JP2019004308A - 接合基板、弾性表面波素子、弾性表面波素子デバイスおよび接合基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
さらに、漏洩弾性表面波(Leaky SAW: LSAW等とも呼ばれる)、縦型漏洩弾性表面波(Longitudinal−type Leaky SAW: LLSAW等とも呼ばれる)は、優れた位相速度を有しており、SAWデバイスの高周波化に有利な伝搬モードの一つである。しかし、大きな減衰伝搬を有している点で課題がある。
一方ST−Cut水晶の温度係数は0ppm/℃であり優れた特性を示すが、伝搬速度や電気機械結合係数においてタンタル酸リチウムやニオブ酸リチウムに大きく劣る。
特許文献2、3ともに温度特性が改善されたという具体的なデータは記載されていない。
特許文献4では有機接着層を薄層化することにより温度特性が改善されているが、それでも15ppm/℃ST−Cut水晶の0ppm/℃には到達しておらず、また接着剤で接合しているため歩留が悪い等の問題がある。
例えば、非特許文献3では、弾性表面波(SAW)デバイスのために、STカット水晶とLiTaO3(LT)の直接接合においてアモルファスSiO2(α−SiO2)中間層を使用して接合している。
非特許文献4では、ATカット水晶にXカット31°Y伝搬タンタル酸リチウム、Xカット36°Y伝搬ニオブ酸リチウムを接合して電気機械結合係数を高めたLLSAWが提案されている。
非特許文献5では、LiTaO3またはLiNbO3薄板と水晶基板との接合により縦型リーキー弾性表面波の高結合化が図られている。
前記水晶基板の方位と前記圧電基板の方位とが、接合面方向において直交する方向側で交差していることを特徴とする。
水晶基板の接合面および圧電基板の接合面に、減圧下で紫外線を照射し、前記水晶基板と前記圧電基板とが、接合面方向において互いの方位が直交する方向側で交差している状態で、照射後に、水晶基板の接合面と圧電基板の接合面とを接触させ、水晶基板と圧電基板とに厚さ方向に加圧をして前記接合面同士を接合することを特徴とする。
接合基板5は、水晶基板2と圧電基板3とが、接合界面4を介して共有結合によって接合されている。
水晶基板2は、好適には150〜500μmの厚さを有し、圧電基板3は、好適には弾性表面波の波長に対し、0.05〜1.0波長に相当する厚さを有している。なお、本発明としては、圧電基板の厚さは、弾性表面波の波長に対し、0.05〜0.8波長がさらに望ましく、さらに0.05〜0.25波長が一層望ましい。
水晶基板2は、例えば、水熱合成法で結晶成長させ、任意の方向に切り出したものを用いることができる。圧電基板3には、適宜の材料を用いることができるが、例えば、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウムにより構成することができる。特に、面方位が36°Yカット、X伝搬のタンタル酸リチウム、または41°Yカット、X伝搬のニオブ酸リチウムを用いることができる。
接合基板5には、図2に示すように、櫛形電極10を設けることで弾性表面波素子1が得られる。なお、本発明では、方位は面方位を示している。この実施形態では、方位は、LTでは36°Yカット面のX方向、LNでは41°Yカット面のX方向を示し、水晶基板ではATまたはSTカット面のX方向を示す。
この実施形態で、アモルファス層6を介在させる場合、アモルファス層6と水晶基板2との間に接合界面が存在し、アモルファス層6の他面側でアモルファス層6と圧電基板3との間に接合界面が存在する。アモルファス層6の材質は本発明としては特に限定されないが、SiO2やAl2O3などを用いることができる。また、アモルファス層の厚さは、100nm以下とするのが望ましい。
なお、アモルファス層6の形成では、水晶基板2または圧電基板3の表面に薄膜を形成するようにしてアモルファス層6を形成する。また、水晶基板2表面と圧電基板3表面の双方にアモルファス層を形成するものとしてもよい。
アモルファス層は、既知の方法により形成することができ、化学的蒸着や、スパッタリング等の物理的蒸着を利用することができる。
所定材料の水晶基板と圧電素子を用意する。なお、接合面にアモルファス層を形成する場合は、形成の対象とする水晶基板と圧電素子の一方または両方に対し、接合面側に成膜処理を行う。成膜処理の方法としては特に限定されるものではなく、真空蒸着法、スパッタ法などの薄膜形成技術を用いることができる。例えば、Electron Cyclotron Resonanceプラズマ成膜にて接合面に100nm以下のアモルファス層を形成することができる。このアモルファス膜は膜密度が非常に高く形成できることから接合表面の活性化度合いが大であり、より多くのOH基が発生する。
処理装置20では、真空ポンプ21が接続され、処理装置20内を例えば10Pa以下に減圧する。処理装置20内には、放電ガスを導入し、処理装置20内で放電装置22によって放電を行って紫外線を発生させる。放電は、高周波電圧を印加する方法を使用するなどにより行うことができる。
水晶基板2と圧電基板3とは、紫外線が照射可能な状態で設置しており、接合面に紫外線を照射して活性化を図る。なお、水晶基板2と圧電基板3の一方または両方にアモルファス層が形成されている場合は、アモルファス層の表面を接合面として紫外線照射を行う。
