JP2009076850A - コンデンサ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】コンデンサ素子12は、一対の導電体層14,16と、多数の略チューブ状の誘電体18と、該誘電体18の内側の第1電極20及び外側の第2電極24と、前記第1電極20と導電体層16を絶縁する絶縁キャップ22と、前記第2電極24と導電体層14を絶縁する絶縁キャップ26により構成される。誘電体18は、高アスペクト比を有しており、金属基材の陽極酸化により形成される。該誘電体18を、ハニカム構造を形成する六角形の頂点とその中央に配置し、容量を規定する面積を増大させることにより高容量化が可能となる。また、誘電体18の形成後に、電極材料を空隙部に充填するため、電極材料の任意性向上と製造プロセスの簡略化が可能となる。
【選択図】図1
Description
(1)容量を規定する面積を大きくして高容量化を図ることができる。
(2)電極の振り分けに誘電体からなる絶縁キャップ22,26を用いることとしたので、第1電極20及び第2電極24の先端面の面積もコンデンサ10の容量向上に利用できる。
(3)誘電体18の構造体を形成してから第1電極20及び第2電極24を空隙部に充填することとしたので、電極材料の任意性が増すとともに、製造プロセスの簡略化を図ることができる。
(1)前記実施例で示した形状,寸法は一例であり、必要に応じて適宜変更してよい。
(2)材料についても同様に、公知の各種の材料を使用してよい。例えば、誘電体を形成する金属基材としては、アルミニウムが好適であるが、陽極酸化が可能な金属であれば、他の公知の各種の金属が適用可能である。
(5)前記実施例で示した製造工程も一例であり、同様の効果を奏するように適宜変更してよい。例えば、表面電極と裏面電極のいずれを先に形成するかも一例であり、必要に応じて適宜変更してよい。また、例えば、前記実施例1では、絶縁キャップ22,26を設けるために第1電極20及び第2電極24を、誘電体18の一方の端面に達しないように充填することとしたが、これも一例であり、前記第1電極20と第2電極24が接触しない範囲内であれば、前記誘電体18の端面から露出するようにしてもよい。
12:コンデンサ素子
14:導電体層(表面電極)
16:導電体層(裏面電極)
18:誘電体
18A,18B:開口端面
18C:閉口端面
20:第1電極(負極)
20A,20B:端面
22,26:絶縁キャップ
24:第2電極(正極)
24A:表面
24B:裏面
28:絶縁フィルム
30,32:接続ランド
34,36:引出部
50:基材
50A:表面
52:酸化物基材
52A:表面
52B:裏面
54:孔(ホール)
56:シード層
58:空隙
100:コンデンサ素子
102,104:エアギャップ
Claims (9)
- 所定の間隔で対向する一対の導電体層と、
該導電体層と略直交し、かつ、両端の開口部が前記一対の導電体層の内側主面に接続するとともに、金属の陽極酸化物により形成された高アスペクト比を有する略チューブ状の複数の誘電体と、
一端が前記一対の導電体層のうちの一方の導電体層に接続し、他端が前記一対の導電体層のうちの他方の導電体層と絶縁するように、前記誘電体の中空部に充填される第1の電極と、
一端が前記他方の導電体層に接続し、他端が前記一方の導電体層と絶縁するように、前記誘電体間の空隙に充填される第2の電極と、
を備えたことを特徴とするコンデンサ。 - 前記第1及び第2の電極と前記導電体層との間に設けた間隙によって、前記電極と導電体層とを絶縁することを特徴とする請求項1記載のコンデンサ。
- 前記第1及び第2の電極と前記導電体層との間に設けた絶縁体によって、前記電極と導電体層とを絶縁することを特徴とする請求項1記載のコンデンサ。
- 前記絶縁体が、金属酸化物,SiO2又は樹脂であることを特徴とする請求項3記載のコンデンサ。
- 前記誘電体が、前記導電体層と略平行な断面において、ハニカム構造を形成する六角形の頂点とその中央に配置されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のコンデンサ。
- 金属の基材を陽極酸化し、該基材の対向する一対の主面と略直交する方向に、一方の主面で開口し他方の主面で閉口する高アスペクト比を有する複数の孔を形成する工程1と、
前記基材の他方の主面全体に、導電性のシード層を形成する工程2と、
前記基材を加工し、前記孔を中空部とする略チューブ状の誘電体を形成する工程3と、
前記誘電体の周囲の隙間を、該誘電体の開口端が所定の厚みで露出するように導電体で埋め込み、前記シード層上に第1の電極を形成する工程4と、
前記基材の一方の主面に導電体層を形成して、前記誘電体の露出した開口端面を覆い、かつ、前記第1の電極との間に絶縁用の隙間を形成するとともに、前記シード層を除去する工程5と、
前記シード層の除去後に露出する基材の主面において、該主面を所定の厚みで切除し、前記誘電体の閉口端を開口する工程6と、
前記導電体層をシードとし、前記誘電体の孔に、前記工程6で開口した端面との間に所定の隙間を形成するように導電体を埋め込み、第2の電極を形成する工程7と、
前記導電体層と対向し、前記工程6で開口した誘電体の開口端面を覆うとともに、前記第2の電極との間に絶縁用の隙間を形成する他の導電体層を形成する工程8と、
を含むことを特徴とするコンデンサの製造方法。 - 前記工程4で形成した第1の電極上に、前記誘電体の端面との段差を埋める絶縁体を設ける工程と、
前記工程7で形成した第2の電極上に、前記誘電体の端面との隙間を埋める絶縁体を設ける工程と、
を含むことを特徴とする請求項6記載のコンデンサの製造方法。 - 前記第1及び第2の電極と前記導電体層間に設ける絶縁体を、金属酸化物,SiO2又は樹脂としたことを特徴とする請求項7記載のコンデンサの製造方法。
- 前記工程1は、前記基材の主面と略平行な断面において、ハニカム構造を形成する六角形の頂点とその中央に位置するように、前記孔を形成することを特徴とする請求項6〜8のいずれかに記載のコンデンサの製造方法。
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