JP2018113149A - 導電膜、電極、有機エレクトロルミネッセンス素子、表示装置、照明装置および薄膜太陽電池 - Google Patents
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Abstract
Description
有機EL素子は、陰極と陽極との間に、電子輸送層、発光層、正孔輸送層等の複数の層が積層された構造を有している。有機EL素子としては、基板と発光層との間に陽極が配置された順構造のものと、基板と発光層との間に陰極が配置された逆構造のものとがある。逆構造の有機EL素子では、これを画像表示装置などに用いる場合に、陰極とトランジスタなどとを容易に接続できる。
近年、大気中で安定かつ仕事関数が小さい金属酸化物を、陰極表面に成膜した逆構造の有機EL素子が提案されている(例えば、非特許文献1および非特許文献2参照)。この有機EL素子では、効率よく電子を有機層へ注入できる。また、この有機EL素子は、大気中での動作安定性が高い。
本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、電極材料として用いることができ、大気中での安定性が良好な導電膜を提供することを課題とする。
また、上記の大気中での安定性が良好な導電膜を用いた電極、有機EL素子、表示装置、照明装置および薄膜太陽電池を提供することを課題とする。
〔1〕 有機物からなる第1材料と、金属からなる第2材料とを共蒸着することにより成膜したことを特徴とする導電膜。
〔2〕 有機物からなる第1材料と、金属からなる第2材料とを含むことを特徴とする導電膜。
〔4〕 前記第1材料が、クラウンエーテル誘導体、シクロデキストリン誘導体、カリックスアーレン誘導体から選ばれるいずれか1種または2種以上であることを特徴とする〔1〕に記載の導電膜。
〔6〕 〔1〕〜〔5〕のいずれかに記載の導電膜と、前記導電膜に接して形成された導電層との積層体からなることを特徴とする電極。
前記陽極および/または前記陰極が、〔1〕〜〔5〕のいずれかに記載の導電膜を有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。
〔8〕 陽極と陰極との間に発光層を有する有機エレクトロルミネッセンス素子であって、
前記陽極および/または前記陰極が、〔6〕に記載の電極であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。
〔10〕 〔7〕または〔8〕に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子を備えることを特徴とする照明装置。
〔11〕 〔1〕〜〔5〕のいずれか一項に記載の導電膜を含むことを特徴とする薄膜太陽電池。
また、本発明の導電膜を用いた電極、有機EL素子、表示装置、照明装置および薄膜太陽電池では、導電膜の大気中での安定性が良好であるため、長期間安定して使用できる。
「導電膜」
本発明の導電膜は、有機物からなる第1材料と、金属からなる第2材料とを共蒸着することにより成膜したものである。
また、導電膜の材料として不透明な材料を用いる場合、平均厚さを10〜30nm程度にすることで、透明な導電膜として使用でき、かつ電極材料として好適な導電性が得られる。
導電膜中の第1材料と第2材料との重量比は、均一であってもよいし、不均一であってもよい。導電膜中の第1材料と第2材料との重量比が不均一である場合、例えば、導電膜の厚み方向に上記重量比の勾配を持たせても良い。
本実施形態の導電膜は、有機物からなる第1材料と、金属からなる第2材料とを共蒸着することにより成膜する。本実施形態では、共蒸着する際に、二つの蒸着源(第1材料用蒸着源・第2材料用蒸着源)を用いることが好ましい。そして、各蒸着源の蒸着レートを意図する値まで上げ、導電膜中の両者の重量比に対応する蒸着レートのバランスとしてから、サンプルのシャッターを開けて導電膜の成膜を開始する。その後、必要な厚みとなるまで、所定の蒸着レートのバランスで成膜する。このことにより、所定の重量比で第1材料と第2材料とを含む導電膜が得られる。
本実施形態の電極は、導電膜と、導電膜に接して形成された導電層との積層体からなる。本実施形態の電極に用いられる導電層の材料としては、従来電極に使用されている公知の材料を用いることができる。例えば、ITO(インジウム酸化錫)、IZO(インジウム酸化亜鉛)、FTO(フッ素酸化錫)、InSnZnO(インジウム酸化亜鉛錫、ITZO)、In3O3、SnO2、Sb含有SnO2、Al含有ZnO等の酸化物、Au、Pt、Ag、Cu、Al、Pd、Mo、Ni、Mg、Biまたはこれらを含む合金等の金属材料が挙げられる。
