、外部回路と接続される回路基板とを備えている。プローブ基板としてはセラミック基板に配線を形成したセラミック配線基板が用いられている。
近年、半導体素子に形成された集積回路の配線微細化に伴って、プローブカードの単位面積当たりのプローブピン数を多くすることが求められ、またセラミック配線基板に形成される配線もより微細化することが求められている。そして、配線の微細化に伴う配線の電気抵抗(配線抵抗)の増大を解消するために、比較的強度の高いアルミナ質焼結体などからなるセラミック基板の表面および内部に、Cu、Ag、Auなどの低抵抗金属とMo、Wなどの高融点金属との複合導体からなる配線が形成されたセラミック配線基板を用いることが提案されている(特許文献1を参照。)。
従来の複合導体からなる配線を備えるセラミック配線基板においても、いわゆるベタ状の電源導体や接地導体ではなく、信号配線等の線状の配線導体(線状導体)において抵抗が増大する場合があった。これは、セラミック配線基板の作製時に、配線導体中の低抵抗金属がセラミックス中に拡散してしまうことによるものであった。このような配線抵抗の大きいセラミック配線基板を用いたプローブ基板およびプローブカードでは、電気信号の遅延が発生しやすく半導体素子の検査を正確に行なうことが困難になる場合があった。
本開示のセラミック配線基板は、セラミック基板と、該セラミック基板に設けられた、Cu、AuおよびAgの群から選ばれる少なくとも1種の低抵抗金属ならびにWおよびMoの少なくとも1種の高融点金属を含んでいる線状導体と、前記低抵抗金属を含み、前記線状導体に沿って設けられている副導体とを有している。
また、本開示のプローブ基板は、上記のセラミック配線基板と、該セラミック配線基板の前記線状導体に電気的に接続されたプローブピンとを備える。
本開示のセラミック配線基板によれば、信号配線等の線状導体に沿って副導体が設けられていることから、セラミック配線基板の製造工程中において、線状導体中の低抵抗金属がセラミック基板中に拡散して線状導体の電気抵抗が大きくなってしまうことが抑えられたものとなる。
また、このようなセラミック配線基板を用いた本開示のプローブ基板によれば、信号配線等の線状導体の電気抵抗が小さく、信号の遅延が発生し難いので、半導体素子の検査を
正確に行なうことができるものとなる。
正確に行なうことができるものとなる。
以下、セラミック配線基板10およびプローブ基板100の実施形態について図面を参照しながら説明する。
図1はセラミック配線基板10の実施形態の一例を模式的に示す断面図である。図2〜図6は、いずれもセラミック配線基板10における線状導体の一例を示す平面図である。図2は図1に示すセラミック配線基板10におけるセラミック層1a,1b(セラミック層1bより上の部分)を取り除いて平面視した例である。図2〜図6は断面図ではないが、区別しやすいように線状導体2(信号配線21、ペア配線22)および副導体3には図1と同様のハッチングを施している。
本開示のセラミック配線基板10は、セラミック基板1と、セラミック基板1に設けられた、Cu、AuおよびAgの群から選ばれる少なくとも1種の低抵抗金属ならびにWおよびMoの少なくとも1種の高融点金属を含んでいる線状導体2と、低抵抗金属を含み、線状導体2に沿って設けられている副導体3とを有している。
セラミック配線基板10は、図1に示す例においては、4つのセラミック層1a〜1dが積層されたセラミック基板1を備えている。図1は簡略化して示す模式図であるので、セラミック層の数が4層しかないが、プローブ基板100に用いるセラミック配線基板1においては、測定対象物である半導体素子の数、ウエハの大きさ等にもよるが、例えば、20層〜50層とすることができる。
セラミック配線基板10はまた、外部回路と半導体素子を電気的に接続するための配線を備えている。図1における一番上のセラミック層1aと2番目のセラミック層1bとの層間には、いわゆるベタ状の電源導体4が設けられている。3番目のセラミック層1cと4番目(最下層)のセラミック層1dとの層間には、いわゆるベタ状の接地導体5が設けられている。そして、2番目のセラミック層1bと3番目のセラミック層1cとの層間には、線状導体2が設けられている。線状導体2は、セラミック配線基板1をプローブカードに用いた場合に、半導体素子の回路と外部回路との間で検査用の信号が伝送される信号配線21を有している。図2に示す例においては、6つの信号配線21a〜21fを有している。また、図1および図2に示す例においては、これ以外の線状導体2として、例えば電源電圧モニター用などの配線として、9つのペア配線22が設けられている。そして、線状導体2のうちの信号配線21(21a〜21f)に沿って副導体3が設けられてい
