JP2018199849A - バレルめっき装置およびめっき方法 - Google Patents

Abstract

【課題】微細な構造を有するプローブピン（電子部品検査装置に用いられるプローブピン）となるべき部材であるワークに対して、良好にめっき処理を行うことができるバレルめっき装置およびめっき方法を提供すること。【解決手段】本発明のバレルめっき装置は、電子部品検査装置に用いられるプローブピンを製造するバレルめっき装置であって、網状体で構成された部分を有し、一端側に開口部を有する有底筒状をなし、ワークを収納するバレルと、前記バレルを回転させる回転駆動源と、を備え、前記バレルは、めっき液の液面に対して傾斜した状態で前記めっき液に浸漬して用いられることを特徴とする。【選択図】図２

Description

本発明は、バレルめっき装置およびめっき方法に関する。

各種金属部品等の被めっき物（ワーク）にめっき処理を施す際に用いられるめっき装置として、回転型のバレルめっき装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

このバレルめっき装置を用いてめっき処理を行う場合には、まずバレル内に、複数の被めっき物を収容し、この収容状態で、被めっき物をバレルごとめっき槽内のめっき液に浸漬する。

そして、めっき液に陽極を浸漬するとともに、バレル内に陰極を挿入してめっき液に浸漬する。そして、バレルを回転させつつ、陰極と陽極との間に電流を流す。バレル内で、陰極が被めっき物に接触することにより、被めっき物が負に帯電して、めっきによる被膜が形成される。

しかしながら、例えば、被めっき物が、電子部品検査装置に用いられるプローブピンのような微細なものであると、各々の被めっき物と、陰極との接触が不十分となることがある。この場合、めっき処理が不十分な被めっき物が生じてしまう。このように、従来では、被めっき物が微細なものであると、良好なめっき処理を施すのが難しいという問題がある。

特開２０１１−０３２５６２号公報

本発明の目的は、微細な構造を有するプローブピン（電子部品検査装置に用いられるプローブピン）となるべき部材であるワークに対して、良好にめっき処理を行うことができるバレルめっき装置およびめっき方法を提供することにある。

このような目的は、下記（１）〜（１２）の本発明により達成される。

（１）
電子部品検査装置に用いられるプローブピンを製造するバレルめっき装置であって、
網状体で構成された部分を有し、一端側に開口部を有する有底筒状をなし、ワークを収納するバレルと、
前記バレルを回転させる回転駆動源と、を備え、
前記バレルは、めっき液の液面に対して傾斜した状態で前記めっき液に浸漬して用いられることを特徴とするバレルめっき装置。

本発明によれば、バレルがめっき液の液面に対して傾斜し、かつ、バレルが開口部を有しているため、微細なワーク（電子部品検査装置に用いられるプローブピンとなるべき部材）の各々に対して良好なめっき処理を行うことができる。

（２）
前記バレル内に挿入される長尺な陰極を有し、
前記陰極の先端部は、丸みを帯びている上記（１）に記載のバレルめっき装置。

これにより、陰極の先端部がワークと接触した際、陰極の先端部によってワークが傷付いたり破損したりするのを防止することができる。したがって、良好にめっき処理を施すことができる。

（３）
前記陰極の外径は、１ｍｍ以上、２０ｍｍ以下である上記（２）に記載のバレルめっき装置。

これにより、陰極の先端部がワークと接触した際、陰極の先端部によってワークが傷付いたり破損したりするのを防止することができる。したがって、良好にめっき処理を施すことができる。

（４）
前記陰極の外径は、前記ワークの外径に対して１１０％以上、３００００％以下である上記（３）に記載のバレルめっき装置。

これにより、陰極の先端部がワークと接触した際、陰極の先端部によってワークが傷付いたり破損したりするのを防止することができる。したがって、良好にめっき処理を施すことができる。

（５）
前記網状体の目開きの幅は、０．０２ｍｍ以上、０．３ｍｍ以下である上記（１）ないし（４）のいずれかに記載のバレルめっき装置。

これにより、ワークの大きさ（最大外径や長さ）や形状等にもよるが、網状体を介して外側に流出してしまうのを効果的に防止することができるとともに、めっき液が網状体を介して十分に出入りすることができる。

（６）
前記網状体の構成材料は、２５℃における水との接触角が３５°以下である上記（１）ないし（５）のいずれかに記載のバレルめっき装置。

これにより、網状体の目開きの形状に関わらず、めっき液がメッシュの網目を介して十分に出入りすることができる。

（７）
前記回転駆動源を内蔵する装置本体を有し、
前記バレルは、前記装置本体に対して着脱可能である上記（１）ないし（６）のいずれかに記載のバレルめっき装置。

これにより、例えば、ワークのめっき（めっき工程）が完了し、ワークに付着しているめっき液を洗浄する洗浄工程に移行する際、バレルのみを装置本体から離脱させて、即座に洗浄工程を行うことができる。

（８）
前記バレルは、前記開口部の少なくとも一部が前記液面から露出するように前記めっき液に浸漬される上記（１）ないし（７）のいずれかに記載のバレルめっき装置。

これにより、ワークがめっき液の液面に浮いてきたとしても、バレルの側壁によって、ワークがバレルの外側に移動してしまうのを防止することができる。

（９）
前記バレルに衝撃を付与する衝撃付与機構を有する上記（１）ないし（８）のいずれかに記載のバレルめっき装置。

これにより、バレル内のワークを揺することができ、ワーク同士が密着したままとなるのを防止することができる。よって、ワーク同士が密着したまま、該密着した部分に対してめっき処理が不十分となるのを防止することができる。

（１０）
前記衝撃付与機構は、振動体である上記（９）に記載のバレルめっき装置。

これにより、バレル内のワークを揺することができ、ワーク同士が密着したままとなるのを防止することができる。よって、ワーク同士が密着したまま、該密着した部分に対してめっき処理が不十分となるのを防止することができる。

（１１）
前記回転駆動源を内蔵する装置本体を有し、
前記衝撃付与機構は、前記装置本体に衝突することにより衝撃を付与する衝突部を有する上記（９）または（１０）に記載のバレルめっき装置。

これにより、バレル内のワークを揺することができ、ワーク同士が密着したままとなるのを防止することができる。よって、ワーク同士が密着したまま、該密着した部分に対してめっき処理が不十分となるのを防止することができる。

（１２）
網状体で構成された部分を有し、一端側に開口部を有する有底筒状をなし、ワークを収納するバレルと、前記バレルを回転させる回転駆動源と、を備えるバレルめっき装置を用いて、電子部品検査装置に用いられるプローブピンを製造するめっき方法であって、
前記ワークを収納した前記バレルを、めっき液の液面に対して傾斜した状態で前記めっき液に浸漬するとともに、前記バレルを回転させるめっき工程を有することを特徴とするめっき方法。

本発明によれば、開口部を有するバレルを、めっき液の液面に対して傾斜した状態で回転させてめっき工程を行うため、微細なワーク（電子部品検査装置に用いられるプローブピンとなるべき部材）の各々に対して良好なめっき処理を行うことができる。

本発明のバレルめっき装置では、めっき液を前記バレルに向って噴射する噴射手段をさらに有するのが好ましい。

これにより、めっき液の液面に浮いてきたワークを、めっき液中に押し戻すことができる。すなわち、ワークが液面に浮いてきたとしても、ワークが液面に浮きっぱなしになるのを防止することができる。よって、ワークの各々に対して良好なめっき処理をより確実に施すことができる。

さらに、バレル内にめっき液を供給することができ、バレル内のめっき液の金属イオン濃度を可及的に一定に保つことができ、ワークにより確実に良好なめっき処理を施すことができる。

本発明のバレルめっき装置では、前記噴射手段は、前記めっき液を噴射する噴射部と、前記噴射部にめっき液を供給する供給流路と、を有するのが好ましい。

これにより、上記効果を発揮することができる。

本発明のバレルめっき装置は、前記めっき液を貯留する貯留部の鉛直方向上方に配置されるものであり、
前記供給流路は、前記貯留部内のめっき液を前記噴射部に供給するものであるのが好ましい。

これにより、新たなめっき液を供給する構成に比べて、バレル内のめっき液の金属イオン濃度が急激に変化するのを防止することができる。よって、ワークの各々に対してさらに良好なめっき処理を施すことができる。

本発明のバレルめっき装置では、前記陰極は、その先端部が、前記バレルの中心軸に対して偏在した位置に配置されているのが好ましい。

これにより、陰極がワークの各々に対してより確実に接触することができる。

本発明のバレルめっき装置では、前記陰極は、その先端部が、前記バレルの中心軸よりも、前記回転駆動源に対して遠位側に配置されているのが好ましい。

これにより、陰極がワークの各々に対してより確実に接触することができる。

本発明のバレルめっき装置では、前記陰極は、前記バレルとは離間した状態で前記バレルに挿入されるのが好ましい。

これにより、陰極がワークの各々に対してより確実に接触することができる。

本発明のバレルめっき装置では、前記陰極は、可撓性を有しているのが好ましい。

これにより、陰極を変形させて陰極の先端部の位置の微調整を行うことができる。よって、陰極がワークの各々に対してより確実に接触することができる。

本発明のバレルめっき装置は、前記めっき液を貯留する貯留部の鉛直方向上方に配置されるものであり、
前記衝撃付与機構は、前記バレルを前記装置本体ごと前記貯留部に対して変位させ、落下させるものであるのが好ましい。

これにより、バレル内のワークをより確実に揺することができ、ワーク同士が密着したままとなるのを防止することができる。よって、ワーク同士が密着したまま、該密着した部分に対してめっき処理が不十分となるのをより確実に防止することができる。

本発明のバレルめっき装置では、前記バレルに設けられ、前記バレルの外側の前記めっき液を撹拌する撹拌部を有するのが好ましい。

これにより、バレルの外側にめっき液の液流が生じる。この液流により、網状体を介して、バレル内にめっき液が流入する。よって、バレル内のめっき液の金属イオン濃度を可及的に一定に保つことができ、ワークにより確実に良好なめっき処理を施すことができる。

本発明のバレルめっき装置では、前記撹拌部は、前記バレルの外周部に設けられた羽根で構成されているのが好ましい。

これにより、バレルの外側にめっき液の液流が生じる。この液流により、網状体を介して、バレル内にめっき液が流入する。よって、バレル内のめっき液の金属イオン濃度を可及的に一定に保つことができ、ワークにより確実に良好なめっき処理を施すことができる。

