JP2018165633A5 - - Google Patents

Description

本適用例のセンサー素子では、前記検出腕は、前記基部から延出している検出腕部と、前記検出腕部に対して先端側に設けられ、前記検出腕部よりも幅の広い検出錘部と、を有し、
前記駆動腕部の延出方向での長さをＤＡＬとし、前記検出腕の延出方向に沿った前記検出腕部の長さをＰＡＬとし、前記検出腕の延出方向に沿った前記検出錘部の長さをＰＨＬとしたとき、
ＤＨＬ／ＤＡＬ＞ＰＨＬ／ＰＡＬの関係を満足していることが好ましい。
これにより、検出感度を高めることができる。

本適用例のセンサー素子では、前記検出腕は、
前記基部から第１方向に沿って延出している第１検出腕と、
前記基部から第１方向と反対方向に沿って延出している第２検出腕と、
を含み、
前記基部に連結された部分は、
前記基部から前記第１方向と交差する第２方向に沿って延出している第１連結腕と、
前記基部から前記第２方向と反対方向に沿って延出している第２連結腕と、
前記駆動腕は、
前記第１連結腕から前記第１方向に沿って延出している第１駆動腕と、
前記第２連結腕から前記第１方向に沿って延出している第２駆動腕と、
を含むことが好ましい。
これにより、いわゆるダブルＴ型のセンサー素子を実現することができる。

ここで、検出腕２３は、基部２１から延出している検出腕部である腕部２３１と、腕部２３１に対して先端側に設けられ、腕部２３１よりも幅の広い検出錘部である錘部２３２と、を有する。同様に、検出腕２４は、検出腕部である腕部２４１と、検出錘部である錘部２４２と、を有する。そして、基部２１の厚さ方向（ｚ軸方向）から見たとき（平面視）の検出腕２３、２４の延出方向（ｙ軸方向）に直交する方向（ｘ軸方向）に沿った幅であって、第１駆動腕２５の駆動錘部２５２および第２駆動腕２７の駆動錘部２７２を含む幅をＷａとし、連結腕２２１、２２２の延出方向（ｘ軸方向）に沿った錘部２３２（検出錘部）と錘部２５２、２７２（駆動錘部）との間の距離（錘部２４２と錘部２６２、２８２との間の距離も同様）をＬ１としたとき（図１２参照）、０．１５×Ｗａ＜Ｌ１＜０．４×Ｗａの関係を満たしていることが好ましい。これにより、本実施形態のように基部２１を支持する支持部２９を基部２１と一体で構成した場合においても、支持部２９（特に、図示しないパッケージに固定される固定部２９１、ｌ２９２と基部２１とを連結している連結部２９３〜２９６）が駆動腕２５〜２８および検出腕２３、２４に接触するのを低減することができる。
以上説明したような第２実施形態によっても、検出感度を向上させることができる。

Claims (11)

1. 基部と、
   前記基部または前記基部に連結された部分から延出している駆動腕と、
   前記基部から延出している検出腕と、を備え、
   前記駆動腕は、前記基部または前記基部に連結された部分から延出している駆動腕部と、前記駆動腕部に対して先端側に設けられ、前記駆動腕部よりも幅の広い駆動錘部と、を有し、
   前記駆動腕の延出方向に沿った前記駆動錘部の長さをＤＨＬとし、平面視における前記延出方向に直交する方向に沿った前記駆動錘部の幅をＤＨＷとしたとき、
   １．５≦ＤＨＬ／ＤＨＷの関係を満足していることを特徴とするセンサー素子。
2. １．５≦ＤＨＬ／ＤＨＷ≦４．０の関係を満足している請求項１に記載のセンサー素子。
3. 前記駆動腕部の延出方向での長さをＤＡＬとしたとき、
   １．５＜ＤＨＬ／ＤＡＬの関係を満足している請求項１または２に記載のセンサー素子。
4. 平面視での前記駆動腕部の延出方向に直交する方向での幅をＤＡＷとしたとき、
   １．２≦ＤＨＷ／ＤＡＷの関係を満足している請求項１ないし３のいずれか１項に記載のセンサー素子。
5. 前記検出腕は、前記基部から延出している検出腕部と、前記検出腕部に対して先端側に設けられ、前記検出腕部よりも幅の広い検出錘部と、を有し、
   前記駆動腕部の延出方向での長さをＤＡＬとし、前記検出腕の延出方向に沿った前記検出腕部の長さをＰＡＬとし、前記検出腕の延出方向に沿った前記検出錘部の長さをＰＨＬとしたとき、
   ＤＨＬ／ＤＡＬ＞ＰＨＬ／ＰＡＬの関係を満足している請求項１ないし４のいずれか１
   項に記載のセンサー素子。
6. 前記検出腕は、
   前記基部から第１方向に沿って延出している第１検出腕と、
   前記基部から第１方向と反対方向に沿って延出している第２検出腕と、
   を含み、
   前記基部に連結された部分は、
   前記基部から前記第１方向と交差する第２方向に沿って延出している第１連結腕と、
   前記基部から前記第２方向と反対方向に沿って延出している第２連結腕と、
   前記駆動腕は、
   前記第１連結腕から前記第１方向に沿って延出している第１駆動腕と、
   前記第２連結腕から前記第１方向に沿って延出している第２駆動腕と、
   を含む請求項１ないし５のいずれか１項に記載のセンサー素子。
7. 前記第１検出腕は、前記基部から延出している検出腕部と、前記検出腕部に対して先端側に設けられ、前記検出腕部よりも幅の広い検出錘部と、を有し、
   前記平面視における前記第１方向に直交する方向に沿った幅であって、前記第１駆動腕の前記駆動錘部および前記第２駆動腕の前記駆動錘部を含む幅をＷａとし、前記第２方向に沿った前記検出錘部と前記第１駆動腕の前記駆動錘部との間の距離および前記第２方向に沿った前記検出錘部と前記第２駆動腕の前記駆動錘部との間の距離の少なくとも一方をＬ１としたとき、
   ０．１５×Ｗａ＜Ｌ１＜０．４×Ｗａの関係を満たしている請求項６に記載のセンサー素子。
8. 前記基部から互いに同じ側に延出している１対の前記検出腕と、
   前記基部から前記１対の検出腕の延出方向と反対側に延出している１対の前記駆動腕と、を有する請求項１ないし５のいずれか１項に記載のセンサー素子。
9. 請求項１ないし８のいずれか１項に記載のセンサー素子を備えていることを特徴とするセンサー。
10. 請求項１ないし８のいずれか１項に記載のセンサー素子を備えていることを特徴とする電子機器。
11. 請求項１ないし８のいずれか１項に記載のセンサー素子を備えていることを特徴とする移動体。