JP2018195680A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 基板を回転させる第１駆動ローラを有する第１駆動スピンドルと、前記基板によって回転させられる従動ローラを有するアイドラスピンドルと、を含む第１スピンドル群と、
   基板を回転させる第２駆動ローラをそれぞれ有する複数の第２駆動スピンドルを含む第２スピンドル群と、
   前記第１駆動ローラおよび複数の前記第２駆動ローラによって回転させられる前記基板を洗浄する洗浄機構と、
   前記従動ローラの回転数を検出する回転検出部と、を備え、
   前記従動ローラは、前記洗浄機構によって前記基板が力を受ける方向の反対側に位置する、基板洗浄装置。
2. 前記従動ローラを回転させる際の慣性モーメントが、前記第１駆動ローラを回転させる際の慣性モーメントよりも小さい、請求項１に記載の基板洗浄装置。
3. 前記第１スピンドル群をスライド移動可能かつ回転移動可能に保持する第１移動機構と、
   前記第２スピンドル群をスライド移動可能かつ回転移動不能に保持する第２移動機構と、を備える、請求項１または２に記載の基板洗浄装置。
4. 基板を回転させる第１駆動ローラおよび第２駆動ローラと、
   回転する前記基板に接触することで回転する従動ローラと、
   回転する前記基板を洗浄する洗浄機構と、
   前記従動ローラの回転数を検出する回転検出部と、を備え、
   前記従動ローラは、前記洗浄機構によって前記基板が力を受ける方向の反対側に位置し、
   前記回転検出部は、前記従動ローラとともに回転するドグと、投光部および受光部を有するセンサと、を備え、前記投光部と前記受光部との間に前記ドグが位置するか否かによって変化する前記センサの出力信号に基づいて、前記ドグの回転数を検出するように構成されている、基板洗浄装置。
5. 前記第１駆動ローラを有する第１駆動スピンドルと、前記従動ローラを有するアイドラスピンドルと、を含む第１スピンドル群と、
   前記第２駆動ローラをそれぞれ有する複数の第２駆動スピンドルを含む第２スピンドル群と、をさらに備え、
   前記洗浄機構は、回転する前記基板と接触するロール洗浄部材を有し、
   前記ロール洗浄部材は前記基板との接触部において前記基板を前記第２スピンドル群に向けて押し込む方向に回転するように構成されている、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の基板洗浄装置。
6. 前記第１駆動ローラを有する第１駆動スピンドルと、前記従動ローラを有するアイドラスピンドルと、を含む第１スピンドル群と、
   前記第２駆動ローラをそれぞれ有する複数の第２駆動スピンドルを含む第２スピンドル群と、をさらに備え、
   前記洗浄機構は、回転する前記基板と接触するペンシル洗浄部材と、該ペンシル洗浄部材が前記基板の中心と外周とを結ぶ所定の軌跡を揺動するように該ペンシル洗浄部材が取り付けられた揺動アームと、を有し、
   前記揺動アームは前記第１スピンドル群から前記第２スピンドル群に向かう方向に揺動する、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の基板洗浄装置。
7. 第１洗浄室、第１搬送室、第２洗浄室、第２搬送室及び乾燥室を有する洗浄部を備えた基板処理装置であって、
   前記第１洗浄室及び前記第２洗浄室はそれぞれ、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の基板洗浄装置を含む、基板処理装置。
8. 前記基板を研磨する研磨部と、
   請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の基板洗浄装置を有する洗浄部と、を備える基板処理装置。