る。
る。
セラミック配線基板10の製造工程のうち焼成工程において、配線の低抵抗金属がセラミック基板1内に拡散してしまう場合がある。つまり、配線中の低抵抗金属の割合が減ってしまい、電気抵抗が増大してしまうことがある。これは、配線幅の小さい線状導体2において発生しやすいものである。一方、信号配線21等の線状導体2には電気抵抗が小さいことが求められる。
本開示のセラミック配線基板10によれば、信号配線21に沿って副導体3が設けられていることから、セラミック配線基板10の製造工程中において、信号配線21中の低抵抗金属がセラミック基板中に拡散して信号配線の電気抵抗が大きくなってしまうことが抑えられたものとなる。図2に示す例のような、ペア配線22においても上記のような低抵抗金属の拡散による電気抵抗の増加は発生するが、信号配線21に比較すると小さいものである。これは、ペア配線22は、2本の配線が近接して平行に設けられているものであるので、互いに近くに他の配線が存在しているため、2つの配線間への低抵抗金属の拡散が抑えられるためである。そのため、線状導体2の全てに沿うように副導体3を設ける必要はなく、線状導体2のうち少なくとも、1本の線状の導体だけで構成されているもの、例えば信号配線21に沿って副導体3を設けてもよい。図2〜図5に示す例においては、線状導体2のうち信号配線21に沿って副導体3を設けた例を示している。信号配線21(線状導体2)に沿った低抵抗金属を含む副導体3を設けることで、信号配線21(線状導体2)の近くに低抵抗金属を含む他の導体(副導体3)が存在し、信号配線21と副導体3との間には副導体3からも低抵抗金属が拡散するので、信号配線21(線状導体2)から副導体3側への低抵抗金属の拡散が抑えられる。その結果として、信号配線21(線状導体2)の電気抵抗が小さいものとなり、信号の遅延が発生し難いので、プローブカードに用いた場合には半導体素子の検査を正確に行なうことができる。
信号配線21は、上述したように1本の配線からなるものであって、信号線と接地導体とが近接しているコプレナー線路、あるいはペア配線22と同様の2本の平行配線で構成される差動線路(差動ペア配線)とは異なるものである。副導体3を設けることでコプレナー線路や差動線路と類似の形状となるが、1本の信号配線21で信号を伝送し、1本の信号配線21でインピーダンス整合等がなされているものであり、副導体3は信号の伝送への関与は極めて小さいものである。そのため、例えば、図2に示す信号配線21aと副導体3のように、これらの間隔は、コプレナー線路や差動ペア配線のように一定である必要はない。他の配線等と短絡しないように適宜引き回して、信号配線21と副導体3との間隔を、信号配線21の長さ方向の位置によって異ならせることができる。また、図2に示す信号配線21aに沿って設けられた副導体3のようにその幅も一定である必要はない。
また、信号配線21の長さ方向の全域に沿って副導体3が設けられなくてもよい点においても差動ペア配線等とは異なるものである。例えば、図2に示す信号配線21fに対しては、セラミック基板1(セラミック層1c)の平面視における中央部側においては、副導体3が設けられていない。信号配線21fより短い副導体3が、信号配線21の外側の端部から内側へ向かって、信号配線21fに沿うように設けられている。信号配線21e
に沿っている副導体3などは、信号配線21eの長さの3分の1程度の長さしかない。これら信号配線21e,21fの内側の部分は、他の配線(ペア配線22)に近接している。そのため、信号配線21e,21fのうち低抵抗金属が拡散し難い内側部分の近くには副導体3を設けなくてもよい。