導電層と導電膜との仕事関数が近い程、電子および正孔の注入に有利であるため、導電層の材料は、上記の導電膜中の金属からなる第2材料と、一部または全部が同じであることが好ましい。
図1は、本実施形態の有機EL素子の一例を説明するための断面模式図である。図1に示す本実施形態の有機EL素子10は、陽極9(電極)と陰極11(電極)との間に、発光層6を含む積層構造が形成されているものである。
図1に示す有機EL素子10では、陰極11として、上述した実施形態の電極が配置されている。
図2に示す有機EL素子20では、図1に示す順構造の有機EL素子10とは異なり、陽極12として上述した実施形態の電極が配置されている。そして、陽極12の導電膜1は、導電層14の発光層6側に配置されている。
基板2の材料としては、樹脂材料、ガラス材料等が挙げられる。基板2の材料は、1種のみを用いてもよいし、2種以上組み合わせて使用してもよい。
基板2に用いられる樹脂材料としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、シクロオレフィンポリマー、ポリアミド、ポリエーテルサルフォン、ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネート、ポリアリレート等が挙げられる。基板2の材料として、樹脂材料を用いた場合、柔軟性に優れた有機EL素子10、20が得られるため好ましい。
基板2に用いられるガラス材料としては、石英ガラス、ソーダガラス等が挙げられる。
有機EL素子10がトップエミッション型のものである場合には、基板2の材料として、透明基板だけでなく、不透明基板を用いてもよい。不透明基板としては、例えば、アルミナのようなセラミックス材料からなる基板、ステンレス鋼のような金属板の表面に酸化膜(絶縁膜)を形成した基板、樹脂材料で構成された基板等が挙げられる。
基板2の平均厚さはデジタルマルチメーター、ノギスにより測定することができる。
陰極11は、上述した実施形態の電極からなる。陰極11は、上述した実施形態の導電膜1と、導電膜1に接して形成された導電層3との積層体からなる。図1に示す有機EL素子10では、陰極11の導電膜1は、導電層3の発光層6側に配置されている。一般に有機EL素子では、陰極の発光層側の界面から酸素や水分が入り込み、陰極が酸化されてダークスポットが発生する。したがって、導電層3の発光層6側に酸素耐性および水分耐性の良好な導電膜1を設けることで、有機EL素子10の大気中での安定性向上効果がより効果的に得られる。
有機EL素子10がトップエミッション型のものである場合には、導電層3の材料として、透明な材料を用いることが好ましい。有機EL素子10がトップエミッション型のものであって、導電層3の材料として照射光に不透明な材料を用いる場合、平均厚さを10〜30nm程度にすることで、透明な導電層3として使用できる。
導電層3の平均厚さは、水晶振動子膜厚計により成膜時に測定できる。
導電膜1の平均厚さは、水晶振動子膜厚計により成膜時に測定できる。
正孔注入層8は、無機材料からなるものであってもよいし、有機材料からなるものであってもよい。正孔注入層8を蒸着により形成する場合には、正孔注入層8の材料として、例えば、F4−TCNQ、HAT−CN等の有機材料、酸化バナジウム(V2O5)、三酸化モリブデン(酸化モリブデン:MoO3)、酸化ルテニウム(RuO2)等の酸化物から選ばれる1種または2種以上を用いることができる。これらの中でも特に、酸化バナジウムまたは酸化モリブデンを用いることが好ましい。また、正孔注入層8を塗布方法により形成する場合には、正孔注入層8の材料として、例えば、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン/スチレンスルホン酸)(PEDOT/PSS)等を用いることができる。
正孔輸送層7の材料としては、正孔輸送層7の材料として通常用いることができるいずれの化合物を用いてもよく、これらを混合して用いてもよい。