本発明のバレルめっき装置では、前記撹拌部は、前記バレルの底部の外側に設けられ、バレルとともに回転する羽根で構成されているのが好ましい。

これにより、バレルの外側にめっき液の液流が生じる。この液流により、網状体を介して、バレル内にめっき液が流入する。よって、バレル内のめっき液の金属イオン濃度を可及的に一定に保つことができ、ワークにより確実に良好なめっき処理を施すことができる。

本発明のバレルめっき装置では、前記バレルの底部は、網状体で構成された部分を有するのが好ましい。

これにより、バレルの外側のめっき液が、底部側からバレル内に流入する。よって、バレル内のめっき液の金属イオン濃度を可及的に一定に保つことができ、ワークにより確実に良好なめっき処理を施すことができる。

本発明によれば、微細な構造を有するプローブピン（電子部品検査装置に用いられるプローブピン）となるべき部材であるワークに対して、良好にめっき処理を行うことができるバレルめっき装置およびめっき方法を提供することができる。

図１は、本発明のバレルめっき装置（第１実施形態）を示す斜視図である。 図２は、図１中の矢印Ａ方向から見た図である。 図３は、図１に示すバレルに収納される被めっき物（ワーク）の一例を示す側面図である。 図４は、図１に示すバレルを説明するための図であって、（ａ）が斜視図、（ｂ）および（ｃ）がメッシュの一例を示す拡大図である。 図５は、図１に示すバレルの斜視図である。 図６は、図５中矢印Ｂ方向から見た図である。 図７は、図５中矢印Ｃ方向から見た図であって、バレルがギアに装着される手順を説明するための図である。 図８は、図５中矢印Ｃ方向から見た図であって、図７に示す状態から矢印方向にバレルを回転させた状態を示す図である。 図９は、図１中矢印Ｄ方向から見た図である。 図１０は、本発明のバレルめっき装置（第２実施形態）を示す斜視図である。 図１１は、図１０に示すバレルの斜視図である。 図１２は、図１０中矢印Ｅ方向から見た図であって、（ａ）が未だ衝撃を付与していない状態であり、（ｂ）が衝撃を付与した状態である。 図１３は、本発明のバレルめっき装置（第３実施形態）が備える衝撃付与機構を示す図であって、（ａ）が、側面図、（ｂ）および（ｃ）が、（ａ）中のＥ−Ｅ線断面図である。 図１４は、本発明のバレルめっき装置（第４実施形態）が備える衝撃付与機構を示す図である。 図１５は、本発明のバレルめっき装置（第５実施形態）が備えるバレルの底部をバレルの外側から見た図である。 図１６は、図１５に示すスクリューを示す斜視図である。 図１７は、本発明のバレルめっき装置（第６実施形態）が備えるバレルを開口部側から見た図である。 図１８は、めっき処理が行われたワーク（プローブピン）が検査装置に設置された状態を示す図である。 図１９は、めっき処理が行われたワーク（プローブピン）が検査装置に設置され、電子部品の検査が行われている状態を示す図である。 図２０は、本発明のバレルめっき装置が備える陽極の構成の一例を示す図である。 図２１は、本発明のバレルめっき装置が備える陽極の構成の一例を示す図である。

以下、本発明のバレルめっき装置およびめっき方法を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。

＜第１実施形態＞
図１は、本発明のバレルめっき装置（第１実施形態）を示す斜視図である。図２は、図１中の矢印Ａ方向から見た図である。図３は、図１に示すバレルに収納される被めっき物（ワーク）の一例を示す側面図である。図４は、図１に示すバレルを説明するための図であって、（ａ）が斜視図、（ｂ）および（ｃ）がメッシュの一例を示す拡大図である。図５は、図１に示すバレルの斜視図である。図６は、図５中矢印Ｂ方向から見た図である。図７は、図５中矢印Ｃ方向から見た図であって、バレルがギアに装着される手順を説明するための図である。図８は、図５中矢印Ｃ方向から見た図であって、図７に示す状態から矢印方向にバレルを回転させた状態を示す図である。図９は、図１中矢印Ｄ方向から見た図である。図１８は、めっき処理が行われたワーク（プローブピン）が検査装置に設置された状態を示す図である。図１９は、めっき処理が行われたワーク（プローブピン）が検査装置に設置され、電子部品の検査が行われている状態を示す図である。

また、図１、図２および図９に示すように、互いに直交する３軸をｘ軸、ｙ軸およびｚ軸とし、ｘ軸とｙ軸と、を含むｘｙ平面が水平となっており、ｚ軸が鉛直となっている。

また、各方向の矢印が向いた方向を「＋」、その反対方向を「−」と言う。また、図１、図２および図９の上側、すなわち、＋ｚ側を「上」または「上方」、下側、すなわち、−ｚ側を「下」または「下方」と言うことがある。

図１および図２に示すバレルめっき装置１は、本発明のめっき方法を実行する装置であり、めっき液１００が貯留されためっき液槽１０（貯留部）上に配置され、ワーク２００（被めっき物）に対して、めっきによる被膜を形成する（以下、単に「めっき処理を施す」とも言う）装置である。

バレルめっき装置１を説明するのに先立って、まず、ワーク２００、めっき液槽１０およびめっき液１００について説明する。

［ワーク］
図３に示すワーク２００は、例えば、ＢＧＡ（Ball Grid Array）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）、ＣＭＯＳ（Complementary MOS）およびＣＣＤ（Charge Coupled Device）」等の電子部品の電気的特性を検査する検査装置６００において、電子部品５００の端子５０１と接触するプローブピン２００’に用いられる部品である（図１８および図１９参照）。

図３に示すワーク２００は、両端が開口した円筒状の本体部２０１と、各開口に挿入された一対の接触端子２０２と、各接触端子２０２を連結し、各接触端子２０２を互いに離間する方向に付勢するバネ２０３を有する。

各接触端子２０２の外径（平均外径）は、本体部２０１の外径（平均外径）よりも小さい。このため、ワーク２００全体で見たとき、その外周部には、段差部が形成されることとなる。

ワーク２００にめっき処理が施されたプローブピン２００’は、図１８、図１９に示すように、検査装置６００において、電子部品５００が載置される載置部６０１の貫通孔６０２に挿入され、両端部、すなわち、各接触端子２０２が露出した状態で設置される。

そして、一方の接触端子２０２が、載置部６０１の下方に配置された検査基板６０３と接触した状態から、電子部品５００が接触端子２０２に押しつけられる。この際、プローブピン２００’の各接触端子２０２は、バネ２０３の付勢力に抗して互いに接近する。すなわち、各接触端子２０２は、本体部２０１内に退避する（図１９参照）。

この状態で、検査基板６０３がプローブピン２００’を介して電子部品５００に通電し、電気特性の検査が行われる。

また、ワーク２００は、例えば、全長が０．１ｍｍ以上、２０ｍｍ以下であり、最大外径が、０．０５ｍｍ以上、５ｍｍ以下である。このように、ワーク２００は、全長が比較的短く、外径が比較的小さく、さらに、外周部に段差部が形成された部品、すなわち、微細な部品である。

このような、ワーク２００の構成材料としては、例えば、ベリリウム銅、リン青銅等の銅合金やタングステン、パラジウム合金（パラジウムに銀を添加したもの等）、炭素鋼、ステンレス鋼（例えば、ＳＵＳ３０２、ＳＵＳ３０４等）、コバルト・ニッケル・クロム合金等の各種金属材料が挙げられる。

以下では、一例として、本体部２０１と一対の接触端子２０２とバネ２０３とが組立てられた状態のワーク２００をバレル４に挿入してめっき処理を行う場合について説明する。

なお、ワーク２００が分解された分解状態（ワーク２００を組立てる以前の状態）で、各部をバレルに挿入して、めっき処理を行ってもよい。この場合、分解状態の各部を、同じ種類の部品のごとにバレル４に挿入してめっき処理を行ってもよく、異なる種類の部品を一括してバレル４に挿入してめっき処理を行ってもよい。

［めっき液槽］
図１に示すように、めっき液槽１０は、矩形の底板（図示せず）と、該底板の各縁部から立設する４つの側壁１０１、１０２、１０３、１０４を有し、底板と各側壁１０１〜側壁１０４とに囲まれた部分には、めっき液１００が貯留されている。

側壁１０１と側壁１０２とは、底部の長辺に対応する部分に設けられており、互いに対向して配置されている。側壁１０１は、＋ｙ側に配置され、側壁１０２は、−ｙ側に配置されている。側壁１０３と側壁１０４とは、底部の短辺に対応する部分に設けられており、互いに対向して配置されている。側壁１０３は、−ｘ側に配置され、側壁１０４は、＋ｘ側に配置されている。

めっき液槽１０の容積（最大容積）としては、特に限定されないが、例えば、０．０１ｍ^３以上、０．２ｍ^３以下であるのが好ましく、０．０３ｍ^３以上、０．１５ｍ^３以下であるのがより好ましい。

また、めっき液槽１０に貯留されためっき液１００の貯留量は、めっき液槽１０の容積（最大容積）に対して、５０％以上、９０％以下であるのが好ましく、６０％以上、８０％以下であるのがより好ましい。

［めっき液］
めっき液槽１０に貯留されるめっき液１００としては、例えば、金、銀、銅、ニッケル、クロム、コバルト、スズ、亜鉛、ロジウム、ルテニウム等の金属イオン等を含有するものが挙げられる。
また、めっき液１００は、複数種の金属イオンを含有しており、合金めっき被膜の形成に用いられるものであってもよい。

めっき液は、形成すべき被膜により異なるが、例えば、金めっきを行う場合、シアン化金カリウム、シアン化ナトリウムおよび有機酸を含むめっき液や、亜硫酸金塩、亜硫酸ナトリウムおよび有機酸を含むめっき液を好適に用いることができる。

