JP2018537593A

JP2018537593A - 酸洗装置及び酸洗方法

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Publication number: JP2018537593A
Application number: JP2018531247A
Authority: JP
Inventors: ヒョン−グクパク、
Original assignee: Posco Co Ltd
Current assignee: Posco Holdings Inc
Priority date: 2015-12-18
Filing date: 2016-07-28
Publication date: 2018-12-20
Anticipated expiration: 2036-07-28
Also published as: CN108368621A; EP3392381A4; KR101696108B1; US10704151B2; JP6664492B2; CN108368621B; EP3392381A1; US20180371626A1; WO2017104926A1

Abstract

本発明による酸洗装置は、複数個が配置され、鋼板が進行しながら順に沈積されて上記鋼板のスケールが除去される酸洗タンクと、前段の上記酸洗タンクと後段の上記酸洗タンクとの間に配置され、上記鋼板に酸洗溶液を噴射する中間噴射ユニットと、後段の上記酸洗タンクで用いられるものと同一の濃度の酸洗溶液を上記中間噴射ユニットに提供するように構成される酸洗溶液提供手段と、を含み、複数個の上記酸洗タンクの間に配置されるリンガロールが除去された構成を有する。

Description

本発明は、酸洗装置及び酸洗方法に関するもので、鋼板のスケールを除去する酸洗装置及び酸洗方法に関するものである。

一般に熱延鋼板は、進行しながら酸洗溶液が収容された複数個の酸洗タンクに沈積され、酸洗溶液との化学反応によってスケールを除去する。

このように鋼板のスケールを除去する従来の技術による酸洗装置は、図１に示されたように、複数個の酸洗タンク１０が順に配置され、かかる複数個の酸洗タンク１０に鋼板１が進行しながら沈積されてスケールが除去される。

複数個の酸洗タンク１０は、各タンク毎に収容される酸洗溶液の濃度が異なるが、前段の酸洗タンク１０に沈積されてから後段の酸洗タンク１０に移送される過程で、前段の酸洗タンク１０に収容された酸洗溶液が鋼板１に付着して後段の酸洗タンク１０に進入するようになり、後段の酸洗タンク１０の濃度に影響を与える。

そこで、複数個の酸洗タンク１０の間にリンガロール（Ｗｒｉｎｇｅｒｒｏｌｌ）Ｗが配置される。上記リンガロールＷは２個が一対をなし、鋼板１を上下側から挟圧して鋼板１に付着した酸洗溶液を押し出すことで、後段の酸洗タンク１０に進入する酸洗溶液を除去する。

ところが、上記リンガロールＷはゴム材質で構成され、鋼板１の形状不良などの原因によって偏摩耗が発生するようになる。

このように偏摩耗が発生したリンガロールＷは、進行する鋼板１を蛇行させることにより酸洗タンク１０に傷を発生させ、且つ酸洗速度を低下させるという問題がある。

さらに、上記リンガロールＷの寿命は通常２ヶ月程度であって、修理コスト及び交替時間によって生産性が低下するという限界がある。

本発明は、上記のような問題を解決するためになされたもので、複数個の酸洗タンクの間に配置されるリンガロールを除去するように構成される酸洗装置及び酸洗方法を提供することをその目的とする。

かかる目的を達成すべく、本発明の一実施形態による酸洗装置は、複数個が配置され、鋼板が進行しながら順に沈積されて上記鋼板のスケールが除去される酸洗タンクと、前段の上記酸洗タンクと後段の上記酸洗タンクとの間に配置され、上記鋼板に酸洗溶液を噴射する中間噴射ユニットと、後段の上記酸洗タンクで用いられるものと同一の濃度の酸洗溶液を上記中間噴射ユニットに提供するように構成される酸洗溶液提供手段と、を含み、複数個の上記酸洗タンクの間に配置されるリンガロールが除去された構成を有する。

ここで、上記酸洗溶液提供手段は、複数個の上記酸洗タンクのそれぞれと対応するように複数個が配置され、対応する上記酸洗タンクとの間で酸洗溶液が流通されながら上記酸洗タンクの酸洗溶液の水位が維持されるようにする循環タンクと、後段の上記酸洗タンクに対応する後段の上記循環タンクから酸洗溶液を上記中間噴射ユニットに供給する供給ラインと、を備えることができる。

