JP2006339308A - 半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】 発光ダイオードで、サファイア基板より安く、Z板水晶基板よりも高温で強い基板が求められていた。
【解決手段】 本発明ではX板水晶基板を用いることにより、Z板水晶基板より高温において強度の強い基板が得られる。これはX板水晶基板が結晶軸に対して熱膨張が少ないので、Z板水晶基板に比べて歪みがおきにくく、割れる確率が低くなる。
【選択図】 図 1
Description
本発明は、化合物半導体デバイスなどに用いられる水晶基板に関する。
半導体発光素子として窒化ガリウム等を用いて青色発光ダイオードやレーザを製造する際の基板として、サファイア基板が使用されるのが一般的である。サファイア基板の上にMOCVDにより窒化ガリウムを結晶成長されるが、格子不整合を小さくして欠陥を少なくするためにa面またはc面サファイア基板を用いている。これにより基板表面に多結晶または非晶質のAlNバッファ層や低温成長GaNバッファ層を形成している。
しかしサファイア基板は値段が高く、コスト高となる。またサファイア結晶には欠陥が多く、これを引き継ぐ結晶膜に欠陥を生じやすい欠点があった。そこでサファイア基板に代わって、水晶基板を用いた例もある。水晶基板を用いることにより安価な基板を用いてコストダウンを実現しようとしている。
しかしサファイア基板は値段が高く、コスト高となる。またサファイア結晶には欠陥が多く、これを引き継ぐ結晶膜に欠陥を生じやすい欠点があった。そこでサファイア基板に代わって、水晶基板を用いた例もある。水晶基板を用いることにより安価な基板を用いてコストダウンを実現しようとしている。
しかし、ダイオードの製造工程では、摂氏千度を超える温度まで上昇するので、水晶板を用いた場合、低温型水晶は、一般的にα水晶と呼ばれるが、摂氏573度(キューリー点)でβ水晶に転移する。そしてβ水晶に転移した水晶板は、再び冷却され、α水晶に転移する。
水晶結晶には熱による可逆性があり、α水晶からβ水晶、β水晶からα水晶へと転移できる性質がある。しかしα水晶からβ水晶、またβ水晶からα水晶に戻るときに摂氏573度(キューリー点)でクラックが入り易く、水晶板が割れてしまう。
このように低温型水晶ではα水晶からβ水晶へ、そしてβ水晶からα水晶へ戻る際に、クラックを生じ易い。
そこで熱を加えてβ水晶になっても、温度を下げる際に熱ストレスに耐える水晶結晶板が求められている。
水晶結晶には熱による可逆性があり、α水晶からβ水晶、β水晶からα水晶へと転移できる性質がある。しかしα水晶からβ水晶、またβ水晶からα水晶に戻るときに摂氏573度(キューリー点)でクラックが入り易く、水晶板が割れてしまう。
このように低温型水晶ではα水晶からβ水晶へ、そしてβ水晶からα水晶へ戻る際に、クラックを生じ易い。
そこで熱を加えてβ水晶になっても、温度を下げる際に熱ストレスに耐える水晶結晶板が求められている。
そこで、他の水晶基板を用いて半導体発光素子を作れないか、研究されていた。
なお出願人は前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を、本件出願時までに発見するに至らなかった。
本発明が解決しようとする課題は、発光ダイオードをより安価で安定にするため、水晶基板を用いられないか検討されていた。
特許文献1には、窒化ガリウム厚膜(GaN)の結晶成長方法で、基板にZカット水晶板を用いた例が示されている。図4は、一般的な窒化ガリウムを用いた発光ダイオードの構造の断面図である。
水晶基板上にバッファ層、さらに窒化ガリウム結晶を積層し、さらにInGaNを積層している。
特許文献2、特許文献3には、Zカット水晶板を用いた「半導体発光素子」が示されている。
上記従来技術の水晶結晶板は、いずれもZカット水晶を使用しており、摂氏573度(キューリー点)を通過するときに熱歪みで水晶板が破壊されることは免れない。
そこでα水晶からβ水晶へ、またβ水晶からα水晶へ転移する際の熱歪みによるクラック、破損を生じない水晶結晶、水晶板が求められていた。
水晶基板上にバッファ層、さらに窒化ガリウム結晶を積層し、さらにInGaNを積層している。
特許文献2、特許文献3には、Zカット水晶板を用いた「半導体発光素子」が示されている。
上記従来技術の水晶結晶板は、いずれもZカット水晶を使用しており、摂氏573度(キューリー点)を通過するときに熱歪みで水晶板が破壊されることは免れない。
そこでα水晶からβ水晶へ、またβ水晶からα水晶へ転移する際の熱歪みによるクラック、破損を生じない水晶結晶、水晶板が求められていた。