また、ニッケルめっきを行う場合には、硫酸ニッケル等のニッケル塩、無機塩、有機酸および光沢剤を含むめっき液を好適に用いることができる。

また、めっき液中には、例えば、還元剤（例えば、ジメチルアミンボラン等のホウ素化合物、アスコルビン酸、ヒドロキノン、次亜リン酸ナトリウム等）を含んでいてもよい。

めっき液の２５℃における粘度は、０．５ｍＰａ・ｓ以上、２．０ｍＰａ・ｓ以下であるのが好ましく、０．７ｍＰａ・ｓ以上、１．５ｍＰａ・ｓ以下であるのがより好ましい。

これにより、メッシュ４１２の目開きの大きさを、ワーク２００がバレルの外部に流出することが十分に防止される程度に小さいものであっても、めっき液１００がメッシュ４１２の目開きを介して好適に出入りすることができる。その結果、バレル４内のめっき液の組成の経時的な変化をより効果的に抑制することができ、好適な被膜を安定的に形成することができる。

なお、本明細書において、粘度の値としては、振動式粘度計を用いて２５℃で測定して求められる値を採用することができ、特に、ＪＩＳ Ｚ８８０９に準拠して２５℃で測定して求められる値を採用することができる。

また、めっき時におけるめっき液１００の温度は、例えば、５℃以上、１００℃以下であるのが好ましく、２０℃以上、９５℃以下であるのがより好ましい。

なお、本明細書中では、めっき液１００の液面３００は、水平方向に沿ったものとする。例えば、めっき液槽１０に対して衝撃が加わったりして液面３００が変位して水平方向に対して一時的に傾斜したり、部分的に変位したとしても、これらは無視する。

＜バレルめっき装置＞
以下、バレルめっき装置１について詳細に説明する。

図１に示すように、バレルめっき装置１は、装置本体２と、装置本体２をめっき液槽１０上で支持する支持体３と、バレル４と、回転駆動源５と、姿勢保持機構６と、陽極７１と、陰極７２と、衝撃付与機構８と、を備えている。

（装置本体）
図１および図２に示すように、装置本体２は、底板２１と、天板２２と、底板２１および天板２２の端部（図１および図２中右側の端部）同士を連結する円柱状の連結棒２３と、を有している。

底板２１は、長尺な板材で構成され、その上面２１１側にて、回転駆動源５、ギア２４およびバレル４を支持する。回転駆動源５、ギア２４およびバレル４は、連結棒２３側からこの順で並んで配置されている。

また、底板２１の下面２１２側で、かつ、連結棒２３側に偏在した位置には、姿勢保持機構６の固定板６２が設けられている。

ギア２４およびギア２５は、円板状をなし、その縁部の全周に亘って歯が形成された平歯車で構成されている。ギア２４は、底板２１に軸２４０を介して、軸２４０回りに回転可能に支持されている。ギア２５は、底板２１に軸２５０を介して、軸２５０回りに回転可能に支持されている。

これらギア２４およびギア２５は、互いに噛合しており、かつ、ギア２４は、回転駆動源５のギア５３（図２参照）と噛合している。これにより、回転駆動源５の回転力をバレル４に伝達することができる。

また、連結棒２３は、バレルめっき装置１の持ち運びを行う際や、バレルめっき装置１をめっき液槽１０上に設置する際に把持される部分である。

天板２２は、底板２１よりも短い板材で構成され、底板２１に対向配置されている。また、天板２２は、連結棒２３および回転駆動源５の筐体５１によって支持されている。

また、天板２２は、その上面２２１の、連結棒２３側とは反対側の端部には、姿勢保持機構６の固定板６１が接続されている。

装置本体２の各部の構成材料は、めっき液１００に対する十分な耐熱性および十分な耐薬品性を確保するという観点から、例えば、ステンレス鋼等の金属材料や、ポリ塩化ビニル、アクリル系樹脂等の硬質樹脂材料等が挙げられる。また、装置本体２は、これらの材料で構成された被膜で被覆された部材を備えるものであってもよい。

（支持体）
支持体３は、Ｘ方向に延在する一対の第１板材３１ａ、３１ｂと、第２板材３２ａ、３２ｂと、各第１板材３１ａ、３１ｂの間に設けられた支持板３３と、一対の固定部材３４と、を有している。

第１板材３１ａは、側壁１０１上に設けられており、第１板材３１ｂは、側壁１０２上に設けられている。

第２板材３２ａは、第１板材３１ａの内側、すなわち、−ｙ軸側の面に設けられており、−ｙ軸側に突出する形状をなしている。

第２板材３２ｂは、第１板材３１ｂの内側、すなわち、＋ｙ軸側の面に設けられており、＋ｙ軸側に突出する形状をなしている。

これら第２板材３２ａ、３２ｂには、姿勢保持機構６の固定板６１および固定板６２が係合する。

支持板３３は、第１板材３１ａ、３１ｂの間で、かつ、側壁１０３上に設けられており、後述する衝撃付与機構８の振動体８１を支持するものである。

一対の固定部材３４は、めっき液槽１０の＋ｘ側の２つの角部上に設けられている。一方の固定部材３４は、第１板材３１ａおよび第２板材３２ａを一括して挟持してめっき液槽１０に固定し、他方の固定部材３４は、第１板材３１ｂおよび第２板材３２ｂを一括して挟持してめっき液槽１０に固定している。
これにより、支持板３３は、めっき液槽１０上に固定される。

なお、支持体３を構成する各部位の構成材料は、めっき液１００に対する十分な耐熱性および十分な耐薬品性を確保するという観点から、例えば、ステンレス鋼等の金属材料や、ポリ塩化ビニル、アクリル系樹脂等の硬質樹脂材料等が挙げられる。また、支持体３は、これらの材料で構成された被膜で被覆された部材を備えるものであってもよい。

（バレル）
図１、図２および図４（ａ）に示すバレル４は、ワーク２００を収納する部分であり、開口部４０を有する有底筒状のバレル本体４１を有している。

バレル本体４１は、多角筒（本実施形態では、六角筒）をなしている。また、バレル本体４１は、各側壁に窓部４１１を有し、該窓部４１１には、メッシュ４１２（網状体）が設けられている。

これにより、バレル本体４１をめっき液１００に浸漬した状態（以下、この状態を「浸漬状態」と言う）では、めっき液１００がメッシュ４１２の目開きを介して出入りすることができる。

また、メッシュ４１２の目開きの大きさは、バレル４内のワーク２００が、メッシュ４１２を介して外側に流出してしまうのを防止する程度の大きさとなっている。

メッシュ４１２は、図４（ｂ）に示すような、縦糸と横糸とが交互に編み込まれた構成（平織、綾織、平畳折、綾畳折等）や、図４（ｃ）に示すようなバレル本体４１の側壁に貫通孔（小孔）を形成した構成や、成形型を用いて成形された成形体（貫通孔（小孔）を有する成形体）とすることができ、これらの形態を総称してメッシュ（網状体）と言う。

なお、図４（ｃ）に示す構成では、貫通孔は、円形をなしているが、これに限定されず、多角形（例えば、四角形）や楕円等であってもよい。

メッシュ４１２の目開き（小孔）の幅（最大幅）は、０．０２ｍｍ以上、０．３ｍｍ以下であるのが好ましく、０．０５ｍｍ以上、０．０８ｍｍ以下であるのがより好ましい。

これにより、ワーク２００の大きさ（最大外径や長さ）や形状等にもよるが、メッシュ４１２を介して外側に流出してしまうのを効果的に防止することができるとともに、めっき液１００がメッシュ４１２の目開きを介して十分に出入りすることができる。

メッシュ４１２の目開き（小孔）の面積は、０．０００４ｍｍ^２以上、０．０９ｍｍ^２以下であるのが好ましく、０．００２５ｍｍ^２以上、０．００６４ｍｍ^２以下であるのがより好ましい。

これにより、ワーク２００の大きさ（最大外径や長さ）や形状等にもよるが、メッシュ４１２を介して外側に流出してしまうのを効果的に防止することができるとともに、めっき液１００がメッシュ４１２の網目を介して十分に出入りすることができる。

メッシュ４１２の構成材料の２５℃における水との接触角は、３５°以下であるのが好ましい。

これにより、目開きの形状に関わらず、めっき液１００がメッシュ４１２の網目を介して十分に出入りすることができる。

なお、メッシュ４１２の構成材料の水との接触角は、例えば、当該材料で構成された表面が平滑な板材（例えば、表面粗さＲａが１μｍ以下の板材）を用意し、当該板材を用いた測定により求めることができる。

メッシュ４１２の構成材料は、特に限定されないが、アクリル系樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル等の各種樹脂材料や、ステンレス鋼等の各種金属材料等が挙げられる。

また、メッシュ４１２には、例えば、プラズマ処理、ポリテトラフルオロエチレン等のフッ素系材料や、シリコーン系樹脂等による表面処理が施されたものであってもよい。

また、バレル本体４１の最大内径は、３０ｍｍ以上、２００ｍｍ以下であるのが好ましく、５０ｍｍ以上、１５０ｍｍ以下であるのがより好ましい。

また、バレル本体４１の長さ（中心軸Ｏ方向の長さ）は、５０ｍｍ以上、２００ｍｍ以下であるのが好ましく、１００ｍｍ以上、１５０ｍｍ以下であるのがより好ましい。

また、バレル本体４１の容積（最大容積）は、３５ｃｍ^３以上、５５００ｃｍ^３以下であるのが好ましく、２００ｃｍ^３以上、２５００ｃｍ^３以下であるのがより好ましい。

また、バレル４に収納されるワーク２００の個数は、特に限定されず、例えば、１個以上、１０００００個以下とされ、好ましくは、１０００個以上、６００００個以下とされる。
また、バレル本体４１の容量に対する、各ワーク２００の体積の総和は、０．０１％以上、３０％以下であるのが好ましく、５％以上、２０％以下であるのがより好ましい。

また、バレル４の回転速度は、３ｒｐｍ以上、５０ｒｐｍ以下であるのが好ましく、４ｒｐｍ以上、２０ｒｐｍ以下であるのがより好ましい。

また、バレル本体４１は、ギア２５に対して着脱自在となっている。以下、このことについて説明する。

図５および図６に示すように、バレル４は、バレル本体４１の開口部４０とは反対側に設けられた円板状部４２と、この円板状部４２からバレル本体４１とは反対側に垂設された円筒部４３とを有している。

円筒部４３は、その内周部に４つの突出片４３１を有している。
各突出片４３１は、円筒部４３の周方向に等間隔で設けられており、円筒部４３の中心軸に向って突出している。

一方、図５に示すように、ギア２５は、その上面から上方に向って突設された円筒部２５１を有している。
この円筒部２５１は、その外周部に設けられた複数（本実施形態では、４つ）の突出片２５２を有している。
各突出片２５２は、円筒部２５１の周方向に等間隔で設けられている。