また、本発明は、上記中間噴射ユニットにより噴射された酸洗溶液を、前段の上記酸洗タンクに対応する前段の上記循環タンクに移送する酸洗溶液移送手段をさらに含み、上記酸洗溶液移送手段は、前段の上記酸洗タンクと後段の上記酸洗タンクを連結し、且つ上記中間噴射ユニットが内蔵された連結チャンバーと、上記連結チャンバーから前段の上記酸洗タンクに対応する前段の上記循環タンクに連結され、上記中間噴射ユニットにより噴射された酸洗溶液を移送する移送ラインと、を備えることができる。

さらに、本発明は、複数個の上記循環タンクのうち最前段の上記循環タンク及び最後段の上記循環タンクと連結され、最前段の上記循環タンクから排出された酸洗溶液を再生させて最後段の上記循環タンクに投入する酸洗溶液再生ユニットをさらに含んで酸洗溶液の循環構造を成す。上記中間噴射ユニットにより噴射される酸洗溶液の流量は、上記酸洗溶液再生ユニットから最後段の上記循環タンクに投入される酸洗溶液の流量に比べて等しいかまたはより大きいことができる。

そして、複数個の上記酸洗タンクの間には、上記鋼板を上方支持する支持ロールが配置されることができる。

また、複数個の上記酸洗タンクは、後段側に行くにつれて、収容された酸洗溶液の濃度が高くなることができる。

一方、本発明の他の側面によると、鋼板が進行しながら複数個の酸洗タンクに順に沈積され、上記鋼板のスケールが除去されるスケール除去段階と、上記スケール除去段階の過程中に、前段の上記酸洗タンクと後段の上記酸洗タンクとの間で中間噴射ユニットによって酸洗溶液を上記鋼板に噴射する中間噴射段階と、上記中間噴射段階の前に、後段の上記酸洗タンクで用いられるものと同一の濃度の酸洗溶液を上記中間噴射ユニットに提供する酸洗溶液提供段階と、を含み、複数個の上記酸洗タンクの間に配置されるリンガロールが除去された酸洗方法が提供される。

ここで、上記酸洗溶液提供段階では、複数個の上記酸洗タンクのそれぞれと対応するように複数個が配置され、対応する上記酸洗タンクとの間で酸洗溶液が流通されながら上記酸洗タンクの酸洗溶液の水位が維持されるようにする循環タンクのうち、後段の上記酸洗タンクに対応する後段の上記循環タンクから酸洗溶液を上記中間噴射ユニットに供給することができる。

また、本発明は、前段の上記酸洗タンクと後段の上記酸洗タンクを連結し、且つ上記中間噴射ユニットが内蔵された連結チャンバーから、上記中間噴射ユニットにより噴射された酸洗溶液を前段の上記酸洗タンクに対応する前段の上記循環タンクに移送する酸洗溶液移送段階をさらに含むことができる。

さらに、本発明は、複数個の上記循環タンクのうち最前段の上記循環タンク及び最後段の上記循環タンクと連結された酸洗溶液再生ユニットにより、最前段の上記循環タンクから排出された酸洗溶液を再生させて最後段の上記循環タンクに投入する酸洗溶液循環段階をさらに含み、上記中間噴射ユニットにより噴射される酸洗溶液の流量は、上記酸洗溶液再生ユニットから最後段の上記循環タンクに投入される酸洗溶液の流量に比べて等しいかまたはより大きいことができる。

本発明による酸洗装置及び酸洗方法は、中間噴射ユニット及び酸洗溶液提供手段により、後段の酸洗タンクで用いられるものと同一の濃度の酸洗溶液を、前段の酸洗タンクと後段の酸洗タンクとの間で鋼板に噴射するように構成される。これにより、複数個の酸洗タンクの間に配置されるリンガロールが除去し、そのリンガロールに代えて前段の酸洗タンクで鋼板に付着した酸洗溶液を洗浄し、後段の酸洗タンクの酸洗溶液の濃度が影響を受けないようにする。また、鋼板の形状不良によって偏摩耗が発生して鋼板を蛇行させることにより酸洗タンクに傷を発生させて酸洗速度を低下させ、保守管理による修理コスト及び交替時間によって生産性を低下させるというリンガロールの問題及び限界を克服することができる効果を有する。

従来技術による酸洗装置を示した概略図である。本発明の一実施形態による酸洗装置を示した概略図である。

以下、本発明の例示的な図面を参照して詳細に説明する。各図面の構成要素に図面符号を付するにあたり、同一の構成要素に対しては他の図面上に表示されていても、できるだけ同一の符号を持つようにしたことに留意すべきである。また、本発明を説明するにあたり、関連の公知の構成または機能に関する具体的な説明が本発明の要旨を不明瞭にする可能性があると判断される場合には、その詳細な説明を省略する。

