JP2018182039A - 積層セラミックコンデンサ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
上記セラミック素体は、第1方向に沿って積層された複数のセラミック層と、上記複数のセラミック層の間に交互に配置された第1及び第2内部電極と、上記第1方向に直交する第2方向を向いた第1及び第2端面と、上記第1及び第2端面に上記第1方向に沿って形成された第1及び第2内溝部と、を有する。
上記第1及び第2外部電極は、上記第1及び第2端面を覆う。
上記第1内部電極は、上記第1端面に引き出され、上記第1内溝部において突出している。
上記第2内部電極は、上記第2端面に引き出され、上記第2内溝部において突出している。
この構成では、第1及び第2内部電極と第1及び第2外部電極との導通をより確実に得ることができる。
この構成では、積層セラミックコンデンサの実装時に、半田が第1及び第2外溝部に沿って濡れ上がることにより、半田による接合強度が増大する。
この構成では、湿式プロセスを用いずに第1及び第2外部電極を形成することができる。
上記セラミック素体が焼成される。
焼成された上記セラミック素体の上記第1及び第2端面に、短パルスレーザの照射によって、上記第1方向に沿って第1及び第2溝部が形成され、上記第1及び第2溝部において上記第1及び第2内部電極が突出させられる。
上記第1及び第2溝部が形成された上記第1及び第2端面に第1及び第2外部電極が形成される。
上記短パルスレーザは、ピコ秒レーザ又はフェムト秒レーザであってもよい。
この構成では、湿式プロセスを用いずに第1及び第2外部電極を形成することができる。
この構成では、セラミック素体を再酸化させることにより、容量の大きい積層セラミックコンデンサが得られやすくなる。また、セラミック素体を再酸化させる際に第1及び第2内部電極が第1及び第2端面に隣接する領域において酸化しても、その後に第1及び第2内溝部を形成することにより第1及び第2内部電極を露出させることができる。これにより、第1及び第2内部電極と第1及び第2外部電極との導通を確保することができる。
図面には、適宜相互に直交するX軸、Y軸、及びZ軸が示されている。X軸、Y軸、及びZ軸は全図において共通である。
図1〜3は、本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサ10を示す図である。図1は、積層セラミックコンデンサ10の斜視図である。図2は、積層セラミックコンデンサ10の図1のA−A'線に沿った断面図である。図3は、積層セラミックコンデンサ10の図1のB−B'線に沿った断面図である。
図4は、積層セラミックコンデンサ10のセラミック素体11の斜視図である。セラミック素体11では、第1端面E1に第1内溝部16が形成され、第2端面E2に第2内溝部17が形成されている。内溝部16,17は、X軸方向に窪み、Z軸方向に沿って直線状に延びる溝として構成される。
図8は、積層セラミックコンデンサ10の製造方法を示すフローチャートである。図9〜16は、積層セラミックコンデンサ10の製造過程を示す図である。以下、積層セラミックコンデンサ10の製造方法について、図8に沿って、図9〜16を適宜参照しながら説明する。
ステップS01では、未焼成のセラミック素体11を作製する。未焼成のセラミック素体11は、図9に示すように、複数のセラミックシートをZ軸方向に積層して熱圧着することにより得られる。セラミックシートに予め所定のパターンの導電性ペーストを印刷しておくことにより、内部電極12,13を配置することができる。
ステップS02では、ステップS01で得られた未焼成のセラミック素体11を焼成する。誘電体セラミックスとしてチタン酸バリウム系材料を用いる場合には、焼成温度を1000〜1300℃程度とすることができる。また、セラミック素体11の焼成は、例えば、還元雰囲気下、又は低酸素分圧雰囲気下において行うことができる。
ステップS03では、ステップS02で焼成されたセラミック素体11を再酸化させる。ステップS03では、焼成後のセラミック素体11を構成する誘電体セラミックスに欠損している酸素を補う。これにより、積層セラミックコンデンサ10の容量を高めることができる。なお、ステップS03は、適宜省略してもよい。
ステップS04では、ステップS03で再酸化されたセラミック素体11の端面E1,E2に、パルス幅の短い短パルスレーザの照射によって内溝部16,17を形成する。短パルスレーザを用いることにより、セラミック素体11の端面E1,E2を構成する材料を昇華させることができる。
ステップS05では、ステップS04で内溝部16,17が形成されたセラミック素体11に外部電極14,15を形成することにより、図1〜3に示す積層セラミックコンデンサ10を作製する。以下、外部電極14,15の形成例1〜3について説明するが、外部電極14,15の形成方法はこれらに限定されない。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく種々変更を加え得ることは勿論である。
11…セラミック素体
12,13…内部電極
12a,13a…突出部
14,15…外部電極
16,17…内溝部
18,19…外溝部
E1,E2…端面
Claims (8)
- 第1方向に沿って積層された複数のセラミック層と、前記複数のセラミック層の間に交互に配置された第1及び第2内部電極と、前記第1方向に直交する第2方向を向いた第1及び第2端面と、前記第1及び第2端面に前記第1方向に沿って形成された第1及び第2内溝部と、を有するセラミック素体と、
前記第1及び第2端面を覆う第1及び第2外部電極と、
を具備し、
前記第1内部電極は、前記第1端面に引き出され、前記第1内溝部において突出し、
前記第2内部電極は、前記第2端面に引き出され、前記第2内溝部において突出している
積層セラミックコンデンサ。 - 請求項1に記載の積層セラミックコンデンサであって、
前記セラミック素体は、複数の前記第1及び第2内溝部を有する
積層セラミックコンデンサ。 - 請求項1又は2に記載の積層セラミックコンデンサであって、
前記第1及び第2外部電極は、前記第1及び第2内溝部に対応し、前記第1方向に沿って形成された第1及び第2外溝部を有する
積層セラミックコンデンサ。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の積層セラミックコンデンサであって、
前記第1及び第2外部電極は、スパッタ膜として構成される
積層セラミックコンデンサ。 - 第1方向に沿って積層された複数のセラミック層と、前記複数のセラミック層の間に交互に配置された第1及び第2内部電極と、前記第1方向に直交する第2方向を向いた第1及び第2端面と、を有し、前記第1内部電極が前記第1端面に引き出され、前記第2内部電極が前記第2端面に引き出された未焼成のセラミック素体を作製し、
前記セラミック素体を焼成し、
焼成された前記セラミック素体の前記第1及び第2端面に、短パルスレーザの照射によって、前記第1方向に沿って第1及び第2内溝部を形成して、前記第1及び第2内溝部において前記第1及び第2内部電極を突出させ、
前記第1及び第2内溝部が形成された前記第1及び第2端面に第1及び第2外部電極を形成する
積層セラミックコンデンサの製造方法。 - 請求項5に記載の積層セラミックコンデンサの製造方法であって、
前記短パルスレーザは、ピコ秒レーザ又はフェムト秒レーザである
積層セラミックコンデンサの製造方法。 - 請求項5又は6に記載の積層セラミックコンデンサの製造方法であって、
前記第1及び第2外部電極を、スパッタリングを用いて形成する
積層セラミックコンデンサの製造方法。 - 請求項5から7のいずれか1項に記載の積層セラミックコンデンサの製造方法であって、
焼成された前記セラミック素体を再酸化させた後に、前記第1及び第2内溝部を形成する
積層セラミックコンデンサの製造方法。
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