正孔輸送層7の材料としては、例えば、N4,N4’−ビス(ジベンゾ[b,d]チオフェン−4−イル)−N4,N4’−ジフェニルビフェニルー4,4’−ジアミン(DBTPB)、1,1−ビス(4−ジ−パラ−トリアミノフェニル)シクロへキサン、1,1’−ビス(4−ジ−パラ−トリルアミノフェニル)−4−フェニル−シクロヘキサンのようなアリールシクロアルカン系化合物、4,4’,4’’−トリメチルトリフェニルアミン、N,N,N’,N’−テトラフェニル−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン、N,N’−ジフェニル−N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン(TPD1)、N,N’−ジフェニル−N,N’−ビス(4−メトキシフェニル)−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン(TPD2)、N,N,N’,N’−テトラキス(4−メトキシフェニル)−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン(TPD3)、N,N’−ジ(1−ナフチル)−N,N’−ジフェニル−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン(α−NPD)、TPTEのようなアリールアミン系化合物、N,N,N’,N’−テトラフェニル−パラ−フェニレンジアミン、N,N,N’,N’−テトラ(パラ−トリル)−パラ−フェニレンジアミン、N,N,N’,N’−テトラ(メタ−トリル)−メタ−フェニレンジアミン(PDA)のようなフェニレンジアミン系化合物、カルバゾール、N−イソプロピルカルバゾール、N−フェニルカルバゾールのようなカルバゾール系化合物、スチルベン、4−ジ−パラ−トリルアミノスチルベンのようなスチルベン系化合物、OxZのようなオキサゾール系化合物、トリフェニルメタン、m−MTDATAのようなトリフェニルメタン系化合物、1−フェニル−3−(パラ−ジメチルアミノフェニル)ピラゾリンのようなピラゾリン系化合物、ベンジン(シクロヘキサジエン)系化合物、トリアゾールのようなトリアゾール系化合物、イミダゾールのようなイミダゾール系化合物、1,3,4−オキサジアゾール、2,5−ジ(4−ジメチルアミノフェニル)−1,3,4,−オキサジアゾールのようなオキサジアゾール系化合物、アントラセン、9−(4−ジエチルアミノスチリル)アントラセンのようなアントラセン系化合物、フルオレノン、2,4,7,−トリニトロ−9−フルオレノン、2,7−ビス(2−ヒドロキシ−3−(2−クロロフェニルカルバモイル)−1−ナフチルアゾ)フルオレノンのようなフルオレノン系化合物、ポリアニリンのようなアニリン系化合物、シラン系化合物、1,4−ジチオケト−3,6−ジフェニル−ピロロ−(3,4−c)ピロロピロールのようなピロール系化合物、フルオレンのようなフルオレン系化合物、ポルフィリン、金属テトラフェニルポルフィリンのようなポルフィリン系化合物、キナクリドンのようなキナクリドン系化合物、フタロシアニン、銅フタロシアニン、テトラ(t−ブチル)銅フタロシアニン、鉄フタロシアニンのような金属または無金属のフタロシアニン系化合物、銅ナフタロシアニン、バナジルナフタロシアニン、モノクロロガリウムナフタロシアニンのような金属または無金属のナフタロシアニン系化合物、N,N’−ジ(ナフタレン−1−イル)−N,N’−ジフェニル−ベンジジン、N,N,N’,N’−テトラフェニルベンジジンのようなベンジジン系化合物等が挙げられ、これらの1種または2種以上を用いることができる。
これらの中でも、α−NPD、TPTEのようなアリールアミン系化合物が好ましい。
正孔輸送層7の平均厚さは、水晶振動子膜厚計により成膜時に測定することができる。
発光層6を形成する材料は、低分子材料であってもいし、高分子材料であってもよいし、これらを混合して用いてもよい。なお、本発明において、低分子材料とは、高分子材料(重合体)ではない材料を意味し、分子量が低い有機化合物を必ずしも意味するものではない。
発光層6の平均厚さは、発光層6の材料が低分子化合物である場合、水晶振動子膜厚計により測定できる。発光層6の材料が高分子化合物である場合、接触式段差計により測定できる。
電子輸送層5の材料としては、電子輸送層の材料として通常用いることができるいずれの化合物も用いることができ、これらを混合して用いてもよい。