図２は本発明の一実施形態による酸洗装置を示した概略図である。

図面を参照すると、本発明による酸洗装置は、複数個の酸洗タンク１００と、鋼板１に酸洗溶液を噴射する中間噴射ユニット２００と、上記中間噴射ユニット２００に酸洗溶液を提供する酸洗溶液提供手段３００と、を含む。

ここで、本発明の主な構成的特徴は、複数個の酸洗タンク１００の間に配置されるリンガロールを除去し、そのリンガロールに代えて、前段の酸洗タンク１００で鋼板１に付着した酸洗溶液によって後段の酸洗タンク１００の酸洗溶液の濃度が影響を受けないように、中間噴射ユニット２００及び酸洗溶液提供手段３００が構成されるという点である。

すなわち、本発明は、中間噴射ユニット２００及び酸洗溶液提供手段３００が構成されることで、複数個の酸洗タンク１００の間に配置されるリンガロールを除去することができるため、上記リンガロールによる問題及び限界を克服することができる。上記リンガロールはゴム材質であり、鋼板１の形状不良によって偏摩耗が発生し得るが、このような偏摩耗によって鋼板１を蛇行させ酸洗タンク１００に傷を発生させ、酸洗速度を低下させるという問題を有する。さらに、保守管理による修理コスト及び交替時間によって生産性を低下させる限界を有する。

本発明は上述の発明の目的を実現するために、具体的な構成的特徴として、後段の酸洗タンク１００で用いられるものと同一の濃度の酸洗溶液を、前段の酸洗タンク１００と後段の酸洗タンク１００との間で鋼板１に噴射するように、中間噴射ユニット２００及び酸洗溶液提供手段３００が構成されるという点である。

すなわち、上記中間噴射ユニット２００は酸洗溶液を鋼板１に噴射するように構成されるが、その配置構造として、前段の酸洗タンク１００と後段の酸洗タンク１００との間に配置され、このような中間噴射ユニット２００に後段の酸洗タンク１００で用いられるものと同一の濃度の酸洗溶液を提供するように上記酸洗溶液提供手段３００が構成されるという点が、本発明の構成的特徴である。

これにより、複数個の酸洗タンク１００の間に配置されるリンガロールを除去し、リンガロールによる上述のような問題及び限界を克服することができ、このように除去されたリンガロールに代えて、前段の酸洗タンク１００で鋼板１に付着した酸洗溶液を、鋼板１が後段の酸洗タンク１００に移動される前に除去することができる。換言すれば、酸洗溶液提供手段３００により供給される、後段の酸洗タンク１００で用いられるものと同一の濃度の酸洗溶液を中間噴射ユニット２００が受け、前段の酸洗タンク１００と後段の酸洗タンク１００との間で鋼板１に噴射することで、前段の酸洗タンク１００で鋼板１に付着した酸洗溶液を洗浄して除去することができる。

中間噴射ユニット２００によって噴射された酸洗溶液が鋼板１に付着して、後段の酸洗タンク１００に引き込まれることができるが、中間噴射ユニット２００により噴射された酸洗溶液は、後段の酸洗タンク１００で用いられる酸洗溶液と濃度が同一であるため、後段の酸洗タンク１００の酸洗溶液の濃度に全く影響を与えない。

一方、より具体的に、上記酸洗溶液提供手段３００は、酸洗タンク１００と連結された循環タンク３１０と、上記循環タンク３１０と中間噴射ユニット２００を連結する供給ライン３２０と、を備えることができる。

ここで、上記循環タンク３１０は、複数個の酸洗タンク１００のそれぞれと対応するように複数個が配置され、対応する酸洗タンク１００との間で酸洗溶液が流通されながら酸洗タンク１００の酸洗溶液の水位が維持されるように構成される。

そのために、上記循環タンク３１０は、酸洗タンク１００の流入ライン１１０及び流出ライン１２０のそれぞれと連結されており、上記流入ライン１１０には熱交換器１１１が設けられ、上記流出ライン１２０には流量調節弁１２１が設けられる。

上記酸洗タンク１００で用いられ、鋼板１と熱交換されて温度が低下した酸洗溶液が、酸洗タンク１００の流出ライン１２０を介して循環タンク３１０に流出された後、流入ポンプ１１２によって循環タンク３１０から流入ライン１１０を介して再び酸洗タンク１００に流入される過程で、熱交換器１１１によって適正温度に加熱されて酸洗タンク１００に流入される。この際、上記流量調節弁１２１は、酸洗タンク１００内の酸洗溶液の適正水位を継続的に維持させる役割を果たす。