に沿っている副導体3などは、信号配線21eの長さの3分の1程度の長さしかない。これら信号配線21e,21fの内側の部分は、他の配線(ペア配線22)に近接している。そのため、信号配線21e,21fのうち低抵抗金属が拡散し難い内側部分の近くには副導体3を設けなくてもよい。
また、信号配線21と副導体3とは、差動ペア配線のように連続して平行になっていなくてもよい。言い換えれば、信号配線21の長さ方向の全域にわたって同じ側に副導体3
が設けられていなくてもよい。例えば、図2における1つの信号配線21cに対して、副導体3は2つ設けられており、1つの副導体2は信号配線21cの内側部分の内側に向かって右側に設けられ、もう1つの副導体2は信号配線21cの外側部分の左側に設けられている。信号配線21cと他の配線(ペア配線22)との距離が大きい側に設けている。これは、信号配線21の片側だけに副導体3を設ける場合でも同様であり、副導体3は、信号配線21と他の配線(ペア配線22)との距離が大きい側に設けることができる。これにより、信号配線21中の低抵抗金属のセラミック基板1内への拡散をより低減することができる。
が設けられていなくてもよい。例えば、図2における1つの信号配線21cに対して、副導体3は2つ設けられており、1つの副導体2は信号配線21cの内側部分の内側に向かって右側に設けられ、もう1つの副導体2は信号配線21cの外側部分の左側に設けられている。信号配線21cと他の配線(ペア配線22)との距離が大きい側に設けている。これは、信号配線21の片側だけに副導体3を設ける場合でも同様であり、副導体3は、信号配線21と他の配線(ペア配線22)との距離が大きい側に設けることができる。これにより、信号配線21中の低抵抗金属のセラミック基板1内への拡散をより低減することができる。
上述したように、副導体3は信号配線21とは電気的に独立したものである。そのため、図2の信号配線21bに沿って設けられた副導体3と図2の信号配線21cに沿って設けられた副導体3とのように、1つの副導体3は他の副導体3と接続されていてもよい。また、図4の信号配線21eに沿って設けられた副導体3は、内側の端部は別の信号配線21aに沿って設けられている。このように、1つの信号配線21と1つの副導体3とで対をなすものでなくてもよい。
また、図2の信号配線21cに対する副導体3のように、副導体3は、信号配線21の長さ方向に沿った方向において連続した1つのものでなくてもよい。言い換えれば、信号配線21の長さ方向に沿った方向において、複数の副導体3が設けられていてもよい。図3における1つの信号配線21aに対しては、5つの副導体3が信号配線21aに沿って設けられている。そのうちの1つは、信号配線21aを挟んで他の4つとは反対側に設けら
れている。図2における1つの信号配線21aと図3の1つの信号配線21aとは同様の形状であるが、図2に示す例と図3に示す例とでは、この信号配線21aの周囲のペア配線
22の配置が異なっている。図3に示す例のようなペア配線22が設けられているときに図2に示す例のような副導体3を設けると、これらの間で短絡してしまう。そのため、図3の信号配線21aに対する副導体3は、図2の信号配線21aに対する副導体を5つに分割したような構成となっている。このように、1つの信号配線21に沿っている副導体3を複数で構成することにより、他の配線との短絡等を回避しつつ信号配線21に沿って副導体3を設けることが容易となる。また、他の配線との短絡がない場合であっても、信号配線21の長さ方向において、他の配線(ペア配線22)との距離に対応させて副導体3の位置を変えることもできる。そのため、信号配線21中の低抵抗金属のセラミック基板1内への拡散をより低減することができる。
れている。図2における1つの信号配線21aと図3の1つの信号配線21aとは同様の形状であるが、図2に示す例と図3に示す例とでは、この信号配線21aの周囲のペア配線
22の配置が異なっている。図3に示す例のようなペア配線22が設けられているときに図2に示す例のような副導体3を設けると、これらの間で短絡してしまう。そのため、図3の信号配線21aに対する副導体3は、図2の信号配線21aに対する副導体を5つに分割したような構成となっている。このように、1つの信号配線21に沿っている副導体3を複数で構成することにより、他の配線との短絡等を回避しつつ信号配線21に沿って副導体3を設けることが容易となる。また、他の配線との短絡がない場合であっても、信号配線21の長さ方向において、他の配線(ペア配線22)との距離に対応させて副導体3の位置を変えることもできる。そのため、信号配線21中の低抵抗金属のセラミック基板1内への拡散をより低減することができる。
