JP2018158858A - 結晶成長方法および装置 - Google Patents
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- 基板の主表面と原材料から構成した昇華源の主表面とを向かい合わせてセルの内部に固定する第1工程と、
前記基板および前記昇華源が固定された前記セルを炉の内部に配置する第2工程と、
前記炉の内部に配置された前記セルに固定されている前記基板を裏面側から加熱することで前記昇華源より前記基板を高い温度とし、前記基板の主表面を清浄化する第3工程と、
前記炉の内部に配置された前記セルに固定されている前記昇華源を裏面側から加熱することで前記基板より前記昇華源を高い温度とし、昇華法により前記原材料からなる結晶を清浄化した前記基板の主表面に成長させる第4工程と
を備えることを特徴とする結晶成長方法。 - 請求項1記載の結晶成長方法において、
前記第2工程の後で、前記炉の内部を、真空排気状態またはAr雰囲気とする第5工程を備え、
前記第3工程および前記第4工程は、前記炉の内部が、真空排気状態またはAr雰囲気とされた状態で実施する
ことを特徴とする結晶成長方法。 - 基板の主表面と原材料から構成した昇華源の主表面とを向かい合わせて内部に固定されたセルと、
前記セルが内部に固定される炉と、
前記基板の主表面を清浄化するために、前記炉の内部で前記セルに固定されている前記基板を裏面側から加熱して前記昇華源より前記基板を高い温度とする第1加熱部と、
昇華法により前記原材料からなる結晶を清浄化した前記基板の主表面に成長させるために、前記炉の内部で前記セルに固定されている前記昇華源を裏面側から加熱して前記基板より前記昇華源を高い温度とする第2加熱部と
を備えることを特徴とする結晶成長装置。 - 請求項3記載の結晶成長装置において、
前記第1加熱部は、赤外線または電子線を前記基板の裏面側より前記基板の裏面に照射することで前記基板を裏面側から加熱し、
前記第2加熱部は、赤外線または電子線を前記昇華源の裏面側より前記昇華源の裏面に照射することで前記昇華源を裏面側から加熱する
ことを特徴とする結晶成長装置。 - 請求項3記載の結晶成長装置において、
前記第1加熱部は、前記基板の裏面側に配置された抵抗加熱体から構成され、
前記第2加熱部は、前記昇華源の裏面側に配置された抵抗加熱体から構成されている
ことを特徴とする結晶成長装置。
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