そして、上記供給ライン３２０は、前段の酸洗タンク１００と後段の酸洗タンク１００との間に配置された中間噴射ユニット２００と、後段の酸洗タンク１００と対応する後段の循環タンク３１０と、を連結する。

このような供給ライン３２０は、後段の酸洗タンク１００に対応する後段の循環タンク３１０からの酸洗溶液を、供給ポンプ３２１によって前段の酸洗タンク１００と後段の酸洗タンク１００との間に配置された中間噴射ユニット２００に供給する役割を果たす。

これに加えて、本発明は、中間噴射ユニット２００により噴射された酸洗溶液を、前段の酸洗タンク１００に対応する前段の循環タンク３１０に移送する酸洗溶液移送手段４００をさらに含むことができる。

従来の酸洗装置では、図１に示されたように、複数個の酸洗タンク１０と対応するように配置された複数個の循環タンク２０の間に連結ライン３０が構成されることで、後段の循環タンク２０と前段の循環タンク２０を連結して酸洗溶液を移送させるのに対し、本発明では、図２に示されたように、上記酸洗溶液移送手段４００が、中間噴射ユニット２００により噴射された酸洗溶液を前段の酸洗タンク１００に対応する前段の循環タンク３１０に移送する役割を果たす。

具体的に、上記酸洗溶液移送手段４００は、前段の酸洗タンク１００と後段の酸洗タンク１００を連結し、且つ中間噴射ユニット２００が内蔵された連結チャンバー４１０と、上記連結チャンバー４１０から前段の酸洗タンク１００に対応する前段の循環タンク３１０に連結され、中間噴射ユニット２００により噴射された酸洗溶液を移送する移送ライン４２０と、を備えることができる。

これにより、上記中間噴射ユニット２００により噴射された酸洗溶液が連結チャンバー４１０で集められ、移送ライン４２０を介して前段の循環タンク３１０に移送されることができる。

前段の酸洗タンク１００で用いられる酸洗溶液が、後段の酸洗タンク１００で用いられる酸洗溶液に比べて低い濃度を有するが、中間噴射ユニット２００により噴射された酸洗溶液の濃度が鋼板１のスケール除去過程で化学作用によって低下し、これにより、前段の循環タンク３１０に移送される酸洗溶液は後段の循環タンク３１０と濃度が略等しくなる。

さらに、本発明は、酸洗溶液の循環構造を成すように酸洗溶液再生ユニット５００をさらに含む。上記酸洗溶液再生ユニット５００は、複数個の循環タンク３１０のうち最前段の循環タンク３１０及び最後段の循環タンク３１０と連結され、最前段の循環タンク３１０から排出ライン５１０を介して排出された酸洗溶液を再生させ、最後段の循環タンク３１０に投入ライン５２０を介して投入する役割を果たす。

この際、本発明は、上記中間噴射ユニット２００により噴射される酸洗溶液の流量が、上記酸洗溶液再生ユニット５００から最後段の上記循環タンク３１０に投入される酸洗溶液の流量に比べて等しいかまたはより大きいことが好ましい。

上記酸洗溶液再生ユニット５００が最後段の循環タンク３１０に投入する酸洗溶液の流量に比べて、前段の循環タンク３１０から後段の循環タンク３１０に移送させるために中間噴射ユニット２００により噴射される酸洗溶液の流量が少ないと、後段の循環タンク３１０から酸洗溶液が溢れるようになり、多いと前段の循環タンク３１０から酸洗溶液が溢れるようになる。

したがって、上記中間噴射ユニット２００により噴射される酸洗溶液の流量は、酸洗溶液再生ユニット５００から最後段の循環タンク３１０に供給される酸洗溶液の流量と等しいことが好ましい。

さらに、上述の内容に加えて、中間噴射ユニット２００により噴射される酸洗溶液が鋼板１に付着して後段の酸洗タンク１００に移動されることを考慮すると、上記中間噴射ユニット２００により噴射される酸洗溶液の流量は、酸洗溶液再生ユニット５００から最後段の循環タンク３１０に供給される酸洗溶液の流量に比べて、鋼板１に付着して移動される流量分だけ大きいことがより好ましい。

一方、本発明は、複数個の酸洗タンク１００の間にリンガロールが除去されるため、複数個の酸洗タンク１００の間で鋼板１を支持するように、支持ロール６００が配置されることができる。