上記処理によって、水晶基板2と圧電基板3とは接合界面において確実に共有結合で結合され、互いの方位が直角方向側に交差する状態で接合されている。
A図は、紫外線照射により接合面が活性化してOH基が表面に形成された状態を示している。B図は、基板同士を接触させ、加圧・昇温をして接合を行っている状態を示している。接合に際しては、OH基が作用して基板同士が共有結合される。余分なH2Oは加熱時に外部に排除される。
弾性表面波素子1は、図6に示すようにパッケージング31内に設置して図示しない電極に接続し、蓋32で封止して弾性表面波デバイス30として提供することができる。
上記実施形態に基づいて接合基板が得られ、圧電基板の主面上にはLSAWの伝搬方向がX方向となるようにSAW共振器を設けた。
この例では、圧電基板として面方位が36°YカットX伝搬タンタル酸リチウムおよび41°YカットX伝搬ニオブ酸リチウムを用いた。また、水晶基板は水熱合成法で、結晶育成されたものについて厚み250μm、AT−Cut方向またはST−Cut方向に切り出したものを用いた。
接合したサンプルについて研磨にてタンタル酸リチウム側を薄くした。
得られた接合基板について、引張試験(ウェハ面に対し垂直に引張る)の方法によって接合強度の測定を行った。その結果、5MPa以上(単位面積で換算)の接合強度が得られていることが判明し、更にバルク破壊を生ずる優れた接合強度が得られていた。
伝搬減衰をもつLSAWの解析はYamanouchiらの方法に基づき、層構造に対する解析はFarnellとAdlerの方法を用いた。これらの解析では、弾性波動方程式と電荷保存式を境界条件の下で数値的に解くことにより、層構造上を伝搬するLSAWの位相速度と伝搬減衰を解析している。
自由表面(Free)の位相速度vfと、薄板の表面を電気的に短絡した場合(Metallized)の位相速度vmを求め、K2=2×(vf−vm)/vfよりK2を求めた.また、伝搬方向の線膨張係数を水晶支持基板のものと仮定し、短絡表面の周波数温度係数(Temperature Coefficient of Frequency: TCF)を計算した。
図7と図8に、上記解析によって得られた、41°YX−LN薄板と36°YX−LT薄板をATカット90°X−水晶(90度の交差角度、以降同じ)と接合した場合のLSAWの(a)位相速度、(b)伝搬減衰、(c)TCFとK2の計算値をそれぞれ示した。横軸は、波長λで規格化したLN、LT薄板の板厚h/λである。いずれの場合においても、板厚の増加に従って、水晶単体の位相速度から、LN/LT単体の位相速度に漸近することがわかる。K2計算値に注目すると、いずれの場合においても単体の値よりも大きなK2が得られる板厚が存在している。本願発明では、板厚の好適な範囲として弾性表面波の波長に対し、0.05〜1.0波長に相当する厚さを有しているものとしており、この範囲においては、LT・LN単体のTCFよりも良好な値を示している。また、K2はLN単体に対しh/λが0.08以上、LT単体に対しh/λが0.04以上で上回っており、これらを考慮すると、板厚h/λを0.05〜0.8とするのが一層望ましい。
以上のような高結合化の要因を検討するために、LSAWの深さ方向に対する粒子変位分布を計算した。計算では上記解析を用いた。36°YX−LT/AT90°X−Quartz上のLSAWについて、短絡表面におけるSH成分(u2)の変位分布を図9に示す。変位は表面の値で規格化してある。接合構造の変位分布は、LT単体のものと比較して表面付近に集中すること、規格化板厚が薄いほど集中効果が高いことがわかった。
図10に、36°YX−LT/AT90°X−Quartz構造上のLSAWの解析例を示す。LT板厚は0.15λ、電極Al膜厚は0.09λである。接合構造では126dBのアドミタンス比が得られ、LT単体の72dBよりも格段に向上した。共振QはLT単体の1350から12050に一桁増大した。比帯域幅もLT単体の4.4%から5.7%に増加した。
図11から明らかなように、位相速度はATカット水晶基板とLNまたはLTの交差角度が0度と90度で最大になり、その角度を離れるに従って位相速度が小さくなっている。
次に、h/λが0.15の36°YX−LTと、STカット水晶基板との接合基板において、接合における方位角度差を変化させた場合の位相速度と電気機械結合係数の変化を上記解析によって算出し、図12に示した。それぞれ方位交差角度が0度または90度で最大の数値を示しているが、5%以上の電気機械結合係数K2を得るためには、30度以内または65度〜115度の交差角度が望ましいことが分かる。なお、5%の電気機械結合係数は、LT単体で得られるK2であり、圧電基板と水晶を複合させるメリットとしては、電気機械結合係数が5%以上であることである。
図13の右図から明らかなように、交差角度が0度、90度の接合基板では、適切な厚さにおいていずれも高い電気機械結合係数を有している。圧電基板の厚さh/λについては、TCFが0°より上回る範囲として0.05〜0.25が挙げられる。
一方、TCFに関しては、交差角度が90度の接合基板では、厚さを適切に定めることで、TCFが0ppm/℃となる結果が得られるが、交差角度が0度のものでは、TCFが最も小さくなる場合でも−10ppm/℃程度であり、周波数温度特性において交差角度が90度のものよりも明らかに劣っている。したがって、TCF、電気機械結合係数の両方において優れた特性を得るためには、水晶基板と圧電基板とが接合面方向において直交する方向側で交差していることが必要である。