図５に示すような離脱状態から、図１および図２に示す装着状態とするには、まず、図７に示すように、各突出片２５２の間に各突出片４３１が挿入されるように、円筒部４３を円筒部２５１に挿通する。

そして、図８に示すように、バレル４を、その軸回りに回転させて（図８中矢印参照）、各突出片２５２と各突出片４３１とが、バレル４の軸方向にそれぞれ重なった状態とする。

これにより、各突出片２５２と各突出片４３１とが、係合してバレル４がギア２５から抜けるのが防止された状態（装着状態）となる。よって、めっき処理中に不本意にバレル４が装置本体２から離脱するのを防止することができる。

なお、図示はしないが、装着状態から離脱状態にする際には、図８に示す矢印と反対方向にバレル４を回転させることにより各突出片２５２と各突出片４３１との係合が解除され、バレル４をギア２５から離脱させることができる。

このように、バレルめっき装置１では、バレル４がギア２５に対して、すなわち、バレル４が装置本体２に対して着脱自在に構成されている。

これにより、バレル４からワーク２００を取り出す作業を、離脱状態で行うことができるため、取り出し作業を容易に行うことができる。

また、バレル４が装置本体２に対して着脱自在に構成されていることにより、例えば、ワーク２００のめっき（めっき工程）が完了し、ワーク２００に付着しているめっき液１００を洗浄する洗浄工程に移行する際、バレル４のみを装置本体２から離脱させて、即座に洗浄工程を行うことができる。

すなわち、めっき工程が完了した後に、めっき液槽１０から装置本体２を離脱させるという行為を省略することができる。その結果、ワーク２００の洗浄を円滑かつ迅速に行うことができる。

なお、めっき工程が完了した後、浸漬状態が比較的長くなると、めっき液１００の組成によっては、ワーク２００に形成された被膜に不具合が生じる可能性がある。バレル４が装置本体２に対して着脱自在に構成されていることにより、バレル４に対するワーク２００の出し入れを、離脱状態で行うことができるため、容易かつ迅速に行うことができ、このような不具合も防止することができる。

なお、上記では、着脱機構の一例として、各突出片２５２と各突出片４３１とを有する構成について説明したが、本発明ではこれに限定されず、各突出片２５２と各突出片４３１とを有する構成に代えて公知の着脱機構を適用してもよい。

（回転駆動源）
図１および図２に示すように、回転駆動源５は、角筒状（本実施形態では、四角筒）の筐体５１と、筐体５１内に内蔵されたモーター５２と、モーター５２に設けられたギア５３と、を有している。モーター５２の作動によって、ギア５３は回転する。

また、図示はしないが、筐体５１は、一部（ギア２４およびギア２５側の側壁）が欠損し、ギア５３の一部が露出している。ギア５３は、ギア２４およびギア２５と同様に、円板状をなし、その縁部の全周に亘って歯が形成された平歯車で構成されている。

ギア５３は、前述したように、ギア２４と噛合しており、回転駆動源５の回転力をバレル４に伝達することができる。これにより、バレル４が、その中心軸Ｏ回りに回転することができる。

なお、本実施形態では、ギア２４、ギア２５およびギア５３は、平歯車で構成されているが、本発明ではこれに限定されず、例えば、はすば歯車、やまば歯車、かさ歯車、内歯車、冠歯車等で構成されていてもよい。

また、モーター５２は、一方向のみに回転する構成であってもよく、一方向およびその反対方向に交互に回転する構成であってもよい。

（姿勢保持機構）
図１および図２に示すように、姿勢保持機構６は、バレルめっき装置１をめっき液槽１０に対して所定の姿勢（傾斜した姿勢）で保持する機構である。姿勢保持機構６は、天板２２の上面２２１に設けられた固定板６１（第１固定部）と、底板２１の下面２１２に設けられた固定板６２（第２固定部）と、を有している。

これら固定板６１および固定板６２は、底板２１および天板２２の長手方向にずれて配置されている。固定板６１は、固定板６２よりもバレル４側に位置している。

固定板６１は、天板２２の長手方向と交わる方向（本実施形態では、直交する方向）に延在する長尺な板材で構成されている。また、固定板６１は、その厚さ方向と天板２２の厚さ方向とが一致する向きで配置されている。

また、固定板６１には、楔状に切り欠かれた一対の切欠き６１１が設けられている。各切欠き６１１は、固定板６１の一方側（めっき液槽１０側）の縁部に形成され、かつ、所定間隔離間して形成されている。

固定板６２は、底板２１の長手方向と交わる方向（本実施形態では、直交する方向）に延在する長尺な板材で構成されている。また、固定板６２は、その厚さ方向と底板２１の厚さ方向とが一致する向きで配置されている。

また、固定板６２には、楔状に切り欠かれた一対の切欠き６２１が設けられている。各切欠き６２１は、固定板６２の一方側（めっき液槽１０側）の縁部に形成され、かつ、所定間隔離間して形成されている。

バレルめっき装置１をめっき液槽１０上に設置する際には、図１に示すように、各切欠き６１１が第２板材３２ａおよび第２板材３２ｂにそれぞれ入り込み、かつ、各切欠き６２１が第２板材３２ａおよび第２板材３２ｂにそれぞれ入り込むように設置する。

これにより、各切欠き６１１が第２板材３２ａおよび第２板材３２ｂとそれぞれ係合し、各切欠き６２１が第２板材３２ａおよび第２板材３２ｂにそれぞれ係合する。よって、バレルめっき装置１をめっき液槽１０上に設置することができる。

また、前述したように、固定板６１および固定板６２は、天板２２および底板２１の長手方向にずれて配置されているため、バレルめっき装置１は、めっき液槽１０上で傾斜した状態で配置されることとなる。

また、このような姿勢保持機構６では、固定板６１および固定板６２の、天板２２および底板２１の長手方向に沿った位置を変更することにより、バレルめっき装置１のめっき液槽１０に対する姿勢、すなわち、傾斜角度θを調節することができる。

これにより、めっき液１００の量、すなわち、液面３００の位置や、めっき液槽１０の形状によらず、めっき処理を行うことができる。

固定板６１および固定板６２の、天板２２および底板２１の長手方向に沿った位置を変更する手段（傾斜角度調節手段）としては、公知のスライド機構や、複数のネジ孔に対して選択的にボルトで固定する手段等が挙げられる。

なお、各切欠き６１１、６２１は、本実施形態では、楔状に切り欠かれて形成されているが、本発明ではこれに限定されず、例えば、矩形に切り欠かれて形成されていてもよい。

各切欠き６１１、６２１が楔状に切り欠かれて形成されていることにより、斜辺と第２板材３２ａおよび第２板材３２ｂとが確実に接触（係合）し、バレルめっき装置１のめっき液槽１０に対する姿勢をより安定的に保持することができる。

（陽極および陰極）
図１および図２に示すように、バレルめっき装置１は、陽極７１と、陰極７２と、を有している。陽極７１は、めっき液槽１０の任意の位置（バレル４の外側）に設置されている。

陽極７１は、例えば、図２０に示すように、側壁１０３と側壁１０４との近傍にそれぞれ配置された構成であってもよく、図２１に示すように、側壁１０３と側壁１０４と底部との近傍に位置する湾曲形状をなしていてもよい。

陰極７２は、可撓性を有し、固定板６１から延出する長尺体で構成されている。陰極７２が可撓性を有していることにより、陰極７２を変形させて陰極７２の先端部７２２の位置の微調整を行うことができる。

また、陰極７２は、その長手方向の途中が、支持棒７２１によって支持されている。支持棒７２１は、一端部が固定板６１によって片持ち支持されている。また、支持棒７２１の他端部に設けられた貫通孔７２３には陰極７２が嵌入され、陰極７２が支持されている。これにより、陰極７２をバレル４内に挿入した状態を安定的に保持することができる。

また、陰極７２は、バレル４の中心軸Ｏよりも、装置本体２の先端側（めっき液槽１０の深い側）、すなわち、回転駆動源５に対して遠方側に配置される。また、陰極７２は、バレル４の内周部から離間した状態で配置される。

また、貫通孔７２３に対する陰極７２の挿入深さを調節することにより、バレル４内での陰極７２の挿入深さ、すなわち、バレル４内での陰極７２の先端部７２２の位置を調節することができる。

これにより、バレル４内のワーク２００の量に応じて、陰極７２がワーク２００の各々に対して接触しやすい位置に調節することができる。

なお、支持棒７２１自体が天板２２に対して上下動する昇降機構を有していてもよい。これにより、上記と同様に、バレル４内のワーク２００の量に応じて、陰極７２がワーク２００の各々に対して接触しやすい位置に調節することができる。

この昇降機構としては、公知の機構を用いることができる。

図１および図２に示す浸漬状態で陽極７１および陰極７２に対して、図示しない電圧印加手段によって電圧を印加し、バレル４内では、陰極７２がワーク２００に接触することにより、ワーク２００が負に帯電して、めっき被膜が形成され、ワーク２００に対してめっき処理がなされる。

このようなバレルめっき装置１では、浸漬状態で、モーター５２の回転によりバレル４を回転させつつ、ワーク２００に対して、めっき処理を施すことができる。この際、バレルめっき装置１では、バレル４は、その中心軸Ｏがめっき液１００の液面３００に対して傾斜した状態で浸漬された浸漬状態（傾斜浸漬状態）となっている（図２参照）。

これにより、各ワーク２００は、バレル４内において、鉛直方向下方側の隅部（めっき液槽１０の深い側）に偏在することとなる。また、この各ワーク２００が偏在している部分に陰極７２が位置しているため、陰極７２は、ワーク２００に対して確実に接触することができる。

そして、バレル４が傾斜した状態で回転するため、各ワーク２００がバレル４内で隅部に偏在しつつも、ワーク２００の各々が互いに相対的に移動する。その結果、全てのワーク２００が陰極７２に接触し易くなり、ワーク２００の各々に良好なめっき処理を施すことができる。

特に、ワーク２００が前述したような微細な部品であるため、バレル４の傾斜を省略すると、ワーク２００がバレル４の底部全体に分散し、陰極７２と接触しにくくなるが、バレルめっき装置１によれば、微細なワーク２００に対して良好にめっき処理を施すことができる。