すなわち、上記支持ロール６００は、複数個の酸洗タンク１００の間で鋼板１を上方支持する構造を採用することができる。

そして、本発明の酸洗タンク１００は、鋼板１が進行しながら順に沈積され、上記鋼板１のスケールが除去されるように複数個が配置されるが、後段側に行くほど収容された酸洗溶液の濃度が高くなることが好ましい。これにより、酸洗溶液の濃度が高くなるように並べられた複数個の酸洗タンク１００に鋼板１が順に沈積される過程でスケールの除去効率が高くなる。

一方、上述の本発明の酸洗装置による酸洗方法をまとめると、次のとおりである。

先ず、本発明の酸洗方法では、鋼板１が進行しながら複数個の酸洗タンク１００に順に沈積され、鋼板１のスケールが除去されるスケール除去段階が行われる。

また、上記スケール除去段階の過程中に、前段の酸洗タンク１００と後段の酸洗タンク１００との間で、中間噴射ユニット２００によって酸洗溶液を鋼板１に噴射する中間噴射段階が行われる。

さらに、上記中間噴射段階の前に、後段の酸洗タンク１００で用いられるものと同一の濃度の酸洗溶液を中間噴射ユニット２００に提供する酸洗溶液提供段階が行われる。

このように、本発明の酸洗方法により、複数個の酸洗タンク１００の間に配置されるリンガロールが除去されることができる。

具体的に、上記酸洗溶液提供段階では、複数個の酸洗タンク１００のそれぞれと対応するように複数個が配置され、対応する酸洗タンク１００との間で酸洗溶液が流通されながら酸洗タンク１００の酸洗溶液の水位が維持されるようにする循環タンク３１０のうち、後段の酸洗タンク１００に対応する後段の循環タンク３１０から酸洗溶液を中間噴射ユニット２００に供給する。

また、本発明は、終局的に、後段の循環タンク３１０から前段の循環タンク３１０に酸洗溶液を移送するために、酸洗溶液移送段階をさらに含むことができる。

この際、上記酸洗溶液移送段階では、前段の酸洗タンク１００と後段の酸洗タンク１００を連結し、且つ中間噴射ユニット２００が内蔵された連結チャンバー４１０から、中間噴射ユニット２００により噴射された酸洗溶液を前段の酸洗タンク１００に対応する前段の循環タンク３１０に移送する。

さらに、本発明は、酸洗溶液再生ユニット５００による酸洗溶液循環段階をさらに含み、この際、中間噴射ユニット２００により噴射される酸洗溶液の流量が、酸洗溶液再生ユニット５００から最後段の循環タンク３１０に投入される酸洗溶液の流量に比べて等しいかまたはより大きくなるように流量が制御されることができる。

上記酸洗溶液再生段階では、複数個の循環タンク３１０のうち最前段の循環タンク３１０及び最後段の循環タンク３１０と連結された酸洗溶液再生ユニット５００により、最前段の循環タンク３１０から排出された酸洗溶液を再生させて最後段の循環タンク３１０に投入する。

結果として、上述のように本発明の酸洗装置及び酸洗方法は、中間噴射ユニット２００及び酸洗溶液提供手段３００により、後段の酸洗タンク１００で用いられるものと同一の濃度の酸洗溶液を、前段の酸洗タンク１００と後段の酸洗タンク１００との間で鋼板１に噴射するように構成される。これにより、複数個の酸洗タンク１００の間に配置されるリンガロールが除去され、そのリンガロールに代えて前段の酸洗タンク１００で鋼板１に付着した酸洗溶液を洗浄し、後段の酸洗タンク１００の酸洗溶液の濃度が影響を受けないようにする。また、鋼板１の形状不良によって偏摩耗が発生して鋼板１を蛇行させることにより酸洗タンク１００に傷を発生させて酸洗速度を低下させ、保守管理による修理コスト及び交替時間によって生産性を低下させるというリンガロールの問題及び限界を克服することができる。

以上のように、限定された実施形態と図面によって本発明が説明されたが、本発明はこれに限定されず、本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者により、本発明の技術思想と添付の特許請求の範囲と均等な範囲内で様々な修正及び変形が可能であることはいうまでもない。

