JP2017195572A - 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の振動素子は、基部と、
前記基部から延出されている振動腕と、
前記振動腕の表面に設けられている電極膜と、を備え、
前記振動腕は、前記振動腕が延出している方向に延びている腕部を有し、前記腕部の先端側に設けられ前記腕部よりも幅の広い錘部を有し、
前記錘部は、前記錘部の側面に設けられている突起部を有し、
前記電極膜は、前記突起部の表面に設けられている部分を有することを特徴とする。
0<Lb/L1<0.2の関係、および、0<Wb/W1<1.0の関係をそれぞれ満たすことが好ましい。
前記振動素子を収納しているパッケージと、を備えることを特徴とする。
前記振動素子に電気的に接続されている発振回路と、を備えることを特徴とする。
これにより、衝撃や過励振等により振動腕が変位した際、電極膜が他の物体に接触しても、電極膜の損傷を低減することができる。よって、優れた信頼性を有する電子機器を提供することができる。
これにより、衝撃や過励振等により振動腕が変位した際、電極膜が他の物体に接触しても、電極膜の損傷を低減することができる。よって、優れた信頼性を有する移動体を提供することができる。
まず、本発明の振動子(本発明の振動素子を備える振動子)について説明する。
図1は、本発明の第1実施形態に係る振動子を模式的に示す断面図である。図2は、図1に示す振動子が備える振動素子の平面図である。
図1に示すパッケージ9は、上面に開放する凹部911を有する箱状のベース91と、凹部911の開口を塞ぐようにベース91に接合されている板状のリッド92とを有している。このようなパッケージ9は、凹部911がリッド92にて塞がれることにより形成された収納空間を有しており、この収納空間に振動素子2が気密的に収納されている。また、凹部911には、段差部912が設けられており、振動素子2は、例えば、エポキシ系、シリコン系、ビスマレイミド系、アクリル系の樹脂に導電性フィラーを混合した導電性接着剤11を介して段差部912に固定されている。
図2に示すように、振動素子2は、水晶基板3と、水晶基板3上に形成された電極(図示せず)と、を有している。
以上、振動子1の構成を簡単に説明した。
以下、振動素子2の特徴的部分である突起部591〜593、691〜693およびこれに関連する事項について詳述する。なお、以下では、突起部591〜593について代表的に説明し、突起部691〜693については、突起部591〜593と同様であるため、その説明を省略する。
図6は、図1に示す振動素子の錘部の第1変形例を説明する拡大平面図である。図7は、図1に示す振動素子の錘部の第2変形例を説明する拡大平面図である。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。
なお、以下の説明では、本実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。なお、図8において、前述した実施形態と同様の構成に関しては、同一符号を付している。
以上説明したような第2実施形態によっても、電極膜の損傷を低減することができる。
次に、本発明の第3実施形態について説明する。
図9は、本発明の第3実施形態に係る振動素子を示す平面図である。
以上説明したような第3実施形態によっても、電極膜の損傷を低減することができる。
次に、本発明の第4実施形態について説明する。
図10は、本発明の第4実施形態に係る振動素子を示す平面図である。
以上説明したような第4実施形態によっても、電極膜の損傷を低減することができる。
次に、本発明の第5実施形態について説明する。
図11は、本発明の第5実施形態に係る振動素子を示す平面図である。
以上説明したような第5実施形態によっても、電極膜の損傷を低減することができる。
次に、本発明の第6実施形態について説明する。
図12は、本発明の第6実施形態に係る振動素子を示す平面図である。
以上説明したような第6実施形態によっても、電極膜の損傷を低減することができる。
次に、本発明の第7実施形態について説明する。
図13は、本発明の第7実施形態に係る振動素子を示す平面図である。
以上説明したような第7実施形態によっても、電極膜の損傷を低減することができる。
次に、本発明の第8実施形態について説明する。
図14は、本発明の第8実施形態に係る振動素子を示す平面図である。
以上説明したような第8実施形態によっても、電極膜の損傷を低減することができる。
次いで、本発明の振動素子を用いた発振器(本発明の発振器)について説明する。
図15は、本発明の発振器の一例を示す断面図である。
ベース91の凹部911には、段差部912が設けられている。
次いで、本発明の振動素子を用いた電子機器(本発明の電子機器)について、図16〜図18に基づき、詳細に説明する。
次いで、本発明の振動素子を用いた移動体(本発明の移動体)について、図19に基づき、詳細に説明する。
Claims (11)
- 基部と、
前記基部から延出されている振動腕と、
前記振動腕の表面に設けられている電極膜と、を備え、
前記振動腕は、前記振動腕が延出している方向に延びている腕部を有し、前記腕部の先端側に設けられ前記腕部よりも幅の広い錘部を有し、
前記錘部は、前記錘部の側面に設けられている突起部を有し、
前記電極膜は、前記突起部の表面に設けられている部分を有することを特徴とする振動素子。 - 前記振動腕に外部から印加された交番電圧によって生じる前記振動腕の振動の振幅範囲外において、前記突起部に非接触で対向しているストッパー部を備える請求項1に記載の振動素子。
- 前記突起部は、前記突起部の先端部に向かうに従い幅が狭くなっている形状である請求項1または2に記載の振動素子。
- 前記電極膜のうちの前記突起部の前記表面に設けられている前記部分上に、少なくとも一部が設けられている絶縁膜を備える請求項1ないし3のいずれか1項に記載の振動素子。
