JP2018200973A - 離間装置および離間方法 - Google Patents
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Abstract
Description
[式1]
CD=(K1×CS+K2)×EA ・・・(1)
CD:片状体の間隔(μm)
CS:片状体のサイズ(mm)
EA:接着シートの伸長量(mm)
K1、K2:定数
また、片状体の相互間隔の測定結果を基に、保持部材を目標伸長量に合わせて移動させれば、接着シートに板状部材が仮着された一体物毎に各片状体の位置が理論上の位置からずれてしまうことを極力防止することができる。
なお、各実施形態において、X軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向であって図1中紙面に直交する手前方向で「後」がその逆方向とする。
また、第2実施形態以降において、第1実施形態で説明する構成部材と同じ構成部材および同様な機能を有する構成部材には、第1実施形態の構成部材と同じ符号を付し、それらの説明を省略または簡略化する。
図1、図2において、離間装置10は、接着シートAS上の板状部材としての四角形のウエハWFに+X軸方向、+Y軸方向、−X軸方向、−Y軸方向の4方向に張力を付与して当該ウエハWFから形成される複数の片状体としてのチップCPの相互間隔を広げる装置であって、接着シートASをそれぞれ5体の保持部材21で保持する4体の保持手段20と、保持部材21を前記4方向のうち保持手段20ごとに異なる1方向に移動させるとともに、当該保持部材21を前記1方向に交差する交差方向に移動させて接着シートASを伸長させる駆動機器である伸長手段としてのリニアモータ30A、30Bと、リニアモータ30A、30Bによる保持部材21の移動を制御する制御手段40と、チップCPの相互間隔を測定する光学センサやカメラ等の測定手段50とを備えている。なお、ウエハWFは、平面視で正方形状とされ、切断刃、加圧水、ドライエッチング等のウエハ切断手段によりチップCPに個片化されているか、レーザ光や薬液等のウエハ脆弱化手段によりチップCPに個片化可能とされ、接着シートASに仮着されて一体物WKとされている。また、接着シートASは、平面視で正方形状に形成されている。
保持部材21は、スライダ31Bに支持された下支持部材22と、下支持部材22に支持された駆動機器としての回動モータ23と、回動モータ23の出力軸23A(貫通軸)に支持された上支持部材24とを備えている。
リニアモータ30Bは、リニアモータ30Aのスライダ31Aに支持されている。
以上のような構成により、リニアモータ30Aが保持手段20ごとに異なる方向に保持手段20を移動させるとともに、リニアモータ30Bが保持手段20の移動方向に交差する交差方向に保持部材21を移動させることで、接着シートASに張力を付与可能に設けられている。
先ず、各部材が初期位置で待機する図1中実線で示す離間装置10に対し、当該離間装置10の使用者(以下、単に「使用者」という)が操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して、片状体のサイズとしてのチップサイズ、片状体の間隔としてのチップ間距離の目標値、および接着シートASによって決まる後述する定数K1、K2の値を入力するとともに、自動運転開始の信号を入力する。なお、チップサイズは、チップCPの一辺の長さである。また、チップ間距離は、個片化されて広がったウエハWF(相互間隔が広げられたチップCP群)における対向する2辺の所定の位置(以下、対向する2辺の所定の位置を「基準位置」という場合がある)の間隔である。
CD=(K1×CS+K2)×EA ・・・(1)
CD:チップ間距離(μm)
CS:チップサイズ(mm)
EA:接着シートASの伸長量(mm)
K1、K2:定数
先ず、チップCPが正方形の場合の接着シートASの伸長量EAとチップ間距離CDとの関係について調べるために、各保持手段20それぞれを+X軸方向、+Y軸方向、−X軸方向、−Y軸方向の4方向に移動させながら、各保持手段20の保持部材21を等間隔に移動させたところ、図4に示す結果が得られた。なお、接着シートASには、表1に示すものを使用した。また、チップ間距離CDは、ウエハWFをX軸方向およびY軸方向に沿って5列ずつ分割して得られる25個のチップCPのうち、X軸方向およびY軸方向の各々の中央列に位置する9個のチップCPについて、互いに対向する辺の間隔を測定し、その平均値を使用した。
さらに、チップサイズCSを変えて調べたところ、図5に示すように、接着シートASの伸長量EAが何れの条件下でも、チップサイズCSとチップ間距離CDとの間に線形の関係が成り立った。なお、接着シートASには、表1のAのものを使用した。
CD=K×EA ・・・(2)
K:線形回帰勾配
K=1.23×CS+3.81・・・(3)
CD=(1.23×CS+3.81)×EA・・・(4)