セラミック配線基板1は、図4に示す例のように、信号配線21が副導体3に挟まれている部分を有しているものとすることができる。このようにすると、信号配線21の長さ方向に交差する方向、言い換えればセラミック層1cの面方向への、信号配線21中の低抵抗金属のセラミック配線基板1への拡散がより低減される。図4における信号配線21a〜21dおよび21fは、その長さ方向の全域が副導体3に挟まれているので、信号配線21a〜21dおよび21fの長さ方向の全域において、セラミック層1cの面方向への、信号配線21中の低抵抗金属のセラミック配線基板1への拡散がより低減されている。図4の信号配線21eについては、2つの副導体3に挟まれているのは外側の一部だけであるが、それ以外の部分は1つの副導体3と他の配線(ペア配線22)とに挟まれているので、信号配線21eもまた、長さ方向の全域において信号配線21e以外の配線に挟まれており、セラミック層1cの面方向への、信号配線21中の低抵抗金属のセラミック配線基板1への拡散がより低減されている。
図5に示す例の副導体3は、図4に示す例の各信号配線21a〜21fを挟んでいる2つの副導体3が、外側の端部同士が接続されて1つになったような形状である。これによって、信号配線21の長さ方向に沿った位置、すなわち側方だけでなく、信号配線21の端の先にも副導体3が存在している。このように、信号配線21が副導体3に囲まれてい
るセラミック配線基板1とすることができる。このようにすると、信号配線21の端からセラミック層1cの面方向への、信号配線21中の低抵抗金属のセラミック配線基板1への拡散もさらに低減されるので、信号配線21はより低抵抗なものとなる。図5の信号配線21bは全周にわたって副導体3に囲まれているが、信号配線21が全周にわたって副導体3に囲まれている必要はない。図5の信号配線21cの内側の端の先には信号配線21aに沿って設けられた副導体3が存在しており、これと信号配線21cに沿って設けられた副導体3とで信号21cが囲まれている。また、図5の信号配線21dの内側の端の先には他の配線(ペア配線22)が存在しているので、信号配線21dの内側の端の先まで副導体3を回り込ませる必要はない。すなわち、図5に示す例のように、配線密度の低い外縁部に位置する、信号配線21の外側の端の先だけに副導体3を設けてもよい。
るセラミック配線基板1とすることができる。このようにすると、信号配線21の端からセラミック層1cの面方向への、信号配線21中の低抵抗金属のセラミック配線基板1への拡散もさらに低減されるので、信号配線21はより低抵抗なものとなる。図5の信号配線21bは全周にわたって副導体3に囲まれているが、信号配線21が全周にわたって副導体3に囲まれている必要はない。図5の信号配線21cの内側の端の先には信号配線21aに沿って設けられた副導体3が存在しており、これと信号配線21cに沿って設けられた副導体3とで信号21cが囲まれている。また、図5の信号配線21dの内側の端の先には他の配線(ペア配線22)が存在しているので、信号配線21dの内側の端の先まで副導体3を回り込ませる必要はない。すなわち、図5に示す例のように、配線密度の低い外縁部に位置する、信号配線21の外側の端の先だけに副導体3を設けてもよい。
副導体3が、接地導体5に接続されているセラミック配線基板10とすることができる。信号配線21を挟んだり囲んだりしている副導体3が接地電位であることで、副導体3がシールド導体として機能し、信号配線21に電磁波のノイズ信号が侵入し難くなる。そのため、配線基板1をプローブカードに用いた場合には半導体素子の検査をより正確に行なうことができる。図5に示す例のように、副導体3が信号配線21の外側の端、配線基板1の側面に近い端を取り囲むように設けられている場合には、配線基板1の外部から侵入してくるノイズ信号に対して有効である。