Claims

複数個が配置され、鋼板が進行しながら順に沈積されて前記鋼板のスケールが除去される酸洗タンクと、
前段の前記酸洗タンクと後段の前記酸洗タンクとの間に配置され、前記鋼板に酸洗溶液を噴射する中間噴射ユニットと、
後段の前記酸洗タンクで用いられるものと同一の濃度の酸洗溶液を前記中間噴射ユニットに提供するように構成される酸洗溶液提供手段と、を含み、
複数個の前記酸洗タンクの間に配置されるリンガロールが除去された、酸洗装置。
前記酸洗溶液提供手段は、
複数個の前記酸洗タンクのそれぞれと対応するように複数個が配置され、対応する前記酸洗タンクとの間で酸洗溶液が流通されながら前記酸洗タンクの酸洗溶液の水位が維持されるようにする循環タンクと、
後段の前記酸洗タンクに対応する後段の前記循環タンクから酸洗溶液を前記中間噴射ユニットに供給する供給ラインと、を備えることを特徴とする、請求項１に記載の酸洗装置。
前記中間噴射ユニットにより噴射された酸洗溶液を、前段の前記酸洗タンクに対応する前段の前記循環タンクに移送する酸洗溶液移送手段をさらに含み、
前記酸洗溶液移送手段は、
前段の前記酸洗タンクと後段の前記酸洗タンクを連結し、且つ前記中間噴射ユニットが内蔵された連結チャンバーと、
前記連結チャンバーから前段の前記酸洗タンクに対応する前段の前記循環タンクに連結され、前記中間噴射ユニットにより噴射された酸洗溶液を移送する移送ラインと、を備えることを特徴とする、請求項２に記載の酸洗装置。
複数個の前記循環タンクのうち最前段の前記循環タンク及び最後段の前記循環タンクと連結され、最前段の前記循環タンクから排出された酸洗溶液を再生させて最後段の前記循環タンクに投入する酸洗溶液再生ユニットをさらに含んで酸洗溶液の循環構造を成し、
前記中間噴射ユニットにより噴射される酸洗溶液の流量は、前記酸洗溶液再生ユニットから最後段の前記循環タンクに投入される酸洗溶液の流量に比べて等しいかまたはより大きいことを特徴とする、請求項３に記載の酸洗装置。
複数個の前記酸洗タンクの間には、前記鋼板を上方支持する支持ロールが配置されることを特徴とする、請求項１から４の何れか一項に記載の酸洗装置。
複数個の前記酸洗タンクは、後段側に行くにつれて、収容された酸洗溶液の濃度が高くなることを特徴とする、請求項１から４の何れか一項に記載の酸洗装置。
鋼板が進行しながら複数個の酸洗タンクに順に沈積され、前記鋼板のスケールが除去されるスケール除去段階と、
前記スケール除去段階の過程中に、前段の前記酸洗タンクと後段の前記酸洗タンクとの間で中間噴射ユニットによって酸洗溶液を前記鋼板に噴射する中間噴射段階と、
前記中間噴射段階の前に、後段の前記酸洗タンクで用いられるものと同一の濃度の酸洗溶液を前記中間噴射ユニットに提供する酸洗溶液提供段階と、を含み、
複数個の前記酸洗タンクの間に配置されるリンガロールが除去された、酸洗方法。
前記酸洗溶液提供段階では、
複数個の前記酸洗タンクのそれぞれと対応するように複数個が配置され、対応する前記酸洗タンクとの間で酸洗溶液が流通されながら前記酸洗タンクの酸洗溶液の水位が維持されるようにする循環タンクのうち、後段の前記酸洗タンクに対応する後段の前記循環タンクから酸洗溶液を前記中間噴射ユニットに供給することを特徴とする、請求項７に記載の酸洗方法。
前段の前記酸洗タンクと後段の前記酸洗タンクを連結し、且つ前記中間噴射ユニットが内蔵された連結チャンバーから、前記中間噴射ユニットにより噴射された酸洗溶液を前段の前記酸洗タンクに対応する前段の前記循環タンクに移送する酸洗溶液移送段階をさらに含むことを特徴とする、請求項８に記載の酸洗方法。
複数個の前記循環タンクのうち最前段の前記循環タンク及び最後段の前記循環タンクと連結された酸洗溶液再生ユニットにより、最前段の前記循環タンクから排出された酸洗溶液を再生させて最後段の前記循環タンクに投入する酸洗溶液循環段階をさらに含み、
前記中間噴射ユニットにより噴射される酸洗溶液の流量は、前記酸洗溶液再生ユニットから最後段の前記循環タンクに投入される酸洗溶液の流量に比べて等しいかまたはより大きいことを特徴とする、請求項９に記載の酸洗方法。