JP2018165633A - センサー素子、センサー、電子機器および移動体 - Google Patents
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前記基部または前記基部に連結された部分から延出している駆動腕と、
前記基部から延出している検出腕と、を備え、
前記駆動腕は、前記基部または前記基部に連結された部分から延出している駆動腕部と、前記駆動腕部に対して先端側に設けられ、前記駆動腕部よりも幅の広い駆動錘部と、を有し、
前記駆動腕の延出方向に沿った前記駆動錘部の長さをDHLとし、平面視における前記延出方向に直交する方向に沿った前記駆動錘部の幅をDHWとしたとき、
1.5≦DHL/DHWの関係を満足していることを特徴とする。
1.5<DHL/DALの関係を満足していることが好ましい。
これにより、検出感度を高めることができる。
1.2≦DHW/DAWの関係を満足していることが好ましい。
これにより、小型化を図りつつ、検出感度を高めることができる。
前記検出腕の延出方向に沿った前記検出腕部の長さをPALとし、前記検出腕の延出方向に沿った前記検出錘部の長さをPHLとしたとき、
DHL/DAL>PHL/PALの関係を満足していることが好ましい。
これにより、検出感度を高めることができる。
前記基部から第1方向に沿って延出している第1検出腕と、
前記基部から第1方向と反対方向に沿って延出している前記第2検出腕と、
を含み、
前記基部から前記第1方向と交差する第2方向に沿って延出している第1連結腕と、
前記基部から前記第2方向と反対方向に沿って延出している第2連結腕と、
前記駆動腕は、
前記第1連結腕から前記第1方向に沿って延出している第1駆動腕と、
前記第2連結腕から前記第1方向に沿って延出している前記第2駆動腕と、
を含むことが好ましい。
これにより、いわゆるダブルT型のセンサー素子を実現することができる。
前記平面視における前記第1方向に直交する方向に沿った幅であって、前記第1駆動腕の前記駆動錘部および前記第2駆動腕の前記駆動錘部を含む幅をWaとし、前記第2方向に沿った前記検出錘部と前記第1駆動腕の前記駆動錘部との間の距離および前記第2方向に沿った前記検出錘部と前記第2駆動腕の前記駆動錘部との間の距離の少なくとも一方をL1としたとき、
0.15×Wa<L1<0.4×Waの関係を満たしていることが好ましい。
前記基部から前記1対の検出腕の延出方向と反対側に延出している1対の前記駆動腕と、を有することが好ましい。
これにより、いわゆるH型のセンサー素子を実現することができる。
このようなセンサーによれば、検出感度を高めることができる。
このような電子機器によれば、センサー素子の優れた特性(検出感度等)により、電子機器の特性を高めることができる。
このような移動体によれば、センサー素子の優れた特性(検出感度等)により、移動体の特性を高めることができる。
<第1実施形態>
図1は、本発明の実施形態に係るセンサーの概略構成を示す平面図である。図2は、図1中A−A線断面図である。図3は、図1に示すセンサーが備える振動素子片(センサー素子)の平面図である。図4は、図1に示すセンサーが備える支持部材の平面図(裏面図)である。
(振動素子)
センサー素子2は、z軸まわりの角速度を検出する「面外検出型」のセンサー素子である。このセンサー素子2は、図1および2に示すように、振動素子片20と、振動素子片20を支持する支持部材4と、を有している。
図1および図2に示すICチップ3は、前述したセンサー素子2を駆動する機能と、センサー素子2からの出力(センサー出力)を検出する機能とを有する電子部品である。このようなICチップ3は、図示しないが、センサー素子2を駆動する駆動回路と、センサー素子2からの出力(電荷)を検出する検出回路とを備える。また、ICチップ3には、図示しない複数の接続端子が設けられており、この複数の接続端子は、前述したセンサー素子2を駆動する駆動信号を出力する1つの接続端子と、センサー素子2からの検出信号が入力される2つの接続端子とを含む。
図1および図2に示すパッケージ9は、センサー素子2(振動素子片20および支持部材4)およびICチップ3(集積回路チップ)を収納するものである。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。
図12は、本発明の第2実施形態に係るセンサー素子の概略構成を示す平面図である。
以上説明したような第3実施形態によっても、検出感度を向上させることができる。
次に、本発明の第3実施形態について説明する。
振動素子片20Bは、基部21Bと、1対の駆動腕25B、26Bと、1対の検出腕23B、24Bと、を有している。
以上説明したような第3実施形態によっても、検出感度を向上させることができる。
