JP2018053335A - 微細構造体の製造方法、電子部品、回路モジュール及び電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の微細構造体の製造方法は、金属材料からなる基材の一部を陽極酸化し、基材の酸化されていない部分を除去することにより、第1の主面と、第1の主面と反対側の第2の主面と、第1の主面に連通し、第2の主面に連通していない複数の細孔と、を有する基材酸化物が形成される。第1の主面に第1の導体層が積層される。第1の導体層に第2の導体層が積層される。第2の主面の一部にレジスト層が形成される。レジスト層をマスクとして、基材酸化物を第2の主面から第1の主面までエッチングすることにより、基材酸化物に貫通孔が形成される。
【選択図】図5
Description
上記第1の主面に第1の導体層が積層される。
上記第1の導体層に第2の導体層が積層される。
上記第2の主面の一部にレジスト層が形成される。
上記レジスト層をマスクとして、上記基材酸化物を上記第2の主面から上記第1の主面までエッチングすることにより、上記基材酸化物に貫通孔が形成される。
これにより、円形状の貫通孔では形成することが難しい円形以外の形状を有するコイル等の構造体を、貫通孔の形状を利用して作製することが可能となる。
これにより、例えば、半島状の貫通孔を形成することができる。
これにより、例えば、環状の貫通孔を形成することができる。
これにより、第1の導体層を基材酸化物の第1の主面から剥離させやすくなり、容易に第1及び第2の導体層を除去することができる。
上記微細構造体は、金属の陽極酸化によって形成され、第1の主面と、上記第1の主面と反対側の第2の主面と、上記第1の主面に連通し、上記第2の主面に連通していない複数の細孔と、上記第1及び第2の主面に連通する貫通孔と、を有する。
上記第1の導体層は、上記第1の主面に積層されている。
上記第2の導体層は、上記第2の主面に積層されている。
上記第3の導体層は、上記第2の導体層に積層されている。
上記第1の内部導体は、上記貫通孔の一部に収容され、上記第1の導体層に接続し、上記第2の導体層から離間する。
上記第2の内部導体は、上記貫通孔の他の一部に収容され、上記第2の導体層に接続し、上記第1の導体層から離間する。
図1は、本発明の一実施形態に係る微細構造体100の概略斜視図であり、図2は微細構造体100の断面図である。なお、以下の図において、X方向、Y方向及びZ方向は相互に直交する3方向である。
微細構造体100の製造方法について説明する。図4〜図6は、微細構造体100の製造方法の一例を示す模式図である。
本実施形態に係る微細構造体100の製造方法では、図5に示すように、基材酸化物302の第1主面302aに第1導体層303が積層された後、更に第1導体層303に第2導体層304が積層される。即ち、第1主面302aに積層される導体層が単層ではなく、2層構造となっており、基材酸化物302の機械強度が高められている。
微細構造体100の製造方法は、種々の用途に応用可能である。例えば、上記製造方法は、コンデンサ等の電子部品の製造方法に応用可能である。以下、上記製造方法を応用して電子部品200を製造する場合の製造方法について説明する。
図7〜図10は、電子部品200の製造方法の一例を示す模式図である。
本実施形態に係る電子部品200は、回路基板等の実装対象物に搭載され、回路モジュールとなることができる。また、電子部品200を搭載する回路モジュールは他の電子部品と共に電子機器を構成可能である。
101・・・本体
101a・・・第1の孔
101b・・・表面
101c・・・裏面
101d・・・第2の孔
200・・・電子部品
303・・・第1導体層
304・・・第2導体層
305・・・第3導体層
306・・・第4導体層
307・・・第5導体層
R1,R3・・・レジスト材
R2,R4・・・レジスト層
Claims (10)
- 金属材料からなる基材の一部を陽極酸化し、
前記基材の酸化されていない部分を除去することにより、第1の主面と、前記第1の主面と反対側の第2の主面と、前記第1の主面に連通し、前記第2の主面に連通していない複数の細孔と、を有する基材酸化物を形成し、
前記第1の主面に第1の導体層を積層し、
前記第1の導体層に第2の導体層を積層し、
前記第2の主面の一部にレジスト層を形成し、
前記レジスト層をマスクとして、前記基材酸化物を前記第2の主面から前記第1の主面までエッチングすることにより、前記基材酸化物に貫通孔を形成する
微細構造体の製造方法。 - 請求項1に記載の微細構造体の製造方法であって、
前記貫通孔は、前記第1及び第2の主面に直交する方向から見た形状が円形以外の形状である
微細構造体の製造方法。 - 請求項1又は2に記載の微細構造体の製造方法であって、
前記細孔と前記細孔の間の前記基材酸化物を、前記細孔の並びで5列×5個以上の範囲内においてエッチングにより除去された範囲中に突出させる
微細構造体の製造方法。 - 請求項1又は2に記載の微細構造体の製造方法であって、
前記細孔と前記細孔の間の前記基材酸化物を、エッチングにより除去した範囲内において、前記基材酸化物を柱状にエッチング除去せず残留させる
微細構造体の製造方法。 - 請求項1から4のいずれか1つに記載の微細構造体の製造方法であって、
前記第1の導体層は、導電性の粘着テープである
微細構造体の製造方法。 - 請求項1から5のいずれか1つに記載の微細構造体の製造方法であって、
前記第2の導体層の厚みは、互いに隣接する前記細孔の中心間距離の10倍以上である
微細構造体の製造方法。 - 請求項1から6のいずれか1つに記載の微細構造体の製造方法であって、
前記第2の導体層の厚みは、1μm以上である
微細構造体の製造方法。 - 金属の陽極酸化によって形成され、第1の主面と、前記第1の主面と反対側の第2の主面と、前記第1の主面に連通し、前記第2の主面に連通していない複数の細孔と、前記第1及び第2の主面に連通する貫通孔と、を有する微細構造体と、
前記第1の主面に積層された第1の導体層と、
前記第2の主面に積層された第2の導体層と、
前記第2の導体層に積層された第3の導体層と、
前記貫通孔の一部に収容され、前記第1の導体層に接続し、前記第2の導体層から離間する第1の内部導体と、
前記貫通孔の他の一部に収容され、前記第2の導体層に接続し、前記第1の導体層から離間する第2の内部導体と、
を具備する電子部品。 - 請求項8に記載の電子部品を搭載した回路モジュール。
- 請求項9に記載の回路モジュールを搭載した電子機器。
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