JP2018152445A5 - - Google Patents

Description

＜変形例３＞
図１８に示したように、ゲート配線１７Ｗの端部Ｅ₁₇が第２領域１０−２に食い込まず、ゲート配線１７Ｗの端部Ｅ₁₇が全て第１領域１０−１に設けられていてもよい（変形例３）。このとき、ゲート配線１７Ｗの端部Ｅ₁₇から第２領域１０−２までの最小の距離（図１８の位置Ｐ２での距離、長さＬ_E）は、５μｍよりも小さくなっていることが好ましい。高濃度キャリアを十分に拡散させるためである。

このように、ゲート配線１７ＷＳの端部Ｅ₁₇から第２領域１０−２までの距離が、２つの位置（例えば位置Ｐ６，Ｐ６'）で等しくなっていてもよい。また、ゲート配線１７ＷＳの平面形状は線対称でなくてもよく、２つ以上の位置でゲート配線１７ＷＳの端部Ｅ₁₇から第２領域１０−２までの距離が等しくなるようにしてもよい。このようなゲート配線１７ＷＳも、上記第２の実施の形態で説明したのと同様に、ゲート配線１７ＷＳの端部Ｅ₁₇から第２領域１０−２までの距離がより短い位置（例えば、位置Ｐ６，Ｐ６'）で、第１領域１０−１の半導体膜１５に効率的に高濃度キャリアを拡散することができる。したがって、第１領域１０−１の半導体膜１５のキャリア濃度を高め、より確実に導体として機能させることができる。

このゲート配線１７ＷＣＡは、電流の流れる方向（図２２のＸ方向）に延在する基部（基部ＷＡ）と、基部ＷＡに接続された２つの付加部（付加部ＣＡ）とを有している。基部ＷＡと付加部ＣＡとの接続部は、第２領域１０−２の接続孔Ｈに配置されている。２つの付加部ＣＡは、基部ＷＡの延在方向と交差する方向（例えば図２２のＹ方向）に設けられ、互いに反対方向（図２２の上下方向）に延在している。この２つの付加部ＣＡは、例えば略直角三角形の平面形状を有しており、第２領域１０−２に設けられている。付加部ＣＡの底辺が接続孔Ｈに配置され、付加部ＣＡの頂点が接続孔Ｈの外側に配置されている。即ち、ゲート配線１７ＷＣＡ（付加部ＣＡ）の端部Ｅ１７は、第２領域１０−２の接続孔Ｈの外側にも設けられ、付加部ＣＡの斜辺により、端部Ｅ１７から接続孔Ｈまでの距離が変化するようになっている。付加部ＣＡは、１つであってもよく、３つ以上であってもよい。