また、バレル４が開口部４０を有しているため、陰極７２の先端部７２２を所望の位置（ワーク２００が偏在している位置）に容易に配置することができるとともに、陰極７２の、開口部４０の面方向での位置を容易に調節することができる。

なお、陰極７２の、開口部４０の面方向での位置を調節するとは、前述したように、陰極７２を曲げて形状付けを行ったり、支持棒７２１の位置を調節して陰極７２を移動させたりすることを言う。

さらに、前述したように、バレルめっき装置１では、陰極７２のバレル４に対する挿入深さが調節可能である。この挿入深さの調節と、陰極７２の開口部４０の面方向の位置の調節との双方を調節可能であることとが相まって、全てのワーク２００が陰極７２にさらに接触し易くなり、ワーク２００の各々により確実に良好なめっき処理を施すことができる。

また、ワーク２００の形状、大きさ、バレル４の回転速度等に応じて、ワーク２００が偏在する位置が変化することが想定されるが、ワーク２００が偏在する位置に応じて、その都度、陰極７２の位置を調整することができる。

さらに、バレル４が開口部４０を有しているため、開口部４０を介してバレル４内にめっき液１００を供給することができる。よって、バレル４内のめっき液１００の金属イオン濃度を可及的に一定に保つことができ、ワーク２００により確実に良好なめっき処理を施すことができる。

このように、本発明によれば、バレル４がめっき液１００の液面３００に対して傾斜し、かつ、バレル４が開口部４０を有しているため、微細なワーク２００の各々に対して良好なめっき処理を行うことができる。

なお、傾斜角度θは、特に限定されず、ワーク２００の形状、大きさ、数量等にもよるが、５°以上、７５°以下であるのが好ましく、１５°以上、２０°以下であるのがより好ましい。

これにより、陰極７２とワーク２００と、をより確実に接触させることができる。

これに対し、傾斜角度θが小さすぎると、バレル４の側壁にワーク２００が広がる傾向を示し、陰極７２と接触が不十分であるワーク２００が生じる可能性がある。一方、傾斜角度θが大きすぎると、バレル４の底部にワーク２００が広がる傾向を示し、陰極７２と接触が不十分であるワーク２００が生じる可能性がある。

また、バレルめっき装置１では、バレル４は、開口部４０の少なくとも一部がめっき液１００の液面３００から露出するように、めっき液１００に浸漬される。すなわち、図示のように、バレル４は、開口部４０の全部が液面３００から露出していてもよく、一部が液面３００から露出していてもよい。

開口部４０の全部が液面３００から露出している場合、ワーク２００がめっき液１００の液面３００に浮いてきたとしても、バレル４の側壁によって、ワーク２００がバレル４の外側に移動してしまうのを確実に防止することができる。

また、開口部４０の一部が液面３００から露出している場合、ワーク２００がめっき液１００の液面３００に浮いてきたとしても、バレル４の側壁によって、ワーク２００がバレル４の外側に移動してしまうことと、開口部４０を介してバレル４内にめっき液１００をより確実に供給することとを両立することができる。

なお、バレルめっき装置１では、開口部４０の全部が液面３００よりも下方に浸漬していてもよい。この場合、開口部４０を介してバレル４内にめっき液１００をより確実に供給することができ、バレル４内のめっき液１００の金属イオン濃度を可及的に一定に保つことができる。

また、バレル本体４１は、多角筒（本実施形態では、六角筒）をなしている。すなわち、バレル本体４１の内側には、角部が形成されている。これにより、バレル４が回転する際、角部にワーク２００が集まり、このワーク２００の集合体ごとめっき液１００内で持ち上げられ、その後落下する。

そして、この落下の際、ワーク２００同士は、相対的な位置関係が変化し、入り乱れる。その結果、全てのワーク２００が陰極７２に接触し易くなり、ワーク２００の各々に良好なめっき処理を施すことができる。

また、バレル本体４１は、外周部にも角部を有している。
これにより、バレル４の回転に伴って、バレル４の外側のめっき液１００が撹拌されて液流が生じる。この液流により、バレル４の外側のめっき液１００の金属イオン濃度を可及的に均一に保つことができる。また、上記のような液流により、バレル４の外側のめっき液１００がメッシュ４１２を介して内側に流入し易くなる。その結果、バレル４内のめっき液１００の金属イオン濃度を可及的に一定に保つことができ、ワーク２００により確実に良好なめっき処理を施すことができる。

さらに、メッシュ４１２の内側にワーク２００が貼り付いたとしても、バレル４の内側に落としやすくすることができる。よって、メッシュ４１２の内側に貼り付いたワーク２００を、陰極７２に接触させることができる。したがって、より効果的にめっき処理を良好に行うことができる。

ここで、バレルめっき装置１では、微細なワーク２００に対して、ワーク２００が陰極７２と接触した際に傷付いたり破損したりするのを防止することができ、良好にめっき処理を施すことができる。以下、このことについて説明する。

陰極７２の先端部７２２は、丸みを帯びている。
これにより、陰極７２の先端部７２２がワーク２００と接触した際、陰極７２の先端部７２２によってワーク２００が傷付いたり破損したりするのを防止することができる。したがって、良好にめっき処理を施すことができる。

陰極７２の外径（最大径）は、１ｍｍ以上、２０ｍｍ以下であるのが好ましく、１．５ｍｍ以上、１５ｍｍ以下であるのがより好ましい。

これにより、ワーク２００が傷付いたり破損したりするのを防止することができる。したがって、ワーク２００に良好にめっき処理を施すことができる。

陰極７２の外径（最大外径）は、ワーク２００の外径（最大径）に対して１１０％以上、３００００％以下であるのが好ましく、１５０％以上、５０００％以下であるのがより好ましい。

これにより、ワーク２００が傷付いたり破損したりするのを防止することができる。したがって、ワーク２００に良好にめっき処理を施すことができる。

これに対し、陰極７２の外径が小さすぎると、例えば、陰極７２の先端部７２２の曲率によっては、先端部７２２でワーク２００を傷付けてしまう可能性がある。一方、陰極７２の径が大きすぎると、ワーク２００がバレル４内で動くのが阻害される可能性がある。

（衝撃付与機構）
図１および図９に示すように、衝撃付与機構８は、支持板３３上に配置された振動体８１と、支持板３３と側壁１０３との間に設けられた一対の弾性体８２と、を有している。なお、本明細書では、振動も衝撃に含む。

振動体８１は、例えば、モーターと、モーターのシャフトに偏心して設けられた錘と、を有する構成のもの等、公知の構成のものを用いることができる。

振動体８１自身が振動することにより、その振動が、支持板３３、第１板材３１ａ、第１板材３１ｂ、第２板材３２ａ、第２板材３２ｂおよび装置本体２を介してバレル４に伝達される。

このような振動体８１を有することにより、バレル４内のワーク２００を揺することができ、ワーク２００同士が密着したままとなるのを防止することができる。よって、ワーク２００同士が密着したまま、該密着した部分に対してめっき処理が不十分となるのを防止することができる。

さらに、メッシュ４１２の内側にワーク２００が貼り付いたとしても、振動によってバレル４の内側に落としやすくすることができる。よって、メッシュ４１２の内側に貼り付いたワーク２００を、陰極７２に接触させることができる。したがって、均一な厚さの被膜を形成するめっき処理を施すことができる。

図９に示すように、一対の弾性体８２は、弾性を有し、互いにｙ方向に離間して設けられている。また、弾性体８２のヤング率は、例えば、０．５ＭＰａ以上、４０ＭＰａ以下とされる。

このような弾性体８２が支持板３３と側壁１０３との間に設けられていることにより、振動体８１の振動が弾性体８２に伝達されると、振動体８１の振動数とは異なる振動数および振幅で不規則に振動する。

これにより、支持板３３、第１板材３１ａ、第１板材３１ｂ、第２板材３２ａ、第２板材３２ｂおよび装置本体２を介して、不規則な振動がバレル４に伝達される。よって、バレル４が不規則に振動して、バレル４内の各ワーク２００の配列方向や移動方向を不規則にすることができる。その結果、ワーク２００の各々が、陰極７２とさらに接触し易くなり、ワーク２００に対して、さらに効果的に良好なめっき処理を施すことができる。

なお、振動体８１は、自身の単位時間当たりの振動数が可変に構成されていてもよい。すなわち、振動体８１自身が不規則に振動する構成であってもよい。この場合、弾性体８２を省略することができ、装置構成を簡素にすることができる。

また、各弾性体８２は、互いにヤング率が異なっていてもよい。
これにより、支持板３３、第１板材３１ａ、第１板材３１ｂ、第２板材３２ａ、第２板材３２ｂおよび装置本体２を介して、より確実に不規則な振動がバレル４に伝達される。

以上説明したように、バレルめっき装置１は、電子部品検査装置に用いられるプローブピンを製造するものであって、網状体で構成された部分を有し、一端側に開口部４０を有する有底筒状をなし、ワーク２００を収納するバレル４と、バレル４を回転させる回転駆動源５と、を備えている。

そして、バレル４は、めっき液１００の液面３００に対して傾斜した状態でめっき液１００に浸漬して用いられる。
これにより、微細なワーク２００の各々に対して良好なめっき処理を行うことができる。

また、本発明のめっき方法は、本発明のバレルめっき装置を用いて、電子部品検査装置に用いられるプローブピンを製造するめっき方法であって、ワーク２００を収納したバレル４を、めっき液１００の液面３００に対して傾斜した状態でめっき液１００に浸漬するとともに、バレル４を回転させるめっき工程を有する。

これにより、微細なワーク２００の各々に対して良好なめっき処理を行うことができる。

＜第２実施形態＞
図１０は、本発明のバレルめっき装置（第２実施形態）を示す斜視図である。図１１は、図１０に示すバレルの斜視図である。図１２は、図１０中矢印Ｅ方向から見た図であって、（ａ）が未だ衝撃を付与していない状態であり、（ｂ）が衝撃を付与した状態である。

以下、これらの図を参照して本発明のバレルめっき装置の第２実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。

図１０に示すように、バレルめっき装置１Ａは、装置本体２Ａと、支持体３Ａと、バレル４Ａと、回転駆動源５Ａと、衝撃付与機構８Ａと、シャワー機構９Ａ（噴射手段）と、を備えている。装置本体２Ａは、筐体２１Ａを有している。

