JP2018173367A - センサ素子 - Google Patents
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- 239000007784 solid electrolyte Substances 0.000 claims abstract description 83
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims abstract description 58
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 91
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 57
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 57
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 46
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 19
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical group O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- -1 oxygen ion Chemical class 0.000 claims description 12
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 217
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N Nitric oxide Chemical compound O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 81
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 44
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 35
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 34
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 24
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 16
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 14
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 13
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 13
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 11
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 10
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 7
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 6
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 5
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 4
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 239000011195 cermet Substances 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 3
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 3
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 3
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 2
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 239000000567 combustion gas Substances 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000010349 pulsation Effects 0.000 description 1
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 229910002076 stabilized zirconia Inorganic materials 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
- G01N33/0036—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector specially adapted to detect a particular component
- G01N33/0037—NOx
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/4067—Means for heating or controlling the temperature of the solid electrolyte
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/4071—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases using sensor elements of laminated structure
-
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/4073—Composition or fabrication of the solid electrolyte
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/409—Oxygen concentration cells
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- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
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Abstract
Description
初めに、本実施の形態に係るセンサ素子101を含む、ガスセンサ100の概略構成について説明する。本実施の形態においては、ガスセンサ100が、センサ素子101によってNOxを検知し、その濃度を測定する、限界電流型のNOxセンサである場合を例として説明を行う。
センサ素子101は、さらに、基体部を構成する固体電解質の酸素イオン伝導性を高めるために、センサ素子101を加熱して保温する温度調整の役割を担うヒータ部70を備えている。図3は、ヒータ部70の要部の概略的な平面配置を示す図である。図4は、図2と対比するために示す、従来のセンサ素子101の、図1のA−A’位置に相当する断面の概略図である。
RH=R1−R2 ・・・・(1)
なる式にて算出される。ヒータ抵抗値は、ヒータエレメント72により加熱を行う際の加熱温度の制御に用いられる。
ヒータ抵抗値は、一方のヒータ電極71から他方のヒータ電極71に至るまでのヒータ電流の経路における電気抵抗値であるが、その変動要因は主としてヒータエレメント72からのPtの拡散であることが、あらかじめ確認されている。それゆえ、使用初期と使用後の双方においてヒータ抵抗値を測定し、(2)式にて算出される抵抗上昇率が、所定の閾値を超えているか否かを判断することで、センサ素子101を破壊せずとも、センサ素子101を使用することでヒータエレメント72からPtが拡散しているか否かを判断することができる。