そこで本発明では、水晶基板としてZ板水晶基板を用いず、X板水晶基板を使用した。Z板は従来の水晶基板に比べて高温時の温度勾配が大きい場合でも強度に優れていたが、さらにX板水晶基板を用いたことにより、もっと強度に優れた基板として使用できることがわかった。
本発明によって、水晶基板を高温に加熱した際に熱による基板破損が従来に比べ強度を強くすることが出来た。そのためこの水晶基板を用いた発光ダイオード等発光素子の歩留まりを向上させることが出来るようになった。
本発明を以下実施例を挙げながら説明する。
図1は、本発明の実施例を示す構造断面図である。
X板水晶板を基板として、バッファ層を形成し、その上にMOCVDにより窒化ガリウムを結晶成長させる。さらにAlGaN層、InGaN層、AlGan層、GaN層を形成して、それぞれのGaN層に電極を形成して青色発光ダイオードを形成している。
基板には、サファイアではなくまた水晶基板として、Z板ではなくX板水晶基板を用いている。
X板水晶板を基板として、バッファ層を形成し、その上にMOCVDにより窒化ガリウムを結晶成長させる。さらにAlGaN層、InGaN層、AlGan層、GaN層を形成して、それぞれのGaN層に電極を形成して青色発光ダイオードを形成している。
基板には、サファイアではなくまた水晶基板として、Z板ではなくX板水晶基板を用いている。
ここでなぜ基板として、サファイア基板、Z板水晶基板に比べX板水晶基板がいいかを、検証する。
図2には、573℃付近における温度勾配の大小を表を用いて表している。
各温度勾配に対して、歪みの少なかったのがX板水晶板であり、Z板がそれに続いている。
ATカット水晶板、Rカット水晶板、Yカット水晶板では、温度勾配が大きいほど割れなどを生じて不向きである。
しかしX板水晶板では、各温度勾配に対応して割れが生じなかった。
図2には、573℃付近における温度勾配の大小を表を用いて表している。
各温度勾配に対して、歪みの少なかったのがX板水晶板であり、Z板がそれに続いている。
ATカット水晶板、Rカット水晶板、Yカット水晶板では、温度勾配が大きいほど割れなどを生じて不向きである。
しかしX板水晶板では、各温度勾配に対応して割れが生じなかった。
X板水晶基板が割れにくい理由は、次の通りである。
ここに比較のため、2インチの水晶基板における例を示す。Z板水晶の常温(25℃)と573℃付近での熱膨張による歪み量が、X軸方向とY軸方向では、常温と572℃では約1.056mm、25℃と573℃では、約1.169mm延びる。この572℃と573℃との歪み量の差は、約0.113mmである。
Z板水晶では、交差する軸方向XY軸ともにほぼ均一に延び縮みする。
一方X板水晶では、同様に板面上で交差するX軸とZ軸のそれぞれの熱膨張による歪み量が、Y軸方向には、常温と572℃では約1.056mm、25℃と573℃では、約1.169mm延びる。この572℃と573℃との歪み量の差は、約0.113mmである。
しかしZ軸方向では、25℃と572℃では約0.7224mm、常温と573℃では、約0.7795mm延びる。この572℃と573℃との歪み量の差は、約0.0571mmで、X軸、Y軸に比べて半分の歪み量であり、これが割れにくい理由であると考えられる。
すなわちZ板水晶基板に比べ、X板水晶基板の方が、573℃以上に加熱した際の熱歪みが少ないので、その分水晶基板の割れが少ないと考えられる。
ここに比較のため、2インチの水晶基板における例を示す。Z板水晶の常温(25℃)と573℃付近での熱膨張による歪み量が、X軸方向とY軸方向では、常温と572℃では約1.056mm、25℃と573℃では、約1.169mm延びる。この572℃と573℃との歪み量の差は、約0.113mmである。
Z板水晶では、交差する軸方向XY軸ともにほぼ均一に延び縮みする。
一方X板水晶では、同様に板面上で交差するX軸とZ軸のそれぞれの熱膨張による歪み量が、Y軸方向には、常温と572℃では約1.056mm、25℃と573℃では、約1.169mm延びる。この572℃と573℃との歪み量の差は、約0.113mmである。
しかしZ軸方向では、25℃と572℃では約0.7224mm、常温と573℃では、約0.7795mm延びる。この572℃と573℃との歪み量の差は、約0.0571mmで、X軸、Y軸に比べて半分の歪み量であり、これが割れにくい理由であると考えられる。
すなわちZ板水晶基板に比べ、X板水晶基板の方が、573℃以上に加熱した際の熱歪みが少ないので、その分水晶基板の割れが少ないと考えられる。
本発明により青色発光ダイオードの基板として、従来のZ板水晶基板に比べ、熱歪みによる割れが少なく、またサファイア基板に比べ、価格も安価で、水晶の方がサファイアに比べて欠陥が少なく、これを引き継ぐ結晶膜に欠陥を生じにくい長所がある。