以上の説明では、副導体3を線状導体2のうちの信号配線21に沿って設けた例で説明したが、他の線状導体2、図2〜図5に示す例であればペア配線22に沿って副導体3を設けることもできる。図6に示す例においては、ペア配線22は、副導体3に挟まれている部分を有しているか、副導体3に囲まれたものとなっている。そのため、電源電圧モニター用であるペア配線22においても低抵抗金属のセラミック基板1への拡散がさらに低減されての配線抵抗もさらに低減されるので、電源電圧モニターの精度も向上させることができる。このとき、図6に示す例のように、ペア配線22の2つの配線をそれぞれ挟むように副導体3を設けなくてもよく、ペア配線22を2つの副導体3でまとめて挟んでいればよい。このようにしても、ペア配線22の一方の配線は、ペア配線22の他方の配線と副導体3とで挟まるからである。ペア配線22に沿って副導体3を設ける場合も、上述した信号配線21に沿って副導体3を設ける場合と同様な構成とすることができる。
このように線状導体2の形態は1つの配線からなる信号配線21あるいはペア配線22であってもよく、構成する数等に限られるものではない。例えば、信号用の線状導体2が上述した差動ペア配線であってもよい。この場合には、副導体3が差動ペア配線の信号伝送に影響を与えないように設ければよい。
セラミック基板1は、セラミック配線基板1の基本的な構成要素であり、セラミック基板1に設けられている配線間の絶縁性を確保するための絶縁体でもある。セラミック基板1は、アルミナ質焼結体またはムライト質焼結体からなる板状の基板である。セラミック基板1は、アルミナ質焼結体またはムライト質焼結体からなる複数のセラミック層1a〜1dが積層されてなる多層セラミック基板とすることができる。ここでいうアルミナ質焼結体は、Cu、AuおよびAgの群から選ばれる少なくとも1種の低抵抗金属ならびにWおよびMoの少なくとも1種の高融点金属を含んでいる配線導体と同時焼成できるものである。MnおよびSiを焼結助剤として含有させることにより、従来のアルミナ質焼結体よりも200℃以上低い1500℃以下の温度で焼結したものである。セラミック基板1としてムライト質焼結体を用いると、セラミック基板1はシリコンウエハとの熱膨張係数が近似するものとなる。そのため、セラミック配線基板10にプローブピン11を設けたプローブ基板100を備えたプローブカード1を用いてバーンインテストを行なうと、高温(例えば125℃)と低温(例えば−40℃)でのテストを行う場合でも、セラミック配線基板10上のプローブピン11の先端の位置がシリコンウエハ上の端子からずれにく
いものとなる。また、アルミナなどと比較すると、低温で焼成することができるので、配線導体5に低抵抗な銅を含むものを使用することができるので、電源特性や高周波特性等の電気的な特性に優れたセラミック配線基板10、プローブ基板100となる。
いものとなる。また、アルミナなどと比較すると、低温で焼成することができるので、配線導体5に低抵抗な銅を含むものを使用することができるので、電源特性や高周波特性等の電気的な特性に優れたセラミック配線基板10、プローブ基板100となる。
セラミック基板1の平面視の形状は、例えば、正方形状、長方形状および八角形状のような多角形板状、あるいは円形状である。例えば、厚さが3mm〜10mmで、方形の場合であれば100mm×100mm〜300mm×300mmとすることができ、円形状の場合であれば直径100mm〜300mmとすることができる。セラミック基板1の主面は研磨によって平坦化された平坦面とすることができる。平坦化されていると、セラミック配線基板10をプローブカードに用いた場合に、セラミック配線基板10上の表層配線6と回路基板およびシリコンウエハ上の半導体素子のような検査対象物との電気的接続が良好になる。
セラミック基板1には配線導体が設けられている。配線導体には、セラミック基板1の内部(セラミック層1a〜1dの層間)に設けられた、線状導体2、電源導体4および接地導体5、セラミック基板1の表面(主面)に設けられた表層配線6、これらを電気的に接続するための、セラミック層を貫通する貫通導体7等がある。線状導体2は、図1〜図6に示す例では1つの配線で構成されている信号配線21およびペア配線22であるが、これ以外のものを含んでいてもよいし、ペア配線22を含まなくてもよい。