1A 弾性表面波素子
2 水晶基板
2D 水晶基板方位
3 圧電基板
3D 圧電基板方位
4 接合界面
5 接合基板
10 櫛形電極
20 処理装置
30 弾性表面波デバイス
Claims (19)
- 水晶基板と、前記水晶基板上に接合され、弾性表面波が伝搬する圧電基板とを有し、接合界面において共有結合により接合されており、
前記水晶基板の方位と前記圧電基板の方位とが、接合面方向において直交する方向側で交差していることを特徴とする接合基板。 - 水晶基板と、前記水晶基板上に接合され、弾性表面波が伝搬する圧電基板とを有し、接合界面において共有結合により接合されており、
前記水晶基板の方位と前記圧電基板の方位とが、接合面方向において65度〜115度の範囲で交差していることを特徴とする接合基板。 - 前記圧電基板が漏洩弾性表面波を励起するためのものであることを特徴とする請求項1または2に記載の接合基板。
- 前記水晶基板と圧電基板との間にアモルファス層を有しており、前記アモルファス層の界面が前記接合界面となることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の接合基板。
- 前記アモルファス層が、100nm以下の厚さであることを特徴とする請求項4記載の接合基板。
- 前記アモルファス層が、二酸化ケイ素または酸化アルミニウムからなることを特徴とする請求項4または5に記載の接合基板。
- 前記圧電基板は、厚さが、弾性表面波の波長に対し0.05〜1.0波長に相当することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の接合基板。
- 前記水晶基板は、厚さが150〜500μmであることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の接合基板。
- 前記水晶基板がATカット水晶基板またはSTカット水晶基板であることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の接合基板。
- 前記圧電基板は、タンタル酸リチウムまたはニオブ酸リチウムからなることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の接合基板。
- 前記圧電基板は、厚さが0.1〜100μmであることを特徴とする請求項10記載の接合基板。
- 周波数温度特性(TCF)が−20〜+5ppm/℃であり、カップリングファクタ(K2)が5%以上であることを特徴とする請求項1〜11のいずれか1項に記載の接合基板。
- 請求項1〜12のいずれか1項に記載の接合基板における圧電基板の主面上に、少なくとも1つの櫛型電極を備えていることを特徴とする弾性表面波素子。
- 請求項13に記載の弾性表面波素子がパッケージに封止されていることを特徴とする弾性表面波素子デバイス。
- 水晶基板と圧電基板とが接合された接合基板の製造方法であって、
水晶基板の接合面および圧電基板の接合面に、減圧下で紫外線を照射し、前記水晶基板と前記圧電基板とが、接合面方向において互いの方位が直交する方向側で交差している状態で、照射後に、水晶基板の接合面と圧電基板の接合面とを接触させ、水晶基板と圧電基板とに厚さ方向に加圧をして前記接合面同士を接合することを特徴とする接合基板の製造方法。 - 前記加圧の際に、所定の温度に加熱をすることを特徴とする請求項15記載の接合基板の製造方法。
- 前記水晶基板が、水熱合成法で結晶成長させ、任意の方向に切り出したものであることを特徴とする請求項15または16に記載の接合基板の製造方法。
- 前記水晶基板と圧電基板の接合面の一方または両方にアモルファス層を介在させておくことを特徴とする請求項15〜17のいずれか1項に記載の接合基板の製造方法。
- 前記アモルファス層は、薄膜形成方法によって付着させたものであることを特徴とする請求項18記載の接合基板の製造方法。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020175240A1 (ja) * | 2019-02-26 | 2020-09-03 | 京セラ株式会社 | フィルタおよびマルチフィルタ |
JP2021105658A (ja) * | 2019-12-26 | 2021-07-26 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路デバイス |
KR20220029416A (ko) | 2020-08-28 | 2022-03-08 | 더 재팬 스틸 워크스 엘티디 | 표면 탄성파 공진기, 이의 제조 방법, 및 무선 회로 |
US11356076B2 (en) | 2020-01-22 | 2022-06-07 | The Japan Steel Works, Ltd. | Surface acoustic wave filter and manufacturing method therefor |