ヒータエレメント72の厚みt2:15μm〜35μm;
ヒータエレメント72上における多孔質部74aと緻密部74bの積層部分の総厚t3:25μm〜100μm;
積層部分における緻密部74bの厚み(以下、緻密部厚み)t4:5μm以上;
積層部分における厚みの比(緻密部74bの厚み/多孔質部74aの厚み、以下、厚比):0.05〜2.0。
次に、上述のような構成および特徴を有するセンサ素子101を製造するプロセスについて説明する。本実施の形態においては、ジルコニアなどの酸素イオン伝導性固体電解質をセラミックス成分として含むグリーンシートからなる積層体を形成し、該積層体を切断・焼成することによってセンサ素子101を作製する。
上述の実施の形態においては、センサ素子101が、限界電流型のNOxセンサに備わる、直列2室構造型の平板状のセンサ素子である場合を例として説明を行っている。しかしながら、ヒータ絶縁層に多孔質部と緻密部とを設けつつ、センサ素子寸法条件が充足されるようにすることで、センサ素子の長寿命化を図るという態様は、同様の構成を有しかつ他のガス種を検知するセンサ素子はもとより、センサ部とヒータ部とが一体に構成された種々の平板状のセンサ素子に適用が可能である。
t4:5μm、12.5μm、15μm、20μmの4水準;
厚比:0.05、1.00、2.00の3水準。
2 第2基板層
3 第3基板層
4 第1固体電解質層
5 スペーサ層
6 第2固体電解質層
10 ガス導入口
11 第1拡散律速部
12 緩衝空間
13 第2拡散律速部
20 第1内部空所
21 主ポンプセル
22 内側ポンプ電極
23 外側ポンプ電極
30 第3拡散律速部
40 第2内部空所
41 測定用ポンプセル
42 基準電極
43 基準ガス導入空間
44 測定電極
45 第4拡散律速部
48 大気導入層
50 補助ポンプセル
51 補助ポンプ電極
70 ヒータ部
71(71a、71b、71c) ヒータ電極
72 ヒータエレメント
72a(72a1、72a2) ヒータリード
72b 抵抗検出リード
73 スルーホール
74 ヒータ絶縁層
74a (ヒータ絶縁層の)多孔質部
74b (ヒータ絶縁層の)緻密部
75 接続部
100 ガスセンサ
101 センサ素子
Claims (3)
- 被測定ガス中の所定ガス成分を検知するガスセンサに備わる、平板状のセンサ素子であって、
酸素イオン伝導性の固体電解質からなる基体部と、
前記センサ素子を加熱するヒータ部と、
を備え、
前記ヒータ部は、
外部から給電されることによって発熱する、Ptを含むヒータエレメントと、
前記固体電解質と異なる熱膨張係数を有する絶縁材料を90wt%〜99.9wt%の重量比で含んでなる絶縁層と、
前記センサ素子の主面に露出して備わり、前記ヒータエレメントと電気的に接続されているヒータ電極と、
を有し、前記ヒータ電極を除く部分が前記基体部に埋設されてなり、
前記絶縁層は、
気孔率が20%〜40%の多孔質部と、
気孔率が4%以下の緻密部と、
を有してなり、
前記ヒータエレメントは前記緻密部によって覆われており、
前記絶縁層において前記緻密部を除く部分が前記多孔質部であり、
前記ヒータエレメント上における前記多孔質部と前記緻密部の積層部分の総厚が25μm〜100μmであり、
前記積層部分における前記緻密部の厚みが5μm以上であり、
前記積層部分における、前記多孔質部の厚みに対する前記緻密部の厚みの比が0.05〜2.0である、
ことを特徴とするセンサ素子。 - 請求項1に記載のセンサ素子であって、
前記酸素イオン伝導性の固体電解質がジルコニアであり、
前記絶縁材料がα−アルミナである、
ことを特徴とするセンサ素子。 - 請求項1または請求項2に記載のセンサ素子であって、
前記基体部の一方端部に設けられたガス導入口と、
前記基体部の内部に設けられ、前記ガス導入口と所定の拡散抵抗の下で連通する少なくとも1つの内部空所と、
前記基体部の外面に設けられた外側ポンプ電極と、前記少なくとも1つの内部空所に面して設けられた内側ポンプ電極と、前記外側ポンプ電極と前記少なくとも1つの内側ポンプ電極の間に存在する前記固体電解質からなり、前記少なくとも1つの内部空所と外部との間で酸素の汲み入れおよび汲み出しを行う、少なくとも1つの電気化学的ポンプセルと、
を備え、
前記ヒータ電極を除く前記ヒータ部が、前記ガス導入口から前記少なくとも1つの内部空所に至るガス流通部の下方位置において、前記固体電解質によって前記ガス流通部と離隔させられつつ前記ガス流通部の延在方向に沿って配置されてなる、
ことを特徴とするセンサ素子。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017072226A JP6934310B2 (ja) | 2017-03-31 | 2017-03-31 | センサ素子 |
US15/915,467 US10564139B2 (en) | 2017-03-31 | 2018-03-08 | Sensor element |
US15/915,514 US10739300B2 (en) | 2017-03-31 | 2018-03-08 | Sensor element |
DE102018204064.8A DE102018204064A1 (de) | 2017-03-31 | 2018-03-16 | Sensorelement |
DE102018204062.1A DE102018204062A1 (de) | 2017-03-31 | 2018-03-16 | Sensorelement |
CN201810222710.7A CN108693233B (zh) | 2017-03-31 | 2018-03-19 | 传感器元件 |
CN201810222747.XA CN108693235B (zh) | 2017-03-31 | 2018-03-19 | 传感器元件 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017072226A JP6934310B2 (ja) | 2017-03-31 | 2017-03-31 | センサ素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018173367A true JP2018173367A (ja) | 2018-11-08 |
JP6934310B2 JP6934310B2 (ja) | 2021-09-15 |
Family
ID=63524662
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017072226A Active JP6934310B2 (ja) | 2017-03-31 | 2017-03-31 | センサ素子 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10564139B2 (ja) |
JP (1) | JP6934310B2 (ja) |
CN (1) | CN108693235B (ja) |
DE (1) | DE102018204062A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102021202202A1 (de) | 2021-03-08 | 2022-04-21 | Vitesco Technologies GmbH | Vorrichtung und Verfahren zur Minimierung der Beschädigung eines Sensors Für ein Fahrzeug |
DE102021202201A1 (de) | 2021-03-08 | 2022-04-21 | Vitesco Technologies GmbH | Vorrichtung und Verfahren zur Minimierung der Beschädigung eines Sensors für ein Fahrzeug |
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US20180284089A1 (en) | 2018-10-04 |
CN108693235B (zh) | 2022-03-08 |
DE102018204062A1 (de) | 2018-10-04 |
US10564139B2 (en) | 2020-02-18 |
CN108693235A (zh) | 2018-10-23 |
JP6934310B2 (ja) | 2021-09-15 |
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