配線導体は、例えば、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、マンガン(Mn)、銅(Cu)、クロム(Cr)、白金(Pt)、金(Au)および銀(Ag)等の金属材料によって形成されている。また、配線導体は、これらの金属材料の合金材料からなるものであってもよい。これらの金属材料(合金材料)は、例えばメタライズ導体(厚膜導体)、薄膜導体またはめっき導体等の形態でセラミック基板1に設けられている。配線導体のうち、少なくともセラミック基板1の内部に設けられるものはメタライズ導体であり、セラミック基板1と同時焼成により形成される。そして、少なくとも線状導体2は、Cu、AuおよびAgの群から選ばれる少なくとも1種の低抵抗金属ならびにWおよびMoの少なくとも1種の高融点金属を含むものである。このような高融点金属と低抵抗金属とを含む配線導体は、上記のようなセラミック基板1と同時焼成により形成できるとともに、電気抵抗が比較的小さいものである。線状導体2に接続される貫通導体7も同様に電気抵抗を小さくするために低抵抗金属を含むものであってもよい。これにより線状導体2から貫通導体7への低抵抗金属の移動(拡散)を抑えることもできる。電源導体4および接地導体5も線状導体2と同様の材料で構成してもよく、その場合には、低抵抗で線状導体2と同時焼成が容易なものとなる。表層配線6は、メタライズ導体であってもよいし薄膜導体またはめっき導体であってもよい。表層配線6もまた、メタライズ導体である場合には線状導体2と同様の材料で構成することもできる。
副導体3は、線状導体2と同様の材料で構成される。線状導体2に沿って設けられる副導体3が線状導体2と同じ低抵抗金属を含むことで、線状導体2から、線状導体2と副導体3との間のセラミック基板1内への低抵抗金属の拡散が抑えられる。副導体3と線状導体2との間隔は、線状導体2の種類にもよるが、例えば225μm〜1000μm程度とすることができる。これにより、低抵抗金属の線状導体2からセラミック基板1への拡散が効果的に抑えられるとともに、副導体3を接地導体5に接続した場合などにも線状導体2との結合等による信号の伝送への影響が小さいものとなる。
上記のようなセラミック配線基板10の製造方法の一例について説明する。
セラミック基板1は、セラミック層となるグリーンシートを複数枚積層して焼成することによって作製することができる。セラミック基板1がアルミナ質焼結体からなる場合で
あれば、グリーンシートの作製においては、まず、主原料であるアルミナ(Al2O3)粉末と添加剤として、Mn2O3粉末およびSiO2粉末等を添加した混合粉末に対して有機バインダ、溶媒を添加してボールミル等を用い十分に混合、分散させることでスラリーを作製する。このときのアルミナ粉末は、例えば平均粒径が0.5〜2.5μm、特に1.0〜2.0μmの粉末を用いる。これは、平均粒径を0.5μm以上とすることでシート成形性を良好なものとし、2.5μm以下とすることで1420℃以下の温度での焼成によっても緻密化を促進させるためである。また、アルミナ粉末は90〜95質量%で残りがMn2O3粉末およびSiO2粉末等の添加剤である。このスラリーをドクターブレード法、射出法などの成形方法によってグリーンシートを作製することができる。あるいは、混合粉末に有機バインダを添加し、プレス成形、圧延成形等の方法により所定の厚みのグリーンシートを作製することもできる。なお、グリーンシートの厚みはたとえば50〜300μmとすることができるが、特に限定されない。
あれば、グリーンシートの作製においては、まず、主原料であるアルミナ(Al2O3)粉末と添加剤として、Mn2O3粉末およびSiO2粉末等を添加した混合粉末に対して有機バインダ、溶媒を添加してボールミル等を用い十分に混合、分散させることでスラリーを作製する。このときのアルミナ粉末は、例えば平均粒径が0.5〜2.5μm、特に1.0〜2.0μmの粉末を用いる。これは、平均粒径を0.5μm以上とすることでシート成形性を良好なものとし、2.5μm以下とすることで1420℃以下の温度での焼成によっても緻密化を促進させるためである。また、アルミナ粉末は90〜95質量%で残りがMn2O3粉末およびSiO2粉末等の添加剤である。このスラリーをドクターブレード法、射出法などの成形方法によってグリーンシートを作製することができる。あるいは、混合粉末に有機バインダを添加し、プレス成形、圧延成形等の方法により所定の厚みのグリーンシートを作製することもできる。なお、グリーンシートの厚みはたとえば50〜300μmとすることができるが、特に限定されない。