電子輸送層5の材料としては、例えば、ホウ素含有化合物、トリス−1,3,5−(3’−(ピリジン−3’’−イル)フェニル)ベンゼン(TmPyPhB)のようなピリジン誘導体、(2−(3−(9−カルバゾリル)フェニル)キノリン(mCQ))のようなキノリン誘導体、2−フェニル−4,6−ビス(3,5−ジピリジルフェニル)ピリミジン(BPyPPM)のようなピリミジン誘導体、ピラジン誘導体、バソフェナントロリン(BPhen)のようなフェナントロリン誘導体、2,4−ビス(4−ビフェニル)−6−(4’−(2−ピリジニル)−4−ビフェニル)−[1,3,5]トリアジン(MPT)のようなトリアジン誘導体、3−フェニル−4−(1’−ナフチル)−5−フェニル−1,2,4−トリアゾール(TAZ)のようなトリアゾール誘導体、オキサゾール誘導体、2−(4−ビフェニリル)−5−(4−tert−ブチルフェニル−1,3,4−オキサジアゾール)(PBD)のようなオキサジアゾール誘導体、2,2’,2’’−(1,3,5−ベントリイル)−トリス(1−フェニル−1−H−ベンズイミダゾール)(TPBI)のようなイミダゾール誘導体、ナフタレン、ペリレン等の芳香環テトラカルボン酸無水物、ビス[2−(2−ヒドロキシフェニル)ベンゾチアゾラト]亜鉛(Zn(BTZ)2)、トリス(8−ヒドロキシキノリナト)アルミニウム(Alq3)等に代表される各種金属錯体、2,5−ビス(6’−(2’,2’’−ビピリジル))−1,1−ジメチル−3,4−ジフェニルシロール(PyPySPyPy)等のシロール誘導体に代表される有機シラン誘導体等が挙げられ、これらの1種または2種以上を用いることができる。
これらの中でも、Alq3のような金属錯体、TmPyPhBのようなピリジン誘導体が好ましい。
電子輸送層5の平均厚さは、水晶振動子膜厚計により成膜時に測定することができる。
電子注入層4の材料としては、例えば、LiF,Ba,Ce等のアルカリ金属を含む化合物、ポリエチレンイミン等の表面の仕事関数を小さくする化合物などから選ばれる1種または2種以上を用いることができる。
電子注入層4の平均厚さは、特に限定されないが、0.5〜1000nmであることが好ましく、1〜100nmであることがより好ましい。
酸化物層を形成する金属酸化物を構成する金属元素としては、例えば、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム、チタン、ジルコニウム、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、タンタル、クロム、モリブデン、タングステン、マンガン、インジウム、ガリウム、鉄、コバルト、ニッケル、銅、亜鉛、カドミウム、アルミニウム、ケイ素などが挙げられる。
陽極9の材料としては、ITO(インジウム酸化錫)、IZO(インジウム酸化亜鉛)、FTO(フッ素酸化錫)、InSnZnO(インジウム酸化亜鉛錫、ITZO)、In3O3、SnO2、Sb含有SnO2、Al含有ZnO等の酸化物の導電材料を用いることが好ましい。これらの中でも特に、陽極9の材料としてITO、IZO、FTOを用いることが好ましい。
図1に示す有機EL素子10は、基板2上に、陽極9と、正孔注入層8と、正孔輸送層7と、発光層6と、電子輸送層5と、電子注入層4と、陰極11をこの順に形成することにより製造できる。
また、図2に示す有機EL素子20は、基板2上に、陰極13と、電子注入層4と、電子輸送層5と、発光層6と、正孔輸送層7と、正孔注入層8と、陽極12とをこの順に形成することにより製造できる。
図1に示す有機EL素子10の陰極11、図2に示す有機EL素子20の陽極12は、上述した電極の製造方法により形成できる。
図1および図2に示す有機EL素子10、20の正孔注入層8、正孔輸送層7、発光層6、電子輸送層5、電子注入層4、図1に示す有機EL素子10の陽極9、図2に示す有機EL素子20の陰極13の各層の形成方法は、特に限定されず、各層に用いられる材料の特性に合わせて、従来公知の種々の形成方法を適宜用いて形成できる。
また、電子注入層4、電子輸送層5、発光層6、正孔輸送層7、正孔注入層8の各層を形成する方法として、各層となる有機化合物を含む有機化合物溶液を塗布する塗布法、真空蒸着法、ESDUS(Evaporative Spray Deposition from Ultra−dilute Solution)法などが挙げられる。これらの形成方法の中でも特に、塗布法を用いることが好ましい。
本発明の有機EL素子は、上述した実施形態において説明した有機EL素子に限定されるものではない。
具体的には、図1および図2に示す有機EL素子10、20においては、陽極と陰極のうち、発光層に対して基板と反対側に配置された電極が、導電膜1の発光層と反対側の面で導電膜1に接して形成された導電層3、14との積層体からなるものである場合を例に挙げて説明した。しかし、本発明の有機EL素子は、陽極と陰極のうち発光層の基板側に配置された電極、または陽極と陰極の両方が、導電膜の発光層と反対側の面で導電膜に接して形成された導電層との積層体からなるものであってもよい。