支持体３Ａは、側壁１０３の縁部に固定されたベース３５と、ベース３５に固定され、装置本体２Ａ（筐体２１Ａ）を支持する支持台３６と、を有している。
支持台３６は、液面３００に対して傾斜した状態で固定されている。

これにより、装置本体２Ａ（筐体２１Ａ）は、液面３００に対して傾斜した状態の姿勢が維持される。
なお、本実施形態では、支持体３Ａが、姿勢保持機構を兼ねていると言える。

図１１に示すように、バレル４Ａは、本実施形態では、円板状部４２が省略された構成となっている。また、バレル４Ａは、バレル本体４１が有底の円筒状で構成されている。

回転駆動源５Ａは、モーター５２と、モーター５２に連結されたシャフト５４とを有している。

また、図１０および図１１に示すように、シャフト５４の先端部には、リング状の固定部材５５と、固定部材５５とシャフト５４とを連結する連結部材５６とが設けられている。
固定部材５５には、一対の貫通孔５５１が固定部材５５の中心を介して設けられている。
連結部材５６は、長尺な板材で構成され、その長手方向の途中が複数回（図示の構成では４回）折り曲げられており、全体として略コの字状をなす部材である。また、連結部材５６の両端部は、固定部材５５の、各貫通孔５５１が形成されている部分に対して略９０°ズレた位置に固定されている。

また、バレル４Ａの開口部４０の縁部には、一対の貫通孔４０１が設けられている。バレル４Ａの開口部４０の縁部を固定部材５５の内側に挿入（配置）した状態において、一対の貫通孔４０１および一対の貫通孔５５１は、互いに連通可能となっている。

また、この状態で、ピン５７を一対の貫通孔４０１および一対の貫通孔５５１に一括して挿入することにより、バレル４Ａをシャフト５４に対して装着することができる。

ピン５７は、貫通孔４０１および貫通孔５５１に挿入される直線状の挿入部５７１と、シャフト５４に引っかけられるフック５７２と、挿入部５７１およびフック５７２を連結する連結部５７３とを有し、全体として鶴巻状をなしている。フック５７２を有していることにより、装着状態において、挿入部５７１が貫通孔４０１および貫通孔５５１に挿入された状態を確実に維持することができ、ピン５７が一対の貫通孔４０１および一対の貫通孔５５１から不本意に離脱してしまうのを防止することができる。

なお、フック５７２をシャフト５４から外すことにより、挿入部５７１を貫通孔４０１および貫通孔５５１から抜去することができる。よって、離脱状態とすることができる。

バレルめっき装置１Ａでは、モーター５２の作動により、シャフト５４が回転し、この回転力がバレル４Ａに伝達される。

衝撃付与機構８Ａは、衝突部８３と、シャフト５４に設けられたフランジ部８４と、を有している。

衝突部８３は、筐体２１Ａのバレル４Ａに臨む部分に固定されている。衝突部８３は、筒状体８３１と、筒状体８３１に内蔵されたバネ８３２と、バネ８３２に連結された衝突ヘッド８３３と、を有している。

筒状体８３１は、固定部材８５を介して筐体２１Ａに固定されている。
バネ８３２は、圧縮された状態で筒状体８３１に内蔵されており、衝突ヘッド８３３をシャフト５４に向って付勢している。
衝突ヘッド８３３は、シャフト５４に設けられたフランジ部８４の外周部と接触しており、フランジ部８４に向って付勢された状態となっている。

図１２（ａ）および（ｂ）に示すように、フランジ部８４は、２つの半円が、その径方向にずれた形状をなしている。すなわち、２つの半円弧部８４０Ａ、８４０Ｂが径方向にずれた形状をなしている。

そして、半円弧部８４０Ａ、８４０Ｂの境界部にそれぞれ段差部８４１が形成されている。各段差部８４１は、フランジ部８４の中心、すなわち、シャフト５４を介して互いに反対側に位置している。

図１２（ａ）および（ｂ）に示すように、シャフト５４の回転に伴って、フランジ部８４は、回転する。この回転の際、衝突ヘッド８３３は、フランジ部８４に押しつけられながら、フランジ部８４の外周部を摺動する。図１２（ａ）に示す状態では、衝突ヘッド８３３は、半円弧部８４０Ｂを摺動している。

そして、衝突ヘッド８３３が半円弧部８４０Ｂから半円弧部８４０Ａに移行する際、段差部８４１にて、衝突ヘッド８３３は、半円弧部８４０Ａに打ち付けられて、フランジ部８４に衝撃が付与される。この衝撃がシャフト５４を介してバレル４Ａに伝達される。

これにより、バレル４Ａ内のワーク２００の相対な位置関係を変動させることができ、バレル４Ａ内のワーク２００同士が密着したままとなるのを防止することができる。よって、ワーク２００同士が密着したまま、該密着した部分に対してめっき処理が不十分となるのを防止することができる。よって、ワーク２００の各々に対して良好なめっき処理を施すことができる。

なお、図示の構成では、シャフト５４が１回転する間に、２回衝撃が付与されるが、段差部８４１の形成個数に応じて、シャフト５４が１回転する間に衝撃を付与する回数を調節することができる。

また、図示の構成では、各段差部８４１は、等角度間隔（１８０°間隔）で形成されており、衝撃を一定の間隔で付与する構成であるが、各段差部８４１の間隔を、不規則に形成することにより、衝撃を不規則に付与することができる。

次に、シャワー機構９Ａについて説明する。
シャワー機構９Ａは、シャワーノズル９１（噴射部）と、シャワーノズル９１に液体（本実施形態では、めっき液１００）を供給する供給流路９２と、供給流路９２の途中に設けられたポンプ９３と、を有している。

シャワーノズル９１は、バレル４Ａの開口部４０の鉛直方向上側（＋ｚ側）に設けられている。また、シャワーノズル９１は、鉛直方向下側（−ｚ側）に向って、すなわち、バレル４Ａに向ってめっき液１００を放射状に噴射する。

供給流路９２は、一端がシャワーノズル９１と接続され、他端がめっき液槽１０内のめっき液１００に浸漬されている。また、ポンプ９３の作動により、めっき液槽１０内のめっき液１００が吸引され、該めっき液１００がシャワーノズル９１から噴射する。

このようなシャワー機構９Ａによれば、めっき液１００の液面３００に浮いてきたワーク２００を、めっき液１００中に押し戻すことができる。すなわち、ワーク２００が液面３００に浮いてきたとしても、ワーク２００が液面３００に浮きっぱなしになるのを防止することができる。よって、ワーク２００の各々に対して良好なめっき処理をより確実に施すことができる。

また、シャワーノズル９１にめっき液槽１０内のめっき液１００を供給する構成であるため、新たなめっき液１００を供給する構成に比べて、バレル４Ａ内のめっき液１００の金属イオン濃度が急激に変化するのを防止することができる。よって、ワーク２００の各々に対してさらに良好なめっき処理を施すことができる。

さらに、シャワーノズル９１にめっき液槽１０内のめっき液１００を供給する構成であるため、新たにめっき液１００をシャワーノズル９１に供給する場合に比べ、めっき液槽１０内のめっき液１００の量が増大するのを防止することができる。よって、めっき液１００の液面３００の位置を略一定に保つことができる。

なお、シャワーノズル９１は、傾斜した状態のバレル４の中心軸Ｏ方向に移動可能に構成されていてもよく、傾斜した状態のバレル４の径方向に移動可能に構成されていてもよい。

また、シャワーノズル９１は、開口部４０に向って、斜め（例えば、中心軸Ｏ方向）にめっき液１００を噴射する構成であってもよい。この場合、めっき液１００の液面３００に浮いてきたワーク２００を、めっき液１００中により効果的に押し戻すことができる。

また、シャワーノズル９１は、めっき液１００の液面３００に対して上下動可能であってもよく、水平方向に移動可能に構成されていてもよい。

また、本実施形態では、シャワーノズル９１が、上方からめっき液１００の液面３００に向って、すなわち、下方に向ってめっき液１００を噴射する構成であったが、本発明ではこれに限定されず、例えば、傾斜した状態のバレル４の中心軸Ｏ方向に向ってめっき液１００を噴射する構成であってもよく、傾斜した状態のバレル４の径方向にめっき液１００を噴射する構成であってもよい。

また、シャワーノズル９１は、棒状をなしていてもよい。この場合、シャワーノズル９１において、めっき液１００を噴射する噴射口の形成位置は、シャワーノズル９１の周方向の全域に形成されているのが好ましい。

これにより、シャワーノズル９１をバレル４内に挿入してめっき液１００を噴射することができ、バレル４の内側に貼り付いたワーク２００に対してめっき液１００を噴射することができる。よって、ワーク２００がバレル４内に貼り付くのを防止することができる。

また、シャワーノズル９１が、棒状をなしている場合、その軸方向に回転可能に構成されていてもよい。

また、シャワーノズル９１をバレル４の周方向外側に配置して、メッシュ４１２を介してバレル４の内側にめっき液１００を噴射する構成であってもよい。この場合にも、ワーク２００がバレル４内に貼り付くのを防止することができる。

また、シャワーノズル９１は、その先端部がめっき液１００中に浸漬されていてもよい。この場合、シャワーノズル９１は、先端部の噴射口から噴射されるめっき液１００の水圧が、基端部の噴射口から噴射されるめっき液１００の水圧よりも強いのが好ましい。

＜第３実施形態＞
図１３は、本発明のバレルめっき装置（第３実施形態）が備える衝撃付与部を示す図であって、（ａ）が、側面図、（ｂ）および（ｃ）が、（ａ）中のＥ−Ｅ線断面図である。

以下、この図を参照して本発明のバレルめっき装置の第３実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。

本実施形態は、衝撃付与機構の構成が異なること以外は、前記第２実施形態と略同様である。

図１３（ａ）に示すように、バレルめっき装置１Ｂでは、衝撃付与機構８Ｂは、シャフト５４ごと変位させてバレル４Ａに（図示せず）に振動を付与するものである。
この衝撃付与機構８Ｂは、支持台３６上に設けられた台座８６を有している。

台座８６は、その上面が平面で構成されており、シャフト５４に設けられたフランジ部８４と接触している。

このような本実施形態では、シャフト５４の回転に伴って、フランジ部８４が回転する。この回転の際、フランジ部８４の外周部が台座８６に押しつけられながら摺動する。

図１３（ｂ）に示す状態では、半円弧部８４０Ａが台座８６上を摺動している。また、この摺動に伴い、図１３中二点鎖線で示すように、シャフト５４は、筐体２１Ａごと持ち上げられる、すなわち、鉛直方向上方に変位する。