このグリーンシートに対して、例えば、金型パンチング、マイクロドリル、レーザー等の孔形成方法により貫通孔を形成する。この貫通孔は、配線導体の貫通導体7となる部分に設ける。
また、グリーンシートに対して、導体ペーストを、例えばスクリーン印刷により貫通導体7用の貫通孔内に充填し、スクリーン印刷、グラビア印刷などの印刷方法により、セラミック層間の配線導体の形状でグリーンシートの主面に印刷塗布する。導体ペーストは、例えば、低抵抗金属である銅(Cu)粉末と高融点金属であるタングステン(W)粉末またはモリブデン(Mo)粉末とを所定の比率となるように混合した混合金属粉末に対して有機バインダ、溶媒等を添加して三本ミル等を用いて十分に混合させることで調製することができる。混合金属粉末は、例えば低抵抗金属が40〜60体積%、高融点金属が40〜60体積%である。なお、この導体ペースト中には、セラミック基板1との密着性を高めるために、上記の金属粉末以外にアルミナ粉末あるいはセラミック基板1と同一組成物の混合粉末を添加してもよく、さらにはTi等の活性金属あるいはそれらの酸化物を添加してもよい。
なお、導体ペーストは、すべて同一の組成である必要はなく、必要とされる配線抵抗や電気特性に応じて、部分的に組成を変えても構わない。例えば、配線導体において、径が30〜100μm程度ある貫通導体7は、一般的に厚みが5〜20μm程度で幅が20〜100μm程度のセラミック層間の線状導体2に比べて断面積が大きくなる傾向があるので、貫通導体や幅の広いセラミック層間の膜状の導体については部分的にタングステン(W)、モリブデン(Mo)やその合金で形成しても構わない。
その後、導体ペーストを印刷塗布したグリーンシートを含む複数のグリーンシートを位置合わせして積層圧着して積層体を作製する。
積層体を、非酸化性雰囲気(窒素雰囲気あるいは窒素と水素との混合雰囲気)中で、例えばは最高温度1380℃〜1420℃で6時間〜10時間焼成することで、配線導体を備えたセラミック配線基板10となる。このセラミック配線基板10の第1の主面を研磨して主面を平坦にしてもよい。
セラミック基板1の主面上の表層配線6は、例えば以下のようにして作製することができる。例えばスパッタ法等の薄膜形成法を用いて、まず、セラミック基板1の内部に配線導体を有するセラミック配線基板10の主面の全面に0.1〜3μm程度のチタンやクロム等の接合金属層を形成する。次に、この接合金属層の全面に2〜10μm程度の銅等の主導体層を形成して、導電性薄膜層を形成する。必要に応じてバリア層等を形成してもよい。そして、フォトリソグラフィーにより導電性薄膜層をパターン加工することで薄膜の
表層配線6を形成することができる。
表層配線6を形成することができる。
表層配線6の表面には、1〜10μm程度のニッケル膜および0.1〜3μm程度の金膜を順に形成して、表層配線6の表面を保護するとともに、ろう材やはんだ等の接合性を高めることができる。ニッケル膜および金膜は、電解めっきによるめっき膜あるいは薄膜で形成することができる。
図7(a)および図7(b)はいずれもプローブ基板の一例を模式的に示す断面図である。図7(a)に示す例のプローブ基板100は、上記のようなセラミック基板10にプローブピン11が接続されたものである。図7(b)に示す例のプローブ基板100は、上記のようなセラミック基板10の上にさらに薄膜配線基板12を設けてプローブピン11を接続したものである。
すなわち、プローブ基板100は、上記のようなセラミック配線基板10と、セラミック配線基板10の線状導体2に電気的に接続されたプローブピン11とを備える。このようなプローブ基板100によれば、上記のようなセラミック配線基板10を用いているので、信号配線21の電気抵抗が小さく、信号の遅延が発生し難いので、半導体素子の検査を正確に行なうことができるものとなる。
