JP2018194838A - ペリクルを形成する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
支持面を有するペリクルフレームと、
少なくとも1つのカーボンナノチューブフィルムを含むカーボンナノチューブペリクル膜を備え、
前記カーボンナノチューブペリクル膜の少なくとも主表面の周辺領域に第1の材料のコーティングが設けられ、
前記ペリクルフレームの支持面は、第2の材料によって形成され、前記カーボンナノチューブペリクル膜の周辺領域は、ペリクルフレームの支持面に取り付けられる。
Claims (13)
- 極端紫外線リソグラフィのためのペリクル(200)を形成する方法であって、
前記方法は、
カーボンナノチューブペリクル膜(102)の主表面(102a)の少なくとも周辺領域(102aa)上に、第1の材料のコーティングを形成するステップを含み、前記膜はカーボンナノチューブフィルム(104)を含み、
ペリクルフレーム(202)上に、前記カーボンナノチューブペリクル膜(102)を配置するステップを含み、前記ペリクルフレーム(202)の支持面(202a)に前記周辺領域(102aa)が対向され、前記ペリクルフレーム(200)の前記支持面(202a)は第2の材料によって形成されており、
前記カーボンナノチューブペリクル膜(102)と前記ペリクル支持面(202a)を互いに加圧することによって、前記カーボンナノチューブペリクル膜(102)のコーティングと前記ペリクル支持面(202a)とを共に結合するステップを含む方法。 - 前記結合の行為は、1mbar未満の圧力を有する真空を、前記カーボンナノチューブペリクル膜(102)および前記ペリクルフレーム(202)に適用することを含む請求項1の方法。
- 前記支持面は、第1の材料によって形成され、前記コーティングは、第2の材料によって形成され、
前記第1の材料が、金属または半導体であり、
前記第2の材料が、金属または半導体である、
請求項1または2の方法。 - 前記第1の材料および前記第2の材料は、Zr、Mo、Ru、Pd、Nb、GeおよびSiからなる群から選択される請求項1ないし3のうちいずれか1項の方法。
- 前記第1の材料および前記第2の材料は、同じ材料である請求項1の方法。
- 前記方法は、圧力を印加しながら、前記カーボンナノチューブペリクル膜および前記ペリクルフレームを加熱するステップをさらに含む請求項1ないし5のうちいずれか1項の方法。
- 前記結合の行為は、1mbar未満の圧力を有する真空を、前記カーボンナノチューブペリクル膜および前記ペリクルフレームに印加しながら、機械的圧力によって、前記カーボンナノチューブペリクル膜(102)および前記支持面(202a)を共に加圧するステップを含む請求項1ないし6のうちいずれか1項の方法。
- 前記方法は、前記カーボンナノチューブペリクル膜(102)を前記ペリクルフレーム(202)上に配置する前に、前記カーボンナノチューブペリクル膜(102)の引張応力を増加させるステップをさらに含む請求項1ないし7のうちいずれか1項の方法。
- 前記方法は、前記カーボンナノチューブペリクル膜(102)を前記ペリクルフレーム(202)上に配置する前に、前記カーボンナノチューブペリクル膜(102)を横方向に引き伸ばすステップをさらに含む請求項1ないし8のうちいずれか1項の方法。
- 前記ペリクルフレーム(202)は、前記第2の材料とは異なる第3の材料のフレーム本体を含む請求項1ないし9のうちいずれか1項の方法。
- 前記フレーム本体は、空気に対して透過性である請求項10の方法。
- 前記コーティングは、前記カーボンナノチューブペリクル膜(102)の主表面(102a)全体を覆うように形成される請求項1ないし11のうちいずれか1項の方法。
- 極端紫外線リソグラフィのためのレチクルシステム(212)を形成する方法であって、
前記方法は、
請求項1ないし12のうちいずれか1項のペリクル(200)を形成するステップと、
前記ペリクル(200)をレチクル(210)上に取り付けるステップと、を含む方法。
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