WO2022168796A1 (ja) * | 2021-02-04 | 2022-08-11 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2022168797A1 (ja) * | 2021-02-04 | 2022-08-11 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023204250A1 (ja) * | 2022-04-20 | 2023-10-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07154177A (ja) * | 1993-12-01 | 1995-06-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電デバイスの製造方法 |
JPH09208399A (ja) * | 1996-01-31 | 1997-08-12 | Kyocera Corp | 圧電基体及び弾性表面波装置 |
JPH10178331A (ja) * | 1996-12-19 | 1998-06-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波素子 |
JPH11122073A (ja) * | 1997-10-17 | 1999-04-30 | Kazuhiko Yamanouchi | 弾性表面波素子 |
JP2002009567A (ja) * | 2000-06-26 | 2002-01-11 | Hamamatsu Photonics Kk | 圧電振動デバイスの製造方法 |
JP2005252550A (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Fujitsu Media Device Kk | 接合基板、弾性表面波素子および弾性表面波デバイス |
JP2008060382A (ja) * | 2006-08-31 | 2008-03-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品及びその製造方法 |
WO2009081651A1 (ja) * | 2007-12-25 | 2009-07-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 複合圧電基板の製造方法 |
WO2013031651A1 (ja) * | 2011-09-02 | 2013-03-07 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びその製造方法 |
JP3187231U (ja) * | 2013-09-05 | 2013-11-14 | 日本碍子株式会社 | 複合基板 |
JP2017046033A (ja) * | 2015-08-24 | 2017-03-02 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 圧電素子の製造方法及びドライエッチング装置 |
WO2018097016A1 (ja) * | 2016-11-25 | 2018-05-31 | 国立大学法人東北大学 | 弾性波デバイス |
Family Cites Families (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3914836A (en) | 1974-06-21 | 1975-10-28 | Us Army | Method for processing quartz crystal resonators |
JP2574565B2 (ja) * | 1991-09-12 | 1997-01-22 | 松下電器産業株式会社 | マイクロ波集積回路とその製造方法 |
JP3435789B2 (ja) | 1993-03-15 | 2003-08-11 | 松下電器産業株式会社 | 表面弾性波素子 |
JPH07226638A (ja) | 1993-12-16 | 1995-08-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 複合圧電基板およびその製造方法 |
JP3281510B2 (ja) | 1995-05-17 | 2002-05-13 | 康敬 清水 | 弾性表面波素子 |
DE69611771T2 (de) * | 1995-09-01 | 2001-06-28 | Murata Manufacturing Co | Akustische Oberflächenwellenanordnung |
JPH09199977A (ja) * | 1996-01-16 | 1997-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電振動子及びその製造方法 |
JP2001053579A (ja) | 1999-06-02 | 2001-02-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波素子と移動体通信機器 |
JP4587732B2 (ja) | 2004-07-28 | 2010-11-24 | 京セラ株式会社 | 弾性表面波装置 |
JP2006304206A (ja) * | 2005-04-25 | 2006-11-02 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 弾性表面波素子及び複合圧電チップ並びにその製造方法 |