プローブピン11は、例えば、ニッケルやタングステンなどの金属からなるものである。プローブピン11がニッケルからなる場合であれば、例えば、以下のようにして作製される。まず、シリコンウエハの1面にエッチングにより複数のプローブピンの雌型を形成し、雌型を形成した面にめっき法を用いてニッケルから成る金属を被着させる。そして、さらに雌型をニッケルで埋め込み、埋め込まれたニッケル以外のウエハ上のニッケルをエッチング法等の加工を用いて除去して、ニッケル製プローブピンが埋設されたシリコンウエハを作製する。このシリコンウエハに埋設されたニッケル製プローブピンをセラミック基板1の主面上に位置する表層配線6にはんだ等の接合材で接合する。そして、シリコンウエハを水酸化カリウム水溶液で除去することによって、図7(a)に示す例のような、セラミック基板1の表層配線6にプローブピン11が接合されたプローブ基板100が得られる。プローブピン11は、表層配線6および貫通導体7等を介して線状導体2(信号配線21)に電気的に接続されている。
プローブ基板100は、図7(b)に示す例のような構成であってもよい。すなわち、上記のようなセラミック配線基板10の主面上に薄膜配線基板12を設け、薄膜配線基板12の表面に設けられた薄膜配線12bに接合されたプローブピン11を備えるプローブ基板100である。この例においても、プローブピン11は、薄膜配線基板12の上面から下面にかけて設けられた薄膜配線12bを介して、セラミック配線基板1の線状導体2に電気的に接続されている。
薄膜配線基板12は、ポリイミド等の樹脂からなる複数の樹脂絶縁層12aが積層されてなる樹脂基板と、樹脂基板に設けられた薄膜配線12bとからなるものである。薄膜配線12bは、樹脂基板の表面および内部(樹脂絶縁層12aの層間)に設けられた薄膜配線層と、樹脂絶縁層12aを貫通して薄膜配線層間を電気的に接続する薄膜貫通導体とを含んでいる。この薄膜導体12bは、フォトリソグラフィー技術によって形成されるので、より微細な配線とすることができる。これによって、薄膜配線基板12の表面に形成された薄膜配線12bに接続されるプローブピン11の間隔をより小さいものとすることができる。
1・・・セラミック基板
1a〜1d・・・セラミック層
2・・・線状導体
21(21a〜21f)・・・信号配線
22・・・ペア配線
3・・・副導体
4・・・電源導体
5・・・接地導体
6・・・表層配線
7・・・貫通導体
10・・・セラミック配線基板
11・・プローブピン
12・・薄膜配線基板
12a・・樹脂絶縁層
12b・・薄膜配線
100・・・プローブ基板
1a〜1d・・・セラミック層
2・・・線状導体
21(21a〜21f)・・・信号配線
22・・・ペア配線
3・・・副導体
4・・・電源導体
5・・・接地導体
6・・・表層配線
7・・・貫通導体
10・・・セラミック配線基板
11・・プローブピン
12・・薄膜配線基板
12a・・樹脂絶縁層
12b・・薄膜配線
100・・・プローブ基板
Claims (6)
- セラミック基板と、
該セラミック基板に設けられた、Cu、AuおよびAgの群から選ばれる少なくとも1種の低抵抗金属ならびにWおよびMoの少なくとも1種の高融点金属を含む線状導体と、
前記低抵抗金属を含み、前記線状導体に沿って設けられている副導体と、を有しているセラミック配線基板。 - 前記線状導体の長さ方向に沿った方向において、複数の前記副導体が設けられている請求項1に記載のセラミック配線基板。
- 前記線状導体が、前記副導体に挟まれている部分を有している請求項1または請求項2に記載のセラミック配線基板。
- 前記線状導体が、前記副導体に囲まれている請求項3に記載のセラミック配線基板。
- 前記副導体が、接地導体に接続されている請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のセラミック配線基板。
- 請求項1乃至請求項5のいずれかに記載のセラミック配線基板と、該セラミック配線基板の前記線状導体に電気的に接続されたプローブピンとを備えるプローブ基板。
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