そして、台座８６と接触している部分が半円弧部８４０Ａから半円弧部８４０Ｂに移行したとき、段差部８４１の高さ分、半円弧部８４０Ｂが台座８６に打ち付けられる。これにより、フランジ部８４に衝撃が付与され、この衝撃がシャフト５４を介してバレル４Ａ（図示せず）に伝達される。

これにより、バレル４Ａ内のワーク２００の相対な位置関係を変動させることができ、バレル４Ａ内のワーク２００同士が密着したままとなるのを防止することができる。よって、ワーク２００同士が密着したまま、該密着した部分に対してめっき処理が不十分となるのを防止することができる。その結果、ワーク２００の各々に対して良好なめっき処理を施すことができる。

このように、本実施形態では、シャフト５４ごと持ち上げて（変位させて）、その後、落下させてバレル４Ａに衝撃を付与する構成であるため、比較的強い振動をバレル４Ａに付与することができる。

また、衝撃付与機構８Ｂでは、衝突部８３を省略し、台座８６を設けるという簡単な構成により、バレル４Ａに衝撃を付与することができる。

＜第４実施形態＞
図１４は、本発明のバレルめっき装置（第４実施形態）が備える衝撃付与部を示す図である。

以下、この図を参照して本発明のバレルめっき装置の第４実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。

本実施形態は、衝撃付与機構の構成が異なること以外は、前記第２実施形態と略同様である。

図１４（ａ）および（ｂ）に示すように、バレルめっき装置１Ｃでは、衝撃付与機構８Ｃは、装置本体２Ａごと変位させてバレル４Ａ（図示せず）に振動を付与するものである。

この衝撃付与機構８Ｃは、回転子８７と、回転子８７の回転により変位する変位部８８と、を有している。

回転子８７は、めっき液槽１０の側壁１０３の外側、すなわち、−ｘ側に設けられている。また、回転子８７は、図示しないモーターにより軸Ｏ’回りに回転する。
本実施形態では、回転子８７は、ｘ方向から見て時計回りに回転する。回転子８７は、一対の突起８７１を有している。

なお、回転子８７を回転させるモーターは、側壁１０３に内蔵されていてもよく、側壁１０３と回転子８７との間に設けられていてもよく、回転子８７よりも外側、すなわち、−ｘ側に設けられていてもよい。

各突起８７１は、軸Ｏ’を介して互いに反対方向に突出形成されている。また、突起８７１は、回転方向前方側に向って湾曲した湾曲面８７２を有している。この湾曲面８７２は、カム面として機能する。

変位部８８は、装置本体２Ａを支持する支持台８８１と、支持台８８１の背面（−ｘ側の面）に設けられた一対のスライド部材８８２と、支持台８８１の背面に設けられたフォロアー棒８８３と、一方のスライド部材８８２に設けられた衝突棒８８４と、を有している。

支持台８８１は、ｙ方向に延在している。スライド部材８８２は、支持台８８１の背面のうち、＋ｙ側の端部と−ｙ側の端部とに設けられている。また、各スライド部材８８２は、貫通孔８８５を有し、各貫通孔８８５には、地面４００から立設する一対のスライド棒８８７がそれぞれ挿通されている。

これにより、スライド部材８８２は、スライド棒８８７に対してスライドしつつ−ｚ方向に変位可能に構成されている。

フォロアー棒８８３は、支持台８８１の背面（−ｘ側の面）で、かつ、各スライド部材８８２の間に設けられている。フォロアー棒８８３の下端部は、回転子８７と接触可能な位置に位置している。

衝突棒８８４は、その下端部が、地面４００上に設けられた台座８８８と衝突可能に構成されている。また、衝突棒８８４の下端部は、フォロアー棒８８３の下端部よりも下側に位置している。

図１４（ａ）に示すように、回転子８７が回転する際、フォロアー棒８８３は、湾曲面８７２上を摺動しつつ、上方に変位する。この変位の際、スライド部材８８２がスライド棒８８７をスライドして、変位部８８および装置本体２Ａごと上方に変位する。

そして、図１４（ａ）に示す状態からさらに回転子８７が回転すると、フォロアー棒８８３は、変位部８８および装置本体２Ａごと落下する。このとき、衝突棒８８４が台座８８８に打ち付けられて、変位部８８および装置本体２Ａに衝撃が付与される（図１４（ｂ）参照）。

これにより、衝撃が装置本体２Ａを介してバレル４Ａに伝達され、バレル４Ａ内のワーク２００同士が密着したままとなるのを防止することができる。よって、ワーク２００同士が密着したまま、該密着した部分に対してめっき処理が不十分となるのを防止することができる。その結果、ワーク２００の各々に対して良好なめっき処理を施すことができる。

このように、本実施形態では、装置本体２Ａごと持ち上げて落下させてバレル４Ａに衝撃を付与する構成であるため、比較的強い振動をバレル４Ａに付与することができる。

＜第５実施形態＞
図１５は、本発明のバレルめっき装置（第５実施形態）が備えるバレルの底部をバレルの外側から見た図である。図１６は、図１５に示すスクリューを示す斜視図である。

以下、これらの図を参照して本発明のバレルめっき装置の第５実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。

本実施形態は、バレルの構成が異なること以外は、前記第２実施形態と略同様である。

図１５に示すように、バレルめっき装置１Ｄのバレル４Ｄは、底部４４に窓部４４１を有しており、該窓部４４１には、メッシュ４４２が設けられている。このメッシュ４４２は、底部４４の略全域に設けられており、第１実施形態で説明したメッシュ４１２と同様の構成とすることができる。

また、底部４４の外側には、スクリュー４５（撹拌部）が設けられている。スクリュー４５は、バレル４Ｄの外側のめっき液１００を撹拌して液流を生じさせる機能を有するものである。

スクリュー４５は、底部４４の中央部に固定されたキャップ４６と、キャップ４６に設けられた複数（本実施形態では、３枚）の羽根４７と、を有している。各羽根４７は、当角度間隔に配置されており、羽根元から羽根先にかけて同方向に捻じれている。

スクリュー４５は、バレル４Ｄの回転に伴ってバレル４Ｄとともに回転する。この回転により、めっき液槽１０では、バレル４Ｄの外側から底部４４に向うめっき液１００の液流が生じる（図１６参照）。

この液流により、メッシュ４４２を介して、バレル４Ｄ内に、底部４４からめっき液１００が流入する。よって、バレル４Ｄ内のめっき液１００の金属イオン濃度を可及的に一定に保つことができ、ワーク２００により確実に良好なめっき処理を施すことができる。

さらに、メッシュ４４２の内側にワーク２００が貼り付いたとしても、バレル４の内側（バレル４の内側の隅部）に落としやすくすることができる。よって、メッシュ４４２の内側に貼り付いたワーク２００を、陰極７２（図示せず）に接触させることができる。したがって、より効果的にめっき処理を良好に行うことができる。

なお、バレル４Ｄ（スクリュー４５）は、図示の構成と反対方向に回転する構成であってもよい。この場合、めっき液槽１０では、バレル４Ｄの内側から外側に向うめっき液１００の液流が生じる。この液流により、バレル４Ｄ内のめっき液１００をバレル４Ｄの外側に排出することができるとともに、メッシュ４４２以外の部位（メッシュ４１２または液面３００の位置によっては、開口部４０）から新たなめっき液１００を供給することができる。
さらに、バレル４Ｄの内側から外側に向うめっき液１００の液流によって、各ワーク２００を底部４４側に引き付けることができ、ワーク２００が開口部４０から外側に排出してしまうのをより確実に防止することができる。

また、バレル４Ｄとスクリュー４５とが、互いに独立して回転する構成であってもよい。この場合、バレル４Ｄとスクリュー４５との回転方向は、同じであってもよく異なっていてもよい。また、バレル４Ｄとスクリュー４５との回転速度は、同じであってもよく異なっていてもよい。

バレル４Ｄとスクリュー４５とが、互いに独立して回転する構成である場合、例えば、スクリュー４５に図示しない回転駆動源が内蔵さていたり、スクリュー４５に、図示しないシャフトを介して回転駆動源が接続されているのが好ましい。

＜第６実施形態＞
図１７は、本発明のバレルめっき装置（第６実施形態）が備えるバレルを開口部側から見た図である。

以下、これらの図を参照して本発明のバレルめっき装置の第６実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。

本実施形態は、バレルの構成が異なること以外は、前記第１実施形態と略同様である。

図１７に示すように、バレルめっき装置１Ｅでは、バレル４Ｅは、外周部に設けられた複数（本実施形態では、６枚）の羽根４７（撹拌部）を有している。各羽根４７は、バレル４Ｅの角部に設けられており、外側に向って突出形成されている。

また、羽根４７は、回転方向の反対側、すなわち、回転方向後方に向って湾曲した形状をなしている。これにより、バレル４Ｅが回転した際、羽根４７がめっき液１００を撹拌し、めっき液１００が外側からバレル４Ｅに向う液流が生じる。

この液流により、メッシュ４１２を介して、バレル４Ｅ内にめっき液１００が流入する。よって、バレル４Ｅ内のめっき液１００の金属イオン濃度を可及的に一定に保つことができ、ワーク２００により確実に良好なめっき処理を施すことができる。

さらに、メッシュ４１２の内側にワーク２００が貼り付いたとしても、バレル４の内側に落としやすくすることができる。よって、メッシュ４１２の内側に貼り付いたワーク２００を、陰極７２（図示せず）に接触させることができる。したがって、より効果的にめっき処理を良好に行うことができる。

以上、本発明のバレルめっき装置およびめっき方法を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、バレルめっき装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。

また、本発明のバレルめっき装置は、前記各実施形態のうちの、任意の２つ以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。

また、前記第１実施形態では、振動体が、支持部の支持板に設けられていたが、本発明ではこれに限定されず、装置本体やバレル等、任意の位置に配置することができる。

また、前記各実施形態では、バレルが六角筒の場合について説明したが、本発明ではこれに限定されず、例えば、三角筒、四角筒、五角筒または七角筒以上の多角筒であってもよい。

また、前記各実施形態では、バレルの開口部の全部がめっき液の液面よりも上側に位置し、露出している構成であったが、本発明ではこれに限定されず、開口部の一部が液面よりも下方に位置していても本発明の効果を奏することができる。