JP4657002B2 (ja) | 2005-05-12 | 2011-03-23 | 信越化学工業株式会社 | 複合圧電基板 |
JP2006339308A (ja) | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Kyocera Kinseki Corp | 半導体発光素子 |
JP4049195B2 (ja) * | 2005-09-30 | 2008-02-20 | エプソントヨコム株式会社 | 弾性表面波デバイスの製造方法 |
JP2007256590A (ja) | 2006-03-23 | 2007-10-04 | Epson Toyocom Corp | 光学用単結晶、光学ローパスフィルタと撮像装置 |
WO2008081695A1 (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-10 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性表面波装置 |
US9074983B2 (en) | 2007-03-23 | 2015-07-07 | Honeywell International Inc. | Deposition of sensing layers for surface acoustic wave chemical sensors based on supra-molecular chemistry |
JP2009124345A (ja) * | 2007-11-13 | 2009-06-04 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子、電子デバイス及び電子機器 |
CN100553128C (zh) * | 2008-01-29 | 2009-10-21 | 南京大学 | 声表面波复合结构材料和应用 |
JP2011087079A (ja) | 2009-10-14 | 2011-04-28 | Ngk Insulators Ltd | 弾性表面波素子 |
JP5384313B2 (ja) | 2008-12-24 | 2014-01-08 | 日本碍子株式会社 | 複合基板の製造方法及び複合基板 |
JP2012085253A (ja) | 2010-03-25 | 2012-04-26 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 表面実装型の水晶デバイス及び水晶デバイスの製造方法 |
JP2012060420A (ja) * | 2010-09-09 | 2012-03-22 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置 |
JP2012199735A (ja) * | 2011-03-22 | 2012-10-18 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動子の製造方法、圧電振動子、該圧電振動子を有する発振器、電子機器及び電波時計 |
JP2013030829A (ja) | 2011-07-26 | 2013-02-07 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電基板、弾性表面波素子、電子部品、及び圧電基板の製造方法、 |
JP2013168864A (ja) | 2012-02-16 | 2013-08-29 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 弾性表面波素子及び電子部品 |
JP6406670B2 (ja) * | 2015-01-15 | 2018-10-17 | 信越化学工業株式会社 | 弾性表面波素子用タンタル酸リチウム単結晶基板及びこれを用いたデバイスとその製造方法及び検査方法 |
JP2017092791A (ja) * | 2015-11-13 | 2017-05-25 | 住友金属鉱山株式会社 | 複合基板の製造方法 |
CN205303514U (zh) * | 2016-01-12 | 2016-06-08 | 浙江大学 | 一种基于超声驻波场的包覆压电单元薄膜的制造装置 |
US10084427B2 (en) | 2016-01-28 | 2018-09-25 | Qorvo Us, Inc. | Surface acoustic wave device having a piezoelectric layer on a quartz substrate and methods of manufacturing thereof |
JP6998650B2 (ja) | 2016-08-10 | 2022-01-18 | 株式会社日本製鋼所 | 接合基板、弾性表面波素子、弾性表面波デバイスおよび接合基板の製造方法 |
-
2017
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Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07154177A (ja) * | 1993-12-01 | 1995-06-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電デバイスの製造方法 |
