JP2018113344A - 基板搬送方法及び基板搬送装置 - Google Patents
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Description
このような真空処理工程においては、基板の吸着を解除してステージから離脱(デチャック)する際に、基板の反りによって基板が飛び跳ねるという課題がある。
このような基板の飛び跳ねが生ずると、基板の位置ずれや割れが発生し、その後の基板搬送等のプロセスを行うことが困難になる。
本発明では、前記基板離脱工程において、前記基板の水平方向の移動を規制することも効果的である。
本発明では、前記吸着処理工程において、前記基板を加熱することも効果的である。
一方、本発明は、真空中で基板を搬送する装置であって、基板搬送用真空槽内に配置される基板搬送ロボットと、前記基板搬送ロボットに設けられ、基板を支持して三次元的に移動自在で且つ前記基板搬送用真空槽と連通された真空処理槽内に搬入可能な基板支持部とを備え、前記基板支持部に、当該基板支持部に対して下方に突出する弾性の基板押圧部が設けられている基板搬送装置である。
本発明では、前記基板押圧部が炭素繊維強化炭素複合材料からなる場合にも効果的である。
本発明では、吸着工程において基板の水平方向の移動を規制するようにすれば、吸着解除時においてステージ上における基板の位置ずれを防止することができる。
図1(a)〜(c)は、本発明に係る基板搬送装置の一例の要部を示すもので、図1(a)は表面側から見た平面図、図1(b)は正面図、図1(c)は裏面側から見た平面図である。
ここで、基板搬送ロボットは、後述する基板搬送用真空槽3内に配置されるものである。
本例の場合、基板押圧部13は、例えば短冊状の板状の弾性部材からなり、後述するように、基板支持部11の裏側面に、基板支持部11に対して下方に突出するように取り付けられている。
このような材料としては、例えば、炭素繊維強化炭素複合材料(カーボンコンポジット)等の無機材料からなるものや、チタン等の金属材料からなるものがあげられる。
これら三つの基板押圧部13は、後述するように基板2の表側面と接触又は近接する位置に配置されるものである。
図2(a)に示すように、本例においては、基板支持部11のピックアップ部12の裏側面に一対の溝部15を設け、これら溝部15に基板押圧部13の両端部を挿入することにより基板押圧部13を湾曲させ、基板支持部11に対して下方に突出するように取り付けられている。
図3(a)(b)に示すように、本例の真空処理装置5は、例えば基板搬送用真空槽3に連通された真空処理槽4内にステージ20が配置されて構成されている。
なお、この真空処理槽4は、例えば図示しないイオン注入源に接続されている。
ステージ部22は、その上部に図示しない静電吸着手段を有し、また、ステージ部22の内部にはヒーター23が設けられている。
本例では、まず、基板搬送装置1の基板支持部11によって支持された基板2を、図3(a)(b)に示す真空処理槽4内のステージ部22上に載置してステージ部22上に吸着し、例えばヒーター23によって基板2を加熱した状態で所定の処理を行う(図4(a)参照)。
次に、基板支持部11を下降させ、基板押圧部13を基板2の表側面に接近させる(図4(c)、図6参照)。
そして、この状態で、ステージ部22による基板2の吸着を解除する。
そして、基板支持部11を下降させてピックアップ部12を基板2の下方に配置し、さらに基板支持部11を上昇させて基板2をピックアップする(図5(b)(c)参照)。
最後に、基板支持部11を基板搬送用真空槽3側に移動させ、処理済の基板2を回収する(図3(b)、図5(d)参照)。
このような構成を有する本例の基板押圧部18によれば、基板支持部11のピックアップ部12の加工が容易になるという利点がある。
例えば本発明はイオン注入装置のみならず、真空処理の際に静電吸着を行う種々の真空処理装置に適用することができる。
さらに、基板押圧部の形状、数等は上記実施の形態に限られず、種々のものを用いることができる。
ただし、本発明は真空処理時に基板の加熱及び発熱を伴うプロセスに適用した場合により効果を奏するものである。
2…基板
3…基板搬送用真空槽
4…真空処理槽
10…アーム部
11…基板支持部
12…ピックアップ部
13、18…基板押圧部
20…ステージ
22…ステージ部
23…ヒーター
24…規制ピン
Claims (5)
- 真空中で基板を搬送する方法であって、
基板を搬送する基板搬送装置に設けた基板支持部に支持された基板を、静電吸着可能なステージ上に載置する基板載置工程と、
前記基板を前記ステージ上に吸着し、その状態で所定の処理を行う吸着処理工程と、
前記ステージによる前記基板の吸着を解除する吸着解除工程と、
前記ステージから前記基板を離脱させる基板離脱工程とを有し、
前記吸着解除工程において、前記基板搬送装置の基板支持部に設けた基板押圧部によって前記基板を上方から押さえる基板搬送方法。 - 前記基板離脱工程において、前記基板の水平方向の移動を規制する請求項1記載の基板搬送方法。
- 前記吸着処理工程において、前記基板を加熱する請求項1又は2のいずれか1項記載の基板搬送方法。
- 真空中で基板を搬送する装置であって、
基板搬送用真空槽内に配置される基板搬送ロボットと、
前記基板搬送ロボットに設けられ、基板を支持して三次元的に移動自在で且つ前記基板搬送用真空槽と連通された真空処理槽内に搬入可能な基板支持部とを備え、
前記基板支持部に、当該基板支持部に対して下方に突出する弾性の基板押圧部が設けられている基板搬送装置。 - 前記基板押圧部が炭素繊維強化炭素複合材料からなる請求項4記載の基板搬送装置。
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