開口部の一部が液面よりも下方に位置している場合には、開口部の内側に返し（リング状のフランジ部）等が設けられていてもよい。これにより、バレル内のワークが液面に浮いてきたとしても、浮いてきたワークがバレルの外側に出るのを防止することができる。

また、返しは、網状体で構成されていてもよい。

また、前記各実施形態では、陰極は、一本の長尺体で構成されていたが、本発明ではこれに限定されず、例えば、先端部が複数に分岐した形状であってもよい。この場合、各ワークと陰極と、をさらに確実に接触し易くすることができる。

また、前記実施形態では、装置本体にギアが設けられている構成であったが、本発明ではこれに限定されず、バレルにギアが設けられている構成であってもよい。

また、前記各実施形態において、網状体の目開きの大きさが開口部側から底部側まで同じ場合について説明したが、本発明ではこれに限定されず、例えば、開口部側から底部側に向って目開きの大きさが大きくなっていてもよく、逆に小さくなっていてもよい。

また、めっき液槽内には、バレルとは別途に、めっき液を撹拌する撹拌部が設けられていてもよい。これにより、バレルの外側のめっき液が撹拌されて液流が生じる。この液流により、バレルの外側のめっき液が網状体を介して内側にさらに流入し易くなる。

また、めっき液槽内には、めっき液の温度を調節する温度調節部が設けられていてもよい。

また、前記各実施形態では、電気めっきを行う場合について中心的に説明したが、本発明は、無電解めっきに適用されるものであってもよい。

１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ、１Ｅ バレルめっき装置
２、２Ａ 装置本体
２１ 底板
２１Ａ 筐体
２１１ 上面
２１２ 下面
２２ 天板
２２１ 上面
２３ 連結棒
２４ ギア
２４０ 軸
２５ ギア
２５０ 軸
２５１ 円筒部
２５２ 突出片
３、３Ａ 支持体
３１ａ 第１板材
３１ｂ 第１板材
３２ａ 第２板材
３２ｂ 第２板材
３３ 支持板
３４ 固定部材
３５ ベース
３６ 支持台
４、４Ａ、４Ｄ、４Ｅ バレル
４０ 開口部
４０１ 貫通孔
４１ バレル本体
４１１ 窓部
４１２ メッシュ
４２ 円板状部
４３ 円筒部
４３１ 突出片
４４ 底部
４４１ 窓部
４４２ メッシュ
４５ スクリュー
４６ キャップ
４７ 羽根
５、５Ａ 回転駆動源
５１ 筐体
５２ モーター
５３ ギア
５４ シャフト
５５ 固定部材
５５１ 貫通孔
５６ 連結部材
５７ ピン
５７１ 挿入部
５７２ フック
５７３ 連結部
６ 姿勢保持機構
６１ 固定板
６１１ 切欠き
６２ 固定板
６２１ 切欠き
７１ 陽極
７２ 陰極
７２１ 支持棒
７２２ 先端部
７２３ 貫通孔
８、８Ａ、８Ｂ、８Ｃ 衝撃付与機構
８１ 振動体
８２ 弾性体
８３ 衝突部
８３１ 筒状体
８３２ バネ
８３３ 衝突ヘッド
８４ フランジ部
８４０Ａ 半円弧部
８４０Ｂ 半円弧部
８４１ 段差部
８５ 固定部材
８６ 台座
８７ 回転子
８７１ 突起
８７２ 湾曲面
８８ 変位部
８８１ 支持台
８８２ スライド部材
８８３ フォロアー棒
８８４ 衝突棒
８８５ 貫通孔
８８７ スライド棒
８８８ 台座
９Ａ シャワー機構
９１ シャワーノズル
９２ 供給流路
９３ ポンプ
１０ めっき液槽
１００ めっき液
１０１ 側壁
１０２ 側壁
１０３ 側壁
１０４ 側壁
２００ ワーク
２００’ プローブピン
２０１ 本体部
２０２ 接触端子
２０３ バネ
３００ 液面
４００ 地面
５００ 電子部品
５０１ 端子
６００ 検査装置
６０１ 載置部
６０２ 貫通孔
６０３ 検査基板
Ｏ 中心軸
Ｏ' 軸
θ 傾斜角度

（１）
両端が開口した円筒状の本体部と、前記本体部の各開口に挿入された一対の接触端子とを有し、全長が０．１ｍｍ以上、２０ｍｍ以下であり、最大外径が、０．０５ｍｍ以上、５ｍｍ以下であるワークをめっき液に含浸してめっき処理を施し、電子部品検査装置に用いられるプローブピンを製造するバレルめっき装置であって、
前記めっき液の２５℃における粘度は、０．５ｍＰａ・ｓ以上、２．０ｍＰａ・ｓ以下であり、
目開きの幅が０．０２ｍｍ以上、０．３ｍｍ以下である網状体で構成された部分を有し、一端側に開口部を有する有底筒状をなし、前記ワークを収納するバレルと、
前記バレルを回転させる回転駆動源と、を備え、
前記バレルは、前記開口部の全部が前記液面から露出し、かつ、前記液面に対して傾斜した状態で前記めっき液に浸漬して用いられることを特徴とするバレルめっき装置。

（５）
前記網状体の構成材料は、２５℃における水との接触角が３５°以下である上記（１）ないし（４）のいずれかに記載のバレルめっき装置。

（６）
前記回転駆動源を内蔵する装置本体を有し、
前記バレルは、前記装置本体に対して着脱可能である上記（１）ないし（５）のいずれかに記載のバレルめっき装置。

（７）
前記バレルに衝撃を付与する衝撃付与機構を有する上記（１）ないし（６）のいずれかに記載のバレルめっき装置。

（８）
前記衝撃付与機構は、振動体である上記（７）に記載のバレルめっき装置。

（９）
前記回転駆動源を内蔵する装置本体を有し、
前記衝撃付与機構は、前記装置本体に衝突することにより衝撃を付与する衝突部を有する上記（７）または（８）に記載のバレルめっき装置。

これにより、バレル内のワークを揺することができ、ワーク同士が密着したままとなるのを防止することができる。よって、ワーク同士が密着したまま、該密着した部分に対してめっき処理が不十分となるのを防止することができる。
（１０）
前記めっき液が貯留された貯留部に設置して用いられるものであり、
前記回転駆動源を内蔵する装置本体を有し、
前記衝撃付与機構は、前記装置本体を前記貯留部に対して変位させることにより前記バレルに衝撃を付与する上記（７）ないし（９）のいずれかに記載のバレルめっき装置。
（１１）
前記めっき液が貯留された貯留部に設置して用いられるものであり、
前記めっき液の前記液面に対する前記バレルの傾斜角度を調節する傾斜角度調節手段を有する上記（１）ないし（１０）のいずれかに記載のバレルめっき装置。

（１２）
目開きの幅が０．０２ｍｍ以上、０．３ｍｍ以下である網状体で構成された部分を有し、一端側に開口部を有する有底筒状をなし、ワークを収納するバレルと、前記バレルを回転させる回転駆動源と、を備えるバレルめっき装置を用いて、前記ワークをめっき液に含浸してめっき処理を施し、電子部品検査装置に用いられるプローブピンを製造するめっき方法であって、
前記ワークは、両端が開口した円筒状の本体部と、前記本体部の各開口に挿入された一対の接触端子とを有し、全長が０．１ｍｍ以上、２０ｍｍ以下であり、最大外径が、０．０５ｍｍ以上、５ｍｍ以下であり、
前記めっき液は、２５℃における粘度が０．５ｍＰａ・ｓ以上、２．０ｍＰａ・ｓ以下であり、
前記ワークを収納した前記バレルを、前記開口部の全部が前記めっき液の液面から露出し、かつ、前記液面に対して傾斜した状態で前記めっき液に浸漬するとともに、前記バレルを回転させるめっき工程を有することを特徴とするめっき方法。

Claims (12)

1. 電子部品検査装置に用いられるプローブピンを製造するバレルめっき装置であって、
   網状体で構成された部分を有し、一端側に開口部を有する有底筒状をなし、ワークを収納するバレルと、
   前記バレルを回転させる回転駆動源と、を備え、
   前記バレルは、めっき液の液面に対して傾斜した状態で前記めっき液に浸漬して用いられることを特徴とするバレルめっき装置。
2. 前記バレル内に挿入される長尺な陰極を有し、
   前記陰極の先端部は、丸みを帯びている請求項１に記載のバレルめっき装置。
3. 前記陰極の外径は、１ｍｍ以上、２０ｍｍ以下である請求項２に記載のバレルめっき装置。
4. 前記陰極の外径は、前記ワークの外径に対して１１０％以上、３００００％以下である請求項３に記載のバレルめっき装置。
5. 前記網状体の目開きの幅は、０．０２ｍｍ以上、０．３ｍｍ以下である請求項１ないし４のいずれか１項に記載のバレルめっき装置。
6. 前記網状体の構成材料は、２５℃における水との接触角が３５°以下である請求項１ないし５のいずれか１項に記載のバレルめっき装置。
7. 前記回転駆動源を内蔵する装置本体を有し、
   前記バレルは、前記装置本体に対して着脱可能である請求項１ないし６のいずれか１項に記載のバレルめっき装置。
8. 前記バレルは、前記開口部の少なくとも一部が前記液面から露出するように前記めっき液に浸漬される請求項１ないし７のいずれか１項に記載のバレルめっき装置。
9. 前記バレルに衝撃を付与する衝撃付与機構を有する請求項１ないし８のいずれか１項に記載のバレルめっき装置。
10. 前記衝撃付与機構は、振動体である請求項９に記載のバレルめっき装置。
11. 前記回転駆動源を内蔵する装置本体を有し、
    前記衝撃付与機構は、前記装置本体に衝突することにより衝撃を付与する衝突部を有する請求項９または１０に記載のバレルめっき装置。
12. 網状体で構成された部分を有し、一端側に開口部を有する有底筒状をなし、ワークを収納するバレルと、前記バレルを回転させる回転駆動源と、を備えるバレルめっき装置を用いて、電子部品検査装置に用いられるプローブピンを製造するめっき方法であって、
    前記ワークを収納した前記バレルを、めっき液の液面に対して傾斜した状態で前記めっき液に浸漬するとともに、前記バレルを回転させるめっき工程を有することを特徴とするめっき方法。

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