図15は、本発明の電子機器の一例であるモバイル型(またはノート型)のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
この図において、スマートフォン1200は、複数の操作ボタン1202、受話口1204および送話口1206を備え、操作ボタン1202と受話口1204との間には、表示部100が配置されている。
図18は、本発明の移動体(自動車)の一例を示す斜視図である。この図において、移動体1500は、車体1501と、4つの車輪1502とを有しており、車体1501に設けられた図示しない動力源(エンジン)によって車輪1502を回転させるように構成されている。このような移動体1500には、センサー素子2(または2A、2B)を有するセンサー1が内蔵されている。
Claims (11)
- 基部と、
前記基部または前記基部に連結された部分から延出している駆動腕と、
前記基部から延出している検出腕と、を備え、
前記駆動腕は、前記基部または前記基部に連結された部分から延出している駆動腕部と、前記駆動腕部に対して先端側に設けられ、前記駆動腕部よりも幅の広い駆動錘部と、を有し、
前記駆動腕の延出方向に沿った前記駆動錘部の長さをDHLとし、平面視における前記延出方向に直交する方向に沿った前記駆動錘部の幅をDHWとしたとき、
1.5≦DHL/DHWの関係を満足していることを特徴とするセンサー素子。 - 1.5≦DHL/DHW≦4.0の関係を満足している請求項1に記載のセンサー素子。
- 前記駆動腕部の延出方向での長さをDALとしたとき、
1.5<DHL/DALの関係を満足している請求項1または2に記載のセンサー素子。 - 平面視での前記駆動腕部の延出方向に直交する方向での幅をDAWとしたとき、
1.2≦DHW/DAWの関係を満足している請求項1ないし3のいずれか1項に記載のセンサー素子。 - 前記検出腕は、前記基部から延出している検出腕部と、前記検出腕部に対して先端側に設けられ、前記検出腕部よりも幅の広い検出錘部と、を有し、
前記検出腕の延出方向に沿った前記検出腕部の長さをPALとし、前記検出腕の延出方向に沿った前記検出錘部の長さをPHLとしたとき、
DHL/DAL>PHL/PALの関係を満足している請求項1ないし4のいずれか1項に記載のセンサー素子。 - 前記検出腕は、
前記基部から第1方向に沿って延出している第1検出腕と、
前記基部から第1方向と反対方向に沿って延出している前記第2検出腕と、
を含み、
前記基部から前記第1方向と交差する第2方向に沿って延出している第1連結腕と、
前記基部から前記第2方向と反対方向に沿って延出している第2連結腕と、
前記駆動腕は、
前記第1連結腕から前記第1方向に沿って延出している第1駆動腕と、
前記第2連結腕から前記第1方向に沿って延出している前記第2駆動腕と、
を含む請求項1ないし5のいずれか1項に記載のセンサー素子。 - 前記第1検出腕は、前記基部から延出している検出腕部と、前記検出腕部に対して先端側に設けられ、前記検出腕部よりも幅の広い検出錘部と、を有し、
前記平面視における前記第1方向に直交する方向に沿った幅であって、前記第1駆動腕の前記駆動錘部および前記第2駆動腕の前記駆動錘部を含む幅をWaとし、前記第2方向に沿った前記検出錘部と前記第1駆動腕の前記駆動錘部との間の距離および前記第2方向に沿った前記検出錘部と前記第2駆動腕の前記駆動錘部との間の距離の少なくとも一方をL1としたとき、
0.15×Wa<L1<0.4×Waの関係を満たしている請求項6に記載のセンサー素子。 - 前記基部から互いに同じ側に延出している1対の前記検出腕と、
前記基部から前記1対の検出腕の延出方向と反対側に延出している1対の前記駆動腕と、を有する請求項1ないし5のいずれか1項に記載のセンサー素子。 - 請求項1ないし8のいずれか1項に記載のセンサー素子を備えていることを特徴とするセンサー。
- 請求項1ないし8のいずれか1項に記載のセンサー素子を備えていることを特徴とする電子機器。
- 請求項1ないし8のいずれか1項に記載のセンサー素子を備えていることを特徴とする移動体。
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JP2015087286A (ja) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 角速度センサー、電子機器および移動体 |
JP2015097368A (ja) * | 2013-11-16 | 2015-05-21 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子、発振器、電子機器および移動体 |
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