本発明は、青色発光ダイオードを形成するため基板にXカット水晶基板を実施例に用いたが、他の発光ダイオードやレーザ発光素子にも応用することが出来る。
Claims (1)
- 水晶基板に窒化ガリウムの薄膜を形成してなる半導体発光素子において、該水晶基板がXカット水晶であることを特徴とする半導体発光素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005160508A JP2006339308A (ja) | 2005-05-31 | 2005-05-31 | 半導体発光素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005160508A JP2006339308A (ja) | 2005-05-31 | 2005-05-31 | 半導体発光素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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Family Applications (1)
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JP2005160508A Pending JP2006339308A (ja) | 2005-05-31 | 2005-05-31 | 半導体発光素子 |
Country Status (1)
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Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US9232672B2 (en) | 2013-01-10 | 2016-01-05 | Apple Inc. | Ceramic insert control mechanism |
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WO2019159738A1 (ja) * | 2018-02-16 | 2019-08-22 | 株式会社日本製鋼所 | 接合基板、弾性表面波素子、弾性表面波素子デバイスおよび接合基板の製造方法 |
US10406634B2 (en) | 2015-07-01 | 2019-09-10 | Apple Inc. | Enhancing strength in laser cutting of ceramic components |
US11502665B2 (en) | 2016-08-10 | 2022-11-15 | The Japan Steel Works, Ltd. | Method of manufacturing bonded substrate |
US11777469B2 (en) | 2017-06-14 | 2023-10-03 | The Japan Steel Works, Ltd. | Bonded substrate, surface acoustic wave element, surface acoustic wave element device, and bonded substrate manufacturing method |
-
2005
- 2005-05-31 JP JP2005160508A patent/JP2006339308A/ja active Pending
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2019159738A1 (ja) * | 2018-02-16 | 2019-08-22 | 株式会社日本製鋼所 | 接合基板、弾性表面波素子、弾性表面波素子デバイスおよび接合基板の製造方法 |
JP2019145920A (ja) * | 2018-02-16 | 2019-08-29 | 株式会社日本製鋼所 | 接合基板、弾性表面波素子、弾性表面波素子デバイスおよび接合基板の製造方法 |
CN112005494A (zh) * | 2018-02-16 | 2020-11-27 | 株式会社日本制钢所 | 接合基板、声表面波元件、声表面波元件设备和接合基板的制造方法 |
JP7170402B2 (ja) | 2018-02-16 | 2022-11-14 | 株式会社日本製鋼所 | 接合基板、弾性表面波素子、弾性表面波素子デバイスおよび接合基板の製造方法 |
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