また、図1および図2に示す有機EL素子10、20における発光層の基板と反対側に配置された電極における導電膜1は、導電層3、14の発光層側に配置されているが、導電層3、14の発光層と反対側に配置されていてもよい。
また、電子注入層4、電子輸送層5、発光層6、正孔輸送層7、正孔注入層8の各層は、1層で形成されているものであってもよいし、2層以上からなるものであってもよい。
本実施形態の表示装置は、有機EL素子を複数配列した素子配列群を用いて画像を表示するものである。本実施形態の表示装置は、陽極および/または陰極が大気中での安定性が良好な導電膜を有する有機EL素子を備える。このため、長期間安定して使用できる。
「照明装置」
本実施形態の照明装置は、有機EL素子を複数配列した素子配列群を用いて面発光を行うものである。本発明の照明装置は、陽極および/または陰極が大気中での安定性が良好な導電膜を有する有機EL素子を備える。このため、長期間安定して使用できる。
本実施形態の太陽電池は、光を電気エネルギーに変換するものである。本実施形態の太陽電池は、大気中での安定性が良好な導電膜を含む。このため、長期間安定して使用できる。
以下に示す方法により、図1に示す順構造の有機EL素子10を製造した。
[1]市販されている平均厚さ0.7mmのITO膜付きのガラス製透明基板(以下、単に基板とも称する)2を用意した。次いで、基板2を、ITOターゲットを有するミラートロンスパッタ装置のチャンバー内の基板ホルダーに固定した。この時、基板2上のITO膜を幅3mmにパターニングできるように、メタルマスクを併設した。チャンバー内を約1×10−4Paまで減圧した後、アルゴンと酸素を導入した状態でスパッタリング処理を実行した。これにより、基板2上に膜厚90nmのITOからなる陽極9を形成した。
[3]次に、Hereus社製Clevious HIL1.5溶液を、基板2上に滴下し、毎分2000回転で60秒間回転させ、正孔注入層8を形成した。
また、陰極11(導電膜1および導電層3)を蒸着する時、ステンレス製の蒸着マスクを用いて蒸着面が幅3mmの帯状になるようにした。このことにより、素子1〜素子6の発光面積を9mm2とした。
HAT−CN(一般式(5));1,4,5,8,9,12−ヘキサアザトリフェニレン−2,3,6,7,10,11−ヘキサカルボニトリル(アクセプター)
BCP(一般式(6));Bathocuproine(フェナントロリン誘導体)
BPhen(一般式(7));Bathophenanthroline(フェナントロリン誘導体)
Alq3(一般式(4));トリス(8−ヒドロキシキノリナト)アルミニウム
BPy−OXD(一般式(8));1,3−Bis[2−(2,2‘−bipyridine−6−yl)−1,3,4−oxadiazo−5−yl]benzene(ピリジン誘導体)
陰極11の導電膜1を形成しなかったこと以外は、素子1と同様にして、有機EL素子である素子7を得た。
なお、導電層3を蒸着する時、ステンレス製の蒸着マスクを用いて蒸着面が幅3mmの帯状になるようにした。このことにより、素子7の発光面積を9mm2とした。
素子1〜7を、それぞれキャッピングガラスを用いて封止し、5Vの電圧を印加した時の電流密度および輝度を測定した。各素子への電圧印加および電流測定は、ケースレー社製の「2400型ソースメーター」を用いて行った。また、各素子の発光輝度は、コニカミノルタ社製の「LS−110」を用いて測定した。その結果を表1に示す。
図3は、大気安定性を評価する素子の封止方法を説明するための模式図である。図3に示すように、素子1〜7の基板と反対側の面を、ガラス枠とバリアフィルムとで覆い、硬化樹脂を用いて封止した。バリアフィルムとしては、尾池工業株式会社製の水蒸気透過率10−4(g/m2/day)のものを用いた。
そして、封止した各素子について、初期輝度を200cd/m2として連続駆動させ、発光面の変化を調べた。
図4に示すように、導電膜1を形成しなかった素子7では、非発光部を形成するシュリンクおよびダークスポットの発生が観測され、時間の経過とともにシュリンクおよびダークスポットが増加した。これは、素子7の陰極(導電層3)およびその周辺が、大気中の酸素および水分によって劣化したことが原因であると推定される。
これに対し、導電膜1を形成した素子3では、素子7と比較して、非発光部の形成が大幅に抑制されていた。