図9において、離間装置10は、制御手段40が測定手段50の測定結果を基に保持部材21の移動を制御するように構成されている。なお、接着シートASおよびウエハWFは、それぞれ平面視で円形状に形成されている。
なお、リニアモータ30Bの駆動によりチップCPの相互間隔を調整する際、各保持部材21の少なくとも1つが移動してもよいし、これらの移動距離や移動方向は同じでもよいし、異なっていてもよい。
図12において、離間装置10は、駆動機器である伸長手段としてのリニアモータ30A、30B、30Cを備え、リニアモータ30Cのスライダで保持部材21を支持する。
リニアモータ30Cは、リニアモータ30Aと平行に延設され、リニアモータ30Bのスライダ31Bに支持されている。
保持手段20が有する保持部材21は、2体から4体であってもよいし、6体以上であってもよいし、各保持手段20での個数が同じでもよいし、異なっていてもよい。
各保持部材21が移動する交差方向は、リニアモータ30Aによって保持手段20が移動する方向に直交する方向でもよいし、斜めに交差する方向であってもよい。この場合、リニアモータ30Cを設けてもよい。
リニアモータ30Aに代えてまたは併用して、リニアモータ30Cを設けてもよい。この場合、リニアモータ30Cを保持部材21毎に設けてもよいし、保持部材21毎に設けなくてもよい。
リニアモータ30Bは、各保持部材21の少なくとも1体を固定しておき他の保持部材21をリニアモータ30Aによって保持手段20が移動する方向に対する直交方向に移動させてもよい。
制御手段40は、チップサイズCS、チップ間距離CD、および接着シートASの伸長量EAの間に、式(1)以外の一定の関係が成り立つ場合、当該一定の関係にチップサイズCSとチップ間距離CDの目標値とを適用して、接着シートASの伸長量EAの目標値を算出してもよい。
ウエハWFは、長方形とされてもよい。
チップCPは、円形、正方形、長方形、三角形や五角形以上の多角形等、その他の形状であってもよい。
一体物WKは、円形状のウエハWFが正方形状の接着シートASに仮着されたものでもよいし、正方形状または長方形状のウエハWFが円形状の接着シートASに仮着されたものでもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
20…保持手段
21…保持部材
30A、30B、30C…リニアモータ(伸長手段)
40…制御手段
50…測定手段
AS…接着シート
CD:チップ間距離(片状体の間隔)
CP…チップ(片状体)
CS:チップサイズ(片状体のサイズ)
EA:接着シートの伸長量
WF…ウエハ(板状部材)
Claims (4)
- 接着シート上の板状部材に4方向の張力を付与して当該板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げる離間装置であって、
前記接着シートをそれぞれ複数の保持部材で保持する複数の保持手段と、
前記保持部材を前記4方向のうち前記保持手段ごとに異なる1方向に移動させるとともに、当該保持部材を前記1方向に交差する交差方向に移動させて前記接着シートを伸長させる伸長手段と、
前記伸長手段による前記保持部材の移動を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記片状体のサイズと前記片状体の間隔の目標値とに応じて前記接着シートの伸長量の目標値を算出し、前記伸長手段に前記接着シートの伸長量が当該伸長量の目標値となるように前記保持部材を移動させることを特徴とする離間装置。 - 前記制御手段は、前記片状体のサイズと前記片状体の間隔の目標値とを下記式(1)に適用して前記接着シートの伸長量の目標値を算出することを特徴とする請求項1に記載の離間装置。
[式1]
CD=(K1×CS+K2)×EA ・・・(1)
CD:片状体の間隔(μm)
CS:片状体のサイズ(mm)
EA:接着シートの伸長量(mm)
K1、K2:定数 - 前記片状体の相互間隔を測定する測定手段を有し、
前記制御手段は、前記測定手段の測定結果を基に、前記伸長手段に前記保持部材を移動させることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の離間装置。 - 接着シート上の板状部材に4方向の張力を付与して当該板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げる離間方法であって、
それぞれ複数の保持部材を備える複数の保持手段で前記接着シートを保持する保持工程と、
前記保持部材を前記4方向のうち前記保持手段ごとに異なる1方向に移動させるとともに、当該保持部材を前記1方向に交差する交差方向に移動させて前記接着シートを伸長させる伸長工程とを備え、
前記伸長工程では、前記片状体のサイズと前記片状体の間隔の目標値とに応じて前記接着シートの伸長量の目標値を算出し、前記接着シートの伸長量が当該伸長量の目標値となるように前記保持部材を移動させることを特徴とする離間方法。
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