- 前記突起部は、前記錘部の先端側の前記側面において、前記振動腕の前記基部から前記先端に向かう方向に突出している請求項1ないし4のいずれか1項に記載の振動素子。
- 前記振動腕の延出方向に沿った前記錘部の長さをL1とし、前記振動腕の幅方向に沿った前記錘部の長さをW1とし、前記突起部の突出長さをLbとし、前記錘部の先端に向けて突出した前記突起部の幅をWbとしたとき、
0<Lb/L1<0.2の関係、および、0<Wb/W1<1.0の関係をそれぞれ満たす請求項5に記載の振動素子。 - 前記錘部の幅方向での少なくとも一方側の前記側面に設けられている前記突起部を備える請求項1ないし6のいずれか1項に記載の振動素子。
- 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の振動素子と、
前記振動素子を収納しているパッケージと、を備えることを特徴とする振動子。 - 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の振動素子と、
前記振動素子に電気的に接続されている発振回路と、を備えることを特徴とする発振器。 - 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の振動素子を備えることを特徴とする電子機器。
- 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の振動素子を備えることを特徴とする移動体。
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Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001144582A (ja) * | 2000-10-16 | 2001-05-25 | Seiko Epson Corp | 表面実装用水晶振動子 |
JP2005005896A (ja) * | 2003-06-10 | 2005-01-06 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片、圧電振動片の製造方法および圧電振動子、圧電振動子を搭載した電子機器 |
JP2010213262A (ja) * | 2009-02-10 | 2010-09-24 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 音叉型圧電振動片、圧電フレーム、圧電デバイス及び音叉型圧電振動片並びに圧電フレームの製造方法 |
JP2011087279A (ja) * | 2009-09-18 | 2011-04-28 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器、および電子機器 |
JP2012074968A (ja) * | 2010-09-29 | 2012-04-12 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計 |
JP2012120075A (ja) * | 2010-12-03 | 2012-06-21 | Seiko Epson Corp | 圧電振動子、及び圧電発振器 |
JP2012186679A (ja) * | 2011-03-07 | 2012-09-27 | Seiko Epson Corp | 圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器、及び電子機器 |
JP2013165405A (ja) * | 2012-02-10 | 2013-08-22 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計 |
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001144582A (ja) * | 2000-10-16 | 2001-05-25 | Seiko Epson Corp | 表面実装用水晶振動子 |
JP2005005896A (ja) * | 2003-06-10 | 2005-01-06 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片、圧電振動片の製造方法および圧電振動子、圧電振動子を搭載した電子機器 |
JP2010213262A (ja) * | 2009-02-10 | 2010-09-24 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 音叉型圧電振動片、圧電フレーム、圧電デバイス及び音叉型圧電振動片並びに圧電フレームの製造方法 |
JP2011087279A (ja) * | 2009-09-18 | 2011-04-28 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器、および電子機器 |
JP2012074968A (ja) * | 2010-09-29 | 2012-04-12 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計 |
JP2012120075A (ja) * | 2010-12-03 | 2012-06-21 | Seiko Epson Corp | 圧電振動子、及び圧電発振器 |
JP2012186679A (ja) * | 2011-03-07 | 2012-09-27 | Seiko Epson Corp | 圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器、及び電子機器 |
JP2013165405A (ja) * | 2012-02-10 | 2013-08-22 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計 |
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