また、図5に示すように、金属と錯体を形成するフェナントロリン誘導体であるBCPを用いて導電膜1を形成した素子3、フェナントロリン誘導体であるBPhenを用いて導電膜1を形成した素子4、ピリジン誘導体であるBpy−OXDを用いて導電膜1を形成した素子6では、素子1〜素子6の中でも特に発光面積の変化が小さかった。
以下に示す方法により、図2に示す逆構造の有機EL素子20を製造した。
[1]素子1の陽極9と同様にして、基板2上に膜厚90nmのITOからなる陰極13を形成した。
また、陽極12(導電膜1および導電層14)を蒸着する時、ステンレス製の蒸着マスクを用いて蒸着面が幅3mmの帯状になるようにした。このことにより、素子8の発光面積を9mm2とした。
陽極12の導電膜1を形成しなかったこと以外は、素子8と同様にして、有機EL素子である素子9を得た。
なお、導電層14を蒸着する時、ステンレス製の蒸着マスクを用いて蒸着面が幅3mmの帯状になるようにした。このことにより、素子9の発光面積を9mm2とした。
上記の素子3を、集束イオンビーム(FIB)法を用いて薄片化し、透過型電子顕微鏡(TEM)観察を行った。その結果を図7に示す。
AlとBCPとからなる導電膜1の色は、発光層6および正孔輸送層7の色と、陽極9および導電層3の色との中間の濃さであり、略均一となっている。これは、上記の素子3の導電膜1が、Alと有機物との略均一な混合物で形成されているためであると推定できる。
2 基板
3、14 導電層
4 電子注入層
5 電子輸送層
6 発光層
7 正孔輸送層
8 正孔注入層
9、12 陽極
10、20 有機EL素子
11、13 陰極
Claims (11)
- 有機物からなる第1材料と、金属からなる第2材料とを共蒸着することにより成膜したことを特徴とする導電膜。
- 有機物からなる第1材料と、金属からなる第2材料とを含むことを特徴とする導電膜。
- 前記第1材料が、ピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、トリアジン誘導体、フェナントロリン誘導体、ナフチリジン誘導体、フェナジン誘導体、キノキサリン誘導体、イミダゾール誘導体、キノリン誘導体、シンノリン誘導体、キナゾリン誘導体、トリアゾール誘導体、ホスフィン誘導体、ポルフィリン誘導体、フタロシアニン誘導体、シクロペンジエン誘導体、シクロオクタジエン誘導体、アセチルアセトン誘導体、キレート剤から選ばれるいずれか1種または2種以上であることを特徴とする請求項1に記載の導電膜。
- 前記第1材料が、クラウンエーテル誘導体、シクロデキストリン誘導体、カリックスアーレン誘導体から選ばれるいずれか1種または2種以上であることを特徴とする請求項1に記載の導電膜。
- 平均厚さが1〜1000nmであることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載の導電膜。
- 請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載の導電膜と、前記導電膜に接して形成された導電層との積層体からなることを特徴とする電極。
- 陽極と陰極との間に発光層を有する有機エレクトロルミネッセンス素子であって、
前記陽極および/または前記陰極が、請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載の導電膜を有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。 - 陽極と陰極との間に発光層を有する有機エレクトロルミネッセンス素子であって、
前記陽極および/または前記陰極が、請求項6に記載の電極であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。 - 請求項7または請求項8に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子を備えることを特徴とする表示装置。
- 請求項7または請求項8に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子を備えることを特徴とする照明装置。
- 請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載の導電膜を含むことを特徴とする薄膜太陽電池。
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