JP2020165813A - ガスセンサのセンサ素子 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の実施の形態に係るセンサ素子(ガスセンサ素子)10の概略的な外観斜視図である。また、図2は、センサ素子10の長手方向に沿った断面図を含むガスセンサ100の構成の概略図である。センサ素子10は、被測定ガス中の所定ガス成分を検知しその濃度を測定するガスセンサ100の、主たる構成要素であるセラミックス構造体である。センサ素子10は、いわゆる限界電流型のガスセンサ素子である。
センサ素子10においては、上述のような構成を有する素子基体1の一方端部E1から所定範囲の最外周部に、先端保護層2が設けられてなる。
次に、上述のような構成および特徴を有するセンサ素子10を製造するプロセスの一例について説明する。図3は、センサ素子10を作製する際の処理の流れを示す図である。
上述の実施の形態においては、3つの内部空室を備えたセンサ素子を対象としているが、センサ素子が3室構造であることは必須ではない。すなわち、センサ素子が、内部空室を2つあるいは1つ備える態様であってもよい。
2 先端保護層
10 センサ素子
21(21a、21b) 第1先端保護層
22 第2先端保護層
23 第3先端保護層
100 ガスセンサ
101 セラミックス体
101e 先端面
102 第一の内部空室
103 第二の内部空室
104 第三の内部空室
105 ガス導入口
141 外部ポンプ電極
142 内部ポンプ電極
143 補助ポンプ電極
145 測定電極
147 基準電極
150 ヒータ
160 電極端子
170(170a、170b) 主面保護層
P1 主ポンプセル
P2 補助ポンプセル
P3 測定用ポンプセル
Claims (4)
- ガスセンサのセンサ素子であって、
測定対象ガス成分の検知部を備えたセラミックス構造体である素子基体と、
前記素子基体のうち、前記検知部が備わる側の端部から所定範囲の外周部に設けられた多孔質層である先端保護層と、
を備え、
前記先端保護層が、
少なくとも、前記素子基体の2つの主面上に設けられてなる第1先端保護層と、
前記端部と、前記第1先端保護層が形成されてなる前記2つの主面を含む前記素子基体の4つの側面とを覆うように設けられてなる第2先端保護層と、
前記第2先端保護層を覆うように設けられてなる第3先端保護層と、
からなり、
前記第2先端保護層が30%〜80%の気孔率を有しかつ前記第1先端保護層の厚みの30倍〜50倍の厚みに形成されてなり、
前記第3先端保護層が15%〜30%の気孔率を有しかつ前記第1先端保護層の厚みの5倍〜10倍の厚みに形成されてなる、
ことを特徴とする、ガスセンサのセンサ素子。 - 請求項1に記載のセンサ素子であって、
前記第2先端保護層の気孔率が50%〜80%である、
ことを特徴とする、ガスセンサのセンサ素子。 - 請求項1または請求項2に記載のセンサ素子であって、
前記第1先端保護層が30%〜60%の気孔率を有しかつ15μm〜50μmの厚みに形成されてなる、
ことを特徴とする、ガスセンサのセンサ素子。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のセンサ素子であって、
前記第2先端保護層の厚みが1500μm以下であり、
前記第3先端保護層の厚みが300μm以下である、
ことを特徴とする、ガスセンサのセンサ素子。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019066733A JP7227824B2 (ja) | 2019-03-29 | 2019-03-29 | ガスセンサのセンサ素子 |
CN202010173600.3A CN111751424B (zh) | 2019-03-29 | 2020-03-13 | 气体传感器的传感器元件 |
DE102020001748.7A DE102020001748A1 (de) | 2019-03-29 | 2020-03-16 | Sensorelement für einen gassensor |
US16/827,754 US11327043B2 (en) | 2019-03-29 | 2020-03-24 | Sensor element for gas sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019066733A JP7227824B2 (ja) | 2019-03-29 | 2019-03-29 | ガスセンサのセンサ素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020165813A true JP2020165813A (ja) | 2020-10-08 |
JP7227824B2 JP7227824B2 (ja) | 2023-02-22 |
Family
ID=72605640
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019066733A Active JP7227824B2 (ja) | 2019-03-29 | 2019-03-29 | ガスセンサのセンサ素子 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11327043B2 (ja) |
JP (1) | JP7227824B2 (ja) |
CN (1) | CN111751424B (ja) |
DE (1) | DE102020001748A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021124987A1 (ja) * | 2019-12-17 | 2021-06-24 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサのセンサ素子およびセンサ素子への保護層形成方法 |
WO2022196140A1 (ja) * | 2021-03-18 | 2022-09-22 | 日本碍子株式会社 | センサ素子 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US20170284958A1 (en) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | Ngk Insulators, Ltd. | Sensor element and gas sensor |
JP2017187482A (ja) * | 2016-03-30 | 2017-10-12 | 日本碍子株式会社 | センサ素子及びガスセンサ |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5387555B2 (ja) * | 2010-09-27 | 2014-01-15 | 株式会社デンソー | ガスセンサ素子及びガスセンサ |
JP2013104706A (ja) * | 2011-11-11 | 2013-05-30 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ素子及びガスセンサ |
-
2019
- 2019-03-29 JP JP2019066733A patent/JP7227824B2/ja active Active
-
2020
- 2020-03-13 CN CN202010173600.3A patent/CN111751424B/zh active Active
- 2020-03-16 DE DE102020001748.7A patent/DE102020001748A1/de active Pending
- 2020-03-24 US US16/827,754 patent/US11327043B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN111751424A (zh) | 2020-10-09 |
DE102020001748A1 (de) | 2020-10-01 |
US11327043B2 (en) | 2022-05-10 |
CN111751424B (zh) | 2023-08-29 |
JP7227824B2 (ja) | 2023-02-22 |
US20200309730A1 (en) | 2020-10-01 |
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