JPH09208399A (ja) * | 1996-01-31 | 1997-08-12 | Kyocera Corp | 圧電基体及び弾性表面波装置 |
JPH10178331A (ja) * | 1996-12-19 | 1998-06-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波素子 |
JPH11122073A (ja) * | 1997-10-17 | 1999-04-30 | Kazuhiko Yamanouchi | 弾性表面波素子 |
JP2002009567A (ja) * | 2000-06-26 | 2002-01-11 | Hamamatsu Photonics Kk | 圧電振動デバイスの製造方法 |
JP2005252550A (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Fujitsu Media Device Kk | 接合基板、弾性表面波素子および弾性表面波デバイス |
JP2008060382A (ja) * | 2006-08-31 | 2008-03-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品及びその製造方法 |
WO2009081651A1 (ja) * | 2007-12-25 | 2009-07-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 複合圧電基板の製造方法 |
WO2013031651A1 (ja) * | 2011-09-02 | 2013-03-07 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びその製造方法 |
JP3187231U (ja) * | 2013-09-05 | 2013-11-14 | 日本碍子株式会社 | 複合基板 |
JP2017046033A (ja) * | 2015-08-24 | 2017-03-02 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 圧電素子の製造方法及びドライエッチング装置 |
WO2018097016A1 (ja) * | 2016-11-25 | 2018-05-31 | 国立大学法人東北大学 | 弾性波デバイス |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020175240A1 (ja) * | 2019-02-26 | 2020-09-03 | 京セラ株式会社 | フィルタおよびマルチフィルタ |
JPWO2020175240A1 (ja) * | 2019-02-26 | 2020-09-03 | ||
JP7421541B2 (ja) | 2019-02-26 | 2024-01-24 | 京セラ株式会社 | フィルタおよびマルチフィルタ |
JP2021105658A (ja) * | 2019-12-26 | 2021-07-26 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路デバイス |
US11656486B2 (en) | 2019-12-26 | 2023-05-23 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Optical waveguide device |
JP7380204B2 (ja) | 2019-12-26 | 2023-11-15 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路デバイス |
US11356076B2 (en) | 2020-01-22 | 2022-06-07 | The Japan Steel Works, Ltd. | Surface acoustic wave filter and manufacturing method therefor |
KR20220029416A (ko) | 2020-08-28 | 2022-03-08 | 더 재팬 스틸 워크스 엘티디 | 표면 탄성파 공진기, 이의 제조 방법, 및 무선 회로 |
US11569794B2 (en) | 2020-08-28 | 2023-01-31 | The Japan Steel Works, Ltd. | Surface acoustic wave resonator, its manufacturing method, and radio circuit |
WO2022168796A1 (ja) * | 2021-02-04 | 2022-08-11 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2022168797A1 (ja) * | 2021-02-04 | 2022-08-11 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
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